一種大尺寸藍寶石晶舟轉(zhuǎn)移裝置的制造方法
【專利摘要】一種大尺寸藍寶石晶舟轉(zhuǎn)移裝置，包括裝配載臺、推片機構(gòu)及晶舟裝載保護機構(gòu)，裝配載臺上設(shè)有晶舟定位機構(gòu)和晶片支撐機構(gòu)，推片機構(gòu)包括滑桿、滑動塊、手柄、推送桿以及推片支架，晶舟裝載保護裝置包括定位杠桿、杠桿凹槽、連接桿、連接桿通孔、活動鈕、活動鈕彈簧以及活動鈕凹槽；采用本發(fā)明的晶片轉(zhuǎn)移裝置，可以有效減少晶片轉(zhuǎn)移過程中造成的人為接觸，人為污染以及掉落破碎等風(fēng)險。晶片轉(zhuǎn)移時，全程采用絕緣材料與晶片點接觸的方式進行轉(zhuǎn)移，完全避免人體與晶片接觸，從根源上避免人為污染。
【專利說明】
一種大尺寸藍寶石晶舟轉(zhuǎn)移裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種轉(zhuǎn)移裝置，具體涉及一種大尺寸藍寶石晶舟轉(zhuǎn)移裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]藍寶石襯底材料作為LED主要材料，表面潔凈度一直是業(yè)界關(guān)注的焦點。雖然大家通過工藝和制程水平的不斷改善，潔凈度水平已經(jīng)大幅度提供。但一直困擾大家的是藍寶石襯底在包裝前需要人工檢查，不可避免的存在晶周轉(zhuǎn)移晶片導(dǎo)致的晶片臟污問題，最早由于制作2吋晶片可以通過真空吸筆吸取背部，避免使用面的臟污問題。但科技的不斷發(fā)展，6吋襯底甚至更大尺寸的藍寶石襯底已在業(yè)內(nèi)普遍使用；
6吋襯底的面積大，重量重，轉(zhuǎn)移非常不方面，且效率低下，損壞的風(fēng)險大;尤其在加工過程中，晶片在制程中的轉(zhuǎn)換步驟頻繁，破碎和掉落時有發(fā)生，損失大，良率低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)缺點提供一種大尺寸藍寶石晶舟轉(zhuǎn)移裝置，從大尺寸襯底的加工實際出發(fā)，結(jié)合人性化特點。避免過程損失的同時，降低晶片表面潔凈度的二次污染問題。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案是:
一種大尺寸藍寶石晶舟轉(zhuǎn)移裝置，其中，包括裝配載臺、推片機構(gòu)及晶舟裝載保護機構(gòu)，所述裝配載臺呈方形板體結(jié)構(gòu)，底部四角均設(shè)有撐腳;所述裝配載臺上設(shè)有晶舟定位機構(gòu)和晶片支撐機構(gòu)，所述晶舟定位機構(gòu)數(shù)量為兩個，包括左，右晶舟定位機構(gòu)，每個晶舟定位機構(gòu)包括上、下定位卡塊，所述上定位卡塊與下定位卡塊均呈L型結(jié)構(gòu)，所述上、下定位卡塊呈軸對稱設(shè)置;所述左、右晶舟定位機構(gòu)呈對稱設(shè)置;所述晶片支撐機構(gòu)包括八個支撐塊，所述支撐塊呈兩排設(shè)置，每排呈橫向設(shè)置4個支撐塊，所述支撐塊呈圓柱體結(jié)構(gòu)，所述支撐塊底部固定在所述裝配載臺上；
所述推片機構(gòu)包括滑桿、滑動塊、手柄、推送桿以及推片支架，所述滑桿數(shù)量為兩個，所述滑桿兩端連接固定在撐腳上，所述兩個滑桿呈平行設(shè)置，所述滑動塊上設(shè)置有兩個滑桿孔，所述滑桿孔呈圓形結(jié)構(gòu)，所述滑動塊通過所述兩個滑桿貫穿兩個滑桿孔實現(xiàn)滑動塊在滑桿上滑動連接;所述滑動塊一端連接手柄;所述滑動塊一側(cè)連接推送桿，所述推送桿一端連接推片支架，所述推片支架包括推片塊以及支撐塊，所述支撐塊呈倒L型結(jié)構(gòu)，所述支撐塊底部連接推送桿，頂部一側(cè)連接推片塊，所述推片塊呈長方體結(jié)構(gòu)，其一側(cè)底部連接支撐塊，另一側(cè)豎直設(shè)置有兩條凹槽，所述凹槽截面呈半圓形結(jié)構(gòu)，所述凹槽內(nèi)卡接設(shè)置了由聚四氟乙烯構(gòu)成的防靜電凸塊，所述防靜電凸塊呈圓柱體結(jié)構(gòu)，其大小與凹槽相對應(yīng)；
所述晶舟裝載保護裝置包括定位杠桿、杠桿凹槽、連接桿、連接桿通孔、活動鈕、活動鈕彈簧以及活動鈕凹槽;所述杠桿凹槽、連接桿通孔、活動鈕凹槽均位于所述裝配載臺上，所述活動鈕凹槽呈圓柱體凹槽，所述活動凹槽位于所述裝配載臺上表面，所述活動鈕呈圓柱體結(jié)構(gòu)，設(shè)置于所述活動鈕凹槽內(nèi)部，所述活動鈕底部兩側(cè)均連接一個活動鈕彈簧，所述兩個活動鈕彈簧底部連接在活動鈕凹槽底部;所述連接桿通孔為圓形通孔，位于所述活動鈕凹槽下方，呈豎直設(shè)置，所述連接桿為圓柱體結(jié)構(gòu)，頂部連接在所述活動鈕下表面中間位置，底部貫穿連接桿通孔伸入杠桿凹槽;所述杠桿凹槽為長方體凹槽，位于所述裝配載臺下表面，所述連接桿通孔位于所述杠桿凹槽頂部一側(cè);所述杠桿凹槽內(nèi)部兩側(cè)上對稱設(shè)有圓柱體形凹槽，所述定位杠桿為一體式結(jié)構(gòu)，包括弧形桿和轉(zhuǎn)動軸，所述轉(zhuǎn)動軸兩端設(shè)置于所述兩個圓柱體凹槽內(nèi)，所述轉(zhuǎn)動軸連接在所述弧形桿一端邊緣位置，所述弧形桿連接轉(zhuǎn)動軸一側(cè)的頂端與連接桿底部固定連接；
所述晶舟裝載保護裝置數(shù)量為兩個，所述兩個晶舟裝載保護裝置位于所述兩排支撐塊的兩側(cè)，包括第一晶舟裝載保護裝置，與第二晶舟裝載保護裝置，所述第二晶舟裝載保護裝置的定位杠桿尾部設(shè)有卡位凸起，所述卡位凸起呈三角形凸起結(jié)構(gòu)，所述推動機構(gòu)的滑動塊上設(shè)有卡位塊，所述卡位塊設(shè)置在所述第二晶舟保護裝置的定位杠桿一側(cè)。
[0005]上述一種大尺寸藍寶石晶舟轉(zhuǎn)移裝置，其中，所述撐腳呈圓柱體結(jié)構(gòu)。
[0006]上述一種大尺寸藍寶石晶舟轉(zhuǎn)移裝置，其中，所述手柄呈圓柱體結(jié)構(gòu)。
[0007]本發(fā)明專利使用過程如下:
將裝有晶片的晶舟和目標晶舟放置在裝配載臺上，裝有晶片的晶舟靠近推片機構(gòu)一偵U，目標裝載晶舟位于另一側(cè)。兩個晶舟均放置在晶舟定位裝置內(nèi)部，晶舟底部貼合裝配載臺，使得晶舟裝載保護裝置中的活動鈕下壓，帶動連接桿向下運動，定位杠桿頂部與連接桿固定一側(cè)向下運動，另一側(cè)項上運動，使得定位杠桿平放，完全位于定位凹槽內(nèi)，此時，工作人員握住手柄將滑動塊移動，滑動塊帶動推送桿及推送支架移動，推送支架將晶片從原來的裝載晶舟推送至目標晶舟內(nèi)部，實現(xiàn)晶片轉(zhuǎn)移。
[0008]轉(zhuǎn)移完成后，將手柄推回初始位置，并將兩個晶舟從裝配載臺上取出，晶舟裝載保護裝置活動鈕通過彈簧的作用力向上運動，帶動連接桿向上運動，定位杠桿頂部與連接桿固定一側(cè)向上運動，另一側(cè)向下運動，使得定位杠桿傾斜，底部伸出定位凹槽內(nèi)，第一晶舟裝載保護裝置的定位杠桿底部抵住滑動塊，第二晶舟裝載保護裝置定位桿上的卡位凸起抵住滑動塊上的卡位塊。
[0009]本發(fā)明的有益效果為:
采用本發(fā)明的晶片轉(zhuǎn)移裝置，可以有效減少晶片轉(zhuǎn)移過程中造成的人為接觸，人為污染以及掉落破碎等風(fēng)險。晶片轉(zhuǎn)移時，全程采用絕緣材料與晶片點接觸的方式進行轉(zhuǎn)移，完全避免人體與晶片接觸，從根源上避免人為污染。采用雙重晶舟裝載保護裝置，做到只有兩個晶舟同時在裝配載臺上的晶舟定位裝置內(nèi)，才能推動滑動塊，避免了只有一個晶舟在裝配載臺上，不小心觸碰手柄使得裝配支架空推，晶片掉落破碎的情況發(fā)生。不易損失晶片，大幅度提高安全性能。
[0010]防靜電凸塊與支撐塊均呈圓柱體結(jié)構(gòu)，使用時最下方移動的晶片與支撐塊頂部為點接觸，防靜電凸塊在側(cè)面推動晶片時，通過圓柱體結(jié)構(gòu)與晶片側(cè)邊呈點接觸，采用絕緣材料與晶片點接觸的方式進行轉(zhuǎn)移，接觸面小，不易發(fā)生污染。
[0011 ]本專利設(shè)計人性化，操作簡單，定位性高，出錯率低等特點。還可以對大尺寸藍寶石襯底、陶瓷襯底等變通使用，通用性強。
【附圖說明】
[0012]圖1為本發(fā)明主視圖。
[0013]圖2為本發(fā)明俯視圖。
[0014]圖3為本發(fā)明左視圖。
[0015]圖4為本發(fā)明仰視圖。
[0016]圖5為本發(fā)明晶舟裝載保護機構(gòu)示意圖。
[0017]圖6為本發(fā)明第一晶舟裝載保護機構(gòu)非裝配狀態(tài)示意圖。
[0018]圖7為本發(fā)明第二晶舟裝載保護機構(gòu)裝配狀態(tài)示意圖。
[0019]圖8為本發(fā)明第二晶舟裝載保護機構(gòu)非裝配狀態(tài)示意圖。
[0020]圖9為本發(fā)明推片塊俯視圖。
[0021]圖10為本發(fā)明防靜電凸塊裝配示意圖。
[0022]圖11為本發(fā)明杠桿凹槽截面圖。
[0023]圖12為本發(fā)明使用狀態(tài)俯視圖。
【具體實施方式】
[0024]本實施例中具體標號如下:
裝配載臺1、晶舟定位機構(gòu)11、晶片支撐機構(gòu)12、左晶舟定位機構(gòu)111、右晶舟定位機構(gòu)112、上定位塊113、下定位卡塊114、支撐塊121;
推片機構(gòu)2、滑桿21、滑動塊22、手柄23、推送桿24、推片支架25、滑桿孔221、推片塊251、支撐塊252、凹槽26、防靜電凸塊27;
晶舟裝載保護機構(gòu)3、定位杠桿31、弧形桿311、轉(zhuǎn)動軸312、杠桿凹槽32、圓柱體凹槽321、連接桿33、連接桿通孔34、活動鈕35、活動鈕彈簧36、活動鈕凹槽37;
撐腳4、卡位凸起5、卡位塊6、晶片7、目標晶舟8、裝載晶舟9。
[0025]如圖所示一種大尺寸藍寶石晶舟轉(zhuǎn)移裝置，其中，包括裝配載臺1、推片機構(gòu)2及晶舟裝載保護機構(gòu)3，所述裝配載臺I呈方形板體結(jié)構(gòu)，底部四角均設(shè)有撐腳4;所述裝配載臺I上設(shè)有晶舟定位機構(gòu)11和晶片支撐機構(gòu)12，所述晶舟定位機構(gòu)數(shù)量為兩個，包括左晶舟定位機構(gòu)111和右晶舟定位機構(gòu)112，每個晶舟定位機構(gòu)11包括上定位塊113、下定位卡塊114，所述上定位卡塊與下定位卡塊均呈L型結(jié)構(gòu)，所述上、下定位卡塊呈軸對稱設(shè)置;所述左、右晶舟定位機構(gòu)呈對稱設(shè)置;所述晶片支撐機構(gòu)12包括八個支撐塊121，所述支撐塊呈兩排設(shè)置，每排呈橫向設(shè)置4個支撐塊，所述支撐塊呈圓柱體結(jié)構(gòu)，所述支撐塊底部固定在所述裝配載臺上；
所述推片機構(gòu)2包括滑桿21、滑動塊22、手柄23、推送桿24以及推片支架25，所述滑桿數(shù)量為兩個，所述滑桿兩端連接固定在撐腳上，所述兩個滑桿呈平行設(shè)置，所述滑動塊上設(shè)置有兩個滑桿孔221，所述滑桿孔呈圓形結(jié)構(gòu)，所述滑動塊通過所述兩個滑桿貫穿兩個滑桿孔實現(xiàn)滑動塊在滑桿上滑動連接;所述滑動塊一端連接手柄;所述滑動塊一側(cè)連接推送桿，所述推送桿一端連接推片支架，所述推片支架25包括推片塊251以及支撐塊252，所述支撐塊呈倒L型結(jié)構(gòu)，所述支撐塊底部連接推送桿，頂部一側(cè)連接推片塊，所述推片塊呈長方體結(jié)構(gòu)，其一側(cè)底部連接支撐塊，另一側(cè)豎直設(shè)置有兩條凹槽26，所述凹槽26截面呈半圓形結(jié)構(gòu)，所述凹槽26內(nèi)卡接設(shè)置了由聚四氟乙烯構(gòu)成的防靜電凸塊27，所述防靜電凸塊呈圓柱體結(jié)構(gòu)，其大小與凹槽相對應(yīng)； 所述晶舟裝載保護裝置3包括定位杠桿31、杠桿凹槽32、連接桿33、連接桿通孔34、活動鈕35、活動鈕彈簧36以及活動鈕凹槽37;所述杠桿凹槽、連接桿通孔、活動鈕凹槽均位于所述裝配載臺上，所述活動鈕凹槽呈圓柱體凹槽，所述活動凹槽位于所述裝配載臺上表面，所述活動鈕呈圓柱體結(jié)構(gòu)，設(shè)置于所述活動鈕凹槽內(nèi)部，所述活動鈕底部兩側(cè)均連接一個活動鈕彈簧，所述兩個活動鈕彈簧底部連接在活動鈕凹槽底部;所述連接桿通孔為圓形通孔，位于所述活動鈕凹槽下方，呈豎直設(shè)置，所述連接桿為圓柱體結(jié)構(gòu)，頂部連接在所述活動鈕下表面中間位置，底部貫穿連接桿通孔伸入杠桿凹槽;所述杠桿凹槽為長方體凹槽，位于所述裝配載臺下表面，所述連接桿通孔位于所述杠桿凹槽頂部一側(cè);所述杠桿凹槽內(nèi)部兩側(cè)上對稱設(shè)有圓柱體凹槽321，所述定位杠桿31為一體式結(jié)構(gòu)，包括弧形桿311和轉(zhuǎn)動軸312，所述轉(zhuǎn)動軸兩端設(shè)置于所述兩個圓柱體凹槽內(nèi)，所述轉(zhuǎn)動軸連接在所述弧形桿一端邊緣位置，所述弧形桿連接轉(zhuǎn)動軸一側(cè)的頂端與連接桿底部固定連接；
所述晶舟裝載保護裝置數(shù)量為兩個，所述兩個晶舟裝載保護裝置位于所述兩排支撐塊的兩側(cè)，包括第一晶舟裝載保護裝置38，與第二晶舟裝載保護裝置39，所述第二晶舟裝載保護裝置的定位杠桿311尾部設(shè)有卡位凸起5，所述卡位凸起5呈三角形凸起結(jié)構(gòu)，所述推片機構(gòu)2的滑動塊22上設(shè)有卡位塊6，所述卡位塊設(shè)置在所述第二晶舟保護裝置39的定位杠桿一側(cè)。所述撐腳呈圓柱體結(jié)構(gòu)。所述手柄呈圓柱體結(jié)構(gòu)。
[0026]本發(fā)明專利使用過程如下:
將裝有晶片的晶舟和目標晶舟放置在裝配載臺上，裝有晶片的晶舟靠近推片機構(gòu)一偵U，目標裝載晶舟位于另一側(cè)。兩個晶舟均放置在晶舟定位裝置內(nèi)部，晶舟底部貼合裝配載臺，使得晶舟裝載保護裝置中的活動鈕下壓，帶動連接桿向下運動，定位杠桿頂部與連接桿固定一側(cè)向下運動，另一側(cè)項上運動，使得定位杠桿平放，完全位于定位凹槽內(nèi)，此時，工作人員握住手柄將滑動塊移動，滑動塊帶動推送桿及推送支架移動，推送支架將晶片從原來的裝載晶舟推送至目標晶舟內(nèi)部，實現(xiàn)晶片轉(zhuǎn)移。
[0027]轉(zhuǎn)移完成后，將手柄推回初始位置，并將兩個晶舟從裝配載臺上取出，晶舟裝載保護裝置活動鈕通過彈簧的作用力向上運動，帶動連接桿向上運動，定位杠桿頂部與連接桿固定一側(cè)向上運動，另一側(cè)向下運動，使得定位杠桿傾斜，底部伸出定位凹槽內(nèi)，第一晶舟裝載保護裝置的定位杠桿底部抵住滑動塊，第二晶舟裝載保護裝置定位桿上的卡位凸起抵住滑動塊上的卡位塊。
[0028]本發(fā)明的有益效果為:
采用本發(fā)明的晶片轉(zhuǎn)移裝置，可以有效減少晶片轉(zhuǎn)移過程中造成的人為接觸，人為污染以及掉落破碎等風(fēng)險。晶片轉(zhuǎn)移時，全程采用絕緣材料與晶片點接觸的方式進行轉(zhuǎn)移，完全避免人體與晶片接觸，從根源上避免人為污染。采用雙重晶舟裝載保護裝置，做到只有兩個晶舟同時在裝配載臺上的晶舟定位裝置內(nèi)，才能推動滑動塊，避免了只有一個晶舟在裝配載臺上，不小心觸碰手柄使得裝配支架空推，晶片掉落破碎的情況發(fā)生。不易損失晶片，大幅度提高安全性能。
[0029]防靜電凸塊與支撐塊均呈圓柱體結(jié)構(gòu)，使用時最下方移動的晶片與支撐塊頂部為點接觸，防靜電凸塊在側(cè)面推動晶片時，通過圓柱體結(jié)構(gòu)與晶片側(cè)邊呈點接觸，采用絕緣材料與晶片點接觸的方式進行轉(zhuǎn)移，接觸面小，不易發(fā)生污染。
[0030]本專利設(shè)計人性化，操作簡單，定位性高，出錯率低等特點。還可以對大尺寸藍寶石襯底、陶瓷襯底等變通使用，通用性強。
[0031]這里本發(fā)明的描述和應(yīng)用是說明性的，并非想將本發(fā)明的范圍限制在上述實施例中，因此，本發(fā)明不受本實施例的限制，任何采用等效替換取得的技術(shù)方案均在本發(fā)明保護的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種大尺寸藍寶石晶舟轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，包括裝配載臺、推片機構(gòu)及晶舟裝載保護機構(gòu)，所述裝配載臺呈方形板體結(jié)構(gòu)，底部四角均設(shè)有撐腳;所述裝配載臺上設(shè)有晶舟定位機構(gòu)和晶片支撐機構(gòu)，所述晶舟定位機構(gòu)數(shù)量為兩個，包括左，右晶舟定位機構(gòu)，每個晶舟定位機構(gòu)包括上、下定位卡塊，所述上定位卡塊與下定位卡塊均呈L型結(jié)構(gòu)，所述上、下定位卡塊呈軸對稱設(shè)置;所述左、右晶舟定位機構(gòu)呈對稱設(shè)置;所述晶片支撐機構(gòu)包括八個支撐塊，所述支撐塊呈兩排設(shè)置，每排呈橫向設(shè)置4個支撐塊，所述支撐塊呈圓柱體結(jié)構(gòu)，所述支撐塊底部固定在所述裝配載臺上； 所述推片機構(gòu)包括滑桿、滑動塊、手柄、推送桿以及推片支架，所述滑桿數(shù)量為兩個，所述滑桿兩端連接固定在撐腳上，所述兩個滑桿呈平行設(shè)置，所述滑動塊上設(shè)置有兩個滑桿孔，所述滑桿孔呈圓形結(jié)構(gòu)，所述滑動塊通過所述兩個滑桿貫穿兩個滑桿孔實現(xiàn)滑動塊在滑桿上滑動連接;所述滑動塊一端連接手柄;所述滑動塊一側(cè)連接推送桿，所述推送桿一端連接推片支架，所述推片支架包括推片塊以及支撐塊，所述支撐塊呈倒L型結(jié)構(gòu)，所述支撐塊底部連接推送桿，頂部一側(cè)連接推片塊，所述推片塊呈長方體結(jié)構(gòu)，其一側(cè)底部連接支撐塊，另一側(cè)豎直設(shè)置有兩條凹槽，所述凹槽截面呈半圓形結(jié)構(gòu)，所述凹槽內(nèi)卡接設(shè)置了由聚四氟乙烯構(gòu)成的防靜電凸塊，所述防靜電凸塊呈圓柱體結(jié)構(gòu)，其大小與凹槽相對應(yīng)； 所述晶舟裝載保護裝置包括定位杠桿、杠桿凹槽、連接桿、連接桿通孔、活動鈕、活動鈕彈簧以及活動鈕凹槽;所述杠桿凹槽、連接桿通孔、活動鈕凹槽均位于所述裝配載臺上，所述活動鈕凹槽呈圓柱體凹槽，所述活動凹槽位于所述裝配載臺上表面，所述活動鈕呈圓柱體結(jié)構(gòu)，設(shè)置于所述活動鈕凹槽內(nèi)部，所述活動鈕底部兩側(cè)均連接一個活動鈕彈簧，所述兩個活動鈕彈簧底部連接在活動鈕凹槽底部;所述連接桿通孔為圓形通孔，位于所述活動鈕凹槽下方，呈豎直設(shè)置，所述連接桿為圓柱體結(jié)構(gòu)，頂部連接在所述活動鈕下表面中間位置，底部貫穿連接桿通孔伸入杠桿凹槽;所述杠桿凹槽為長方體凹槽，位于所述裝配載臺下表面，所述連接桿通孔位于所述杠桿凹槽頂部一側(cè);所述杠桿凹槽內(nèi)部兩側(cè)上對稱設(shè)有圓柱體形凹槽，所述定位杠桿為一體式結(jié)構(gòu)，包括弧形桿和轉(zhuǎn)動軸，所述轉(zhuǎn)動軸兩端設(shè)置于所述兩個圓柱體凹槽內(nèi)，所述轉(zhuǎn)動軸連接在所述弧形桿一端邊緣位置，所述弧形桿連接轉(zhuǎn)動軸一側(cè)的頂端與連接桿底部固定連接； 所述晶舟裝載保護裝置數(shù)量為兩個，所述兩個晶舟裝載保護裝置位于所述兩排支撐塊的兩側(cè)，包括第一晶舟裝載保護裝置，與第二晶舟裝載保護裝置，所述第二晶舟裝載保護裝置的定位杠桿尾部設(shè)有卡位凸起，所述卡位凸起呈三角形凸起結(jié)構(gòu)，所述推動機構(gòu)的滑動塊上設(shè)有卡位塊，所述卡位塊設(shè)置在所述第二晶舟保護裝置的定位杠桿一側(cè)。2.如權(quán)利要求1所述的一種大尺寸藍寶石晶舟轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述撐腳呈圓柱體結(jié)構(gòu)。3.如權(quán)利要求1所述的一種大尺寸藍寶石晶舟轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述手柄呈圓柱體結(jié)構(gòu)。
【文檔編號】H01L21/677GK106098604SQ201610415671
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年6月15日 公開號201610415671.3, CN 106098604 A, CN 106098604A, CN 201610415671, CN-A-106098604, CN106098604 A, CN106098604A, CN201610415671, CN201610415671.3
【發(fā)明人】楊華, 孫敦陸, 王祿寶
【申請人】江蘇吉星新材料有限公司