一種用于離子注入機的有動密封結構硅片定向裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種半導體器件制造控制系統(tǒng)，特別涉及一種用于離子注入機的有動密封結構硅片定向裝置。
【背景技術】
[0002]隨著半導體工藝的發(fā)展，硅片能否穩(wěn)定的定向?qū)τ趥髌到y(tǒng)、離子注入系統(tǒng)愈發(fā)重要，對注入產(chǎn)品的質(zhì)量、效率和離子注入機的產(chǎn)業(yè)化有著很大的影響。硅片定向裝置在傳片系統(tǒng)和離子注入過程中起到至關重要的作用，硅片定向裝置是片庫、機械手、靶臺之間的媒介，硅片定向裝置定位的準確性與否直接關系到硅片放置靶臺的位置，從而關系到注入工藝的穩(wěn)定程度，同時硅片定向裝置的工作效率直接關系到整個注入工藝的效率，硅片定向裝置在離子注入機中的重要性顯而易見。目前，國內(nèi)對硅片定向裝置方面的研宄還比較少，尚無合適的設備出現(xiàn)，這是因為離子注入機的工作環(huán)境要求在真空室內(nèi)，而真空室往往體積有限，無法容納下常規(guī)定向裝置的的驅(qū)動部分(如驅(qū)動電機等)，設計上遇到了很大困難。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]基于現(xiàn)有技術的不足，本實用新型要解決的問題是提供一種穩(wěn)定高效的用于離子注入機的有動密封結構硅片定向裝置。
[0004]為解決上述技術問題，本實用新型提供一種用于離子注入機的有動密封結構硅片定向裝置，包括工作臺板；設有貫通軸孔的密封組件穿過所述工作臺板，其上端位于真空室內(nèi)，下端位于大氣區(qū)域；旋轉(zhuǎn)軸的中間部分安裝在所述軸孔內(nèi)，旋轉(zhuǎn)軸上端連接有定向圓盤而下端與升降驅(qū)動裝置和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置連接；位于所述工作臺板下方的密封組件部分設有和所述軸孔連通的差分抽氣口 ；所述工作臺板頂面裝有LED燈安裝組件；所述密封組件的上下兩端均設有密封壓蓋；所述軸孔兩端設有用于安裝所述旋轉(zhuǎn)軸的軸套和密封圈，所述密封圈使軸孔與旋轉(zhuǎn)軸之間形成密封。
[0005]作為上述技術方案的進一步改進:
[0006]所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置包括旋轉(zhuǎn)電機、主動輪、從動輪和同步帶；所述旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸上安裝主動輪；所述旋轉(zhuǎn)軸下端安裝從動輪；所述主動輪和從動輪通過同步帶相連接。
[0007]所述升降驅(qū)動裝置包括升降電機和升降臂；所述升降臂的一端和所述升降電機的輸出軸連接，另一端活套在所述旋轉(zhuǎn)軸下端并由轉(zhuǎn)軸臺階限位。
[0008]所述密封組件由依次連接在一起且均設有對應貫通軸孔的上密封座、中密封座和下密封座組成。
[0009]所述密封組件通過法蘭盤和所述工作臺板連接。
[0010]工作時，硅片置于定向圓盤上，升降驅(qū)動裝置中的升降電機的輸出軸旋轉(zhuǎn)一定角度，使升降臂上升或下降，從而通過旋轉(zhuǎn)軸和定向圓盤帶動硅片上下運動；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置中的旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸帶動主動輪旋轉(zhuǎn)，主動輪通過同步帶帶動從動輪旋轉(zhuǎn)，從而通過旋轉(zhuǎn)軸和定向圓盤帶動硅片旋轉(zhuǎn)運動，實現(xiàn)硅片在LED燈安裝組件中的定向。
[0011]密封組件的主要起密封作用和對旋轉(zhuǎn)軸的運動起導向作用。如圖6所示工作臺板上側為高真空區(qū)域，下側為大氣、部分區(qū)域為低真空區(qū)域。旋轉(zhuǎn)軸在密封組件中做旋轉(zhuǎn)和上下運動時必然會降低高真空區(qū)域的真空度，為了減少旋轉(zhuǎn)軸的運動對整體真空度的影響，密封組件上采用了差分抽氣設計原理，旋轉(zhuǎn)軸在運動過程中在部分區(qū)域產(chǎn)生了較低真空度，為了避免低真空區(qū)域?qū)Ω哒婵諈^(qū)域的影響，在低真空區(qū)域設計了差分抽氣口，利用差分抽氣泵對低真空區(qū)域進行抽氣，建立高真空，從而減小旋轉(zhuǎn)軸運動對高真空的影響。三個密封座的設計方便了安裝。
[0012]本實用新型將較大體積的驅(qū)動裝置安裝在真空室外，通過密封組件保證真空室內(nèi)的真空度基本不受影響，解決了行業(yè)內(nèi)一直以來的設計難題。
[0013]本實用新型能夠穩(wěn)定高效地實現(xiàn)硅片定位，是離子注入機中傳片、注入不可缺少的裝置，是低能大束流離子注入裝備中的關鍵裝置之一。
[0014]下面結合附圖詳細說明本實用新型，其作為本說明書的一部分，通過實施例來說明本實用新型的原理，本實用新型的其他方面、特征及其優(yōu)點通過該詳細說明將會變得一目了然。
【附圖說明】
[0015]構成本實用新型的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。
[0016]圖1為本實用新型的整體結構示意圖；
[0017]圖2為本實用新型底部的結構示意圖；
[0018]圖3為本實用新型中升降驅(qū)動裝置1、旋轉(zhuǎn)軸3、密封組件5和定向圓盤4的組合示意圖；
[0019]圖4為本實用新型中旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置2、旋轉(zhuǎn)軸3、密封組件5的組合示意圖；
[0020]圖5為本實用新型中LED燈安裝組件6的結構示意圖；
[0021]圖6本實用新型中密封組件5的剖面圖。
[0022]圖1-6中附圖標記的對應關系為:
[0023]1-升降驅(qū)動裝置；2_旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置；3_旋轉(zhuǎn)軸；4_定向圓盤；5_密封組件；6_LED燈安裝組件；7_工作臺板；8_差分抽氣口 ；9_旋轉(zhuǎn)電機；10_主動輪；11_從動輪；12_同步帶；13_密封壓蓋；14_上密封座；15_中密封座；16_下密封座；17_軸套；18_密封圈；19-升降電機；20_升降臂；21_法蘭盤；22_轉(zhuǎn)軸臺階。
【具體實施方式】
[0024]需要說明的是，在不沖突的情況下，本實用新型中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結合實施例來詳細說明本實用新型。為敘述方便，下文中如出現(xiàn)“上”、“下”、“左”、“右”字樣，僅表示與附圖本身的上、下、左、右方向一致，并不對結構起限定作用。
[0025]如圖1-6所示，本實施例的用于離子注入機的有動密封結構硅片定向裝置，包括工作臺板7 ;設有貫通軸孔的密封組件5穿過工作臺板7，其上端位于真空室內(nèi)，下端位于大氣區(qū)域；旋轉(zhuǎn)軸3的中間部分安裝在軸孔內(nèi)，旋轉(zhuǎn)軸3上端連接有定向圓盤4而下端與升降驅(qū)動裝置I和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置2連接；位于工作臺板7下方的密封組件5部分設有和軸孔連通的差分抽氣口 8 ;工作臺板7頂面裝有LED燈安裝組件6 ;密封組件5的上下兩端均設有密封壓蓋13 ;軸孔兩端設有用于安裝旋轉(zhuǎn)軸3的軸套17和密封圈18，密封圈18使軸孔與旋轉(zhuǎn)軸3之間形成密封。
[0026]旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置2包括旋轉(zhuǎn)電機9、主動輪10、從動輪11和同步帶12 ;旋轉(zhuǎn)電機9的輸出軸上安裝主動輪10 ;旋轉(zhuǎn)軸3下端安裝從動輪11 ;主動輪10和從動輪11通過同步帶12相連接。
[0027]升降驅(qū)動裝置I包括升降電機19和升降臂20 ;升降臂20的一端和升降電機19的輸出軸連接，另一端活套在旋轉(zhuǎn)軸3下端并由轉(zhuǎn)軸臺階22限位。
[0028]密封組件5由依次連接在一起且均設有對應貫通軸孔的上密封座14、中密封座15和下密封座16組成。
[0029]密封組件5通過法蘭盤21和工作臺板7連接。
[0030]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權項】
1.一種用于離子注入機的有動密封結構硅片定向裝置，其特征在于:包括工作臺板(7);設有貫通軸孔的密封組件(5)穿過所述工作臺板(7)，其上端位于真空室內(nèi)，下端位于大氣區(qū)域；旋轉(zhuǎn)軸(3)的中間部分安裝在所述軸孔內(nèi)，旋轉(zhuǎn)軸(3)上端連接有定向圓盤(4)而下端與升降驅(qū)動裝置(I)和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置(2)連接；位于所述工作臺板(7)下方的密封組件(5)部分設有和所述軸孔連通的差分抽氣口(8);所述工作臺板(7)頂面裝有LED燈安裝組件(6);所述密封組件(5)的上下兩端均設有密封壓蓋(13);所述軸孔兩端設有用于安裝所述旋轉(zhuǎn)軸(3)的軸套(17)和密封圈(18)，所述密封圈(18)使軸孔與旋轉(zhuǎn)軸(3)之間形成密封。
2.根據(jù)權利要求1所述的用于離子注入機的有動密封結構硅片定向裝置，其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置(2)包括旋轉(zhuǎn)電機(9)、主動輪(10)、從動輪(11)和同步帶(12);所述旋轉(zhuǎn)電機(9)的輸出軸上安裝主動輪(10);所述旋轉(zhuǎn)軸(3)下端安裝從動輪(11);所述主動輪(10)和從動輪(11)通過同步帶(12)相連接。
3.根據(jù)權利要求1所述的用于離子注入機的有動密封結構硅片定向裝置，其特征在于:所述升降驅(qū)動裝置(I)包括升降電機(19)和升降臂(20);所述升降臂(20)的一端和所述升降電機(19)的輸出軸連接，另一端活套在所述旋轉(zhuǎn)軸(3)下端并由轉(zhuǎn)軸臺階(22)限位。
4.根據(jù)權利要求1所述的用于離子注入機的有動密封結構硅片定向裝置，其特征在于:所述密封組件(5)由依次連接在一起且均設有對應貫通軸孔的上密封座(14)、中密封座(15)和下密封座(16)組成。
5.根據(jù)權利要求1所述的用于離子注入機的有動密封結構硅片定向裝置，其特征在于:所述密封組件(5)通過法蘭盤(21)和所述工作臺板(7)連接。
【專利摘要】本實用新型提出了一種用于離子注入機的有動密封結構硅片定向裝置，包括工作臺板；設有貫通軸孔的密封組件穿過所述工作臺板，其上端位于真空室內(nèi)，下端位于大氣區(qū)域；旋轉(zhuǎn)軸的中間部分安裝在所述軸孔內(nèi)，旋轉(zhuǎn)軸上端連接有定向圓盤而下端與升降驅(qū)動裝置和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置連接；位于所述工作臺板下方的密封組件部分設有和所述軸孔連通的差分抽氣口；所述工作臺板頂面裝有LED燈安裝組件；所述密封組件的上下兩端均設有密封壓蓋；本實用新型將較大體積的驅(qū)動裝置安裝在真空室外，通過密封組件保證真空室內(nèi)的真空度基本不受影響，解決了行業(yè)內(nèi)一直以來的設計難題。
【IPC分類】H01J37-20, H01L21-68, H01J37-317
【公開號】CN204271036
【申請?zhí)枴緾N201420619232
【發(fā)明人】武文杰
【申請人】北京中科信電子裝備有限公司
【公開日】2015年4月15日
【申請日】2014年10月24日