改進(jìn)的移載機(jī)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型系有關(guān)于一種改進(jìn)的移載機(jī)構(gòu)，尤指一種可藉由Z軸機(jī)構(gòu)、固定板及線性馬達(dá)的組合設(shè)計(jì)，讓線性馬達(dá)的動(dòng)子能隨著Z軸機(jī)構(gòu)沿著固定板進(jìn)行上下動(dòng)作時(shí)同時(shí)進(jìn)行Y軸方向動(dòng)作，進(jìn)而具有大幅提升Y軸移動(dòng)速度及收斂性等效果，而適用于精密晶圓作業(yè)機(jī)臺(tái)、半導(dǎo)體芯片搬運(yùn)作業(yè)機(jī)臺(tái)或類似的結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]由于科技產(chǎn)品日新月異的發(fā)展下，其科技產(chǎn)品也開始進(jìn)行功能整合，而使得科技產(chǎn)品中所需求的半導(dǎo)體芯片或晶圓也越來越精密化。
[0003]在半導(dǎo)體芯片或晶圓制作過程中，大都仰賴移載機(jī)構(gòu)來將半導(dǎo)體芯片或晶圓進(jìn)行動(dòng)作移轉(zhuǎn)。而習(xí)知的移載機(jī)構(gòu)，如圖1所示，在線性馬達(dá)A((定子Al及動(dòng)子A2))的應(yīng)用上，其線性馬達(dá)A的動(dòng)子A2是與Z軸機(jī)構(gòu)B的固定背板BI連接，而Z軸機(jī)構(gòu)B的固定背板BI再與Z軸機(jī)構(gòu)B連接，使線性馬達(dá)A的動(dòng)子A2在動(dòng)作時(shí)須背負(fù)著Z軸機(jī)構(gòu)B —起動(dòng)作((如虛線框所示))，因此對(duì)習(xí)知的線性馬達(dá)A ((定子Al及動(dòng)子A2))來說，其線性馬達(dá)A的動(dòng)子A2在其負(fù)載上就會(huì)變得比較吃重，且容易造成動(dòng)力源C需使用較大顆的馬達(dá)(圖未示)才能帶動(dòng)，并在短程動(dòng)作時(shí)，因瞬間速度要求較極速，而有其收斂性較不優(yōu)的現(xiàn)象。
[0004]因此，本發(fā)明人有鑒于上述缺失，期能提出一種能改善線性馬達(dá)負(fù)載重量的移載機(jī)構(gòu)，令使用者可輕易操作組裝，乃潛心研思、設(shè)計(jì)組制，以提供使用者便利性，為本發(fā)明人所欲研創(chuàng)的本實(shí)用新型的動(dòng)機(jī)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型的目的即在于提供一種改進(jìn)的移載機(jī)構(gòu)，藉此，以能大幅提升Y軸移動(dòng)速度及收斂性。
[0006]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為:一種改進(jìn)的移載機(jī)構(gòu)，系包括有Z軸機(jī)構(gòu)、固定板及線性馬達(dá)，其中該線性馬達(dá)系由定子及動(dòng)子所組成，而該線性馬達(dá)的定子系與固定板結(jié)合固定，其特點(diǎn)是，該Z軸機(jī)構(gòu)與固定板之間系活動(dòng)設(shè)置有直立式滑軌組，而該Z軸機(jī)構(gòu)另一側(cè)系與線性馬達(dá)的動(dòng)子之間活動(dòng)設(shè)置有橫向式滑軌組，當(dāng)Z軸機(jī)構(gòu)沿著固定板進(jìn)行上下動(dòng)作，其線性馬達(dá)的動(dòng)子能同時(shí)沿著Z軸機(jī)構(gòu)進(jìn)行Y軸方向的動(dòng)作。
[0007]該Z軸機(jī)構(gòu)系進(jìn)一步與Z軸動(dòng)力馬達(dá)連接，而該Z軸動(dòng)力馬達(dá)系進(jìn)一步外設(shè)于X軸機(jī)臺(tái)上，且該X軸機(jī)臺(tái)系與固定板連接，當(dāng)Z軸機(jī)構(gòu)沿著固定板來進(jìn)行上下動(dòng)作，其Z軸動(dòng)力馬達(dá)不須跟著Z軸機(jī)構(gòu)來上下動(dòng)作。
[0008]該X軸機(jī)臺(tái)上系進(jìn)一步設(shè)有X軸動(dòng)力馬達(dá)，而該X軸機(jī)臺(tái)下方系進(jìn)一步活動(dòng)設(shè)置有滑軌組，且該X軸動(dòng)力馬達(dá)系與X軸機(jī)臺(tái)連接，使X軸動(dòng)力馬達(dá)能輸出動(dòng)力供X軸機(jī)臺(tái)沿著滑軌組來進(jìn)行前后位移動(dòng)作。
[0009]該線性馬達(dá)的定子內(nèi)系進(jìn)一步設(shè)有槽道，而該線性馬達(dá)的動(dòng)子系動(dòng)作于線性馬達(dá)的定子內(nèi)的槽道中，且槽道內(nèi)的深度系大于或等于Z軸機(jī)構(gòu)與固定板之間活動(dòng)設(shè)置的直立式滑軌組的長(zhǎng)度。
[0010]該線性馬達(dá)的動(dòng)子上端內(nèi)部系進(jìn)一步設(shè)有線圈，而線性馬達(dá)的定子系為磁性體，以能產(chǎn)生磁性傳動(dòng)。
[0011]該直立式滑軌組與橫向滑軌組內(nèi)系進(jìn)一步各設(shè)有軌道及槽軌，而該槽軌系嵌合于軌道上，以能進(jìn)行來回移動(dòng)。
[0012]該滑軌組內(nèi)系進(jìn)一步設(shè)有軌道及槽軌，而該槽軌系嵌合于軌道上，以能進(jìn)行來回移動(dòng)。
[0013]本實(shí)用新型具有以下有益技術(shù)效果:
[0014]1、藉由通過Z軸機(jī)構(gòu)、固定板及線性馬達(dá)的組合設(shè)計(jì)，讓線性馬達(dá)的定子能固定不動(dòng)，且該線性馬達(dá)的動(dòng)子能不用再背負(fù)著Z軸機(jī)構(gòu)動(dòng)作，而讓線性馬達(dá)的動(dòng)子能隨著Z軸機(jī)構(gòu)沿著固定板進(jìn)行上下動(dòng)作時(shí)同時(shí)進(jìn)行Y軸方向動(dòng)作，藉此，以能具有大幅提升Y軸移動(dòng)速度及收斂性等效果，進(jìn)而增加整體的實(shí)用性及便利性。
[0015]2、藉由線性馬達(dá)的定子內(nèi)系設(shè)有槽道，而該線性馬達(dá)的動(dòng)子系動(dòng)作于線性馬達(dá)的定子內(nèi)的槽道中，且槽道內(nèi)的深度系大于或等于Z軸機(jī)構(gòu)與固定板之間活動(dòng)設(shè)置的直立式滑軌組的長(zhǎng)度，使線性馬達(dá)的動(dòng)子上端內(nèi)部的線圈在隨著Z軸機(jī)構(gòu)上下動(dòng)作時(shí)皆能維持位于線性馬達(dá)的定子內(nèi)的槽道中，讓線性馬達(dá)的動(dòng)子能具有提升負(fù)載的效能，而增加整體的實(shí)用性及便利性。
【附圖說明】
[0016]圖1系為本實(shí)用新型習(xí)知技術(shù)的線性馬達(dá)作動(dòng)示意圖。
[0017]圖2系為本實(shí)用新型實(shí)施例的線性馬達(dá)動(dòng)作示意圖。
[0018]圖3系為本實(shí)用新型實(shí)施例的立體外觀示意圖。
[0019]圖4系為本實(shí)用新型實(shí)施例的側(cè)面外觀示意圖。
[0020]圖5系為本實(shí)用新型實(shí)施例的Z軸機(jī)構(gòu)與線性馬達(dá)組合連接示意圖。
[0021]符號(hào)說明
[0022]A、線性馬達(dá)
[0023]Al、定子
[0024]A2、動(dòng)子
[0025]B、Z軸機(jī)構(gòu)
[0026]B1、固定背板
[0027]C、動(dòng)力源
[0028]10、Z 軸機(jī)構(gòu)
[0029]11、動(dòng)力源
[0030]111、Z軸動(dòng)力馬達(dá)
[0031]20、固定板
[0032]30、線性馬達(dá)
[0033]31、定子
[0034]311、槽道
[0035]32、動(dòng)子
[0036]40、直立式滑軌組
[0037]50、X 軸機(jī)臺(tái)
[0038]51、置放平臺(tái)
[0039]52、X軸動(dòng)力馬達(dá)
[0040]60、滑軌組
[0041]70、橫向式滑軌組
【具體實(shí)施方式】
[0042]為了能夠更進(jìn)一步了解本實(shí)用新型的特征、特點(diǎn)和技術(shù)內(nèi)容，請(qǐng)參閱以下有關(guān)本實(shí)用新型的詳細(xì)說明與附圖，然而所附圖式僅提供參考與說明用，非用以限制本實(shí)用新型。
[0043]請(qǐng)參閱圖2?圖5，系為本實(shí)用新型實(shí)施例的示意圖，而本實(shí)用新型的改進(jìn)的移載機(jī)構(gòu)的最佳實(shí)施方式系運(yùn)用于精密晶圓作業(yè)機(jī)臺(tái)或半導(dǎo)體芯片搬運(yùn)作業(yè)機(jī)臺(tái)上。且本實(shí)用新型是一種改進(jìn)的移載機(jī)構(gòu)，系包括有Z軸機(jī)構(gòu)10、固定板20及線性馬達(dá)30(如圖2所示)，其中該線性馬達(dá)30系由定子31及動(dòng)子32所組成，而線性馬達(dá)30的定子31系為磁性體，且線性馬達(dá)30的定子31內(nèi)系設(shè)有槽道311，另線性馬達(dá)30的動(dòng)子32上端內(nèi)部則設(shè)有線圈(圖未示)，且線性馬達(dá)30的動(dòng)子32系動(dòng)作于線性馬達(dá)30的定子31內(nèi)的槽道311中，通過磁性傳動(dòng)原理讓線性馬達(dá)30