用于晶圓工藝腔室的移動(dòng)式密封裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體集成電路制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于晶圓工藝腔室的移動(dòng)式密封裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體工藝設(shè)備的發(fā)展，對集成電路晶圓的制造工藝要求也越來越高。在晶圓的工藝過程中，通常會(huì)伴隨著強(qiáng)酸強(qiáng)堿等腐蝕性液體，這些腐蝕性液體如果與金屬元器件相接觸，通常會(huì)對其造成嚴(yán)重的腐蝕，因此，對于晶圓工藝腔室內(nèi)部的微環(huán)境有較高的要求，為了保證一個(gè)良好的內(nèi)部微環(huán)境，需要對晶圓周圍的工藝腔室進(jìn)行密封，以使晶圓與周圍的環(huán)境進(jìn)行隔絕，以避免酸堿等液體腐蝕其他零部件。但是同時(shí)，在機(jī)械手對晶圓進(jìn)行抓取與放置的過程中，又不可避免的會(huì)使工藝腔室與外部環(huán)境連通。為使晶圓在工藝過程中盡可能的減小外部環(huán)境對其的影響，在晶圓放置完畢后，應(yīng)該對工藝腔室進(jìn)行及時(shí)的密封，以保證工藝腔室的工藝要求。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)提供了一種用于晶圓工藝腔室的移動(dòng)式的密封裝置，在機(jī)械手進(jìn)入工藝腔室之前，移動(dòng)式密封裝置滑移到開啟位置，以使機(jī)械手能夠進(jìn)入工藝腔室中對晶圓進(jìn)行抓取與放置，在機(jī)械手退出工藝腔室后，使用該裝置對工藝腔室進(jìn)行及時(shí)密封。
[0004]中國實(shí)用新型專利ZL 201220652756.2提供了一種移動(dòng)式密封裝置，其包括移動(dòng)式密封板、驅(qū)動(dòng)裝置、導(dǎo)軌和導(dǎo)軌滑塊；所述導(dǎo)軌與導(dǎo)軌滑塊連接；所述移動(dòng)式密封板一端與導(dǎo)軌滑塊連接，另一端與驅(qū)動(dòng)裝置連接。中國實(shí)用新型專利ZL 201220653964.2提供了另一種可移動(dòng)式密封裝置，其包括驅(qū)動(dòng)裝置和滑動(dòng)裝置，所述滑動(dòng)裝置包括滑動(dòng)密封板和兩條平行的導(dǎo)軌，所述滑動(dòng)密封板可滑動(dòng)安裝于所述兩條導(dǎo)軌上，所述驅(qū)動(dòng)裝置與所述滑動(dòng)密封板連接，其連接位置在兩條導(dǎo)軌之間。
[0005]可見，上述兩件專利技術(shù)的原理均是在機(jī)械手完成取放片的過程后及時(shí)滑動(dòng)關(guān)閉腔室取放口的密封板而對工藝腔室進(jìn)行密封，一定程度上解決了工藝腔室與外部環(huán)境相隔離的問題。
[0006]然而，這兩個(gè)專利均存在一定的問題:前者采用了滑動(dòng)密封板單側(cè)的驅(qū)動(dòng)方式，會(huì)使密封板受力不均勻，在移動(dòng)過程中容易出現(xiàn)卡死現(xiàn)象。后者雖然將驅(qū)動(dòng)裝置放在密封板的中間位置，一定程度上緩解了卡死問題，但是該滑動(dòng)密封板在晶圓的工藝過程中位于腔室取放口處，晶圓在工藝過程中會(huì)高速旋轉(zhuǎn)，其表面的化學(xué)藥液會(huì)在離心力的作用下四處飛濺，這樣就有可能會(huì)飛濺在滑動(dòng)密封板上，由于滑動(dòng)密封板設(shè)于工藝腔室的外側(cè)，這樣液滴會(huì)沿著滑動(dòng)密封板流出，進(jìn)而腐蝕或污染到腔室外部的零部件，如機(jī)械手傳動(dòng)裝置等。前者專利也有這樣的問題。此外，這兩種專利的技術(shù)方案的滑動(dòng)裝置均采用導(dǎo)軌導(dǎo)向，導(dǎo)軌與軸承之間采用滑動(dòng)摩擦，接觸力較大，工作效率不高，且易卡死、損壞部件。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0007]本實(shí)用新型為了解決上述技術(shù)問題，而提供一種用于晶圓工藝腔室的移動(dòng)式密封裝置，以避免晶圓工藝過程中藥液飛濺到密封板上并沿著密封板流出，從而腐蝕或污染工藝腔室外部的零部件。
[0008]本實(shí)用新型提供一種用于晶圓工藝腔室的移動(dòng)式密封裝置，設(shè)于工藝腔室的晶圓取放口，其包括:
[0009]兩條導(dǎo)軌，分別設(shè)于晶圓取放口的兩側(cè)；
[0010]外滑動(dòng)板，其兩側(cè)與所述兩條導(dǎo)軌相連接，使其沿著導(dǎo)軌上下移動(dòng)；
[0011]內(nèi)滑動(dòng)板，與所述外滑動(dòng)板相固定以隨著外滑動(dòng)板上下移動(dòng)而對晶圓取放口實(shí)現(xiàn)開啟和閉合，且其位于晶圓取放口內(nèi)側(cè)；
[0012]驅(qū)動(dòng)件，與所述外滑動(dòng)板相連，以驅(qū)動(dòng)所述外滑動(dòng)板上下移動(dòng)。
[0013]進(jìn)一步地，所述內(nèi)滑動(dòng)板與外滑動(dòng)板之間具有間隙，以在向下移動(dòng)時(shí)供晶圓取放口的下沿伸入，使所述內(nèi)滑動(dòng)板保持位于晶圓取放口內(nèi)側(cè)。
[0014]進(jìn)一步地，所述內(nèi)滑動(dòng)板與外滑動(dòng)板的上沿相固定。
[0015]進(jìn)一步地，所述外滑動(dòng)板兩側(cè)設(shè)有非封閉環(huán)形結(jié)構(gòu)的線性軸承件，所述兩條導(dǎo)軌邊緣插入所述線性軸承件的環(huán)形結(jié)構(gòu)內(nèi)。
[0016]進(jìn)一步地，所述線性軸承件的環(huán)形結(jié)構(gòu)內(nèi)還設(shè)有可與所述導(dǎo)軌邊緣相接觸的滾輪，使所述線性軸承件與導(dǎo)軌為滾動(dòng)連接。
[0017]進(jìn)一步地，所述外滑動(dòng)板兩側(cè)線性軸承件內(nèi)的滾輪與導(dǎo)軌邊緣之間具有可調(diào)間隙。
[0018]進(jìn)一步地，所述外滑動(dòng)板兩側(cè)具有通孔以穿入螺釘連接所述線性軸承件，所述通孔為橫向長圓形，以供所述螺釘橫向移動(dòng)來調(diào)節(jié)所述線性軸承件內(nèi)滾輪與導(dǎo)軌的間隙。
[0019]進(jìn)一步地，所述驅(qū)動(dòng)件連接于所述外滑動(dòng)板的中間位置。
[0020]進(jìn)一步地，所述驅(qū)動(dòng)件與外滑動(dòng)板通過調(diào)節(jié)塊和連接塊相連，所述調(diào)節(jié)塊固定于外滑動(dòng)板上，所述連接塊分別與調(diào)節(jié)塊以及驅(qū)動(dòng)件相連。
[0021]進(jìn)一步地，所述驅(qū)動(dòng)件具有檢測上下移動(dòng)行程的限位傳感器。
[0022]本實(shí)用新型提供的移動(dòng)式密封裝置，密封性能良好，通過在外滑動(dòng)板內(nèi)側(cè)設(shè)置內(nèi)滑動(dòng)板，在內(nèi)滑動(dòng)板隨著外滑動(dòng)板上下移動(dòng)的過程中，始終位于工藝腔室的晶圓取放口的內(nèi)側(cè)，使得晶圓工藝過程中藥液只能飛濺到內(nèi)滑動(dòng)板上，并沿著內(nèi)滑動(dòng)板流回工藝腔室內(nèi)部，避免藥液流出工藝腔室而對外部的零部件造成腐蝕或污染。
【附圖說明】
[0023]為能更清楚理解本實(shí)用新型的目的、特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)，以下將結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述，其中:
[0024]圖1和圖2是本實(shí)用新型移動(dòng)式密封裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖3是本實(shí)用新型移動(dòng)式密封裝置安裝于工藝腔室晶圓取放口的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖4是本實(shí)用新型移動(dòng)式密封裝置安裝于工藝腔室晶圓取放口的側(cè)視圖；
[0027]圖5是本實(shí)用新型移動(dòng)式密封裝置中外滑動(dòng)板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖6是本實(shí)用新型移動(dòng)式密封裝置中內(nèi)滑動(dòng)板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖7和圖8是本實(shí)用新型移動(dòng)式密封裝置中連接塊的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖9和圖10是本實(shí)用新型移動(dòng)式密封裝置中調(diào)節(jié)塊的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖11是本實(shí)用新型移動(dòng)式密封裝置中導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖12是本實(shí)用新型移動(dòng)式密封裝置中線性軸承件的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖13是本實(shí)用新型移動(dòng)式密封裝置中線性軸承件和導(dǎo)軌的連接示意圖；
[0034]圖14是本實(shí)用新型移動(dòng)式密封裝置中驅(qū)動(dòng)件的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0035]請同時(shí)參閱圖1至圖4，本實(shí)施例中的用于晶圓工藝腔室的移動(dòng)式密封裝置，其設(shè)于工藝腔室2的晶圓取放口 21，其包括:
[0036]兩條導(dǎo)軌11，分別設(shè)于晶圓取放口 21的兩側(cè)；
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