一種力傳感器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及傳感器領(lǐng)域，尤其涉及到一種力傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]傳感器是將外界的力、熱、光、磁等信號轉(zhuǎn)換為可定量的電信號的器件。力傳感器廣泛的應(yīng)用于日常生活、工業(yè)生產(chǎn)等各個領(lǐng)域。常規(guī)的力傳感器，比如，體重計對測量精度要求并不高。但是，像電子器件行業(yè)中的微力傳感，對精度則有很高的要求。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]針對高精度的力傳感器的問題，本實用新型提供一種力傳感器，利用巨磁電阻效應(yīng)實現(xiàn)力的探測，大大提高探測的靈敏度。本實用新型所采取的技術(shù)方案為，一種力傳感器，包括基底、反鐵磁層、下鐵磁層、非磁性層、上鐵磁層，其中，基底為柔性的磁性金屬，反鐵磁層位于基底上，下鐵磁層位于反鐵磁層上，非磁性層位于下鐵磁層上，上鐵磁層位于非磁性層上。
[0004]將上述力傳感器貼到待測物體或器件的表面，當(dāng)有應(yīng)力產(chǎn)生的時候，基底將力傳遞給反鐵磁層、下鐵磁層、非磁性層、上鐵磁層，引起電阻的變化，進(jìn)而實現(xiàn)微力的探測，大大提高探測的靈敏度。
【附圖說明】
[0005]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0006]圖中:I基底、2反鐵磁層、3下鐵磁層、4非磁性層、5上鐵磁層。
【具體實施方式】
[0007]以下結(jié)合附圖實施例對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0008]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，基底1、反鐵磁層2、下鐵磁層3、非磁性層4、上鐵磁層5，其中，基底I為柔性的磁性金屬，反鐵磁層2位于基底I上，下鐵磁層3位于反鐵磁層2上，非磁性層4位于下鐵磁層3上，上鐵磁層5位于非磁性層4上。將上述力傳感器貼到待測物體或器件的表面，當(dāng)有應(yīng)力產(chǎn)生的時候，基底I將力傳遞給反鐵磁層2、下鐵磁層3、非磁性層4、上鐵磁層5，引起電阻的變化，進(jìn)而實現(xiàn)微力的探測，大大提高探測的靈敏度。
[0009]以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本發(fā)明的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還會有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本發(fā)明范圍內(nèi)。本實用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
【主權(quán)項】
1.一種力傳感器，包括基底、反鐵磁層、下鐵磁層、非磁性層、上鐵磁層，其特征在于:所述的基底為柔性的磁性金屬，反鐵磁層位于基底上，下鐵磁層位于反鐵磁層上，非磁性層位于下鐵磁層上，上鐵磁層位于非磁性層上。
【專利摘要】針對高精度的力傳感器的問題，本實用新型提供一種力傳感器，包括基底、反鐵磁層、下鐵磁層、非磁性層、上鐵磁層，其中，基底為柔性的磁性金屬，反鐵磁層位于基底上，下鐵磁層位于反鐵磁層上，非磁性層位于下鐵磁層上，上鐵磁層位于非磁性層上。將上述力傳感器貼到待測物體或器件的表面，當(dāng)有應(yīng)力產(chǎn)生的時候，基底將力傳遞給反鐵磁層、下鐵磁層、非磁性層、上鐵磁層，引起電阻的變化，進(jìn)而實現(xiàn)微力的探測，大大提高探測的靈敏度。
【IPC分類】H01L43-08
【公開號】CN204558534
【申請?zhí)枴緾N201520103327
【發(fā)明人】徐乾龍
【申請人】浙江金旗門業(yè)有限公司
【公開日】2015年8月12日
【申請日】2015年2月11日