一種漏晶檢測裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種檢測裝置，特別是涉及一種漏晶檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]固晶機(jī)一般由取晶固晶裝置、取晶臂轉(zhuǎn)軸和漏晶檢測裝置組成。其中，取晶固晶裝置由吸嘴、取晶臂、真空管和真空發(fā)生器組成。吸嘴安裝在取晶臂上，與真空管的一端連接，真空管的另一端與真空發(fā)生器連接。取晶臂在取晶臂轉(zhuǎn)軸的帶動下，從原點(diǎn)位置運(yùn)動到取晶位置，真空發(fā)生器的電磁閥打開，真空發(fā)生器工作，吸嘴內(nèi)部變成真空，在吸嘴下方由于氣壓差產(chǎn)生空氣吸力，吸嘴吸取晶片，取晶臂運(yùn)動回到原點(diǎn)位置，由漏晶檢測裝置進(jìn)行漏晶檢測后，取晶臂再從原點(diǎn)位置運(yùn)動到固晶位置，電磁閥關(guān)閉，真空發(fā)生器停止工作，吸嘴內(nèi)外氣壓流動，氣壓為零，晶片落入固晶位置，取晶臂再次返回到原點(diǎn)位置，再次進(jìn)行漏晶檢測，向固晶機(jī)發(fā)出取晶移晶成功信號。
[0003]專利申請?zhí)枮?01420063264.7公開的漏晶檢測裝置，設(shè)置了光敏傳感器、反光平面鏡、漏晶檢測燈以及光纖，每次取晶臂經(jīng)過反光平面鏡時做漏晶檢測，該漏晶檢測裝置僅僅根據(jù)取晶臂從取晶位置返回，經(jīng)過反光平面鏡時吸嘴上是否有晶片，以及取晶臂從固晶位置返回，經(jīng)過反光平面鏡時吸嘴上是否沒有晶片來判斷是否有漏晶現(xiàn)象。這種檢測不全面，精度低，原因在于沒有考慮到吸嘴取晶成功后，即經(jīng)過反光平面鏡進(jìn)行了第一次判斷后，從反光平面鏡處高速運(yùn)動至固晶位置的過程中因機(jī)械原因或其它原因晶片掉落，或者在固晶位置晶片還沒掉落，取晶臂就從固晶位置往反光平面鏡方向運(yùn)動，并在運(yùn)動到反光平面鏡前是否會因機(jī)械原因或其它原因晶片掉落，該漏晶檢測裝置根據(jù)第一次判斷吸嘴有晶片，第二次判斷吸嘴沒有晶片，繼而給出取晶成功的信號給固晶機(jī)，而事實上可能出現(xiàn)誤判；該漏晶檢測裝置還存在容易受外界光影響導(dǎo)致檢測結(jié)果失效的問題，且當(dāng)晶片透明度較高時，信號較弱，光敏傳感器會在吸嘴有晶片時判斷為吸嘴沒有晶片，導(dǎo)致漏晶檢測裝置出現(xiàn)誤判。
[0004]漏晶檢測裝置必須準(zhǔn)確無誤地對所有可能的漏晶情況發(fā)出警報，才能提高成品率。后續(xù)的取晶固晶檢測裝置中，在真空管內(nèi)設(shè)置了流量傳感器，流量傳感器連通于吸嘴與真空發(fā)生器，流量傳感器用于檢測氣管內(nèi)的氣流量并輸出電信號，由于不同的晶片所需的真空吸力是不一樣的，所以用于判斷吸嘴上是否有晶片的電信號強(qiáng)弱不同，不能一概而論地給出統(tǒng)一的電信號值來判斷取晶移晶是否成功。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]本實用新型提供一種漏晶檢測裝置，解決現(xiàn)有漏晶檢測裝置檢測精度低的問題。
[0006]本實用新型通過以下技術(shù)方案解決上述問題:
[0007]一種漏晶檢測裝置，由數(shù)字負(fù)壓表和單片機(jī)模塊組成；
[0008]所述數(shù)字負(fù)壓表的輸入端與外部取晶固晶裝置中流量傳感器的輸出端連接；
[0009]所述外部取晶固晶裝置由吸嘴、取晶臂、真空管、流量傳感及真空發(fā)生器組成，所述吸嘴安裝于所述取晶臂的一端，所述取晶臂的另一端與外部取晶臂轉(zhuǎn)軸連接，所述真空管位于取晶臂上方，一端連通吸嘴，另一端連通真空發(fā)生器，所述流量傳感器安裝于真空管內(nèi)，連通于吸嘴和真空發(fā)生器；
[0010]數(shù)字負(fù)壓表的輸出端與單片機(jī)模塊的輸入端連接，單片機(jī)模塊的輸出端與外部取晶固晶裝置的報警電路的控制端連接。
[0011]本實用新型的優(yōu)點(diǎn)與效果是:
[0012]本實用新型使用數(shù)字負(fù)壓表檢測流量傳感器的輸出端的電信號，根據(jù)晶片被吸取所需要的真空吸力設(shè)置一個對照值，通過比對該電信號與對照值來判斷吸嘴是否有晶片，其檢測時間從吸嘴吸取到晶片的瞬間到取晶臂運(yùn)動到固晶位置后再次回到原點(diǎn)位置的瞬間，是一種時間段的檢測，單片機(jī)模塊對這段時間內(nèi)數(shù)字負(fù)壓表輸出端電平的變化做出判斷，給出取晶移晶是否成功的信號，其檢測并不局限在某個固定位置、某個固定時間點(diǎn)進(jìn)行，也不存在受光線、晶體透明度影響的問題，能解決現(xiàn)有漏晶檢測裝置檢測精度低的問題。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)連接圖。
[0014]圖中標(biāo)號為:1、吸嘴；2、取晶臂；3、真空管；4、流量傳感器；5、真空發(fā)生器。
【具體實施方式】
[0015]以下結(jié)合實施例對本實用新型作進(jìn)一步說明，但本實用新型并不局限于這些實施例。
[0016]一種漏晶檢測裝置，由數(shù)字負(fù)壓表和單片機(jī)模塊組成。其中，數(shù)字負(fù)壓表的輸入端與外部取晶固晶裝置中流量傳感器4的輸出端連接；外部取晶固晶裝置由吸嘴1、取晶臂2、真空管3、流量傳感4及真空發(fā)生器5組成，吸嘴I安裝于取晶臂2的一端，取晶臂2的另一端與外部取晶臂轉(zhuǎn)軸連接，真空管3位于取晶臂2上方，一端連通吸嘴I，另一端連通真空發(fā)生器5，所述流量傳感器4安裝于真空管3內(nèi)，連通于吸嘴I和真空發(fā)生器5 ;數(shù)字負(fù)壓表的輸出端與單片機(jī)模塊的輸入端連接，單片機(jī)模塊的輸出端與外部取晶固晶裝置的報警電路的控制端連接。
[0017]流量傳感器4安裝在真空管3內(nèi)，用于感應(yīng)真空管3中的負(fù)氣壓，將其轉(zhuǎn)換為電信號輸出。在取晶固晶裝置中，吸嘴I取晶時，真空管3內(nèi)為負(fù)氣壓，吸嘴I未取晶或取晶后晶片掉落，真空管3內(nèi)氣壓值為零。在零氣壓到負(fù)氣壓的變化過程中，流量傳感器4根據(jù)檢測到的氣壓值，輸出的電信號有一個范圍值，根據(jù)晶片所需真空吸力的不同，電信號中體現(xiàn)取晶或未取晶的電信號的界限點(diǎn)會有所差異。
[0018]數(shù)字負(fù)壓表是一種在線測量儀表，用于體現(xiàn)真空管內(nèi)壓力變化，將流量傳感器輸出端的電信號處理后輸出數(shù)字信號；內(nèi)置自動連鎖和傳感裝置，精度高，誤差< I %，能高質(zhì)量完成漏晶檢測任務(wù)；穩(wěn)定性高，防護(hù)堅固，能適用于復(fù)雜的生產(chǎn)環(huán)境；內(nèi)電源、微功耗，可長期使用。數(shù)字負(fù)壓表通過檢測真空管3內(nèi)壓力變化來判斷吸嘴I上是否吸有晶片，其輸出端為低電平，說明吸嘴I有晶片，為高電平，說明吸嘴I沒有晶片。對于每塊晶片，取晶臂從原點(diǎn)位置到取晶位置，吸嘴吸取晶片后回到原點(diǎn)位置，再從原點(diǎn)位置運(yùn)動到固晶位置，最后從固晶位置回到原點(diǎn)位置，這段時間為一塊晶片的取晶移晶周期。漏晶檢測裝置在取晶臂從吸晶位置回到原點(diǎn)位置，再從原點(diǎn)位置運(yùn)動到固晶位置，最后從固晶位置回到原點(diǎn)位置這段時間內(nèi)進(jìn)行漏晶檢測。
[0019]單片機(jī)模塊在上述檢測時間內(nèi)采集數(shù)字負(fù)壓表的電平變化，并進(jìn)行分析，給出取晶移晶是否成功的信號，并將其傳輸?shù)饺【Ч叹аb置的報警電路。如果在取晶位置電平由高轉(zhuǎn)向低，并在取晶臂從取晶位置運(yùn)動到固晶位置的過程中持續(xù)為低電平，且在固晶位置電平由低轉(zhuǎn)向高，并在取晶臂從固晶位置運(yùn)動回原點(diǎn)位置的過程中電平持續(xù)為高電平，說明取晶移晶成功，單片機(jī)模塊發(fā)送低電平至報警電路，報警電路不工作，否則，發(fā)送高電平，啟動報警電路報警。
[0020]例如，對于某晶片的漏晶檢測，流量傳感器輸出端的電信號為4?20mA，該電流經(jīng)數(shù)字負(fù)壓表處理后，在數(shù)字負(fù)壓表內(nèi)部對應(yīng)產(chǎn)生的數(shù)字信號為O?4，而在進(jìn)行漏晶檢測前，工作人員可根據(jù)晶片所需真空吸力在數(shù)字負(fù)壓表設(shè)置對照值，如2.5，那么，當(dāng)數(shù)字信號在O?2.5時，數(shù)字負(fù)壓表會輸出低電平，數(shù)字信號在2.5?4時，數(shù)字負(fù)壓表會輸出高電平，在檢測時間段內(nèi)，單片機(jī)模塊對吸嘴是否有晶片進(jìn)行多次判斷，并給出取晶移晶是否成功的信號給報警電路，當(dāng)單片機(jī)模塊給出高電平時，說明有漏晶現(xiàn)象，報警電路工作，當(dāng)給出低電平時，說明無漏晶現(xiàn)象，報警電路不工作。
[0021]一種漏晶檢測裝置的檢測方法為:
[0022]I)根據(jù)取晶時晶片所需要的吸力，確定晶片被吸起時所需的負(fù)氣壓值，并設(shè)置數(shù)字負(fù)壓表的對照值，根據(jù)取晶臂2的運(yùn)動軌跡和運(yùn)動速率在單片機(jī)模塊設(shè)置采集時長和采集時間間隔；
[0023]2)取晶臂2在外部取晶臂轉(zhuǎn)軸的驅(qū)動下從原點(diǎn)移動到取晶位置，按照負(fù)氣壓值啟動真空發(fā)生器5，使得真空管3內(nèi)氣壓達(dá)到該負(fù)氣壓值，吸嘴I在空氣壓差的作用下吸取晶片，流量傳感器4感應(yīng)真空管3內(nèi)的負(fù)氣壓，根據(jù)負(fù)氣壓的大小輸出電信號，數(shù)字負(fù)壓表將所述電信號數(shù)字量化，內(nèi)部產(chǎn)生數(shù)字信號，數(shù)字負(fù)壓表將所述數(shù)字信號與對照值比較，若低于對照值，輸出低電平，說明吸嘴I吸取到晶片，若高于對照值，輸出高電平，說明吸嘴I未吸取晶片；
[0024]3)取晶臂2在外部取晶臂轉(zhuǎn)軸的驅(qū)動下從取晶位置往固晶位置移動，移動過程中，若數(shù)字負(fù)壓表的輸出端持續(xù)為低電平，說明晶片未在移動過程中掉落，若出現(xiàn)了高電平，說明晶片在移動過程中掉落；
[0025]4)取晶臂2在外部取晶臂轉(zhuǎn)軸的驅(qū)動下移動到固晶位置，關(guān)閉真空發(fā)生器5，真空管3內(nèi)外氣體流動，吸嘴I處內(nèi)外壓值為零，晶片落入固晶位置，流量傳感器4感應(yīng)真空管3內(nèi)的負(fù)氣壓，根據(jù)氣壓的大小輸出電信號，數(shù)字負(fù)壓表將所述電信號數(shù)字量化，內(nèi)部產(chǎn)生數(shù)字信號，數(shù)字負(fù)壓表將所述數(shù)字信號與對照值比較，若低于對照值，輸出低電平，說明晶片未從吸嘴I掉落，若高于對照值，輸出高電平，說明晶片在移動過程中或在固晶位置已經(jīng)掉落；
[0026]5)取晶臂2在外部取晶臂轉(zhuǎn)軸的驅(qū)動下從固晶位置移動到原點(diǎn)位置的過程中，若數(shù)字負(fù)壓表的輸出端持續(xù)為高電平，說明晶片在移動過程中或在固晶位置已經(jīng)掉落；若出現(xiàn)低電平，說明晶片未從吸嘴I掉落；
[0027]6)單片機(jī)模塊在采集時長內(nèi)按采集時間間隔采集數(shù)字負(fù)壓表輸出端的電平信號，如果在取晶位置電平由高轉(zhuǎn)向低，并在移動過程中持續(xù)為低電平，且在固晶位置電平由低轉(zhuǎn)向高，并在取晶臂2從固晶位置運(yùn)動回原點(diǎn)位置的過程中電平持續(xù)為高電平，說明取晶移晶成功，單片機(jī)模塊發(fā)送低電平至報警電路，報警電路不工作，否則，發(fā)送高電平，啟動報警電路報警。
【主權(quán)項】
1.一種漏晶檢測裝置，其特征在于: 由數(shù)字負(fù)壓表和單片機(jī)模塊組成； 所述數(shù)字負(fù)壓表的輸入端與外部取晶固晶裝置中流量傳感器(4)的輸出端連接； 所述外部取晶固晶裝置由吸嘴(1)、取晶臂(2)、真空管(3)、流量傳感(4)及真空發(fā)生器(5)組成，所述吸嘴(I)安裝于所述取晶臂(2)的一端，所述取晶臂(2)的另一端與外部取晶臂轉(zhuǎn)軸連接，所述真空管(3)位于取晶臂(2)上方，一端連通吸嘴(I)，另一端連通真空發(fā)生器(5)，所述流量傳感器(4)安裝于真空管(3)內(nèi)，連通于吸嘴(I)和真空發(fā)生器(5); 數(shù)字負(fù)壓表的輸出端與單片機(jī)模塊的輸入端連接，單片機(jī)模塊的輸出端與外部取晶固晶裝置的報警電路的控制端連接。
【專利摘要】一種漏晶檢測裝置，由數(shù)字負(fù)壓表和單片機(jī)模塊組成，所述數(shù)字負(fù)壓表的輸入端與外部取晶固晶裝置中流量傳感器的輸出端連接，所述外部取晶固晶裝置由吸嘴、取晶臂、真空管、流量傳感及真空發(fā)生器組成，所述吸嘴安裝于所述取晶臂的一端，所述取晶臂的另一端與外部取晶臂轉(zhuǎn)軸連接，所述真空管位于取晶臂上方，一端連通吸嘴，另一端連通真空發(fā)生器，所述流量傳感器安裝于真空管內(nèi)，連通于吸嘴和真空發(fā)生器。能解決現(xiàn)有漏晶檢測裝置檢測精度低的問題。
【IPC分類】H01L21/67
【公開號】CN204651294
【申請?zhí)枴緾N201520411088
【發(fā)明人】秦年科, 李勇昌, 彭順剛, 朱金華, 鄒波
【申請人】桂林斯壯微電子有限責(zé)任公司
【公開日】2015年9月16日
【申請日】2015年6月15日