配合且形成所述導(dǎo)向通道的滑塊41。本實施例中，滑塊41的形狀為I形，滑槽的形狀為C形。本領(lǐng)域技術(shù)人員也可以將滑塊41的形狀設(shè)置為其他形狀，如T形。
[0036]作為對滑塊41和滑槽安裝位置的變形，可以將滑槽固定安裝在第一轉(zhuǎn)軸I外壁上，將滑塊41固定安裝在固定座內(nèi)壁上。
[0037]作為對滑槽設(shè)置方式的變形，可以將滑槽直接開設(shè)在所述安裝塊42上。
[0038]本實施例中，沿第一轉(zhuǎn)軸I周向在其外壁上設(shè)置有2個滑塊41，在固定座或安裝塊42上設(shè)置2個與滑塊41滑動配合的滑槽。沿第一轉(zhuǎn)軸I周向設(shè)置多個固定結(jié)構(gòu)，能夠更好的對第二轉(zhuǎn)軸2的上下運動進行導(dǎo)向。
[0039]所述滑塊41通過第一緊固結(jié)構(gòu)可拆卸的安裝在所述第一轉(zhuǎn)軸I外側(cè)壁上。第一緊固結(jié)構(gòu)包括設(shè)在所述導(dǎo)向滑軌41上的第一通孔411，與所述第一通孔411相對設(shè)在所述第一轉(zhuǎn)軸I外側(cè)壁上的第一螺紋孔412，以及穿過所述第一通孔411和所述第一螺紋孔412后將所述導(dǎo)向滑軌41固定安裝在所述第一轉(zhuǎn)軸I上的第一螺栓。
[0040]由于滑塊41與滑槽之間經(jīng)常相對滑動，長時間使用后導(dǎo)向精度難免因磨損而降低，此時通過第一緊固結(jié)構(gòu)直接更換滑塊41后整個傳動機構(gòu)可再次使用，能夠避免更換整套傳動機構(gòu)設(shè)備，從而可以節(jié)約成本。將導(dǎo)向結(jié)構(gòu)安裝在第一轉(zhuǎn)軸I外側(cè)壁上，可降低安裝有導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的第一轉(zhuǎn)軸I的高度，使設(shè)備更緊湊，而且將導(dǎo)向結(jié)構(gòu)安裝在第一轉(zhuǎn)軸I外側(cè)壁上，第一轉(zhuǎn)軸I通過導(dǎo)向結(jié)構(gòu)施力帶動擺臂3轉(zhuǎn)動的力臂較短，驅(qū)動更有效率。
[0041]如圖5所示，固定座包括與所述擺臂3的一端固定安裝的安裝板31，所述安裝板31上可拆卸的安裝有位于所述第一轉(zhuǎn)軸I兩側(cè)的兩個立板32，所述安裝塊42分別通過第二緊固結(jié)構(gòu)可拆卸的安裝在兩個所述立板32的朝向所述第一轉(zhuǎn)軸I 一側(cè)的側(cè)壁上。
[0042]所述固定結(jié)構(gòu)包括開設(shè)在所述第一轉(zhuǎn)軸I外側(cè)壁上并與所述安裝通孔11連通的軸向缺口 12 ;設(shè)在所述安裝板31朝向所述軸向缺口 12—側(cè)的側(cè)壁上并能從所述軸向缺口12伸入所述安裝通孔11內(nèi)部的安裝凸臺33，以及將所述安裝凸臺33固定在所述第一轉(zhuǎn)軸I外側(cè)壁上的固定組件。
[0043]所述固定組件包括設(shè)置在所述第二轉(zhuǎn)軸2外壁上且正對所述軸向缺口 12的第一平面331，設(shè)置在所述安裝凸臺33上且與所述第一平面331正對的第二平面332，設(shè)置在所述第一平面331上的第三螺紋孔51，設(shè)置在第二平面332上的第三通孔52，以及第三螺釘，所述第三螺釘穿過所述第三通孔52和所述第三螺紋孔51后將所述第一平面331和所述第二平面332貼合固定。
[0044]還包括用于將所述第一轉(zhuǎn)軸I可轉(zhuǎn)動的固定安裝在固晶機上的安裝結(jié)構(gòu)，所述安裝結(jié)構(gòu)包括套設(shè)在所述第一轉(zhuǎn)軸I外側(cè)壁上的至少一個軸承6，將所述軸承6固定安裝在所述第一轉(zhuǎn)軸I外側(cè)壁上的第一安裝結(jié)構(gòu)，以及用于將所述軸承6固定安裝在固晶機上的第二安裝結(jié)構(gòu)。
[0045]所述第一安裝結(jié)構(gòu)包括設(shè)在所述第一轉(zhuǎn)軸I外側(cè)壁上且與所述軸承6的內(nèi)圈相互阻擋的第一環(huán)形凸緣13，設(shè)在所述第一轉(zhuǎn)軸I外側(cè)壁上的安裝外螺紋14，以及安裝在所述安裝外螺紋14上的安裝螺母5 ;
[0046]所述安裝螺母5與所述安裝外螺紋14配合連接后能夠向所述第一環(huán)形凸緣13 —側(cè)擠壓所述軸承6內(nèi)圈，從而將所述軸承6內(nèi)圈擠壓固定在所述第一環(huán)形凸緣13和所述安裝螺母15之間。
[0047]所述第二安裝結(jié)構(gòu)包括固定安裝在固晶機上的缸套7，所述缸套7內(nèi)壁上設(shè)有與所述軸承6外圈相互阻擋的第二環(huán)形凸緣71，以及安裝在所述缸套7 —端的固定壓圈8 ;
[0048]所述固定壓圈8安裝在所述缸套7上后，能夠向所述第二環(huán)形凸緣71 一側(cè)擠壓所述軸承6外圈，從而將所述軸承6外圈擠壓固定在所述第二環(huán)形凸緣71和所述固定壓圈8之間。
[0049]上述軸承6可以并排設(shè)置多個。
[0050]使用本實施例的固晶機擺臂傳動機構(gòu)進行固晶作業(yè)的動作過程如下:
[0051]取芯片動作:上下驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動第二轉(zhuǎn)軸2豎直向下移動，通過固定座與第二轉(zhuǎn)軸2連接的擺臂3跟隨第二轉(zhuǎn)軸2從起始位置向下運動，直至擺臂3到達(dá)晶圓盤；擺臂3將位于晶圓盤上的芯片吸附后，上下驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動第二轉(zhuǎn)軸2豎直向上運動，將吸附有芯片的擺臂3重新拉回到起始高度。
[0052]安裝芯片動作:轉(zhuǎn)動驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動第一轉(zhuǎn)軸I轉(zhuǎn)動，并通過導(dǎo)向結(jié)構(gòu)帶動擺臂3轉(zhuǎn)動，直至擺臂3移至固晶區(qū)點的正上方，然后上下驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動第二轉(zhuǎn)軸2向下運動，直至吸附在擺臂3上的芯片與位于固晶區(qū)點上的膠水接觸，擺臂3將芯片安裝在固晶區(qū)點上后，上下驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動第二轉(zhuǎn)軸2向上運動，直至將擺臂3重新拉回到原高度。
[0053]復(fù)位動作:轉(zhuǎn)動驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動第一轉(zhuǎn)軸I轉(zhuǎn)動，進而驅(qū)動擺臂3轉(zhuǎn)動至起始位置，完成復(fù)位。
[0054]顯然，上述實施例僅是為清楚地說明所作的舉例，而并非對實施方式的限定。對于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動。這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見的變化或變動仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護范圍之中。
【主權(quán)項】
1.一種固晶機擺臂傳動機構(gòu)，其特征在于:包括具有軸向的安裝通孔(11)的第一轉(zhuǎn)軸(1)，以及穿設(shè)在所述安裝通孔(11)內(nèi)部的第二轉(zhuǎn)軸(2)，所述第二轉(zhuǎn)軸(2)的外壁與所述安裝通孔(11)的內(nèi)壁之間設(shè)置緩沖間隙(10)，所述第二轉(zhuǎn)軸(2)的底部通過固定結(jié)構(gòu)連接在固定座上，所述固定座的外壁上固定連接擺臂(3)，所述固定座與所述第一轉(zhuǎn)軸(I)的外壁之間形成安裝空間，所述安裝空間內(nèi)設(shè)置導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，所述導(dǎo)向結(jié)構(gòu)具有為所述第二轉(zhuǎn)軸(2 )在所述安裝通孔(11)內(nèi)的上下運動進行導(dǎo)向的導(dǎo)向通道。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固晶機擺臂傳動機構(gòu)，其特征在于:所述導(dǎo)向結(jié)構(gòu)包括固定在所述固定座內(nèi)壁上的滑槽和/或滑塊(41)，以及固定在所述第一轉(zhuǎn)軸(I)的外壁上與所述滑槽和/或滑塊(41)配合且形成所述導(dǎo)向通道的滑塊(41)和/或滑槽。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固晶機擺臂傳動機構(gòu)，其特征在于:所述導(dǎo)向結(jié)構(gòu)包括固定在所述第一轉(zhuǎn)軸(I)外壁上的所述滑塊(41)，以及固定在所述固定座內(nèi)壁上的安裝塊(42)，所述安裝塊(42)上開設(shè)有所述滑槽。4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項所述的固晶機擺臂傳動機構(gòu)，其特征在于:所述導(dǎo)向通道為兩條，兩條所述導(dǎo)向通道對稱設(shè)置在所述第一轉(zhuǎn)軸(I)的徑向兩側(cè)。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的固晶機擺臂傳動機構(gòu)，其特征在于:所述固定座包括與所述擺臂(3)的一端固定的安裝板(31)，所述安裝板(31)上可拆卸的安裝有位于所述第一轉(zhuǎn)軸(I)兩側(cè)的兩個立板(32)，所述安裝塊(42)分別通過第二緊固結(jié)構(gòu)可拆卸的安裝在兩個所述立板(32)的朝向所述第一轉(zhuǎn)軸(I) 一側(cè)的側(cè)壁上。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的固晶機擺臂傳動機構(gòu)，其特征在于:所述固定結(jié)構(gòu)包括開設(shè)在所述第一轉(zhuǎn)軸(I)外側(cè)壁上并與所述安裝通孔(11)連通的軸向缺口( 12 );設(shè)在所述安裝板(31)朝向所述軸向缺口( 12 ) —側(cè)的側(cè)壁上并能從所述軸向缺口( 12 )伸入所述安裝通孔(II)內(nèi)部的安裝凸臺(33)，以及將所述安裝凸臺(33)固定在所述第一轉(zhuǎn)軸(I)外側(cè)壁上的固定組件。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的固晶機擺臂傳動機構(gòu)，其特征在于:所述固定組件包括設(shè)置在所述第二轉(zhuǎn)軸(2)外壁上且正對所述軸向缺口(12)的第一平面(331)，設(shè)置在所述安裝凸臺(33)上且與所述第一平面(331)正對的第二平面(332)，設(shè)置在所述第一平面(331)上的第三螺紋孔(51)，設(shè)置在第二平面(332)上的第三通孔(52)，以及第三螺釘，所述第三螺釘穿過所述第三通孔(52)和所述第三螺紋孔(51)后將所述第一平面(331)和所述第二平面(332)貼合固定。8.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項所述的固晶機擺臂傳動機構(gòu)，其特征在于:還包括用于將所述第一轉(zhuǎn)軸(I)可轉(zhuǎn)動的固定安裝在固晶機上的安裝結(jié)構(gòu)，所述安裝結(jié)構(gòu)包括套設(shè)在所述第一轉(zhuǎn)軸(I)外側(cè)壁上的至少一個軸承(6)，將所述軸承(6)固定安裝在所述第一轉(zhuǎn)軸(I)外側(cè)壁上的第一安裝結(jié)構(gòu)，以及用于將所述軸承(6)固定安裝在固晶機上的第二安裝結(jié)構(gòu)。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的固晶機擺臂傳動機構(gòu)，其特征在于:所述第一安裝結(jié)構(gòu)包括設(shè)在所述第一轉(zhuǎn)軸(I)外側(cè)壁上且與所述軸承(6)的內(nèi)圈相互阻擋的第一環(huán)形凸緣(13)，設(shè)在所述第一轉(zhuǎn)軸(I)外側(cè)壁上的安裝外螺紋(14)，以及安裝在所述安裝外螺紋(14)上的安裝螺母(5);所述安裝螺母(5)與所述安裝外螺紋(14)配合連接后能夠向所述第一環(huán)形凸緣(13)一側(cè)擠壓所述軸承(6)內(nèi)圈，從而將所述軸承(6)內(nèi)圈擠壓固定在所述第一環(huán)形凸緣(13)和所述安裝螺母(15)之間。10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的固晶機擺臂傳動機構(gòu)，其特征在于:所述第二安裝結(jié)構(gòu)包括固定安裝在固晶機上的缸套(7)，所述缸套(7)內(nèi)壁上設(shè)有與所述軸承(6)外圈相互阻擋的第二環(huán)形凸緣(71)，以及安裝在所述缸套(7) —端的固定壓圈(8); 所述固定壓圈(8)安裝在所述缸套(7)上后，能夠向所述第二環(huán)形凸緣(71) —側(cè)擠壓所述軸承(6)外圈，從而將所述軸承(6)外圈擠壓固定在所述第二環(huán)形凸緣(71)和所述固定壓圈(8)之間。
【專利摘要】本實用新型提供一種固晶機擺臂傳動機構(gòu)，包括具有軸向的安裝通孔的第一轉(zhuǎn)軸，穿設(shè)在安裝通孔內(nèi)部的第二轉(zhuǎn)軸，第二轉(zhuǎn)軸的外壁與安裝通孔的內(nèi)壁之間設(shè)置緩沖間隙，第二轉(zhuǎn)軸的底部通過固定結(jié)構(gòu)連接在固定座上，固定座的外壁上固定連接擺臂，固定座與第一轉(zhuǎn)軸的外壁之間形成安裝空間，安裝空間內(nèi)設(shè)置導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，導(dǎo)向結(jié)構(gòu)具有為第二轉(zhuǎn)軸在安裝通孔內(nèi)的上下運動進行導(dǎo)向的導(dǎo)向通道。導(dǎo)向結(jié)構(gòu)為第二轉(zhuǎn)軸在安裝通孔內(nèi)的上下運動進行導(dǎo)向，并在第一轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動時帶動擺臂轉(zhuǎn)動。當(dāng)?shù)谝晦D(zhuǎn)軸通過導(dǎo)向結(jié)構(gòu)帶動擺臂轉(zhuǎn)動時，第二轉(zhuǎn)軸外壁與安裝通孔內(nèi)壁之間不存在偏磨現(xiàn)象，因而第一轉(zhuǎn)軸通過導(dǎo)向結(jié)構(gòu)驅(qū)動擺臂轉(zhuǎn)動的靈敏度很高。
【IPC分類】F16H21/44, H01L21/67
【公開號】CN204696082
【申請?zhí)枴緾N201520245626
【發(fā)明人】徐大林, 楊華
【申請人】徐大林
【公開日】2015年10月7日
【申請日】2015年4月22日