過濾裝置、過濾系統(tǒng)及半導體機臺的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及集成電路制造領(lǐng)域，尤其是一種過濾裝置、過濾系統(tǒng)及半導體機臺O
【背景技術(shù)】
[0002]晶圓的各項制程需要在機臺上的反應腔內(nèi)完成，所述反應腔與一干泵連接，所述反應腔中的廢氣中含有大量的液態(tài)或固態(tài)的制程副產(chǎn)物，這些液態(tài)或固態(tài)的制程副產(chǎn)物會隨著廢氣進入到所述干泵中，導致所述干泵卡死，每年約有25%的所述干泵因為液態(tài)或固態(tài)的制程副產(chǎn)物卡死，造成所述反應腔內(nèi)的晶圓報廢，降低了產(chǎn)品的良率，增加了成本。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的在于提供一種過濾裝置、過濾系統(tǒng)及半導體機臺，已解決現(xiàn)有技術(shù)中泵因制程副產(chǎn)物卡死而失效的問題。
[0004]為了達到上述目的，本實用新型提供了一種過濾裝置、過濾系統(tǒng)及半導體機臺，其中，所述過濾裝置包括:主體結(jié)構(gòu)，所述主體結(jié)構(gòu)的一端設置有進氣口，另一端設置有出氣P ；
[0005]冷凝柱，所述冷凝柱位于所述主體結(jié)構(gòu)內(nèi)；
[0006]過濾網(wǎng)，所述過濾網(wǎng)位于所述冷凝柱和所述主體結(jié)構(gòu)的內(nèi)壁之間，所述過濾網(wǎng)的一端與所述出氣口連接。
[0007]優(yōu)選的，在上述的過濾裝置中，所述過濾裝置還包括一冷凝管，所述冷凝管沿著所述冷凝柱的外壁設置。
[0008]優(yōu)選的，在上述的過濾裝置中，所述冷凝管設置有一進水端和一出水端，所述進水端和所述出水端位于所述主體結(jié)構(gòu)的外部。
[0009]優(yōu)選的，在上述的過濾裝置中，所述冷凝管呈U型裝套于所述冷凝柱的外壁上。
[0010]優(yōu)選的，在上述的過濾裝置中，所述冷凝管呈螺旋狀沿著所述冷凝柱的側(cè)壁設置。
[0011]優(yōu)選的，在上述的過濾裝置中，所述進氣口位于所述主體結(jié)構(gòu)一端的中心，所述出氣口位于所述主體結(jié)構(gòu)的另一端的中心。
[0012]優(yōu)選的，在上述的過濾裝置中，所述主體結(jié)構(gòu)呈柱體形。
[0013]優(yōu)選的，在上述的過濾裝置中，所述冷凝柱的一端與所述進氣口正對，另一端與所述出氣口正對。
[0014]優(yōu)選的，在上述的過濾裝置中，所述進氣口的橫截面呈圓形，所述出氣口的橫截面呈圓形。
[0015]優(yōu)選的，在上述的過濾裝置中，所述進氣口的橫截面呈多邊形，所述出氣口的橫截面呈多邊形。
[0016]本實用新型又提供了一種過濾系統(tǒng)，包括如上所述的過濾裝置，反應腔以及一泵，所述反應腔的出氣口與所述過濾裝置的進氣口連接，所述過濾裝置的出氣口與所述泵的進氣口連接。
[0017]本實用新型更提供了一種半導體機臺，包括如上所述的過濾系統(tǒng)。
[0018]在本實用新型提供的過濾裝置、過濾系統(tǒng)以及半導體機臺中，反應腔中的廢氣從主體結(jié)構(gòu)的進氣口進入到主體結(jié)構(gòu)中，廢氣中的粉塵被過濾網(wǎng)過濾掉，而廢氣中液態(tài)副產(chǎn)物經(jīng)過冷凝柱的冷凝沉積在所述冷凝柱上，降低了廢氣中液態(tài)以及固態(tài)制程副產(chǎn)物的濃度，從而使得進入泵中的氣體更加清潔，降低了所述泵因液態(tài)或者固態(tài)制程副產(chǎn)物卡死而失效的風險，提高了效率和產(chǎn)品良率，降低了成本。
【附圖說明】
[0019]圖1為本實用新型實施例中過濾系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為本實用新型實施例中過濾裝置的剖視圖；
[0021]圖中;101-反應腔;102-過濾裝置;103-泵;
[0022]201-主體結(jié)構(gòu)；202_主體結(jié)構(gòu)的進氣口 ；203_主體結(jié)構(gòu)的出氣口 ；204_冷凝柱；205-過濾網(wǎng)；206_冷凝管；207_進水端；208_出水端。
【具體實施方式】
[0023]下面將結(jié)合示意圖對本實用新型的【具體實施方式】進行詳細的描述。根據(jù)下列描述并結(jié)合權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0024]本實用新型實施例提供了一種過濾系統(tǒng)，如圖1所示，包括:反應腔101、一泵103以及一過濾裝置102，所述反應腔101的出氣口與所述過濾裝置102的進氣口連接，所述反應腔101中含有制程副產(chǎn)物的混合氣體從所述反應腔101的出氣口進入到所述過濾裝置102中，經(jīng)過所述過濾裝置102的過濾，將其中大部分的制程副產(chǎn)物過濾掉，然后大大減少制程副產(chǎn)物含量的氣體從所述過濾裝置102的出氣口進入到所述泵103的進氣口，減少進入所述泵103的氣體中制程副產(chǎn)物的含量，從而減小制程副產(chǎn)物在所述泵103中的沉積，降低所述泵103因制程副產(chǎn)物的沉積而卡死的風險，從而降低所述泵103因制程副產(chǎn)物沉積而失效的風險，提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本。
[0025]其中，如圖2所示，所述過濾裝置102包括:主體結(jié)構(gòu)201，所述主體結(jié)構(gòu)201的一端設置有進氣口 202，另一端設置有出氣口 203，所述反應腔101中的制程副產(chǎn)物濃度較高的廢氣從所述進氣口 202進入到所述主體結(jié)構(gòu)201中，然后從所述出氣口 203離開所述主體結(jié)構(gòu)201。
[0026]所述主體結(jié)構(gòu)201為一柱體，具體的，所述主體結(jié)構(gòu)201的橫截面可以是圓形或者橢圓形，還可以是多邊形。進一步的，所述進氣口 202和所述出氣口 203的橫截面也可以是圓形、橢圓形或者多邊形。只要所述進氣口 202與所述反應腔101的出氣口匹配，所述出氣口 203與所述泵的進氣口匹配即可。
[0027]進一步的，所述主體結(jié)構(gòu)201為一中空結(jié)構(gòu)，且一冷凝柱位204于所述主體結(jié)構(gòu)201內(nèi)，且在所述冷凝柱204的外壁上設置有一冷凝管206，即所述冷凝管206也位于所述主體結(jié)構(gòu)201內(nèi)部。
[0028]所述冷凝管206有一進水端207和一出水端208，所述進水端207和所述出水端208均位于所述主體結(jié)構(gòu)201的外部，所述冷凝管206沿著所述冷凝柱204的外壁設置，具體的，所述冷凝管206可以以U形狀套于所述冷凝柱204的外壁上，即，所述冷凝管206沿著所述冷凝柱204的側(cè)壁設置，經(jīng)