一種自動(dòng)去邊機(jī)用下料裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其是涉及一種自動(dòng)去邊機(jī)用下料裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著電子產(chǎn)品的日益普及和更新，半導(dǎo)體的制造工藝也得到了飛速的發(fā)展，在半導(dǎo)體的制造過程中包含多個(gè)工序，如硅片清洗、制絨等，在上述工序后都需要將硅片裝入專用籃具?，F(xiàn)有技術(shù)中，都習(xí)慣采用人工插片的方式操作，該方式容易出現(xiàn)碎片率高、對(duì)硅片的污染大、效率低等問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]有鑒于此，本實(shí)用新型旨在提出一種自動(dòng)去邊機(jī)用下料裝置，以解決硅片碎片率高、對(duì)硅片的污染大、效率低等問題。
[0004]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0005]—種自動(dòng)去邊機(jī)用下料裝置，包括翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)和溢流槽；所述溢流槽內(nèi)部充滿純水，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和升降機(jī)構(gòu)分別位于溢流槽的兩相鄰?fù)鈧?cè)壁上；所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括水平滾輪組、固定滾輪組和氣缸，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的上部靠近溢流槽的一側(cè)設(shè)有一支撐軸，所述固定滾輪組的一端固定連接在支撐軸上，所述固定滾輪組的另一端以10-60度的傾斜角度伸入溢流槽內(nèi)部，所述水平滾輪組的一端連接在支撐軸上，水平滾輪組的另一端與設(shè)在翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)一側(cè)的所述氣缸連接；所述升降機(jī)構(gòu)包括固定支座、滑動(dòng)架和托料架，所述固定支座位于升降機(jī)構(gòu)底部且與所述溢流槽側(cè)壁固定，所述固定支座上裝有伺服電機(jī)，所述固定支座內(nèi)部有滾珠絲杠，所述伺服電機(jī)提供所述滾珠絲杠傳動(dòng)的動(dòng)力，所述滾珠絲杠上安裝有可上下滑動(dòng)的滑動(dòng)架，所述滑動(dòng)架上部固定有托料架，所述托料架內(nèi)設(shè)有片籃卡槽，所述托料架伸入溢流槽內(nèi)部且位于所述固定滾輪組的正前方。
[0006]進(jìn)一步的，所述水平滾輪組為四組，所述固定滾輪組為三組，所述固定滾輪組連接所述支撐軸的一端嵌入到所述水平滾輪組之間形成的空隙內(nèi)。
[0007]進(jìn)一步的，所述水平滾輪組和固定滾輪組均由滾輪和擋邊組成，滾輪固定于擋邊一側(cè)，可自由旋轉(zhuǎn)。
[0008]進(jìn)一步的，所述滾輪采用POM材質(zhì)。
[0009]進(jìn)一步的，所述片籃卡槽的傾斜角度與所述固定滾輪組的傾斜角度一致，便于硅片滑入所述片籃卡槽內(nèi)。
[0010]進(jìn)一步的，所述片籃卡槽有5英寸、6英寸和8英寸三種尺寸規(guī)格。
[0011]進(jìn)一步的，所述溢流槽裝有升降機(jī)構(gòu)的一側(cè)內(nèi)壁上焊有滑槽，在所述托料架上安裝有與所述滑槽相對(duì)應(yīng)的滑條。
[0012]進(jìn)一步的，所述滑槽和滑條均采用POM材質(zhì)。
[0013]進(jìn)一步的，所述溢流槽采用PVC材質(zhì)。
[0014]相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型所述的自動(dòng)去邊機(jī)用下料裝置具有以下優(yōu)勢(shì):
[0015](I)翻轉(zhuǎn)架設(shè)計(jì)有POM材質(zhì)的光滑滾輪作為支撐，具有與硅片接觸面積小，表面光滑耐磨，滾動(dòng)滑落的特點(diǎn)，避免了對(duì)硅片的表面劃傷；
[0016](2)片籃半浸于水槽中，硅片滑入片籃槽時(shí)通過水面，起到緩沖作用，避免了對(duì)硅片的損傷；
[0017](3)移動(dòng)架升降采用伺服電機(jī)控制，滾珠絲杠加導(dǎo)軌傳動(dòng)，可以精確控制下降距離，減小誤差。
【附圖說明】
[0018]構(gòu)成本實(shí)用新型的一部分的附圖用來提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0019]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例所述的自動(dòng)去邊機(jī)用下料裝置的俯視圖；
[0020]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例所述的自動(dòng)去邊機(jī)用下料裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]附圖標(biāo)記說明:
[0022]1-翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，11-水平滾輪組，12-固定滾輪組，13-氣缸，2_升降機(jī)構(gòu)，14-支撐軸，21-固定支座，211-伺服電機(jī)，22-滑動(dòng)架，23-托料架，231-滑條，3-溢流槽。
【具體實(shí)施方式】
[0023]需要說明的是，在不沖突的情況下，本實(shí)用新型中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。
[0024]下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來詳細(xì)說明本實(shí)用新型。
[0025]如圖1所示，自動(dòng)去邊機(jī)用下料裝置包括翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)1、升降機(jī)構(gòu)2和溢流槽3，所述溢流槽3為PVC材質(zhì)焊接，工作時(shí)內(nèi)部充滿純水，并使進(jìn)水閥門在一定流量下常開，形成溢流效果，保證雜質(zhì)不沉積，避免玷污硅片；所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)I和升降機(jī)構(gòu)2分別位于溢流槽3的兩相鄰?fù)鈧?cè)壁上。
[0026]如圖2所示，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)I包括水平滾輪組11、固定滾輪組12和氣缸13，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的上部靠近溢流槽的一側(cè)設(shè)有一支撐軸14，所述固定滾輪組12的一端固定連接在支撐軸上14，所述固定滾輪組12的另一端以10-60度的傾斜角度伸入溢流槽3內(nèi)部，所述水平滾輪組11的一端連接在支撐軸14上，水平滾輪組11的另一端與設(shè)在翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)一側(cè)的所述氣缸13連接，提供水平滾輪組11傾斜的動(dòng)力，所述水平滾輪組11的傾斜方向與所述固定滾輪組12的傾斜方向一致且水平滾輪組11的傾斜角度略大于固定滾輪組12的傾斜角度，以保證硅片能順利滑入固定滾輪組12上。
[0027]所述水平滾輪組11為四組，所述固定滾輪組12為三組，所述固定滾輪組12連接所述支撐軸14的一端嵌入到所述水平滾輪組之間形成的空隙內(nèi)，滾輪組由滾輪和擋邊組成，滾輪固定于擋邊一側(cè)，可自由旋轉(zhuǎn)，滾輪材質(zhì)為Ρ0Μ，其強(qiáng)度、剛度高，彈性好，減磨耐磨性好。
[0028]所述升降機(jī)構(gòu)2包括固定支座21、滑動(dòng)架22和托料架23，所述固定支座21位于升降機(jī)構(gòu)2底部，所述固定支座21上裝有伺服電機(jī)211，所述固定支座21內(nèi)部有滾珠絲杠(圖中未標(biāo))，所述伺服電機(jī)211提供所述滾珠絲杠傳動(dòng)的動(dòng)力，所述滾珠絲杠上安裝有可上下滑動(dòng)的滑動(dòng)架22，所述滑動(dòng)架22上部固定有托料架23，所述托料架23內(nèi)設(shè)有5英寸、6英寸和8英寸三種尺寸規(guī)格的片籃卡槽，所述片籃卡槽的傾斜角度與所述固定滾輪組的傾斜角度一致，所述托料架伸入溢流槽3內(nèi)部且位于所述固定滾輪組的正前方，硅片滑入時(shí)的角度與片籃卡槽傾斜角度一致。
[0029]所述溢流槽3裝有升降機(jī)構(gòu)的一側(cè)內(nèi)壁上焊有滑槽(圖中未標(biāo))，在所述托料架23上安裝有與所述滑槽相對(duì)應(yīng)的滑條231，從而使托料架23升降時(shí)沿滑槽方向移動(dòng)，起到導(dǎo)向固定作用，滑槽滑條采用POM材質(zhì)，其強(qiáng)度、剛度高，彈性好，減磨耐磨性好。
[0030]本實(shí)用新型的主要功能是將去邊完成的硅片自動(dòng)插入片籃中，片籃放置于升降機(jī)構(gòu)的托料架中，可通過導(dǎo)軌絲桿傳動(dòng)實(shí)現(xiàn)升降，從而使片籃中的插槽依次移位，以接取翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)滑入的硅片，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)插片的動(dòng)作。
[0031]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種自動(dòng)去邊機(jī)用下料裝置，其特征在于:包括翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)和溢流槽； 所述溢流槽內(nèi)部充滿純水，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和升降機(jī)構(gòu)分別位于溢流槽的兩相鄰?fù)鈧?cè)壁上; 所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括水平滾輪組、固定滾輪組和氣缸，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的上部靠近溢流槽的一側(cè)設(shè)有一支撐軸，所述固定滾輪組的一端固定連接在支撐軸上，所述固定滾輪組的另一端以10-60度的傾斜角度伸入溢流槽內(nèi)部，所述水平滾輪組的一端連接在支撐軸上，水平滾輪組的另一端與設(shè)在翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)一側(cè)的所述氣缸連接； 所述升降機(jī)構(gòu)包括固定支座、滑動(dòng)架和托料架，所述固定支座位于升降機(jī)構(gòu)底部且與所述溢流槽側(cè)壁固定，所述固定支座上裝有伺服電機(jī)，所述固定支座內(nèi)部有滾珠絲杠，所述伺服電機(jī)提供所述滾珠絲杠傳動(dòng)的動(dòng)力，所述滾珠絲杠上安裝有可上下滑動(dòng)的滑動(dòng)架，所述滑動(dòng)架上部固定有托料架，所述托料架內(nèi)設(shè)有片籃卡槽，所述托料架伸入溢流槽內(nèi)部且位于所述固定滾輪組的正前方。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)去邊機(jī)用下料裝置，其特征在于:所述水平滾輪組為四組，所述固定滾輪組為三組，所述固定滾輪組連接所述支撐軸的一端嵌入到所述水平滾輪組之間形成的空隙內(nèi)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動(dòng)去邊機(jī)用下料裝置，其特征在于:所述水平滾輪組和固定滾輪組均由滾輪和擋邊組成，滾輪固定于擋邊一側(cè)，可自由旋轉(zhuǎn)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的自動(dòng)去邊機(jī)用下料裝置，其特征在于:所述滾輪采用POM材質(zhì)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)去邊機(jī)用下料裝置，其特征在于:所述片籃卡槽的傾斜角度與所述固定滾輪組的傾斜角度一致，便于硅片滑入所述片籃卡槽內(nèi)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)去邊機(jī)用下料裝置，其特征在于:所述片籃卡槽有5英寸、6英寸和8英寸三種尺寸規(guī)格。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)去邊機(jī)用下料裝置，其特征在于:所述溢流槽裝有升降機(jī)構(gòu)的一側(cè)內(nèi)壁上焊有滑槽，在所述托料架上安裝有與所述滑槽相對(duì)應(yīng)的滑條。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的自動(dòng)去邊機(jī)用下料裝置，其特征在于:所述滑槽和滑條均采用POM材質(zhì)。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)去邊機(jī)用下料裝置，其特征在于:所述溢流槽采用PVC材質(zhì)。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種自動(dòng)去邊機(jī)用下料裝置，包括翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)和溢流槽，所述溢流槽為PVC材質(zhì)焊接，工作時(shí)內(nèi)部充滿純水，并使進(jìn)水閥門在一定流量下常開，形成溢流效果，保證雜質(zhì)不沉積，避免玷污硅片，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和升降機(jī)構(gòu)分別位于溢流槽的兩相鄰?fù)鈧?cè)壁上，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括水平滾輪組、固定滾輪組和氣缸，所述升降機(jī)構(gòu)包括固定支座、滑動(dòng)架和托料架。本實(shí)用新型所述的自動(dòng)去邊機(jī)用下料裝置有效避免了對(duì)硅片的損傷，工作效率和自動(dòng)化程度高。
【IPC分類】H01L21/67, H01L21/68, H01L21/677
【公開號(hào)】CN204732381
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520460945
【發(fā)明人】靳立輝, 賈弘源, 王國(guó)瑞, 楊明
【申請(qǐng)人】天津中環(huán)半導(dǎo)體股份有限公司
【公開日】2015年10月28日
【申請(qǐng)日】2015年6月30日