一種開啟前開式晶圓盒的工具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及集成電路工藝裝置領(lǐng)域，尤其涉及一種開啟前開式晶圓盒的工具。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體制造工藝對(duì)于生產(chǎn)廠區(qū)有嚴(yán)格的潔凈度要求，因?yàn)榫A對(duì)于污染十分敏感，污染物往往會(huì)造成晶圓的缺陷，從而降低產(chǎn)品合格率，提高制造成本。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，在向各種處理裝置、檢查裝置等搬送晶圓時(shí)，為了減少對(duì)晶圓的污染，通常將待搬送晶圓置于前開式晶圓盒(Front Open Unit Pod，F(xiàn)0UP)中，通過(guò)搬送前開式晶圓盒來(lái)達(dá)到搬送晶圓的目的。
[0003]前開式晶圓盒作為一種搬送晶圓的裝置，是一個(gè)密閉型的容器，通過(guò)門的開啟與關(guān)閉來(lái)取放晶圓。參照附圖，圖1是前開式晶圓盒的示意圖，圖2是開啟前開式晶圓盒的門的鑰匙的示意圖，通過(guò)圖2中的鑰匙將圖1中前開式晶圓盒的門上的栓條調(diào)成水平，即可將門開啟。
[0004]因?yàn)殚_啟前開式晶圓盒的門的鑰匙與前開式晶圓盒分離，因此存在以下兩點(diǎn)不足之處:一是開啟FOUP不方便，F(xiàn)OUP門易脫落；二是鑰匙易丟失，給工作帶來(lái)很多不便。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的局限性，開創(chuàng)性地提供一種開啟前開式晶圓盒的工具，使之能夠方便容易開啟F0UP，解決提供生產(chǎn)部門或涉及工程試驗(yàn)要開啟FOUP的工程師在實(shí)際操作中碰到的問(wèn)題。
[0006]本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案為:
[0007]提供一種開啟前開式晶圓盒的工具，其特征在于，所述前開式晶圓盒設(shè)置有門閂鎖，所述工具包括:
[0008]鑰匙，與所述門閂鎖匹配；
[0009]連接裝置，所述鑰匙可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置于所述連接裝置的一端；
[0010]活動(dòng)把手，設(shè)置于所述連接裝置的另一端，所述活動(dòng)把手通過(guò)所述連接裝置與所述鑰匙連接；以及
[0011 ] 將所述鑰匙插入所述門閂鎖的鎖孔后，通過(guò)握緊所述活動(dòng)把手以利用所述連接裝置驅(qū)動(dòng)所述鑰匙轉(zhuǎn)動(dòng)，以開啟所述前開式晶圓盒。
[0012]優(yōu)選的，上述的開啟前開式晶圓盒的工具，其中，所述連接裝置包括:
[0013]雙導(dǎo)輪，通過(guò)一鋼絲帶與所述活動(dòng)把手連接；
[0014]單導(dǎo)輪，所述鋼絲帶經(jīng)由所述雙導(dǎo)輪通過(guò)所述單導(dǎo)輪與所述鑰匙連接；
[0015]鑰匙托，所述鑰匙固定設(shè)置在所述鑰匙托上，且所述鋼絲帶與所述鑰匙托連接；以及
[0016]通過(guò)握緊所述活動(dòng)把手以利用所述鋼絲帶拉動(dòng)所述鑰匙托來(lái)控制所述鑰匙的轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0017]優(yōu)選的，上述的開啟前開式晶圓盒的工具，其中，所述連接裝置還包括:
[0018]導(dǎo)向塊，所述鋼絲帶通過(guò)所述導(dǎo)向塊與所述雙導(dǎo)輪以及所述單導(dǎo)輪連接；
[0019]導(dǎo)向槽，所述導(dǎo)向塊在所述導(dǎo)向槽內(nèi)上下滑動(dòng)。
[0020]優(yōu)選的，上述的開啟前開式晶圓盒的工具，其中，所述活動(dòng)把手包括:
[0021]伸縮彈簧，當(dāng)緊握所述活動(dòng)把手時(shí)，所述伸縮彈簧通過(guò)所述鋼絲帶拉動(dòng)所述導(dǎo)向塊在所述導(dǎo)向槽內(nèi)向上滑動(dòng)，則所述鋼絲帶拉動(dòng)所述鑰匙托轉(zhuǎn)動(dòng)，以帶動(dòng)所述鑰匙轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0022]優(yōu)選的，上述的開啟前開式晶圓盒的工具，其中，所述連接裝置還包括:
[0023]圓形固定盤，所述鑰匙托固定設(shè)置于所述圓形固定盤上；
[0024]兩個(gè)回位彈簧，分別設(shè)置在所述鑰匙托的兩端，所述回位彈簧的一端與所述鑰匙托固定連接，另一端均固定設(shè)置在所述固定盤的邊緣，以控制所述鑰匙托的轉(zhuǎn)動(dòng)幅度。
[0025]優(yōu)選的，上述的開啟前開式晶圓盒的工具，其中，所述鋼絲帶為不銹鋼材質(zhì)。
[0026]優(yōu)選的，上述的開啟前開式晶圓盒的工具，其中，所述鑰匙為不銹鋼材質(zhì)。
[0027]上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn)或有益效果:本實(shí)用新型的一種開啟前開式晶圓盒的工具，通過(guò)將開啟前開式晶圓盒的鑰匙與控制鑰匙的活動(dòng)把手一體式設(shè)計(jì)，通過(guò)連接裝置將鑰匙與活動(dòng)把手連接，緊握活動(dòng)把手，則連接裝置中的鋼絲帶帶動(dòng)鑰匙轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)開啟前開式晶圓盒，這一方案解決了傳統(tǒng)單獨(dú)的鑰匙易丟失，且開啟前開式晶圓盒之后FOUP門易脫落的問(wèn)題。
【附圖說(shuō)明】
[0028]通過(guò)閱讀參照以下附圖對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型及其特征、外形和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更加明顯。需要注意的是，附圖中并未按照比例繪制相關(guān)部件，重點(diǎn)在于示出本實(shí)用新型的主旨。
[0029]圖1是前開式晶圓盒的示意圖；
[0030]圖2是現(xiàn)有技術(shù)中開啟如開式晶圓盒的鑰匙的不意圖；
[0031]圖3是本實(shí)用新型的一種開啟如開式晶圓盒的工具的不意圖；
[0032]圖4是本實(shí)用新型的連接裝置內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖5是本實(shí)用新型的雙導(dǎo)輪結(jié)構(gòu)示意圖；
[0034]圖6是本實(shí)用新型的單導(dǎo)輪結(jié)構(gòu)示意圖；
[0035]圖7是本實(shí)用新型的鑰匙結(jié)構(gòu)示意圖；
[0036]圖8是本實(shí)用新型的活動(dòng)把手松弛(不需開啟)時(shí)連接裝置內(nèi)部的結(jié)構(gòu)圖；
[0037]圖9是本實(shí)用新型的活動(dòng)把手握緊(開啟)時(shí)連接裝置內(nèi)部的結(jié)構(gòu)圖。
【具體實(shí)施方式】
[0038]下面結(jié)合附圖和具體的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說(shuō)明，但是不作為本實(shí)用新型的限定。
[0039]參照?qǐng)D3以及圖4，本實(shí)用新型的一種開啟前開式晶圓盒的工具，包括活動(dòng)把手1、連接2以及鑰匙3，通過(guò)將鑰匙3插入前開式晶圓盒的門上的門閂鎖內(nèi)并轉(zhuǎn)動(dòng)鑰匙3以使門閂鎖由豎直狀態(tài)變?yōu)樗?，從而開啟前開式晶圓盒的門；連接裝置2的一端連接鑰匙3，控制鑰匙3的轉(zhuǎn)動(dòng)，另一端連接活動(dòng)把手1，通過(guò)活動(dòng)把手I緊握或松弛來(lái)控制鑰匙3的轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0040]結(jié)合參照?qǐng)D4，連接裝置2內(nèi)部，設(shè)置有三角導(dǎo)向塊22，該三角導(dǎo)向塊22在導(dǎo)向槽21內(nèi)滑動(dòng)。三角導(dǎo)向塊22通過(guò)一鋼絲帶27與設(shè)置在活動(dòng)把手I內(nèi)部的伸縮彈簧1