第三層密封圈113，從而保證真空內(nèi)腔室與真空外腔室之間的密封；上端氣管接頭與真空外腔室聯(lián)通，內(nèi)真空腔室上端與外真空腔室上端安裝有第四層密封圈114，保證真空內(nèi)腔室在向下滑動過程中，與外界空氣隔絕，保證密封。
[0027]通過以上構(gòu)思，對于現(xiàn)有技術(shù)均采取單個真空腔室的設(shè)計來說，對于大芯片，吸附面積大，吸力大，頂針頂起時阻力大，易導(dǎo)致大芯片在剝離過程中出現(xiàn)破裂。本實用新型中的內(nèi)外真空腔可實現(xiàn)內(nèi)外真空腔互不干擾，可實現(xiàn)內(nèi)、外真空腔真空壓強的獨立控制；同時通過多層密封設(shè)計配合電磁鐵，可實現(xiàn)內(nèi)、外真空腔的相對滑動。從而可實現(xiàn)真空外腔吸附力大，提供芯片周圍藍膜較大吸附力，真空外腔下降使部分藍膜處于自由狀態(tài)，可有效減小頂針頂起阻力，緩沖向上的沖力，更加有利于剝離。
[0028]按照本實用新型的一個優(yōu)選實施例，所述固定座400如圖1中優(yōu)選呈T型框架結(jié)構(gòu)，并由上部的橫向基座和下部的豎直基座共同組成，其中雙真空腔室100和多頂針機構(gòu)200通過第一通孔沿著豎直方向貫穿安裝于該水平基座，頂針高度檢測部件600在不使用時，可通過第二通孔放置于該水平基座；凸輪旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)300則通過第三通孔沿著水平方向貫穿安裝于該豎直基座。以此方式，能夠從整體結(jié)構(gòu)布局上使其更為緊湊化，并且便于凸輪旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)300與內(nèi)外圈頂針機構(gòu)之間的相互動作及配合。
[0029]作為本實用新型的另一關(guān)鍵組件，所述多頂針機構(gòu)200由同軸安裝且彼此獨立操控的內(nèi)圈頂針機構(gòu)和外圈頂針機構(gòu)共同組成，并且它們沿著豎直方向整體設(shè)置在所述真空內(nèi)腔室170的下部；其中對于內(nèi)圈頂針機構(gòu)而言，它包括內(nèi)圈頂針221、聯(lián)接在該內(nèi)圈頂針221下端的內(nèi)支撐桿222、繼續(xù)聯(lián)接在該內(nèi)支撐桿222下端的內(nèi)圈從動子212 ;對于外圈頂針機構(gòu)而言，它包括均勻分布在所述內(nèi)圈頂針221外周的多個外圈頂針231 (譬如，均勻分布在以該內(nèi)圈頂針為圓心的外圓上)、聯(lián)接在該外圈頂針231下端的外支撐桿232、以及繼續(xù)聯(lián)接在該外支撐桿232下端的外圈從動子211 ;此外，所述內(nèi)圈從動子212和外圈從動子211沿著水平方向并列布置；按照本實用新型的一個優(yōu)選實施例，這些從動子可采用呈倒L型的延伸臂分別從內(nèi)、外支撐桿伸出，然后在其末端裝有譬如呈凸輪結(jié)構(gòu)的從動部件。
[0030]更為具體地，參見圖3，內(nèi)圈頂針組件220同軸安裝在外圈頂針組件230的內(nèi)部，內(nèi)圈頂針組件220由內(nèi)圈頂針221與內(nèi)支撐桿222組成，內(nèi)圈頂針221安裝在內(nèi)支撐桿222頂端。外圈頂針組件230由外圈頂針231與外支撐桿232組成，外圈頂針231安裝在外支撐桿232頂端，外圈頂針231均勻分布在以內(nèi)圈頂針221為中心的外圓上。內(nèi)圈從動子211與內(nèi)圈頂針組件220固連，外圈從動子212與外圈頂針組件230固連，內(nèi)外圈頂針組件220與外圈頂針組件230之間連接有內(nèi)圈復(fù)位彈簧270，外圈頂針組件230與下端外殼250之間連接有外圈復(fù)位彈簧240，并安裝有直線軸承260，減小外圈頂針組件230的滑動阻力；內(nèi)圈從動子211與外圈從動子212并列安裝，與凸輪旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)300的凸輪始終保持接觸；通過凸輪旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)300驅(qū)動內(nèi)圈從動子211，從而帶動內(nèi)圈頂針組件220向上運動，通過內(nèi)圈復(fù)位彈簧270使其恢復(fù)到原位。通過凸輪旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)300驅(qū)動外圈從動子212，從而帶動外圈頂針組件230向上運動，通過外圈復(fù)位彈簧240使其恢復(fù)到原位。限位桿213穿過內(nèi)圈從動子211、外圈從動子212與之滑動連接，保證內(nèi)圈頂針組件220與外圈頂針組件230在軸向滑動過程中不會產(chǎn)生周向滑動。從而實現(xiàn)內(nèi)圈頂針組件220、外圈頂針組件230動作的分別控制，通過凸輪旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)300便可實現(xiàn)動作時序控制。
[0031]作為本實用新型的另一關(guān)鍵組件，所述凸輪旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)300包括沿著水平方向依次布置的驅(qū)動電機310、固定凸輪320、滑動凸輪330和擋塊370，其中該固定凸輪320與驅(qū)動電機310的水平輸出軸固連以受其驅(qū)動，該滑動凸輪330繼續(xù)同軸安裝在固定凸輪320的凸輪軸上，它的左右兩側(cè)分別設(shè)有磁體360并且可相對于所述固定凸輪320發(fā)生軸向滑動；此外，所述固定凸輪320和滑動凸輪330的上端均與所述內(nèi)圈從動子212和外圈從動子211的下端保持平齊；以此方式，當(dāng)需要同時使用內(nèi)、外圈頂針機構(gòu)時，所述滑動凸輪330被撥動至遠離驅(qū)動電機310 —側(cè)并借助其右側(cè)的磁鐵吸附于所述擋塊370，由此與固定凸輪320分別接觸內(nèi)圈從動子212和外圈從動子211，并保持獨立地各自驅(qū)動其向上運動；而當(dāng)僅需要使用內(nèi)圈頂針機構(gòu)時，滑動凸輪330被撥動至靠近驅(qū)動電機310 —側(cè)并借助于左側(cè)的磁鐵吸附于固定凸輪320，由此連同此固定凸輪320 —起接觸內(nèi)圈從動子212，并驅(qū)動其向上運動；換而言之，能夠以更為靈活、便于操控的方式在單頂針與多頂針之間進行切換，與現(xiàn)有技術(shù)均只能單獨實現(xiàn)單頂針或多頂針，難以同時適應(yīng)大小不同芯片的狀況相比，本實用新型可顯著提高對不同規(guī)格和材質(zhì)的芯片的適應(yīng)性，同時配合于雙真空腔的使用，避免芯片在剝離過程中出現(xiàn)破裂，同時提高剝離過程的精度。
[0032]此外，按照本實用新型的一個優(yōu)選實施例，上述凸輪旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)300還可以包括擋片340和傳感器350，其中該擋片340安裝在所述固定凸輪320上并隨其一同發(fā)生旋轉(zhuǎn)，該傳感器350則由所述擋片340而觸發(fā)，由此用于對所述固定凸輪的旋轉(zhuǎn)位置進行實時檢測，進而作為反饋連接主控芯片可以實現(xiàn)凸輪旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)300的往復(fù)運動。
[0033]綜上，本實用新型中通過對其關(guān)鍵組件的結(jié)構(gòu)改進，以及對剝離工藝的過程研究和設(shè)計，相應(yīng)能夠有效實現(xiàn)多頂針的動作時序控制、內(nèi)外真空腔室的運動以及真空壓強的獨立控制，由此實現(xiàn)芯片與藍膜高效剝離，且可以有效降低芯片與藍膜剝離過程中的損傷
[0034]本領(lǐng)域的技術(shù)人員容易理解，以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種面向柔性芯片的多頂針剝離裝置，其特征在于，該多頂針剝離裝置包括固定座、雙真空腔室、多頂針機構(gòu)和凸輪旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)，其中: 所述雙真空腔室由分設(shè)在內(nèi)、外側(cè)的真空內(nèi)腔室和真空外腔室共同組成，它們沿著豎直方向同軸安裝在所述固定座上，并各自配置有氣管接頭來為其提供真空環(huán)境；此外，所述真空內(nèi)腔室還與電磁鐵可上下滑動地連接，由此當(dāng)電磁鐵通電時得以沿著豎直方向向下運動，而當(dāng)電磁鐵斷電時在內(nèi)腔室復(fù)位彈簧的作用向上恢復(fù)原位； 所述多頂針機構(gòu)由同軸安裝且彼此獨立操控的內(nèi)圈頂針機構(gòu)和外圈頂針機構(gòu)共同組成，并且它們沿著豎直方向整體設(shè)置在所述真空內(nèi)腔室的下部；其中對于內(nèi)圈頂針機構(gòu)而言，它包括內(nèi)圈頂針、聯(lián)接在該內(nèi)圈頂針下端的內(nèi)支撐桿、繼續(xù)聯(lián)接在該內(nèi)支撐桿下端的內(nèi)圈從動子；對于外圈頂針機構(gòu)而言，它包括均勻分布在所述內(nèi)圈外側(cè)上的多個外圈頂針、聯(lián)接在該外圈頂針下端的外支撐桿、以及繼續(xù)聯(lián)接在該外支撐桿下端的外圈從動子；此外，所述內(nèi)圈從動子和外圈從動子沿著水平方向并列布置； 所述凸輪旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)包括沿著水平方向依次布置的驅(qū)動電機、固定凸輪、滑動凸輪和擋塊，其中該固定凸輪與所述驅(qū)動電機的水平輸出軸固連以受其驅(qū)動，該滑動凸輪繼續(xù)同軸安裝在所述固定凸輪的凸輪軸上，它的左右兩側(cè)分別設(shè)有磁體并且可相對于所述固定凸輪發(fā)生軸向滑動；此外，所述固定凸輪和滑動凸輪的上端均與所述內(nèi)圈從動子和外圈從動子的下端保持平齊。2.如權(quán)利要求1所述的多頂針剝離裝置，其特征在于，上述多頂針剝離裝置還包括頂針高度檢測部件，該頂針高度檢測部件整體置于所述真空外腔室的上部，并通過與所述多頂針機構(gòu)中的內(nèi)圈頂針和外圈頂針各自的受力情況，來判定這些頂針彼此之間的高度一致性。3.如權(quán)利要求1或2所述的多頂針剝離裝置，其特征在于，所述凸輪旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)還包括擋片和傳感器，其中該擋片安裝在所述固定凸輪上并隨其一同發(fā)生旋轉(zhuǎn)，該傳感器則由所述擋片而觸發(fā)，并用于對所述固定凸輪的旋轉(zhuǎn)位置進行實時檢測。4.如權(quán)利要求3所述的多頂針剝離裝置，其特征在于，對于所述固定凸輪和滑動凸輪而言，它們的配合接觸面均采用截面為矩形的結(jié)構(gòu)。
【專利摘要】本實用新型公開了一種面向柔性芯片的多頂針剝離裝置，包括固定座、雙真空腔室、多頂針機構(gòu)和凸輪旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)，其中：雙真空腔室由分設(shè)在內(nèi)、外側(cè)的真空內(nèi)腔室和真空外腔室共同組成，并且真空內(nèi)腔室還可獨立發(fā)生上下滑動；多頂針機構(gòu)由同軸安裝且彼此獨立操控的內(nèi)外圈頂針機構(gòu)共同組成，它們沿著豎直方向整體設(shè)置在真空內(nèi)腔室下部，并各自包括頂針、支撐架和從動子；凸輪旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)用于實現(xiàn)內(nèi)外圈頂針機構(gòu)上下動作時序的控制，同時實現(xiàn)單頂針與多頂針之間的靈活切換。通過本實用新型，能夠顯著提高剝離的精度和效率，有效降低柔性芯片與藍膜剝離過程中的損傷，同時具備結(jié)構(gòu)緊湊、便于操控、使用方便等特點。
【IPC分類】H01L21/67
【公開號】CN204834579
【申請?zhí)枴緾N201520651013
【發(fā)明人】陳建魁, 徐洲龍, 朱曉輝, 劉慧敏, 黃永安
【申請人】華中科技大學(xué)
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2015年8月26日