一種管式pecvd石墨舟結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型屬于光伏電池設(shè)計(jì)領(lǐng)域，具體設(shè)及一種管式陽(yáng)CVD石墨舟結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002] 近年來(lái)，太陽(yáng)光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，很多國(guó)家開(kāi)始逐漸開(kāi)發(fā)太陽(yáng)能資源，尋求經(jīng)濟(jì)發(fā) 展的新動(dòng)力，在眾多材料的太陽(yáng)能電池中，晶體娃電池工藝和材料發(fā)展逐漸成熟，而且考慮 到自然環(huán)境和對(duì)人體健康的影響，晶體娃太陽(yáng)電池正向著更加環(huán)保的方向邁進(jìn)，可W預(yù)料 晶體娃太陽(yáng)電池今后仍是太陽(yáng)能電池研究的主流方向，現(xiàn)在制約太陽(yáng)能電池發(fā)展的關(guān)鍵問(wèn) 題還是降低成本和提高轉(zhuǎn)換效率。
[0003] 現(xiàn)階段，背純化電池由于其制備流程與現(xiàn)階段標(biāo)準(zhǔn)高度兼容，而廣受業(yè)內(nèi)關(guān)注，背 純化電池由于其前后兩面純化，大幅降低表面復(fù)合，從而提高電池轉(zhuǎn)化效率，由于雙面純化 要求電池兩面都需鍛介質(zhì)膜，而現(xiàn)階段管式PECVD作為當(dāng)前最為成熟的鍛膜方式被廣泛應(yīng) 用于太陽(yáng)能電池鍛膜，管式PECVD裝卸娃片是通過(guò)真空吸筆將娃片吸住，然后貼在石墨舟 片去卡在卡點(diǎn)，受管式PECVD本身結(jié)構(gòu)的限制，兩次鍛膜需要經(jīng)過(guò)四次裝卸，也就是說(shuō)娃片 表面需要與石墨舟接觸四次，使得娃片表面出現(xiàn)擦傷劃痕的幾率大大增加，而且裝卸石墨 舟的人員的手法和熟練度要求極高，然而裝卸過(guò)程中對(duì)娃片表面造成的不同程度損傷，不 僅對(duì)電池外觀造成致命的影響，從而大大降低產(chǎn)線(xiàn)的良品率，而且影響其純化性能，降低成 品的電池效率。
[0004] 故，需要一種新的技術(shù)方案W解決上述問(wèn)題。 【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005] 實(shí)用新型目的：針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題和不足，本實(shí)用新型的目的是提供 一種管式PECVD石墨舟結(jié)構(gòu)，減少鍛膜裝卸電池片過(guò)程中對(duì)娃片表面的摩擦損傷，提高雙 面鍛膜過(guò)程的良品率。
[0006] 技術(shù)方案：本實(shí)用新型公開(kāi)了一種管式PECVD石墨舟結(jié)構(gòu)，包括舟片，所述舟片包 括若干縷空區(qū)域，縷空區(qū)域周?chē)O(shè)有用于卡住娃片的勾點(diǎn)且該縷空區(qū)域的內(nèi)部邊緣面為光 滑面，鍛膜過(guò)程中，娃片緊貼舟片卡在該縷空區(qū)域上，本實(shí)用新型將縷空區(qū)域的內(nèi)部邊緣面 打磨拋光形成光滑面，當(dāng)操作人員在裝卸娃片中，有效降低了娃片與舟片的摩擦系數(shù)，達(dá)到 避免娃片損傷的目的。
[0007] 作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步優(yōu)化，本實(shí)用新型所述的舟片與舟片之間包括陶瓷桿、 舟片隔塊和電極隔塊。
[0008] 作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步優(yōu)化，本實(shí)用新型所述的舟片上沿為圓柱體曲面，在裝 卸娃片過(guò)程中，娃片先與舟片的上沿接觸，將舟片上沿做成圓柱體曲面，通過(guò)減少舟片的粗 糖棱線(xiàn)，從而較大程度的減少對(duì)娃片的損傷，從而提高產(chǎn)品良率和太陽(yáng)能電池效率。
[0009] 作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步優(yōu)化，本實(shí)用新型所述的縷空區(qū)域的內(nèi)部邊緣為圓形倒 角結(jié)構(gòu)，避免娃片在卡入勾點(diǎn)過(guò)程中對(duì)娃片的摩擦及劃傷。
[0010] 作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步優(yōu)化，本實(shí)用新型所述的縷空區(qū)域?yàn)閳A角矩形狀。
[0011] 作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步優(yōu)化，本實(shí)用新型所述的勾點(diǎn)數(shù)目為3個(gè)。
[0012] 作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步優(yōu)化，本實(shí)用新型所述勾點(diǎn)分別位于所述縷空區(qū)域的= 個(gè)方向上，更加穩(wěn)定的卡住娃片。
[0013] 有益效果：本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有W下優(yōu)點(diǎn)：
[0014] 1、本實(shí)用新型采用圓形倒角結(jié)構(gòu)的縷空區(qū)域的內(nèi)部邊緣配合圓柱體曲面的舟片 上沿，較大程度上減少了娃片裝卸過(guò)程中棱邊對(duì)娃片的摩擦從而降低損傷程度。
[0015] 2、本實(shí)用新型提高了雙面太陽(yáng)能電池和背純化太陽(yáng)能電池鍛膜的良率和電池片 背表面和純化膜的質(zhì)量，具有良好的經(jīng)濟(jì)效益。
[0016] 說(shuō)明書(shū)附圖
[0017] 圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018] 圖2為本實(shí)用新型的舟片結(jié)構(gòu)圖；
[0019] 圖3為本實(shí)用新型的舟片上沿示意圖；
[0020] 圖4為本實(shí)用新型的縷空區(qū)域的內(nèi)部邊緣示意圖；
[0021] 1-舟片、11-縷空區(qū)域、12-勾點(diǎn)、111-內(nèi)部邊緣面。
【具體實(shí)施方式】
[0022] W下結(jié)合具體的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，但同時(shí)說(shuō)明本實(shí)用新型的 保護(hù)范圍并不局限于本實(shí)施例的具體范圍，基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù) 人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范 圍。
[0023] 需要說(shuō)明的是，在本實(shí)用新型的描述中，除非另有說(shuō)明，"多個(gè)"的含義是兩個(gè)或兩 個(gè)W上；術(shù)語(yǔ)"上"、"下"、"左"、"右"、"內(nèi)"、"外"、"前端"、"后端"、"頭部"、"尾部"等指示的 方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化 描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、W特定的方位構(gòu)造和操 作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。此外，術(shù)語(yǔ)"第一"、"第二"、"第等僅用于描 述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。 實(shí)施例
[0024] 如圖1所示，本實(shí)施例的一種管式PECVD石墨舟結(jié)構(gòu)，包括舟片1，舟片1與舟片1 之間包括陶瓷桿、舟片隔塊和電極隔塊。
[00巧]參照?qǐng)D2、圖3和圖4,，舟片1包括若干圓角矩形狀的縷空區(qū)域11，縷空區(qū)域11 的=個(gè)方向上各分別設(shè)有用于卡住娃片的=個(gè)勾點(diǎn)12,縷空區(qū)域11的內(nèi)部邊緣面111為呈 圓形倒角的光滑面且舟片1上沿為圓柱體曲面，在裝拆娃片過(guò)程中，圓形倒角結(jié)構(gòu)的縷空 區(qū)域的內(nèi)部邊緣配合圓柱體曲面的舟片上沿，通過(guò)減少舟片的粗糖棱線(xiàn)，從而較大程度的 減少對(duì)娃片的損傷。 陽(yáng)0%] 將同一管式PECVD鍛膜機(jī)臺(tái)由同一人先后使用現(xiàn)有的石墨舟和本實(shí)施例的石墨 舟裝卸娃片，并觀察娃片表面損傷情況，對(duì)比結(jié)果如下表所示：
[0027] 對(duì)比結(jié)果
[0028] 陽(yáng)029] 另外，在雙面電池鍛膜不良片分析發(fā)現(xiàn)，大部分電池片的外觀不良屬于雙面氮化 娃膜劃傷，而本實(shí)施例的石墨舟對(duì)避免電池片減反純化膜劃傷效果顯著。
[0030] 本實(shí)用新型的實(shí)施例是為了示例和描述起見(jiàn)而給出的，而并不是無(wú)遺漏的或者將 本實(shí)用新型限于所公開(kāi)的形式。很多修改和變化對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言是顯而易 見(jiàn)的。選擇和描述實(shí)施例是為了更好說(shuō)明本實(shí)用新型的原理和實(shí)際應(yīng)用，并且使本領(lǐng)域的 普通技術(shù)人員能夠理解本實(shí)用新型從而設(shè)計(jì)適于特定用途的帶有各種修改的各種實(shí)施例。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種管式PECVD石墨舟結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括舟片，所述舟片包括若干鏤空區(qū)域， 所述鏤空區(qū)域周?chē)O(shè)有用于卡住硅片的勾點(diǎn)且該鏤空區(qū)域的內(nèi)部邊緣面為光滑面。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管式PECVD石墨舟結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述舟片與舟片 之間包括陶瓷桿、舟片隔塊和電極隔塊。3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種管式PECVD石墨舟結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述舟片上 沿為圓柱體曲面。4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管式PECVD石墨舟結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述鏤空區(qū)域的 內(nèi)部邊緣為圓形倒角結(jié)構(gòu)。5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管式PECVD石墨舟結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述鏤空區(qū)域?yàn)?圓角矩形狀。6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管式PECVD石墨舟結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述勾點(diǎn)數(shù)目為3 個(gè)。7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種管式PECVD石墨舟結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述勾點(diǎn)分別位 于所述鏤空區(qū)域的不同方向上。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種管式PECVD石墨舟結(jié)構(gòu)，包括舟片，所述舟片包括若干鏤空區(qū)域，鏤空區(qū)域周?chē)O(shè)有用于卡住硅片的勾點(diǎn)且該鏤空區(qū)域的內(nèi)部邊緣面為光滑面，鍍膜過(guò)程中，硅片緊貼舟片卡在該鏤空區(qū)域上，本實(shí)用新型將鏤空區(qū)域的內(nèi)部邊緣面打磨拋光形成光滑面，當(dāng)操作人員在裝卸硅片中，有效降低了硅片與舟片的摩擦系數(shù)，達(dá)到避免硅片損傷的目的。
【IPC分類(lèi)】H01L21/673, H01L31/18
【公開(kāi)號(hào)】CN204857684
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520513292
【發(fā)明人】黃石明, 孫海平, 夏正月, 張斌
【申請(qǐng)人】奧特斯維能源（太倉(cāng)）有限公司
【公開(kāi)日】2015年12月9日
【申請(qǐng)日】2015年7月16日