一種硅片鍍膜用石墨舟的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及硅片鍍膜設(shè)備，特別涉及一種硅片鍍膜用石墨舟。
【背景技術(shù)】
[0002]在光伏行業(yè)內(nèi)，管式PECVD鍍膜工藝要求將硅片將插入石墨舟內(nèi)，通過(guò)石墨舟葉片上的石墨卡點(diǎn)將硅片固定住?？c(diǎn)的設(shè)計(jì)形狀不僅會(huì)對(duì)鍍膜卡點(diǎn)印的大小有影響，也會(huì)因其耐用程度和牢固性進(jìn)而影響鍍膜色差、蹦點(diǎn)的比例。傳統(tǒng)的卡點(diǎn)有兩種:一種是圓形卡點(diǎn)，鍍膜卡點(diǎn)印較大，影響外觀，且長(zhǎng)時(shí)間使用后卡得不牢固，影響色差比例；另一種是菱形卡點(diǎn)，有利于改善色差，但是耐用程度較差。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型的目的是提供一種硅片鍍膜用石墨舟。
[0004]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:一種硅片鍍膜用石墨舟，包括若干依次交錯(cuò)分布的石墨舟片、上電極座、下電極座，所述石墨舟片底部設(shè)有支撐座，所述石墨舟片端部上端設(shè)有上電極隔板，所述石墨舟片端部底端設(shè)有下電極隔板，所述石墨舟片上設(shè)有卡點(diǎn)，至少兩個(gè)所述卡點(diǎn)與被鍍膜的硅片邊緣卡緊；所述卡點(diǎn)包括與所述石墨舟片連接的放置座、設(shè)置于所述放置座兩側(cè)的卡爪，所述卡爪為圓臺(tái)狀且兩側(cè)對(duì)稱設(shè)有一斜面，即所述卡爪側(cè)面由一對(duì)弧面、連接兩條弧面的斜面構(gòu)成。
[0005]上述設(shè)計(jì)中在卡點(diǎn)的卡爪側(cè)面設(shè)置弧面和斜面使得卡點(diǎn)與硅片點(diǎn)接觸，有效減小鍍膜時(shí)產(chǎn)生的卡點(diǎn)印，擴(kuò)大鍍膜面積，外觀看起來(lái)更加均一；卡點(diǎn)與硅片的接觸面為圓潤(rùn)的弧形設(shè)計(jì)，可以降低硅片在插取過(guò)程中產(chǎn)生蹦點(diǎn)的幾率，提高外觀的良率。
[0006]作為本設(shè)計(jì)的進(jìn)一步改進(jìn)，所述石墨舟片設(shè)有放置孔，所述放置座與所述放置孔小間隙配合或過(guò)渡配合，兼顧卡點(diǎn)的安裝便捷性和卡點(diǎn)穩(wěn)定性。
[0007]作為本設(shè)計(jì)的進(jìn)一步改進(jìn)，三個(gè)所述卡點(diǎn)與硅片邊緣卡緊，所述硅片傾斜放置在石墨舟片側(cè)面，所述石墨舟片底面與水平面夾角為3-5°。硅片傾斜，便于卡點(diǎn)與硅片在放置后全接觸，提高硅片穩(wěn)定性，便于放置或拿取硅片。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型在卡點(diǎn)的卡爪側(cè)面設(shè)置弧面和斜面使得卡點(diǎn)與硅片點(diǎn)接觸，有效減小鍍膜時(shí)產(chǎn)生的卡點(diǎn)印，擴(kuò)大鍍膜面積，外觀看起來(lái)更加均一；卡點(diǎn)與硅片的接觸面為圓潤(rùn)的弧形設(shè)計(jì)，可以降低硅片在插取過(guò)程中產(chǎn)生蹦點(diǎn)的幾率，提高外觀的良率。
【附圖說(shuō)明】
[0009]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。
[0010]圖1是本實(shí)用新型的正面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖2是本實(shí)用新型的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖3是本實(shí)用新型的卡點(diǎn)結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖4是本實(shí)用新型的卡點(diǎn)與石墨舟片連接示意圖。
[0014]在圖中1.下電極座，2.上電極座，3.石墨舟片，4.硅片，5.支撐座，6.卡點(diǎn)，7.下電極隔板，8.上電極隔板，9.放置座，10.弧面，11.斜面，12.卡爪，13.放置孔。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面將結(jié)合附圖以及具體實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型，其中的示意性實(shí)施例以及說(shuō)明僅用來(lái)解釋本實(shí)用新型，但并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。
[0016]實(shí)施例:一種硅片4鍍膜用石墨舟，包括若干依次交錯(cuò)分布的石墨舟片3、上電極座2、下電極座1，所述石墨舟片3底部設(shè)有支撐座5，所述石墨舟片3端部上端設(shè)有上電極隔板8，所述石墨舟片3端部底端設(shè)有下電極隔板7，所述石墨舟片3上設(shè)有卡點(diǎn)6，至少兩個(gè)所述卡點(diǎn)6與被鍍膜的硅片4邊緣卡緊；所述卡點(diǎn)6包括與所述石墨舟片3連接的放置座9、設(shè)置于所述放置座9兩側(cè)的卡爪12，所述卡爪12為圓臺(tái)狀且兩側(cè)對(duì)稱設(shè)有一斜面11，即所述卡爪12側(cè)面由一對(duì)弧面10、連接兩條弧面10的斜面11構(gòu)成。
[0017]上述設(shè)計(jì)中在卡點(diǎn)6的卡爪12側(cè)面設(shè)置弧面10和斜面11使得卡點(diǎn)6與硅片4點(diǎn)接觸，有效減小鍍膜時(shí)產(chǎn)生的卡點(diǎn)6印，擴(kuò)大鍍膜面積，外觀看起來(lái)更加均一；卡點(diǎn)6與硅片4的接觸面為圓潤(rùn)的弧形設(shè)計(jì)，可以降低硅片4在插取過(guò)程中產(chǎn)生蹦點(diǎn)的幾率，提高外觀的良率。
[0018]作為本設(shè)計(jì)的進(jìn)一步改進(jìn)，所述石墨舟片3設(shè)有放置孔13，所述放置座9與所述放置孔13小間隙配合或過(guò)渡配合，兼顧卡點(diǎn)6的安裝便捷性和卡點(diǎn)6穩(wěn)定性。
[0019]作為本設(shè)計(jì)的進(jìn)一步改進(jìn)，三個(gè)所述卡點(diǎn)6與硅片4邊緣卡緊，所述硅片4傾斜放置在石墨舟片3側(cè)面，所述石墨舟片3底面與水平面夾角為3-5°。硅片4傾斜，便于卡點(diǎn)6與硅片4在放置后全接觸，提高硅片4穩(wěn)定性，便于放置或拿取硅片4。
[0020]以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專(zhuān)利范圍，凡是利用本實(shí)用新型說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實(shí)用新型的專(zhuān)利保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅片鍍膜用石墨舟，包括若干依次交錯(cuò)分布的石墨舟片、上電極座、下電極座，所述石墨舟片底部設(shè)有支撐座，其特征在于，所述石墨舟片端部上端設(shè)有上電極隔板，所述石墨舟片端部底端設(shè)有下電極隔板，所述石墨舟片上設(shè)有卡點(diǎn)，至少兩個(gè)所述卡點(diǎn)與被鍍膜的硅片邊緣卡緊；所述卡點(diǎn)包括與所述石墨舟片連接的放置座、設(shè)置于所述放置座兩側(cè)的卡爪，所述卡爪為圓臺(tái)狀且兩側(cè)對(duì)稱設(shè)有一斜面，即所述卡爪側(cè)面由一對(duì)弧面、連接兩條弧面的斜面構(gòu)成。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片鍍膜用石墨舟，其特征是，所述石墨舟片設(shè)有放置孔，所述放置座與所述放置孔小間隙配合或過(guò)渡配合。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片鍍膜用石墨舟，其特征是，三個(gè)所述卡點(diǎn)與硅片邊緣卡緊，所述硅片傾斜放置在石墨舟片側(cè)面，所述石墨舟片底面與水平面夾角為3-5°。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及一種硅片鍍膜用石墨舟，包括石墨舟片、上電極座、下電極座，所述石墨舟片底部設(shè)有支撐座，所述石墨舟片端部上端設(shè)有上電極隔板，所述石墨舟片端部底端設(shè)有下電極隔板，所述石墨舟片上設(shè)有卡點(diǎn)，至少兩個(gè)所述卡點(diǎn)與被鍍膜的硅片邊緣卡緊；所述卡點(diǎn)包括與所述石墨舟片連接的放置座、設(shè)置于所述放置座兩側(cè)的卡爪，所述卡爪為圓臺(tái)狀且兩側(cè)對(duì)稱設(shè)有一斜面。本實(shí)用新型在卡點(diǎn)的卡爪側(cè)面設(shè)置弧面和斜面使得卡點(diǎn)與硅片點(diǎn)接觸，有效減小鍍膜時(shí)產(chǎn)生的卡點(diǎn)印，擴(kuò)大鍍膜面積，外觀看起來(lái)更加均一；卡點(diǎn)與硅片的接觸面為圓潤(rùn)的弧形設(shè)計(jì)，可以降低硅片在插取過(guò)程中產(chǎn)生蹦點(diǎn)的幾率，提高外觀的良率。
【IPC分類(lèi)】H01L21/673
【公開(kāi)號(hào)】CN204857687
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520549348
【發(fā)明人】黃勤健, 隆霹顯, 陳志運(yùn), 王世賢, 張華 , 陳清波, 杜教峰
【申請(qǐng)人】張家港國(guó)龍光伏科技有限公司
【公開(kāi)日】2015年12月9日
【申請(qǐng)日】2015年7月28日