一種負壓承載裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種負壓承載裝置。
【背景技術】
[0002]在半導體晶片制作工藝中，固定晶片鍍膜用到的掩膜，是使用螺絲鎖緊的方式來固定的。在濺渡站，需要將掩膜拆卸，每個掩膜上需要用到15顆螺絲，生產人員需要將每顆螺絲用電動扭力螺絲刀拆卸下來。在拆卸時，螺絲間殘存的鐵肩、臟污會對晶片造成污染，造成晶片電性不良，影響晶片整體良率以及廣品品質。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型提供了一種負壓承載裝置，它結構設計合理，使用時將掩膜的拆卸工序放在承載座上進行，承載座上表面形成負壓狀態(tài)，螺絲間殘存的鐵肩、臟污能夠通過吸孔清除，從而保證了產品的質量，維護了生產環(huán)境，解決了現有技術中存在的問題。
[0004]本實用新型為解決上述技術問題所采用的技術方案是:它包括承載座、吸塵分類裝置和抽真空裝置；承載座包括底座，在底座上表面設有凹腔，在凹腔內設有支架，支架將凹腔分隔為若干個凹腔單體，在支架上固連有蓋合凹腔的蓋板，蓋板上密布有若干個與凹腔相連通的吸孔，在承載座一側設有氣體分流器，每個凹腔單體通過第一管路與氣體分流器相連；吸塵分類裝置包括箱體，箱體的頂部開口設置，在箱體頂部設有與其活動連接的箱蓋，在箱體底部設有豎直、平行設置的兩擋板，在兩擋板外側上方的箱體內壁上設有電磁鐵，兩擋板與箱體內壁之間形成鐵肩收集室，兩擋板之間的箱體底部設有出氣孔，在箱蓋上設有進氣孔，進氣孔正對應于兩擋板之間的位置設置，氣體分流器通過第二管路與進氣孔相連；抽真空裝置通過第三管路與出氣孔相連。
[0005]所述承載座底座凹腔的側壁高于蓋板。
[0006]所述支架將凹腔分隔為六個凹腔單體。
[0007]在第三管路上設有控制閥。
[0008]所述吸塵分類裝置的進氣孔設在箱蓋的中部。
[0009]兩擋板以箱體底部中心對稱設置。
[0010]本實用新型采用上述方案，具有以下優(yōu)點:
[0011]1、使用時將掩膜的拆卸工序放在承載座上進行，若干個凹腔單體與承載座蓋板上的若干個吸孔相連通，每個凹腔單體通過第一管路與氣體分流器相連，抽真空裝置產生的負壓經吸塵分類裝置后通過第二管路與氣體分流器相連，這樣便在承載座上表面形成負壓狀態(tài)，螺絲間殘存的鐵肩、臟污能夠通過蓋板上的吸孔清除，從而保證了產品的質量，維護了生產環(huán)境。
[0012]2、氣體分流器的作用為把通過若干個第一管路的氣體經氣體分流器匯集在一起后通過第二管路排出。
[0013]3、被清除的鐵肩、臟污經過凹腔單體、第一管路、氣體分流器、第二管路進入吸塵分類裝置，給電磁鐵通電，當鐵肩、臟污經進氣孔進入箱體時，電磁鐵將鐵肩吸附，臟污將落入兩擋板之間，通過出氣孔、第三管路進入抽真空裝置。當電磁鐵斷電時，被電磁鐵吸附的鐵肩落入兩擋板與箱體內壁之間的鐵肩收集室，從而避免鐵肩對抽真空裝置內部構件的損害，并可回收利用可再生資源，保護了環(huán)境。
[0014]4、承載座底座凹腔的側壁高于蓋板，這樣蓋板與底座凹腔的側壁便形成一凹槽，避免了放置于蓋板上的掩膜由于工人操作時的不小心而跌落。
[0015]5、在第三管路上設有控制閥。通過控制閥可以控制抽真空裝置產生的氣流流量。
【附圖說明】
[0016]圖1為本實用新型的結構示意圖。
[0017]圖2為本實用新型中承載座的剖視結構示意圖。
[0018]圖中，1、底座，2、支架，3、凹腔單體，4、蓋板，5、吸孔，6、氣體分流器，7、第一管路，
8、第二管路，9、箱體，10、箱蓋，11、擋板，12、電磁鐵，13、鐵肩收集室，14、出氣孔，15、進氣孔，16、抽真空裝置，17、第三管路，18、控制閥。
【具體實施方式】
[0019]為能清楚說明本方案的技術特點，下面通過【具體實施方式】，并結合其附圖，對本實用新型進行詳細闡述。
[0020]如圖1?圖2所示，本實用新型包括承載座、吸塵分類裝置和抽真空裝置。承載座包括底座1，在底座1上表面設有凹腔，在凹腔內設有支架2，支架2將凹腔分隔為六個凹腔單體3，在支架2上固連有蓋合凹腔的蓋板4，底座1凹腔的側壁高于蓋板4。蓋板4上密布有若干個與凹腔相連通的吸孔5，在承載座一側設有氣體分流器6，每個凹腔單體3通過第一管路7與氣體分流器6相連。吸塵分類裝置包括箱體9，箱體9的頂部開口設置，在箱體9頂部設有與其活動連接的箱蓋10，在箱體9底部設有豎直、平行設置的兩擋板11，兩擋板11以箱體9底部中心對稱設置，在兩擋板11外側上方的箱體9內壁上設有電磁鐵12，兩擋板11與箱體9內壁之間形成鐵肩收集室13，兩擋板11之間的箱體9底部設有出氣孔14，在箱蓋10上設有進氣孔15，進氣孔15設在箱蓋10的中部，氣體分流器6通過第二管路8與進氣孔15相連。抽真空裝置16通過第三管路17與出氣孔14相連。在第三管路17上設有控制閥18。
[0021]使用時將掩膜的拆卸工序放在承載座上進行，若六個凹腔單體3與承載座蓋板4上的若干個吸孔5相連通，每個凹腔單體3通過第一管路7與氣體分流器6相連，抽真空裝置16產生的負壓經吸塵分類裝置后通過第二管路8與氣體分流器6相連，這樣便在承載座上表面形成負壓狀態(tài)，螺絲間殘存的鐵肩、臟污能夠通過蓋板4上的吸孔5清除，從而保證了產品的質量，維護了生產環(huán)境。
[0022]氣體分流器6的作用為把通過六個第一管路7的氣體經氣體分流器6匯集在一起后通過第二管路8排出。
[0023]被清除的鐵肩、臟污經過凹腔單體3、第一管路7、氣體分流器6、第二管路8進入吸塵分類裝置，給電磁鐵12通電，當鐵肩、臟污經進氣孔15進入箱體9時，電磁鐵12將鐵肩吸附，臟污將落入兩擋板11之間，通過出氣孔14、第三管路17進入抽真空裝置16。當電磁鐵12斷電時，被電磁鐵12吸附的鐵肩落入兩擋板11與箱體9內壁之間的鐵肩收集室13，從而避免鐵肩對抽真空裝置16內部構件的損害，并可回收利用可再生資源，保護了環(huán)境。
[0024]承載座底座1凹腔的側壁高于蓋板4，這樣蓋板4與底座1凹腔的側壁便形成一凹槽，避免了放置于蓋板4上的掩膜由于工人操作時的不小心而跌落。
[0025]在第三管路17上設有控制閥18。通過控制閥18可以控制抽真空裝置16產生的氣流流量。
[0026]上述【具體實施方式】不能作為對本實用新型保護范圍的限制，對于本技術領域的技術人員來說，對本實用新型實施方式所做出的任何替代改進或變換均落在本實用新型的保護范圍內。
[0027]本實用新型未詳述之處，均為本技術領域技術人員的公知技術。
【主權項】
1.一種負壓承載裝置，其特征在于:包括承載座、吸塵分類裝置和抽真空裝置；承載座包括底座，在底座上表面設有凹腔，在凹腔內設有支架，支架將凹腔分隔為若干個凹腔單體，在支架上固連有蓋合凹腔的蓋板，蓋板上密布有若干個與凹腔相連通的吸孔，在承載座一側設有氣體分流器，每個凹腔單體通過第一管路與氣體分流器相連；吸塵分類裝置包括箱體，箱體的頂部開口設置，在箱體頂部設有與其活動連接的箱蓋，在箱體底部設有豎直、平行設置的兩擋板，在兩擋板外側上方的箱體內壁上設有電磁鐵，兩擋板與箱體內壁之間形成鐵肩收集室，兩擋板之間的箱體底部設有出氣孔，在箱蓋上設有進氣孔，進氣孔正對應于兩擋板之間的位置設置，氣體分流器通過第二管路與進氣孔相連；抽真空裝置通過第三管路與出氣孔相連。2.根據權利要求1所述的一種負壓承載裝置，其特征在于:所述承載座底座凹腔的側壁尚于蓋板。3.根據權利要求1所述的一種負壓承載裝置，其特征在于:所述支架將凹腔分隔為六個凹腔單體。4.根據權利要求1所述的一種負壓承載裝置，其特征在于:在第三管路上設有控制閥。5.根據權利要求1所述的一種負壓承載裝置，其特征在于:所述吸塵分類裝置的進氣孔設在箱蓋的中部。6.根據權利要求1所述的一種負壓承載裝置，其特征在于:兩擋板以箱體底部中心對稱設置。
【專利摘要】本實用新型涉及一種負壓承載裝置。它包括承載座、吸塵分類裝置和抽真空裝置；承載座包括底座，支架將凹腔分隔為若干個凹腔單體，在支架上固連有蓋合凹腔的蓋板，蓋板上密布有若干個與凹腔相連通的吸孔，在承載座一側設有氣體分流器，每個凹腔單體通過第一管路與氣體分流器相連；吸塵分類裝置包括箱體，兩擋板與箱體內壁之間形成鐵屑收集室，兩擋板之間的箱體底部設有出氣孔，在箱蓋上設有進氣孔，氣體分流器通過第二管路與進氣孔相連；抽真空裝置通過第三管路與出氣孔相連。本實用新型使用時將掩膜的拆卸工序放在承載座上進行，承載座上表面形成負壓狀態(tài)，螺絲間殘存的鐵屑、臟污能夠通過吸孔清除，從而保證了產品的質量，維護了生產環(huán)境。
【IPC分類】H01L21/67, H01L21/673
【公開號】CN204991666
【申請?zhí)枴緾N201520799135
【發(fā)明人】亓凱
【申請人】山東百利通亞陶科技有限公司
【公開日】2016年1月20日
【申請日】2015年10月16日