一個排風通道組的排風通道22的傾斜角度均相同，越靠近所述同一側面的排風通道組中排風通道22的傾斜角度越小。
[0033]由于以上交錯排布的排風通道組以及每個排風通道22向水平面傾斜的設置結構，且傾斜角度有序變化，使得從排風通道22排出的氣流向硅片均勻噴射，因此在相同的氣壓條件下，并保證硅片能吹干的前提下，所述排風通道22的孔徑可以縮小，本實施例中，所述排風通道22的孔徑范圍為0.5mm-1.5mm。
[0034]優(yōu)選地，相鄰兩個排風通道組的排風通道22的傾斜角度差值均相等，即最靠近向之傾斜的側面的排風通道組中排風通道22與排風部23端面的夾角為40°，最遠離所述側面的排風通道組中排風通道22與排風部23端面的夾角為80°，則中間一個排風通道組中排風通道22與排風部23端面的夾角為60°，但是本實用新型不限于這種相鄰兩個排風通道組的排風通道22的傾斜角度差值均相等的設置方式。
[0035]為了保證與風機連接的風刀具有足夠的承受強大氣流的能力，優(yōu)選地，所述進風殼體3和出風殼體2均由玻璃纖維增強環(huán)氧樹脂板制成。
[0036]圖3是本實用新型實施例提供的風刀的安裝示意圖，從圖中可以清楚地看出，本實施例提供的具有風刀的濕法處理裝置，包括兩個如上所述的風刀，兩個風刀的排風部23相對設置，即一個風刀的排風部23的排風通道22出口向下，另一個風刀的排風部23的排風通道22出口向上，硅片從上下風刀的中間穿過，風刀排風部23的端面距硅片5的距離范圍為4?10_。
[0037]為了方便將風刀安裝在濕法處理裝置上，所述風刀的兩側設置有固定塊41，所述濕法處理裝置上設置有與所述固定塊41相配合的支撐塊44，所述支撐塊44托載所述固定塊41，并通過螺栓43的固定方式將固定塊41固定在支撐塊44上，從而實現(xiàn)將風刀固定安裝在濕法處理裝置上。
[0038]為了方便以正確的方向安裝兩個風刀，在所述風刀的殼體上標明排風通道22的傾斜方向，上下兩個風刀的排風通道22均向各自風刀的前端面傾斜，則標記由后端向前端的箭頭，或者均向各自風刀的后端面傾斜，則標記由前端向后端的箭頭。
[0039]長條狀的風刀可以同時對5-8個硅片5進行干燥處理操作，如圖3所示，本實施例的風刀可以同時對6個硅片5進行吹干操作，所述風刀位置保持不動，所述6個硅片5同時逆著標記箭頭水平運動，比如，所述排風通道22在出風方向上由風刀的后端向前端傾斜，則硅片5由兩個風刀的前端穿過風刀之間運動到所述風刀的后端，完成硅片5的干燥操作。
[0040]風機優(yōu)選無油類型的側流氣環(huán)式風機，吹干壓力優(yōu)選10?20kPa，在這個壓力范圍內(nèi)，既能夠保證硅片的干燥處理結果，又能夠防止硅片5不被吹破。
[0041]實施例2:與實施例1中的風刀結構不同的是，所述排風通道組的數(shù)量為四個，在保持同一個排風通道組中相鄰的排風通道22的間距不變的前提下，四個排風通道組中對應的排風通道22在水平位置上有重疊，將對硅片進行更全面更均勻地吹風處理，同理，根據(jù)風刀寬度和相鄰兩個排風通道組的間距，也可以適應性地增加或減少排風通道組的數(shù)量，而不限定排風通道組的數(shù)量為三個或四個。
[0042]作為優(yōu)選的設置方式，在距所述向之傾斜的側面由近到遠的四個排風通道組中排風通道22與排風部23端面的夾角分別為40°、53°、66°和80°，但是本實用新型不限定于這種相鄰兩個排風通道組的排風通道22的傾斜角度差值均相等的設置方式。
[0043]風刀的其他結構特征與實施例1中風刀的結構特征相同，以及風刀在濕法處理裝置上的安裝形式也與實施例1相同，在此不再贅述。
[0044]本實用新型的風刀的進風壓力與風量需求適中，氣流結構設計合理，出氣均勻且向不同的角度噴出，防止硅片受力不均而發(fā)生破裂或殘留水漬。
[0045]以上所揭露的僅為本實用新型的幾種較佳實施例而已，當然不能以此來限定本實用新型之權利范圍，因此依本實用新型權利要求所作的等同變化，仍屬本實用新型所涵蓋的范圍。
【主權項】
1.一種風刀，包括風刀殼體(I)，其特征在于，所述風刀殼體(I)包括進風殼體(3)及與進風殼體(3)連接的出風殼體(2)，所述進風殼體(3)內(nèi)部具有進風腔(31)，所述進風殼體(3)的表面設置有進風口(32)，所述出風殼體(2)內(nèi)部具有排風腔(21)，所述出風殼體(2)具有多個排風通道(22)，所述進風腔(31)與所述排風腔(21)連通，每個排風通道(22)向水平面傾斜設置，所述排風通道(22)與水平面的夾角為排風通道(22)的傾斜角度，且多個排風通道(22)的傾斜角度不完全相同。2.根據(jù)權利要求1所述的風刀，其特征在于，所述排風通道(22)的孔徑范圍為0.5mm-1.5mm03.根據(jù)權利要求1所述的風刀，其特征在于，所述出風殼體(2)和進風殼體(3)均為長條體，所述出風殼體(2)上遠離進風殼體(3)的端部為排風部(23)，所述排風通道(22)設置在所述排風部(23)上。4.根據(jù)權利要求3所述的風刀，其特征在于，所述排風部(23)上設置有多個排風通道組，每個排風通道組包括多個排風通道(22)，每個排風通道組的多個排風通道(22)排成一排，每個排風通道(22)與排風部(23)端面形成夾角，所述夾角范圍為40° -80°。5.根據(jù)權利要求4所述的風刀，其特征在于，每一個排風通道組的排風通道(22)沿著排風部(23)的長度方向設置，任意兩個排風通道組的排風通道(22)交錯分布。6.根據(jù)權利要求4或5所述的風刀，其特征在于，每個排風通道(22)在出風方向上均向著出風殼體(2)長度方向的同一側面傾斜，同一個排風通道組的排風通道(22)的傾斜角度均相同，越靠近所述同一側面的排風通道組中排風通道(22)的傾斜角度越小。7.根據(jù)權利要求6所述的風刀，其特征在于，相鄰兩個排風通道組的排風通道(22)的傾斜角度差值均相等。8.根據(jù)權利要求1、2、3、4、5或7所述的風刀，其特征在于，所述進風腔(31)的寬度大于排風腔(21)的寬度，所述進風殼體(3)和出風殼體⑵均由玻璃纖維增強環(huán)氧樹脂板制成。9.根據(jù)權利要求8所述的風刀，其特征在于，所述進風殼體(3)上遠離出風殼體(2)的表面為中部高兩邊低的傾斜結構，所述傾斜結構由傾斜結構中部向進風殼體(3)上沿著長度方向的兩個側面傾斜而形成。10.一種具有風刀的濕法處理裝置，其特征在于，包括兩個如權利要求1-9中任意一項所述的風刀，兩個風刀的排風部(23)相對設置。
【專利摘要】本實用新型涉及濕制程設備領域，公開了一種風刀，包括風刀殼體，所述風刀殼體包括進風殼體及與進風殼體連接的出風殼體，所述進風殼體內(nèi)部具有進風腔，所述進風殼體的表面設置有進風口，所述出風殼體內(nèi)部具有排風腔，所述出風殼體具有多個排風通道，所述進風腔與所述排風腔連通，每個排風通道向水平面傾斜設置，所述排風通道與水平面的夾角為排風通道的傾斜角度，且多個排風通道的傾斜角度不完全相同，氣流通過排風通道排出風刀殼體，本實用新型還公開了一種具有風刀的濕法處理裝置。本實用新型的風刀的進風壓力與風量需求適中，氣流結構設計合理，出氣均勻且向不同的角度噴出，防止硅片受力不均而發(fā)生破裂或殘留水漬。
【IPC分類】H01L31/18, F26B21/00
【公開號】CN205069665
【申請?zhí)枴緾N201520788316
【發(fā)明人】張淋, 程強強, 黃洪杰
【申請人】蘇州寶馨科技實業(yè)股份有限公司
【公開日】2016年3月2日
【申請日】2015年10月13日