一種運(yùn)載裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及面板制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種承載并定位玻璃基板的運(yùn)載裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]低溫多晶娃(Low Temperature Poly-Silic1n，LTPS)是一種多晶娃(多晶娃為單質(zhì)硅的一種形態(tài))技術(shù)的一個分支，其制作過程一般在600攝氏度左右，由于通過LTPS技術(shù)所制成的玻璃基板具有電子迀移率快、薄膜電路面積小、分辨率高、結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定性強(qiáng)等特點，上述玻璃基板已逐漸成為制作諸如手機(jī)屏幕、電腦屏幕等電子設(shè)備屏幕的主要元件。
[0003]在上述玻璃基板的制作過程中，通常都需要快速熱退火(RapidThermalAnnealing，RTA)工藝，其主要作用為使玻璃基板的內(nèi)部組織達(dá)到或接近平衡狀態(tài)，進(jìn)而獲得良好的工藝性能和使用性能。在進(jìn)行RTA工藝過程中，現(xiàn)有技術(shù)的一種實現(xiàn)方式為將玻璃基板放置在一個置于傳送滾輪上的運(yùn)載裝置中，使得玻璃基板可隨著各傳送滾輪的轉(zhuǎn)動經(jīng)過各個處理區(qū)來進(jìn)行RTA，如圖1所示。
[0004]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中玻璃基板放置在運(yùn)載裝置上進(jìn)行RTA的示意圖。
[0005]在圖1中，玻璃基板001放置在運(yùn)載裝置110上，其中，該運(yùn)載裝置110為平板狀，上面含有若干個通孔111，該通孔111平均對稱分布在運(yùn)載裝置110的兩側(cè)，其主要用于當(dāng)玻璃基板001完成RTA工藝過程后，分離設(shè)備可將其設(shè)有的若干個圓柱插入并穿過該通孔111，使得各圓柱可將運(yùn)載裝置110上運(yùn)載的玻璃基板001頂起，進(jìn)而可使用抓取玻璃基板001的機(jī)械手臂抓住玻璃基板001的邊緣，將玻璃基板001從運(yùn)載裝置110中取出。
[0006]然而，在上述的現(xiàn)有技術(shù)中，運(yùn)載裝置110通常都是一直隨著傳送滾輪的轉(zhuǎn)動而運(yùn)動的，當(dāng)玻璃基板001放置在運(yùn)動中的運(yùn)載裝置110時，由于其自身存在慣性，因此在放置在運(yùn)載裝置110上時，通常會在該運(yùn)載裝置110上出現(xiàn)偏移，并且，由于玻璃基板001的一面是與運(yùn)載裝置110的一面是完全接觸的，且該運(yùn)載裝置110表面不光滑，因此，在玻璃基板001發(fā)生偏移的過程中，玻璃基板001與運(yùn)載裝置110接觸的一面可能會產(chǎn)生劃痕，進(jìn)而在其表面上可能會產(chǎn)生一些顆粒，從而降低了玻璃基板001的良品率。
【實用新型內(nèi)容】
[0007]本實用新型實施例提供一種運(yùn)載裝置，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中運(yùn)載裝置在運(yùn)載玻璃基板來進(jìn)行RTA工藝時，會降低玻璃基板的良品率的問題。
[0008]本實用新型提供一種運(yùn)載裝置，其用于承載并定位玻璃基板，其特征在于，所述運(yùn)載裝置包括:具有收容槽的托盤，以及位于所述托盤收容槽內(nèi)中且用于承載所述玻璃基板的網(wǎng)狀托架。
[0009]進(jìn)一步地，所述托盤為長方體型托盤。
[0010]進(jìn)一步地，所述網(wǎng)狀托架與所述托盤收容槽的底面平行，所述網(wǎng)狀托架與所述托盤收容槽的側(cè)面相連固定。
[0011]進(jìn)一步地，所述托盤收容槽的側(cè)面與所述托盤收容槽的底面之間所形成的角度大于90度。
[0012]進(jìn)一步地，用于構(gòu)成所述網(wǎng)狀托架的各個支撐筋為圓柱體結(jié)構(gòu)。
[0013]進(jìn)一步地，所述托盤上設(shè)有由其底面延伸至收容槽底面的若干個通孔。
[0014]進(jìn)一步地，所述托盤和托架的材料包括陶瓷。
[0015]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型實施例提供的運(yùn)載裝置內(nèi)由于設(shè)有網(wǎng)狀托架，使得玻璃基板放置在該網(wǎng)狀托架上后，只與該網(wǎng)狀托架中的各個支撐筋接觸，進(jìn)而降低了玻璃基板與運(yùn)載裝置的接觸面積，從而有效的提高了玻璃基板在進(jìn)行RTA工藝時的良品率。
【附圖說明】
[0016]此處所說明的附圖用來提供對本實用新型的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本實用新型的一部分，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構(gòu)成對本實用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0017]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中玻璃基板放置在運(yùn)載裝置上進(jìn)行RTA的示意圖；
[0018]圖2為本實用新型實施例提供的一種運(yùn)載裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖3為本實用新型實施例提供的長方體型托盤的側(cè)視圖；
[0020]圖4為本實用新型實施例提供的另一種長方體型托盤的側(cè)視圖。
【具體實施方式】
[0021]為使本實用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本實用新型具體實施例及相應(yīng)的附圖對本實用新型技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實施例僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。
[0022]圖2為本實用新型實施例提供的一種運(yùn)載裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]在圖2中顯示了的運(yùn)載裝置的詳細(xì)結(jié)構(gòu)，包括具有收容槽的托盤210，以及，位于托盤210中的網(wǎng)狀托架211，其中，該網(wǎng)狀托架211用于承載玻璃基板。
[0024]在實際應(yīng)用中，玻璃基板由于制作工藝的需求，通常情況下均為長方體結(jié)構(gòu)，因此，上述運(yùn)載裝置為了在玻璃基板進(jìn)行RTA工藝時能夠平穩(wěn)的運(yùn)送玻璃基板，可根據(jù)玻璃基板的工藝標(biāo)準(zhǔn)，將該托盤210制成比玻璃基板稍大些的長方體型結(jié)構(gòu)，即長方體型托盤210，進(jìn)而使得玻璃基板放置在該長方體型托盤210中后，可隨著傳送滾輪的轉(zhuǎn)動而進(jìn)行平穩(wěn)運(yùn)動。當(dāng)然，托盤210也可以是其他形狀的托盤。
[0025]在該長方體型托盤210的收容槽中，設(shè)有網(wǎng)狀托架211，其中，該網(wǎng)狀托架211與長方體型托盤中收容槽的底面213平行，并且，該網(wǎng)狀托架211與長方體型托盤210中收容槽的側(cè)面相連固定。玻璃基板在進(jìn)行RTA工藝時，可將其放置在該運(yùn)載裝置的網(wǎng)狀托架211中，進(jìn)而使得玻璃基板可隨著傳送滾輪的轉(zhuǎn)動與運(yùn)載裝置一起進(jìn)行運(yùn)動，經(jīng)過各個處理區(qū)，來進(jìn)行RTA工藝。
[0026]由于玻璃基板水平放置在上述網(wǎng)狀托架211時，其相互接觸的接觸面并不是一個完整的接觸面，從而降低了玻璃基板與運(yùn)載裝置的接觸面積，有效的提高了玻璃基板在進(jìn)行RTA工藝時的良品率。
[0027]需要說明的是，上述說明的運(yùn)載裝置通常都是一直隨著傳送滾輪的轉(zhuǎn)動而運(yùn)動的，當(dāng)玻璃基板放置在運(yùn)動中的運(yùn)載裝置時，可能會出現(xiàn)玻璃基板并不是水平的放置在該網(wǎng)狀托架211中的情況，即玻璃基板的一端可能會置于長方體型托盤210中收容槽的側(cè)面之上，進(jìn)而會出現(xiàn)運(yùn)載裝置不能平穩(wěn)運(yùn)送玻璃基板的問題。為了有效解決這一問題，在本實用新型實施例中，長方體型托盤210中收容槽的側(cè)面可以設(shè)計成帶有一定坡度的結(jié)構(gòu)，如圖3所示。
[0028]圖3為本實用新型實施例提供的長方體型托盤的側(cè)視圖。
[0029]在圖3中，長方體型托盤210中收容槽的側(cè)面為與長方體型托盤中收容槽的底面213所成角度大于90度的斜面214，網(wǎng)狀托架211與該斜面214進(jìn)行相連固定。當(dāng)玻璃基板放