定位裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及面板制造領域，尤其涉及一種用于承載并定位玻璃基板的定位裝置。
【背景技術】
[0002]近年來，隨著高分辨率智能手機的盛行以及智能手機屏幕平均尺寸的持續(xù)增大，基于低溫多晶娃(Low Temperature Po Iy-Si I icon，LTPS)技術的面板需求將持續(xù)走高。在上述面板制造過程中，當需要在硬化退回爐設備內(nèi)對玻璃基板進行快速熱退火(RapidThermal Annealing，RTA)工藝時，該工藝的主要作用為使玻璃基本的內(nèi)部組織達到或接近平衡狀態(tài)，進而獲得良好的工藝性能和使用性能。在進行RTA工藝過程中，現(xiàn)有技術的一種實現(xiàn)方式為將玻璃基板放置于由石英材料制成的基板載臺上，基板載臺則放置于一個傳送裝置上，玻璃基板在傳送裝置的帶動下經(jīng)過硬化退火爐內(nèi)各個處理區(qū)來進行RTA工藝。
[0003]然而，在玻璃基板的傳送過程中，承接玻璃基板的基板載臺可能有加速和減速的過程，同時由于玻璃基板與基板載臺之間的相對摩擦力小于玻璃基板自身慣性力的可能，這就導致玻璃基板會在基板載臺上發(fā)生漂移，造成玻璃基板碎片等異常情況。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型的目的是為了解決上述問題，提供一種能夠保證玻璃基板在傳送過程中能夠被良好定位的定位裝置。
[0005]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供了一種定位裝置，用于承載并定位玻璃基板，所述定位裝置包括用于承接玻璃基板的基板載臺及安裝于基板載臺上的靜電吸盤，所述靜電吸盤被施加直流電壓后，所述玻璃基板定位于基板載臺。
[0006]進一步的，所述靜電吸盤為雙極型靜電吸盤。
[0007]進一步的，所述靜電吸盤為兩個，每個所述靜電吸盤內(nèi)設有第一電極與第二電極。
[0008]進一步的，所述直流電壓包括正直流電壓和負直流電壓，所述正直流電壓施加于一個靜電吸盤內(nèi)的第一電極，所述負直流電壓施加于另一靜電吸盤的第二電極。
[0009]進一步的，所述兩個靜電吸盤分別連接供電部。
[0010]進一步的，所述基板載臺的下表面設有兩個收容槽，所述兩個靜電吸盤分別位于所述兩個收容槽內(nèi)。
[0011 ]進一步的，所述定位裝置放置于硬化退火爐的傳送裝置上。
[0012]進一步的，所述傳送裝置的一部分收容于所述收容槽內(nèi)。
[0013]與現(xiàn)有技術相比，本實用新型實施例提供的定位裝置內(nèi)具有安裝于基板載臺上的靜電吸盤，通過靜電吸盤使得玻璃基板與基板載臺之間產(chǎn)生吸引力而將玻璃基板牢固定位于基板載臺上，避免玻璃基板在基板載臺的移動過程中發(fā)生偏移而造成玻璃基板碎片。
【附圖說明】
[0014]此處所說明的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，構成本實用新型的一部分，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中:
[0015]圖1為本實用新型優(yōu)選實施例提供的定位裝置的截面視圖；
[0016]圖2為圖1所示的定位裝置與玻璃基板及傳送裝置配合示意圖；
[0017]圖3為圖1內(nèi)所示定位裝置內(nèi)的靜電吸盤的示意圖。
【具體實施方式】
[0018]為使本實用新型的目的、技術方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結合本實用新型具體實施例及相應的附圖對本實用新型技術方案進行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實施例僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0019]如圖1、圖2所示，本實用新型較佳實施例提供了一種應用于硬化退火爐(未圖示)內(nèi)的定位裝置100，該定位裝置100用于定位需要進行快速熱退火工藝的玻璃基板3。需要說明的，硬化退火爐內(nèi)具有可以傳送定位裝置100的循環(huán)式傳送裝置200，傳送裝置200可以對定位裝置100及玻璃基板3進行連續(xù)傳送處理，即在線式(in-line)處理。具體的，該傳送裝置200可以為一導軌結構。
[0020]當玻璃基板3需要進行快速熱退火工藝時，玻璃基板3可以放置于定位裝置100的基板載臺I上，在傳送裝置200的帶動下，玻璃基板3隨定位裝置100—同進入硬化退火爐內(nèi)進行傳送且同時加熱，當完成快速熱退火后，玻璃基板3連同定位裝置100被傳送出硬化退火爐。
[0021]具體地，定位裝置100包括:基板載臺I及安裝于基板載臺I下方的兩個靜電吸盤(Electrostatic Chuck，ESC)2。以下針對本實用新型優(yōu)選實施例提供的定位裝置100內(nèi)的元件作具體說明。
[0022]如圖1及圖2所示，基板載臺I呈平板狀，其由石英材料制成?；遢d臺I包括一個可以承載玻璃基板3的上表面11及可以安裝靜電吸盤2的下表面12。基板載臺I可以放置于傳送裝置200上，在傳送裝置200的帶動下，基板載臺I進出硬化退火爐。基板載臺I的下表面12設有可以收容兩個靜電吸盤2的兩個收容槽13，傳送裝置200的一份部延伸入上述收容槽13內(nèi)。具體的，兩個靜電吸盤2分別置于兩個收容槽13的內(nèi)側壁面上。兩個靜電吸盤2與基板載臺I在傳送裝置200的帶動下一同移動。
[0023]如圖3所示，優(yōu)選地，兩個靜電吸盤2均可以為雙極型靜電吸盤。每個靜電吸盤2內(nèi)部設有第一電極21及第二電極22。第一電極21及第二電極22可以由薄的導體材料制成，如銅箔制成。第一電極21及第二電極22連通電源。具體的，第一電極21與供電部20a連接，第二電極22與供電部20b連接。通過供電部20a可以向第一電極21施加正直流電壓，通過供電部20b可以向第二電極22施加負直流電壓。兩個靜電吸盤2結構相同，其中的一個可以稱為第一靜電吸盤，另一個可以稱為第二靜電吸盤。
[0024]對位于基板載臺I下方的第一靜電吸盤2內(nèi)的第一電極21施加正直流電壓后，第一靜電吸盤2內(nèi)的第一電極21上會產(chǎn)生極化電荷，第一電極21上會產(chǎn)生正電荷。與此同時，基板載臺I與該第一靜電吸盤2相對應的位置上也同時產(chǎn)生正電荷。上述相對應的位置指基板載臺I上與第一靜電吸盤2在上下方向上相對應的位置，或者指基板載臺I上與第一靜電吸盤2位于同側的位置。該相對應的位置可以根據(jù)需要進行設定。如圖2所示，基板載臺I與該第一靜電吸盤2相對應的位置為基板載臺I的左側。由于上述正電荷會產(chǎn)生電場，使得置于基板載臺I之上的玻璃基板3左側下表面對應基板載臺I上正電荷的位置的產(chǎn)生極化電荷，該極化電荷與分布在第一靜電吸盤2上的電荷極性相反，即玻璃基板3左側下面產(chǎn)生負電荷。由于電荷異性相吸的原理，玻璃基板3的左側與基板載臺I的左側相互定位。
[0025]在對位于基板載臺I下方的第一靜電吸盤2內(nèi)的第一電極21施加正直流電壓的同時，對位于基板載臺I下方的第二靜電吸盤2內(nèi)的第二電極22施加負直流電壓后，第二靜電吸盤2內(nèi)的第二電極22上會產(chǎn)生極化電荷，第二電極22上會產(chǎn)生負電荷。與此同時，基板載臺I與該第二靜電吸盤2相對應的位置上也同時產(chǎn)生負電荷。如圖2所示，基板載臺I與該第二靜電吸盤2相對應的位置為基板載臺I的右側。由于上述負電荷會產(chǎn)生電場，使得置于基板載臺I之上的玻璃基板3右側下表面對應基板載臺I上負電荷的位置的產(chǎn)生極化電荷，該極化電荷與分布在第二靜電吸盤2上的電荷極性相反，即玻璃基板3右側下面產(chǎn)生正電荷。由于電荷異性相吸的原理，玻璃基板3的右側與基板載臺I的右側相互定位。
[0026]由于兩個靜電吸盤2的存在，玻璃基板3的左右兩側均與基板載臺I的兩側相互定位使得玻璃基板3牢固定位于基板載臺I。另外，當玻璃基板3需要從基板載臺I上取下時，可以分別在第一靜電吸盤2的第二電極22及第二靜電吸盤2的第一電極21上分別施加負直流電壓及正直流電壓，來消除產(chǎn)生于基板載臺I左右兩側的正負電荷，從而消除吸引力。這樣，玻璃基板3就可以從基板載臺I上取下。
[0027]綜上所述，本實用新型實施例提供的定位裝置100內(nèi)具有安裝于基板載臺I上的靜電吸盤2，通過靜電吸盤2使得玻璃基板3與基板載臺I之間產(chǎn)生吸引力而將玻璃基板3牢固定位于基板載臺I上，避免玻璃基板3在基板載臺I的移動過程中發(fā)生偏移而造成玻璃基板碎片。
[0028]以上所述的具體實例，對本實用新型的目的、技術方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權項】
1.一種定位裝置，用于承載并定位玻璃基板，其特征在于:所述定位裝置包括用于承接玻璃基板的基板載臺及安裝于基板載臺上的靜電吸盤，所述靜電吸盤被施加直流電壓后，所述玻璃基板定位于基板載臺。2.如權利要求1所述的定位裝置，其特征在于，所述靜電吸盤為雙極型靜電吸盤。3.如權利要求2所述的定位裝置，其特征在于，所述靜電吸盤為兩個，每個所述靜電吸盤內(nèi)設有第一電極與第二電極。4.如權利要求3所述的定位裝置，其特征在于，所述直流電壓包括正直流電壓和負直流電壓，所述正直流電壓施加于一個靜電吸盤內(nèi)的第一電極，所述負直流電壓施加于另一靜電吸盤的第二電極。5.如權利要求1所述的定位裝置，其特征在于，所述兩個靜電吸盤分別連接供電部。6.如權利要求1所述的定位裝置，其特征在于，所述基板載臺的下表面設有兩個收容槽，所述兩個靜電吸盤分別位于所述兩個收容槽內(nèi)。7.如權利要求6所述的定位裝置，其特征在于，所述定位裝置放置于硬化退火爐的傳送裝置上。8.如權利要求7所述的定位裝置，其特征在于，所述傳送裝置的一部分收容于所述收容槽內(nèi)。
【專利摘要】本實用新型公開了一種定位裝置，其用于承載并定位玻璃基板，其包括用于承接玻璃基板的基板載臺及安裝于基板載臺上的兩個靜電吸盤，所述兩個靜電吸盤分別被施加正直流電壓及負直流電壓后，所述玻璃基板定位于基板載臺。由于定位裝置內(nèi)具有安裝于基板載臺上的靜電吸盤，通過靜電吸盤使得玻璃基板與基板載臺之間產(chǎn)生吸引力而將玻璃基板牢固定位于基板載臺上，避免玻璃基板在基板載臺的移動過程中發(fā)生偏移而造成玻璃基板碎片。
【IPC分類】H01L21/68
【公開號】CN205231032
【申請?zhí)枴緾N201521070919
【發(fā)明人】王濤
【申請人】昆山國顯光電有限公司
【公開日】2016年5月11日
【申請日】2015年12月21日