基板分離裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種基板分離裝置，包括工作臺(tái)，分割組件及至少一條導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌固定于所述工作臺(tái)，所述分割組件可滾動(dòng)固定于所述導(dǎo)軌，所述分割組件包括至少一個(gè)切割件，所述切割件位于所述工作臺(tái)的上方。所述工作臺(tái)的四周布置所述導(dǎo)軌，并在所述導(dǎo)軌上設(shè)置所述分割組件，并依靠可滾動(dòng)設(shè)置于所述軌道且位于所述工作臺(tái)上方的所述切割件，可以靈活的調(diào)整所述切割件的高度，以適應(yīng)不同板厚的無(wú)芯基板分切，從而保證分離品質(zhì)的穩(wěn)定性，有效地避免無(wú)芯基板分切時(shí)造成的板損和劃傷問(wèn)題，且該裝置操作簡(jiǎn)單，成本低廉。
【專利說(shuō)明】
基板分離裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及無(wú)芯基板制造裝置技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種基板分離裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體封裝產(chǎn)品朝著高性能、薄型化及低成本方向不斷發(fā)展，催生了無(wú)芯基板Coreless技術(shù)。近年來(lái)，無(wú)芯基板由于更薄更輕、電氣特性和布線設(shè)計(jì)的自由度高、低成本等優(yōu)點(diǎn)，表現(xiàn)出了良好的市場(chǎng)前景。目前行業(yè)主流的無(wú)芯板設(shè)計(jì)為3LCorelesS/2LETS和1.5LETS/1L薄基板產(chǎn)品，無(wú)芯板板身較薄、且易翹曲，因此制造過(guò)程易造成板損報(bào)廢的問(wèn)題，為了提升其產(chǎn)品良率，基板制造商一般采用分離工藝，即在支撐載體的上、下基層制作3L/2LETS/1L等無(wú)芯板，再分離為2PNL板，之后再一起完成后續(xù)工序;該分離工藝因有支撐載體的存在使得制作過(guò)程板厚度增加，因?yàn)椴蝗菀自斐陕N曲及可避免板損的問(wèn)題，此外，將2PNL板合并一起制作部分流程，生產(chǎn)效率也可顯著地提高。
[0003]無(wú)芯基板進(jìn)行分離工藝時(shí)，一般采用手動(dòng)分離或自動(dòng)設(shè)備分離。手動(dòng)分離雖操作靈活、但耗時(shí)較長(zhǎng)、制作效率不高；自動(dòng)設(shè)備分離雖耗時(shí)短，但分離品質(zhì)的穩(wěn)定性是無(wú)法保證，設(shè)備操作稍不當(dāng)，容易造成連續(xù)分離時(shí)板損報(bào)廢，且分離設(shè)備價(jià)格較貴。因此，如何平衡上述利弊，找到一種低成本、容易操作、靈活地基板分離裝置顯得尤為重要。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]基于此，本實(shí)用新型在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種保證無(wú)芯基板分離品質(zhì)，操作簡(jiǎn)單且成本低廉的基板分離裝置。
[0005]其技術(shù)方案如下:
[0006]—種基板分離裝置，包括工作臺(tái)，分割組件及至少一條導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌固定于所述工作臺(tái)，所述分割組件可滾動(dòng)固定于所述導(dǎo)軌，所述分割組件包括至少一個(gè)切割件，所述切割件位于所述工作臺(tái)的上方。
[0007]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述分割組件還包括第一分切機(jī)構(gòu)，所述第一分切機(jī)構(gòu)包括第一操作柄和第一切割件，所述工作臺(tái)設(shè)有板件固定區(qū)域，所述第一切割件固定于所述第一操作柄、并沿橫向方向可滑動(dòng)地布置于所述板件固定區(qū)域的邊緣。
[0008]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一分切機(jī)構(gòu)還包括第一軌道，及設(shè)置于所述第一導(dǎo)軌上的第一滾動(dòng)件，所述第一滾動(dòng)件設(shè)有第一裝配孔，所述第一操作柄穿過(guò)所述第一裝配孔可轉(zhuǎn)動(dòng)固定于所述第一滾動(dòng)件。
[0009]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述分割組件還包括第二分切機(jī)構(gòu)，所述第二分切機(jī)構(gòu)包括至少一把第二操作柄和第二切割件，所述第二切割件固定于所述第二操作柄并位于所述板件固定區(qū)域的上方，且所述第二切割件沿縱向方向可滑動(dòng)地布置于所述板件固定區(qū)域的邊緣。
[0010]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第二切割件的切割刃的長(zhǎng)度大于或等于所述板件固定區(qū)域的長(zhǎng)度。
[0011]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第二分切機(jī)構(gòu)還包括第二導(dǎo)軌，及設(shè)置于所述第二導(dǎo)軌的第二滾動(dòng)件，所述第二滾動(dòng)件設(shè)有第二裝配孔，所述第二操作柄穿過(guò)所述第二裝配孔可轉(zhuǎn)動(dòng)固定于所述第二滾動(dòng)件。
[0012]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述導(dǎo)軌包括導(dǎo)軌本體和導(dǎo)軌高度調(diào)節(jié)裝置，所述導(dǎo)軌高度調(diào)節(jié)裝置包括外殼、設(shè)置于外殼內(nèi)的提升機(jī)構(gòu)、及設(shè)置于所述外殼上并與所述提升機(jī)構(gòu)連接的調(diào)節(jié)開關(guān)，所述導(dǎo)軌可升降的固定于所述導(dǎo)軌高度調(diào)節(jié)裝置。
[0013]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一切割件伸入所述工作臺(tái)的部分為切割段，所述切割段的長(zhǎng)度為3?7mm。
[0014]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一切割件和所述第二切割件上均包覆有防護(hù)層。
[0015]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述工作臺(tái)為真空吸附平臺(tái)。
[0016]本實(shí)用新型的有益效果在于:
[0017]上述基板分離裝置通過(guò)在所述工作臺(tái)的四周布置所述導(dǎo)軌，并在所述導(dǎo)軌上設(shè)置所述分割組件，并依靠可滾動(dòng)設(shè)置于所述軌道且位于所述工作臺(tái)上方的所述切割件，可以靈活的調(diào)整所述切割件的高度，以適應(yīng)不同板厚的無(wú)芯基板分切，從而保證分離品質(zhì)的穩(wěn)定性，有效地避免無(wú)芯基板分切時(shí)造成的板損和劃傷問(wèn)題，且該裝置操作簡(jiǎn)單，成本低廉。
【附圖說(shuō)明】
[0018]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例所述的基板分離裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例所述的基板分離裝置的俯視圖；
[0020]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例所述的基板分離裝置的側(cè)視圖。
[0021]附圖標(biāo)記說(shuō)明:
[0022]100、工作臺(tái)，120、板件固定區(qū)域，200、導(dǎo)軌，220、導(dǎo)軌本體，240、導(dǎo)軌高度調(diào)節(jié)裝置，242、外殼，244、提升機(jī)構(gòu)，246、調(diào)節(jié)開關(guān)，260、第一導(dǎo)軌，280、第二導(dǎo)軌，300、分割組件，320、第一分切機(jī)構(gòu)，322、第一滾動(dòng)件，324、第一操作柄，326、第一切割件，328、第一裝配孔，340、第二分切機(jī)構(gòu)，342、第二滾動(dòng)件，344、第二操作柄，346、第二切割件，348、第二裝配孔，400、防護(hù)層。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明:
[0024]如圖1所示，一種基板分離裝置，包括工作臺(tái)100，分割組件300及至少一條導(dǎo)軌200，所述導(dǎo)軌200固定于所述工作臺(tái)100，所述分割組件300可滾動(dòng)固定于所述導(dǎo)軌200，所述分割組件300包括至少一個(gè)切割件，所述切割件位于所述工作臺(tái)100的上方。其中，所述工作臺(tái)100優(yōu)選為截面為矩形的立方體結(jié)構(gòu)，以適應(yīng)大多數(shù)無(wú)芯基板的形狀，并與進(jìn)行裝夾固定，在所述工作臺(tái)100的四周布置所述導(dǎo)軌200，所述導(dǎo)軌200獨(dú)立于所述工作臺(tái)100，同時(shí)在所述導(dǎo)軌200上設(shè)置所述分割組件300，并依靠可滾動(dòng)設(shè)置于所述導(dǎo)軌且位于所述工作臺(tái)100上方的所述切割件，通過(guò)調(diào)節(jié)所述導(dǎo)軌的高度使所述切割件與需要進(jìn)行分離操作的無(wú)芯基板的分切面對(duì)齊，從而進(jìn)行分離操作，如此可以靈活的調(diào)整所述切割件的高度，以適應(yīng)不同板厚的無(wú)芯基板分切，從而保證分離品質(zhì)的穩(wěn)定性，有效地避免無(wú)芯基板分切時(shí)造成的板損和劃傷問(wèn)題，且該裝置操作簡(jiǎn)單，成本低廉。
[0025]由于在分離操作無(wú)芯基板時(shí)，會(huì)對(duì)上下兩塊PNL板產(chǎn)生拉拽作用，為了保證分切后PNL板的質(zhì)量，優(yōu)選所述所述工作臺(tái)100為真空吸附平臺(tái)。因?yàn)樗稣婵瘴狡脚_(tái)通過(guò)強(qiáng)有力的吸附力可以牢固定位位于所述工作臺(tái)100上的其中一塊分離PNL板，確保在進(jìn)行分離操作時(shí)，不會(huì)使分離芯板移動(dòng)，可以保證分離后的兩塊無(wú)芯基板的品質(zhì)。
[0026]所述分割組件300還包括第一分切機(jī)構(gòu)320，所述第一分切機(jī)構(gòu)320包括第一操作柄324和第一切割件326，所述工作臺(tái)100設(shè)有板件固定區(qū)域120，所述第一切割件326固定于所述第一操作柄324、并沿橫向方向可滑動(dòng)地布置于所述板件固定區(qū)域120的邊緣。本優(yōu)選實(shí)施例中，所述第一切割件326為長(zhǎng)度較短的刀片，且布置于所述板件固定區(qū)域的短邊，具體的，所述第一切割件326伸入所述工作臺(tái)100的部分為切割段，所述切割段的長(zhǎng)度為3?7mm，將所述第一切割件326用于進(jìn)行切割的切割段的長(zhǎng)度設(shè)計(jì)為3?7mm，可以實(shí)現(xiàn)第一次切割留出切割口，便于后續(xù)進(jìn)行全分離切割操作，可以大大減小刀片所受應(yīng)力，保證刀片一會(huì)受力過(guò)大而斷裂。
[0027]所述第一分切機(jī)構(gòu)320還包括第一軌道260，及設(shè)置于所述第一導(dǎo)軌260上的第一滾動(dòng)件322，所述第一滾動(dòng)件322設(shè)有第一裝配孔328，所述第一操作柄324穿過(guò)所述第一裝配孔328可轉(zhuǎn)動(dòng)固定于所述第一滾動(dòng)件322。實(shí)際操作中，調(diào)整好所述導(dǎo)軌的高度到規(guī)定值，之后工作人員只需要握持柱所述第一操作柄324想切割方向推進(jìn)，通過(guò)所述第一切割件326進(jìn)行無(wú)芯基板的切割即可完成分離2塊PNL板的工作，由于通過(guò)所述第一滾動(dòng)件322的滾動(dòng)作用，使用較小的力氣就可以快速進(jìn)行分切，省時(shí)省力，且該操作結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠，可以在保證質(zhì)量的前提下大大提高工作效率。
[0028]所述分割組件300還包括第二分切機(jī)構(gòu)340，所述第二分切機(jī)構(gòu)340包括至少一把第二操作柄344和第二切割件346，所述第二切割件346固定于所述第二操作柄344并位于所述板件固定區(qū)域120的上方，且所述第二切割件346沿縱向方向可滑動(dòng)地布置于所述板件固定區(qū)域120的邊緣。在進(jìn)行完上述第一切割后，可以調(diào)整所述第二切割件346的位置至合適的高度，并使其移動(dòng)至預(yù)留出的切割口以便于切割。所述第二切割件346的切割刃的長(zhǎng)度大于或等于所述板件固定區(qū)域120的長(zhǎng)度。由于所述第二切割件346為跨設(shè)于所述板件固定區(qū)域，即所述第二切割件346的長(zhǎng)度大于所述待加工無(wú)芯基板的寬度，之后，通過(guò)推動(dòng)所述第二操作柄344朝切割方向移動(dòng)，即可完成無(wú)芯基板的全分離切割，得到兩塊完全相同且品質(zhì)優(yōu)良的PNL板，上述結(jié)構(gòu)操作簡(jiǎn)單，靈活可控，且能夠保證較高的質(zhì)量。
[0029]所述第二分切機(jī)構(gòu)340還包括第二導(dǎo)軌280，及設(shè)置于所述第二導(dǎo)軌280的第二滾動(dòng)件342，所述第二滾動(dòng)件342設(shè)有第二裝配孔348，所述第二操作柄344穿過(guò)所述第二裝配孔348可轉(zhuǎn)動(dòng)固定于所述第二滾動(dòng)件342。通過(guò)所述第二滾動(dòng)件342的滾動(dòng)作用，使用較小的力氣就可以快速進(jìn)行分切，省時(shí)省力，且該操作結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠，可以在保證質(zhì)量的前提下大大提高工作效率。
[0030]所述導(dǎo)軌200包括導(dǎo)軌本體220和導(dǎo)軌高度調(diào)節(jié)裝置240，所述導(dǎo)軌高度調(diào)節(jié)裝置240包括外殼242、設(shè)置于外殼242內(nèi)的提升機(jī)構(gòu)244、及設(shè)置于所述外殼242上并與所述提升機(jī)構(gòu)244連接的調(diào)節(jié)開關(guān)246，所述導(dǎo)軌本體220可升降的固定于所述導(dǎo)軌高度調(diào)節(jié)裝置240。實(shí)際工作中，在進(jìn)行所述導(dǎo)軌本體220的高度調(diào)節(jié)時(shí)，只需要旋動(dòng)所述調(diào)節(jié)開關(guān)246，來(lái)帶動(dòng)所述提升機(jī)構(gòu)244進(jìn)行上下方向的伸縮移動(dòng)，就可以實(shí)現(xiàn)調(diào)整所述切割件至合適位置的目的，該導(dǎo)軌高度調(diào)節(jié)裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便。在本優(yōu)選的實(shí)施例中，所述導(dǎo)軌高度調(diào)節(jié)裝置可以采用螺桿螺母機(jī)構(gòu)、蝸輪蝸桿、液壓結(jié)構(gòu)、氣動(dòng)機(jī)構(gòu)等傳動(dòng)結(jié)構(gòu)之一，都在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
[0031]所述第一切割件326和所述第二切割件346上均包覆有防護(hù)層400。在優(yōu)選的實(shí)施例中，為了降低制造成本及保證較高的較高效率，所述第一切割件326和所述第二切割件346可以使用材質(zhì)為塑料或剛的刀片，另外，在所述第一切割件326和所述第二切割件346上包覆一層所述防護(hù)層400，具體的講，所述防護(hù)層400可以是膠帶、布帶等，可以避免由于類似塑料刀片或剛刀片等硬度較大，在進(jìn)行分離切割時(shí)會(huì)產(chǎn)生無(wú)芯板版面的劃傷、損壞等問(wèn)題，從而保證較高的質(zhì)量。
[0032]以上所述實(shí)施例的各技術(shù)特征可以進(jìn)行任意的組合，為使描述簡(jiǎn)潔，未對(duì)上述實(shí)施例中的各個(gè)技術(shù)特征所有可能的組合都進(jìn)行描述，然而，只要這些技術(shù)特征的組合不存在矛盾，都應(yīng)當(dāng)認(rèn)為是本說(shuō)明書記載的范圍。
[0033]以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基板分離裝置，其特征在于，包括工作臺(tái)，分割組件及至少一條導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌固定于所述工作臺(tái)，所述分割組件可滾動(dòng)固定于所述導(dǎo)軌，所述分割組件包括至少一個(gè)切割件，所述切割件位于所述工作臺(tái)的上方。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板分離裝置，其特征在于，所述分割組件還包括第一分切機(jī)構(gòu)，所述第一分切機(jī)構(gòu)包括第一操作柄和第一切割件，所述工作臺(tái)設(shè)有板件固定區(qū)域，所述第一切割件固定于所述第一操作柄、并沿橫向方向可滑動(dòng)地布置于所述板件固定區(qū)域的邊緣，所述分割組件還包括第二分切機(jī)構(gòu)，所述第二分切機(jī)構(gòu)包括至少一把第二操作柄和第二切割件，所述第二切割件固定于所述第二操作柄并位于所述板件固定區(qū)域的上方，且所述第二切割件沿縱向方向可滑動(dòng)地布置于所述板件固定區(qū)域的邊緣。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板分離裝置，其特征在于，所述第一分切機(jī)構(gòu)還包括第一導(dǎo)軌，及設(shè)置于所述第一導(dǎo)軌上的第一滾動(dòng)件，所述第一滾動(dòng)件設(shè)有第一裝配孔，所述第一操作柄穿過(guò)所述第一裝配孔可轉(zhuǎn)動(dòng)固定于所述第一滾動(dòng)件。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板分離裝置，其特征在于，所述第二切割件的切割刃的長(zhǎng)度大于或等于所述板件固定區(qū)域的長(zhǎng)度。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板分離裝置，其特征在于，所述第二分切機(jī)構(gòu)還包括第二導(dǎo)軌，及設(shè)置于所述第二導(dǎo)軌的第二滾動(dòng)件，所述第二滾動(dòng)件設(shè)有第二裝配孔，所述第二操作柄穿過(guò)所述第二裝配孔可轉(zhuǎn)動(dòng)固定于所述第二滾動(dòng)件。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板分離裝置，其特征在于，所述導(dǎo)軌包括導(dǎo)軌本體和導(dǎo)軌高度調(diào)節(jié)裝置，所述導(dǎo)軌高度調(diào)節(jié)裝置包括外殼、設(shè)置于外殼內(nèi)的提升機(jī)構(gòu)、及設(shè)置于所述外殼上并與所述提升機(jī)構(gòu)連接的調(diào)節(jié)開關(guān)，所述導(dǎo)軌可升降的固定于所述導(dǎo)軌高度調(diào)節(jié)裝置。7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板分離裝置，其特征在于，所述第一切割件伸入所述工作臺(tái)的部分為切割段，所述切割段的長(zhǎng)度為3?7mm。8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板分離裝置，其特征在于，所述第一切割件和所述第二切割件上均包覆有防護(hù)層。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板分離裝置，其特征在于，所述工作臺(tái)為真空吸附平臺(tái)。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK205428878SQ201520945045
【公開日】2016年8月3日
【申請(qǐng)日】2015年11月23日
【發(fā)明人】張志強(qiáng), 崔正丹, 郭海雷, 謝添華
【申請(qǐng)人】廣州興森快捷電路科技有限公司, 深圳市興森快捷電路科技股份有限公司, 宜興硅谷電子科技有限公司