環(huán)狀液體收集裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種環(huán)狀液體收集裝置，其包含環(huán)形外殼、多個液體收集板、多個軟質(zhì)折疊層及多個收集板延伸支架。多個液體收集板安裝于環(huán)形外殼中。多個軟質(zhì)折疊層分別安裝于多個液體收集板之間，以及多個收集板延伸支架分別連接于對應的多個液體收集板，以分別改變液體收集板的高度，使軟質(zhì)折疊層其中一個呈現(xiàn)伸張狀態(tài)，以進行液體回收。借此，本實用新型的環(huán)狀液體收集裝置，可以避免回收液體相互污染。
【專利說明】
環(huán)狀液體收集裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及一種環(huán)狀液體收集裝置，且特別涉及一種軟性材質(zhì)的環(huán)狀液體收集裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，由于半導體技術(shù)的日益進步，集成電路使用于電子設備的數(shù)量越來越多，功能也越來越強大。蝕刻技術(shù)則廣泛地被應用在半導體工藝之中。
[0003]傳統(tǒng)上，蝕刻技術(shù)可大致分為濕式蝕刻以及干式蝕刻。針對不同的材料及特征尺寸，制造者選擇不同的蝕刻方式。濕式蝕刻主要是利用化學反應原理，使用化學蝕刻液與所欲蝕刻的層別進行反應，而將其溶解。因此，濕式蝕刻具有低工藝成本的優(yōu)勢。
[0004]濕式蝕刻使用不同的化學液體進行半導體材料的蝕刻。為了回收各種不同的化學液體，以及清洗半導體材料上殘留化學液體所需的去離子水(DI Water)，傳統(tǒng)上簡單的開口式單晶圓濕式蝕刻機使用不同高度的多個收集槽，以在不同的高度收集不同的液體，以減少化學液體的污染的情況。
[0005]因此，如何能提高液體收集槽的收集空間，避免化學液體的相互污染，為半導體的生產(chǎn)廠商及半導體生產(chǎn)設備的廠商所殷殷企盼。
【實用新型內(nèi)容】
[0006]有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種環(huán)狀液體收集裝置，可以避免回收液體相互污染。
[0007]本【實用新型內(nèi)容】的一實施例是有關(guān)于一種環(huán)狀液體收集裝置，其包含環(huán)形外殼，多個液體收集板安裝于環(huán)形外殼中，多個軟質(zhì)折疊層分別安裝于多個液體收集板之間，以及多個收集板延伸支架分別連接于對應的多個液體收集板，以分別改變多個液體收集板的高度，使軟質(zhì)折疊層其中一個呈現(xiàn)伸張狀態(tài)以進行液體回收。
[0008]在一些實施例中，環(huán)形外殼還包含升降器開槽，以使多個收集板延伸支架經(jīng)由升降器開槽，由環(huán)形外殼內(nèi)部向外延伸。
[0009]在一些實施例中，環(huán)狀液體收集裝置還包含有收集板升降裝置，以及多個收集板垂直升降器分別連接對應的多個收集板延伸支架，以改變多個液體收集板的高度。
[0010]在一些實施例中，收集板升降裝置是液壓收集板升降裝置、氣壓收集板升降裝置或馬達收集板升降裝置。
[0011]在一些實施例中，至少其中一個液體收集板可向上升高并超過環(huán)形外殼的高度，例如是液體收集板頂蓋。
[0012]在一些實施例中，環(huán)狀液體收集裝置還包含多個泄流口，其分別安裝于對應的多個液體收集板，以將回收的液體向外排出至外部回收裝置。
[0013]在一些實施例中，液體收集板由內(nèi)側(cè)向外側(cè)與向下傾斜，以利用重力將回收的液體排出至外部回收裝置。
[0014]在一些實施例中，環(huán)狀液體收集裝置還包含有主排氣裝置與多個排氣閥，多個排氣閥分別安裝于對應的多個液體收集板，以將廢氣排出環(huán)狀液體收集裝置。
[0015]在一些實施例中，環(huán)狀液體收集裝置還包含間隙排氣閥，其安裝于環(huán)形外殼，以將多個液體收集板與環(huán)形外殼之間的廢氣排出環(huán)狀液體收集裝置。
[0016]在一些實施例中，環(huán)狀液體收集裝置安裝于濕式蝕刻機臺中，濕式蝕刻機臺的轉(zhuǎn)盤位于環(huán)狀液體收集裝置中，以放置基材于其上，進行濕式蝕刻。
[0017]綜上所述，本實用新型中的環(huán)狀液體收集裝置可以利用軟質(zhì)折疊層的閉合與伸展，在伸張狀態(tài)下，提高液體收集板之間的開口大小，增加液體回收的效率與穩(wěn)定性。由于利用可以開啟及關(guān)閉的液體收集層，所以可以有效地回收液體，并避免相互污染。環(huán)狀液體收集裝置收集板的高度可高于基材裝載與卸載位置的高度，還增加設備操作的效率，且可進一步增加收集板間開口的大小，又進一步地提高了環(huán)狀液體收集裝置的穩(wěn)定性與效率。
【附圖說明】
[0018]為讓本實用新型的上述和其他目的、特征、優(yōu)點與實施例能更明顯易懂，所附圖式的說明如下:
[0019]圖1是依照本實用新型一些實施例所繪示的一種環(huán)狀液體收集裝置的一側(cè)視示意圖。
[0020]圖2是依照本實用新型一些實施例所繪示的一種環(huán)狀液體收集裝置的另一方向的側(cè)視示意圖。
[0021]圖3是依照本實用新型一些實施例所繪示的一種環(huán)狀液體收集裝置的部分俯視示意圖。
[0022]圖4是依照本實用新型一些實施例所繪示的一種環(huán)狀液體收集裝置的部分側(cè)視示意圖。
【具體實施方式】
[0023]下文是舉實施例配合所附圖式進行詳細說明，但所提供的實施例并非用以限制本實用新型所涵蓋的范圍，而結(jié)構(gòu)運作的描述非用以限制其執(zhí)行的順序，任何由元件重新組合的結(jié)構(gòu)，所產(chǎn)生具有均等功效的裝置，皆為本實用新型所涵蓋的范圍。另外，圖式僅以說明為目的，并未依照原尺寸作圖。為使便于理解，下述說明中相同元件或相似元件將以相同的符號標示來說明。
[0024]另外，在全篇說明書與權(quán)利要求所使用的用詞(terms)，除有特別注明外，通常具有每個用詞使用在此領(lǐng)域中、在此實用新型的內(nèi)容中與特殊內(nèi)容中的平常意義。某些用以描述本實用新型的用詞將于下或在此說明書的別處討論，以提供本領(lǐng)域技術(shù)人員在有關(guān)本實用新型的描述上額外的引導。
[0025]關(guān)于本文中所使用的第一、第二、…等，并非特別指稱次序或順位的意思，也非用以限定本實用新型，其僅僅是為了區(qū)別以相同技術(shù)用語描述的元件或操作而已。
[0026]其次，在本文中所使用的用詞包含、包括、具有、含有等等，均為開放性的用語，SP意指包含但不限于。
[0027]圖1是依照本實用新型一些實施例所繪示的一種環(huán)狀液體收集裝置的一側(cè)視示意圖。如圖中所示，當進行濕式蝕刻時，晶圓等基材160置于轉(zhuǎn)盤110之上，液體供應裝置130可提供蝕刻用的化學液體，以進行此基材160的正面162及/或反面164的化學蝕刻。一般而言，基材160為圓形半導體基材或其他合適的材料。
[0028]轉(zhuǎn)軸120—端安裝有馬達裝置150，轉(zhuǎn)軸120的另一端則連接轉(zhuǎn)盤110，以繞著軸心A轉(zhuǎn)動基材160。由于基材160在蝕刻或清潔時進行轉(zhuǎn)動，基材160表面的化學液體或清潔液體將被拋向外側(cè)的環(huán)狀液體收集裝置300，借由環(huán)狀液體收集裝置300可進行化學液體與清潔液體的回收。在蝕刻的同時，為使不同類別的液體可分門別類的進行回收，以避免相互污染。轉(zhuǎn)盤110會上下移動，以升高或降低安裝于其上的基材160的高度，并利用不同的液體收集層進行不同類別的液體的回收。
[0029]本實用新型的環(huán)狀液體收集裝置300利用軟質(zhì)折疊層，可以將正在使用的收集層的軟質(zhì)折疊層伸展開，以呈現(xiàn)伸張狀態(tài)。其他未使用的收集層的軟質(zhì)折疊層則處于壓合狀態(tài)，使得其他未使用的收集層處于密合狀態(tài)，有效地加大了使用中的收集層的開口寬度。因此，本實用新型的環(huán)狀液體收集裝置300，不僅可以防止回收液體噴濺至其他收集層所導致不同的回收液體間的相互污染，還可以有效地增加回收的效率。
[0030]本實用新型的環(huán)狀液體收集裝置300包含有多個液體收集層，例如是圖中所繪示的第一液體收集層210、第二液體收集層220、第三液體收集層230以及第四液體收集層240。每個液體收集層是由液體收集板及軟質(zhì)折疊層所組合而成。以圖1中的四層液體收集層為例，第一液體收集層210由第一液體收集板610、第二液體收集板620與第一軟質(zhì)折疊層510所構(gòu)成。第二液體收集層220由第二液體收集板620、第三液體收集板630與第二軟質(zhì)折疊層520所構(gòu)成。第三液體收集層230由第三液體收集板630、第四液體收集板640與第三軟質(zhì)折疊層530所構(gòu)成。第四液體收集層240由第四液體收集板640、第五液體收集板650與第四軟質(zhì)折疊層540所構(gòu)成。
[0031]當使用時，以第四液體收集層240為例，第五液體收集板650向上升起，第四軟質(zhì)折疊層540呈現(xiàn)伸張狀態(tài)，靠近中央的部分第五液體收集板650與第四液體收集板640相互分離，以形成環(huán)狀的開口。而由液體供應裝置130所供應在基材160的液體，先在基材160的正面162及/或反面164，進行蝕刻或清洗。然后，借由轉(zhuǎn)盤110的旋轉(zhuǎn)力量，液體被甩向外側(cè)。此時，由于第四軟質(zhì)折疊層540呈現(xiàn)伸張狀態(tài)，在第五液體收集板650與第四液體收集板640之間所形成的環(huán)狀的開口提供了一個較大的開口距離，所以可以有效地回收液體。此外，其他的液體收集層，第一液體收集層210、第二液體收集層220以及第三液體收集層230，因處于密合的狀態(tài)，則可有效地防止回收液體噴濺至其內(nèi)部，避免了不同的回收液體之間的相互污染。
[0032]以第一液體收集層210為例，關(guān)閉時，第二液體收集板620蓋合在第一液體收集板610上，此時第一軟質(zhì)折疊層510被壓合在一起，而靠近中央的部分，第二液體收集板620與第一液體收集板610相互密合，故有效地避免回收液體的進入，也避免了第四液體收集層240回收的液體與第一液體收集層210回收的液體相互污染。同時，由于有效地關(guān)閉了其他的收集層，本實用新型的環(huán)狀液體收集裝置300也可以有效地增加正在使用的液體收集層，例如圖中的第四液體收集層240的開口距離。
[0033]同時參閱圖3與圖4，圖3是依照本實用新型一些實施例所繪示的一種環(huán)狀液體收集裝置的部分俯視示意圖，而圖4則是依照本實用新型一些實施例所繪示的一種環(huán)狀液體收集裝置的部分側(cè)視示意圖。
[0034]液體收集板的外側(cè)還安裝有至少一個收集板延伸支架，優(yōu)選地為2個至3個收集板延伸支架，以配合收集板升降裝置140調(diào)整液體收集板的高度。一般而言，最底下的第一液體收集板610可以無須安裝收集板升降裝置，其他的第二液體收集板620、第三液體收集板630、第四液體收集板640以及第五液體收集板650則優(yōu)選地分別安裝有第一收集板延伸支架710、第二收集板延伸支架720、第三收集板延伸支架730以及第四收集板延伸支架740。收集板升降裝置140還包含第一收集板垂直升降器142連接于第一收集板延伸支架710，以升降第二液體收集板620，第二收集板垂直升降器144連接于第二收集板延伸支架720，以升降第三液體收集板630，第三收集板垂直升降器146連接于第三收集板延伸支架730，以升降第四液體收集板640，以及第四收集板垂直升降器148連接于第四收集板延伸支架740，以升降第五液體收集板650。
[0035]其中，收集板升降裝置140可以是馬達、氣壓裝置或液壓裝置，以根據(jù)需求驅(qū)動收集板垂直升降器向上或向下移動至合適的高度，并將收集板開口在一適當?shù)奈恢门c高度，進行液體的回收。
[0036]為了配合收集板延伸支架的上下移動，環(huán)狀液體收集裝置300的環(huán)狀外殼310還設置有多個升降器開槽170，以使收集板延伸支架由環(huán)狀外殼310穿出，并連接對應的收集板垂直升降器，且提供上下移動所需的空間。
[0037]本實用新型的環(huán)狀液體收集裝置300還利用第四收集板延伸支架740以升降第五液體收集板650ο在一些實施例中，第五液體收集板650可以是液體收集板頂蓋，其僅需遮蔽環(huán)狀液體收集裝置300的上方，以阻止回收的液體由上方外泄。且值的注意的是，第四收集板延伸支架740可將第五液體收集板650向上升高至環(huán)狀外殼310的上方一預定的高度420。從另一方向來看，第五液體收集板650也高于基材160的表面高度410。因此，第五液體收集板650不僅可以有效地確?；厥找后w的回收效率，且由于此時基材160的位置是處于裝載與卸載的位置，也即在此高度的位置可由機械手臂進行基材160的裝載或卸載。
[0038]當本實用新型的環(huán)狀液體收集裝置300利用第四收集板垂直升降器148將第四收集板延伸支架740及第五液體收集板650(液體收集板頂蓋)的高度向上延伸至環(huán)狀外殼310的上方后，基材160可上升至此處進行清洗或蝕刻。此時，當清洗完成后，基材160無須再改變高度，僅需降低第五液體收集板650(液體收集板頂蓋)的高度，即可利用機械手臂直接進行基材160的卸載，與下一基材的裝載，有效地節(jié)省了半導體生產(chǎn)所需的時間，進而加速半導體生產(chǎn)的效率。
[0039]因此，一般而言，高度420大于高度410，以使基材160高于環(huán)狀外殼310的高度。
[0040]同時參閱圖2，圖2是依照本實用新型一些實施例所繪示的一種環(huán)狀液體收集裝置的另一方向的側(cè)視示意圖，用以說明本實用新型的環(huán)狀液體收集裝置的排氣閥與泄流口的配置。如圖中所示，每個液體收集板配置有至少一個泄流口，以將回收液體經(jīng)由泄流口排出，并可進一步由外部回收裝置進行回收。
[0041]液體收集板具有小的傾斜度，約O度至20度，由內(nèi)向外向下傾斜，而泄流口則安裝于外側(cè)的靠近下方的位置，以使液體可利用重力的關(guān)系，自動流到泄流口。其中，液體收集板內(nèi)側(cè)與外側(cè)還具有向上延伸的液體檔墻，以使進入液體收集板的液體僅會由泄流口排出，而不會由其他地方泄漏。
[0042]第一泄流口332安裝于第一液體收集板610的外側(cè)接近下方的位置，而第二泄流口334則安裝于第二液體收集板620的外側(cè)接近下方的位置，第三泄流口 336安裝于第三液體收集板630的外側(cè)接近下方的位置，第四泄流口 338安裝于第四液體收集板640的外側(cè)接近下方的位置。
[0043]除此之外，環(huán)狀液體收集裝置300還具有的排氣裝置，以將操作時所產(chǎn)生的廢氣排出。如圖中所示，排氣裝置包含主排氣裝置320，多個排氣閥連接于主排氣裝置320以及相應的液體收集板，例如是第一排氣閥342、第二排氣閥344、第三排氣閥346以及第四排氣閥348分別連接第一液體收集板610、第二液體收集板620、第三液體收集板630以及第四液體收集板640，以用來將各個液體收集板中的廢氣排出。
[0044]排氣裝置還包含有間隙排氣閥340，其一端安裝于環(huán)狀外殼310，另一端則連接于主排氣裝置320，其用來排放環(huán)狀外殼310與液體收集板之間的廢氣。一般而言，間隙排氣閥340維持長時間運轉(zhuǎn)，而第一排氣閥342、第二排氣閥344、第三排氣閥346以及第四排氣閥348則可視相應的液體收集板被打開進行液體回收時，才打開排氣閥，以保持最大排氣效果O
[0045]綜上所述，本實用新型中的環(huán)狀液體收集裝置可以利用軟質(zhì)折疊層在伸張狀態(tài)下，提高液體收集板之間的開口大小，增加液體回收的效率與穩(wěn)定性。利用可以開啟及關(guān)閉的液體收集層還可以有效地回收液體，并避免相互污染。收集板的高度可高于基材裝載與卸載位置的高度，可增加設備操作的效率，還可以增加收集板之間開口的大小，更有效地提高了環(huán)狀液體收集裝置的穩(wěn)定性與效率。
[0046]雖然本實用新型已經(jīng)以實施方式公開如上，然其并非用以限定本實用新型，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，當可作各種變動與潤飾，因此本實用新型的保護范圍當視權(quán)利要求所界定者為準。
【主權(quán)項】
1.一種環(huán)狀液體收集裝置，其特征在于，所述環(huán)狀液體收集裝置包含: 環(huán)形外殼； 多個液體收集板，其安裝于所述環(huán)形外殼中； 多個軟質(zhì)折疊層，其分別安裝于所述多個液體收集板之間；以及 多個收集板延伸支架，其分別連接于對應的所述多個液體收集板，以分別改變所述多個液體收集板的高度，使所述多個軟質(zhì)折疊層其中一個呈現(xiàn)伸張狀態(tài)，以進行液體回收。2.如權(quán)利要求1所述的環(huán)狀液體收集裝置，其特征在于，所述環(huán)形外殼還包含升降器開槽，以使所述多個收集板延伸支架經(jīng)由所述升降器開槽，由所述環(huán)形外殼內(nèi)部向外延伸。3.如權(quán)利要求2所述的環(huán)狀液體收集裝置，其特征在于，所述環(huán)狀液體收集裝置還包含收集板升降裝置，以及多個收集板垂直升降器分別連接對應的所述多個收集板延伸支架，以改變所述多個液體收集板的高度。4.如權(quán)利要求3所述的環(huán)狀液體收集裝置，其特征在于，上述的收集板升降裝置是液壓收集板升降裝置、氣壓收集板升降裝置或馬達收集板升降裝置。5.如權(quán)利要求4所述的環(huán)狀液體收集裝置，其特征在于，至少其中一個所述液體收集板能夠向上升高并超過所述環(huán)形外殼的高度。6.如權(quán)利要求5所述的環(huán)狀液體收集裝置，其特征在于，所述環(huán)狀液體收集裝置還包含多個泄流口，其分別安裝于對應的所述多個液體收集板，以將回收的所述液體向外排出至外部回收裝置。7.如權(quán)利要求6所述的環(huán)狀液體收集裝置，其特征在于，所述多個液體收集板由內(nèi)側(cè)向外側(cè)與向下傾斜，以將回收的所述液體排出至所述外部回收裝置。8.如權(quán)利要求7所述的環(huán)狀液體收集裝置，其特征在于，所述環(huán)狀液體收集裝置還包含主排氣裝置與多個排氣閥，所述多個排氣閥分別安裝于對應的所述多個液體收集板，以將廢氣排出所述環(huán)狀液體收集裝置。9.如權(quán)利要求8所述的環(huán)狀液體收集裝置，其特征在于，所述環(huán)狀液體收集裝置還包含間隙排氣閥，其安裝于所述環(huán)形外殼，以將所述多個液體收集板與所述環(huán)形外殼之間的廢氣排出所述環(huán)狀液體收集裝置。10.如權(quán)利要求9所述的環(huán)狀液體收集裝置，其特征在于，所述環(huán)狀液體收集裝置還包含轉(zhuǎn)盤，其位于所述環(huán)狀液體收集裝置中，以放置基材于其上，進行濕式蝕刻。
【文檔編號】H01L21/67GK205488057SQ201620127169
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年2月18日
【發(fā)明人】蘇左將, 張宏源, 張芳丕
【申請人】頂程國際股份有限公司