一種全自動(dòng)數(shù)控硅片輸送裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種全自動(dòng)數(shù)控硅片輸送裝置，包括輸送臺(tái)、第一傳送帶、第二傳送帶和防輻射箱，輸送臺(tái)內(nèi)部設(shè)有防輻射箱，防輻射箱內(nèi)部設(shè)有第二傳送帶，輸送臺(tái)頂部設(shè)有第一傳送帶、切割箱、PLC電控箱、滅菌箱和檢測(cè)箱，切割箱內(nèi)部設(shè)有切割機(jī)構(gòu)，外側(cè)設(shè)有電動(dòng)機(jī)，滅菌箱內(nèi)部設(shè)有紫外線燈管，切割箱、PLC電控箱、滅菌箱和檢測(cè)箱底部均設(shè)有出口，該裝置通過(guò)PLC電控箱，能夠?qū)崿F(xiàn)裝置的全自動(dòng)運(yùn)行，這樣就能夠在無(wú)人的狀態(tài)下進(jìn)行輸送工作，減少了人工投入以及提高了輸送效率，通孔和防輻射箱，能夠?qū)崿F(xiàn)防輻射的同時(shí)，可以對(duì)硅片輸送工作中產(chǎn)生的碎渣進(jìn)行收集，防止碎渣摩擦硅片，影響硅片的質(zhì)量。
【專利說(shuō)明】
一種全自動(dòng)數(shù)控硅片輸送裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種輸送裝置，具體涉及一種全自動(dòng)數(shù)控硅片輸送裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]數(shù)控是數(shù)字控制的簡(jiǎn)稱，數(shù)控技術(shù)是利用數(shù)字化信息對(duì)機(jī)械運(yùn)動(dòng)及加工過(guò)程進(jìn)行控制的一種方法，早期的數(shù)控系統(tǒng)是由硬件電路構(gòu)成的稱為硬件數(shù)控(Hard NO，1970年代以后，硬件電路元件逐步由專用的計(jì)算機(jī)代替而稱為計(jì)算機(jī)數(shù)控系統(tǒng)，一般是采用專用計(jì)算機(jī)并配有接口電路，可實(shí)現(xiàn)多臺(tái)數(shù)控設(shè)備動(dòng)作的控制。因此現(xiàn)在的數(shù)控一般都是CNC(計(jì)算機(jī)數(shù)控)，很少再用NC這個(gè)概念了。
[0003]數(shù)控技術(shù)是用數(shù)字信息對(duì)機(jī)械運(yùn)動(dòng)和工作過(guò)程進(jìn)行控制的技術(shù)，數(shù)控裝備是以數(shù)控技術(shù)為代表的新技術(shù)對(duì)傳統(tǒng)制造產(chǎn)業(yè)和新興制造業(yè)的滲透形成的機(jī)電一體化產(chǎn)品，即所謂的數(shù)字化裝備，如數(shù)控機(jī)床等。其技術(shù)涉及多個(gè)領(lǐng)域:(I)機(jī)械制造技術(shù)；(2)信息處理、加工、傳輸技術(shù)；(3)自動(dòng)控制技術(shù)；(4)伺服驅(qū)動(dòng)技術(shù)；(5)傳感器技術(shù)；(6)軟件技術(shù)等。數(shù)控技術(shù)及裝備是發(fā)展新興高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)和尖端工業(yè)的使能技術(shù)和最基本的裝備。世界各國(guó)信息產(chǎn)業(yè)、生物產(chǎn)業(yè)、航空、航天等國(guó)防工業(yè)廣泛采用數(shù)控技術(shù)，以提高制造能力和水平，提高對(duì)市場(chǎng)的適應(yīng)能力和競(jìng)爭(zhēng)能力。工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家還將數(shù)控技術(shù)及數(shù)控裝備列為國(guó)家的戰(zhàn)略物資，不僅大力發(fā)展自己的數(shù)控技術(shù)及其產(chǎn)業(yè)，而且在〃高精尖〃數(shù)控關(guān)鍵技術(shù)和裝備方面對(duì)我國(guó)實(shí)行封鎖和限制政策。因此大力發(fā)展以數(shù)控技術(shù)為核心的先進(jìn)制造技術(shù)已成為世界各發(fā)達(dá)國(guó)家加速經(jīng)濟(jì)發(fā)展、提高綜合國(guó)力和國(guó)家地位的重要途徑。
[0004]產(chǎn)品或工件的輸送，我們通常是用傳送帶或電機(jī)帶動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)輸送，在對(duì)硅片的輸送中，現(xiàn)有的輸送裝置效率低下，而且需要投入的操作人員也十分多，這樣不僅增加了我們的成本，也增加了勞動(dòng)力，而且對(duì)于硅片輸送過(guò)程中，產(chǎn)生的碎渣沒(méi)有清理，使得碎渣摩擦硅片，影響硅片的質(zhì)量，我們需要一種全自動(dòng)數(shù)控的硅片輸送裝置，這是我們要解決的問(wèn)題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有的缺陷，提供了一種全自動(dòng)數(shù)控硅片輸送裝置，可以有效解決【背景技術(shù)】中出現(xiàn)的問(wèn)題。
[0006]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了如下的技術(shù)方案:
[0007]本實(shí)用新型一種全自動(dòng)數(shù)控硅片輸送裝置，包括輸送臺(tái)、第一傳送帶、第二傳送帶和防輻射箱，所述輸送臺(tái)內(nèi)部設(shè)有所述防輻射箱，所述防輻射箱內(nèi)部設(shè)有所述第二傳送帶，所述輸送臺(tái)頂部設(shè)有所述第一傳送帶、切割箱、PLC電控箱、滅菌箱和檢測(cè)箱，所述切割箱內(nèi)部設(shè)有切割機(jī)構(gòu)，外側(cè)設(shè)有電動(dòng)機(jī)，所述滅菌箱內(nèi)部設(shè)有紫外線燈管，所述切割箱、所述PLC電控箱、所述滅菌箱和所述檢測(cè)箱底部均設(shè)有出口，所述滅菌箱和所述檢測(cè)箱的所述出口內(nèi)壁兩側(cè)均設(shè)有限位器。
[0008]作為本實(shí)用新型優(yōu)選的一種技術(shù)方案，所述PLC電控箱外側(cè)設(shè)有電控開(kāi)關(guān)和三個(gè)指示燈。
[0009]作為本實(shí)用新型優(yōu)選的一種技術(shù)方案，所述切割箱、所述滅菌箱和所述檢測(cè)箱均與所述PLC電控箱電性連接。
[0010]作為本實(shí)用新型優(yōu)選的一種技術(shù)方案，所述第一傳送帶表面設(shè)有通孔，內(nèi)部設(shè)有彈簧，且所述通孔和所述防輻射箱連通。
[0011]作為本實(shí)用新型優(yōu)選的一種技術(shù)方案，所述切割箱、所述滅菌箱、所述檢測(cè)箱和所述PLC電控箱均與所述第一傳送帶螺栓連接。
[0012]本實(shí)用新型的有益效果是:該種全自動(dòng)數(shù)控硅片輸送裝置，通過(guò)PLC電控箱，能夠?qū)崿F(xiàn)裝置的全自動(dòng)運(yùn)行，這樣就能夠在無(wú)人的狀態(tài)下進(jìn)行輸送工作，減少了人工投入以及提高了輸送效率，通過(guò)通孔和防輻射箱，能夠?qū)崿F(xiàn)防輻射的同時(shí)，也可以對(duì)硅片輸送工作中產(chǎn)生的碎渣進(jìn)行收集，防止碎渣摩擦硅片，影響硅片成品的質(zhì)量。
【附圖說(shuō)明】
[0013]附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說(shuō)明書(shū)的一部分，與本實(shí)用新型的實(shí)施例一起用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的限制。在附圖中:
[0014]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例所述的一種全自動(dòng)數(shù)控硅片輸送裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖中:1、輸送臺(tái)；2、第一傳送帶；3、第二傳送帶;4、切割箱；5、PLC電控箱;6、滅菌箱;7、紫外線燈管;8、檢測(cè)箱;9、出口； 10、限位器;11、切割機(jī)構(gòu)；12、電動(dòng)機(jī);13、通孔;14、防輻射箱;15、電控開(kāi)關(guān);16、指示燈;17、彈簧。
【具體實(shí)施方式】
[0016]以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明，應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的優(yōu)選實(shí)施例僅用于說(shuō)明和解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0017]實(shí)施例:
[0018]如圖1所示，本實(shí)用新型一種全自動(dòng)數(shù)控硅片輸送裝置，包括輸送臺(tái)1、第一傳送帶
2、第二傳送帶3和防輻射箱14，輸送臺(tái)I內(nèi)部設(shè)有防輻射箱14，防輻射箱14內(nèi)部設(shè)有第二傳送帶3，輸送臺(tái)I頂部設(shè)有第一傳送帶2、切割箱4、PLC電控箱5、滅菌箱6和檢測(cè)箱8，切割箱4內(nèi)部設(shè)有切割機(jī)構(gòu)11，外側(cè)設(shè)有電動(dòng)機(jī)12，滅菌箱6內(nèi)部設(shè)有紫外線燈管7，切割箱4、PLC電控箱5、滅菌箱6和檢測(cè)箱8底部均設(shè)有出口 9，滅菌箱6和檢測(cè)箱8的出口 9內(nèi)壁兩側(cè)均設(shè)有限位器10，通過(guò)PLC電控箱5，能夠?qū)崿F(xiàn)裝置的全自動(dòng)運(yùn)行，這樣就能夠在無(wú)人的狀態(tài)下進(jìn)行輸送工作，減少了人工投入以及提高了輸送效率，通過(guò)通孔13和防輻射箱14，能夠?qū)崿F(xiàn)防輻射的同時(shí)，也可以對(duì)硅片輸送工作中產(chǎn)生的碎渣進(jìn)行收集，防止碎渣摩擦硅片，影響硅片成品的質(zhì)量。
[0019]PLC電控箱5外側(cè)設(shè)有電控開(kāi)關(guān)15和三個(gè)指示燈16，能夠控制PLC電控箱5的打開(kāi)和關(guān)閉以及通過(guò)三個(gè)指示燈16，反應(yīng)輸送裝置的工作進(jìn)程。
[0020]切割箱4、滅菌箱6和檢測(cè)箱8均PLC電控箱(5電性連接，能夠?qū)崿F(xiàn)裝置的全自動(dòng)運(yùn)行沒(méi)減少了人工投入以及提高了輸送效率。
[0021]第一傳送帶2表面設(shè)有通孔13，內(nèi)部設(shè)有彈簧17，且通孔13和防輻射箱14連通，在實(shí)現(xiàn)防輻射的同時(shí)，也可以對(duì)硅片輸送工作中產(chǎn)生的碎渣進(jìn)行收集，防止碎渣摩擦硅片，影響硅片成品的質(zhì)量。
[0022]切割箱4、滅菌箱6、檢測(cè)箱8和PLC電控箱5均與第一傳送帶2螺栓連接，保證裝置的穩(wěn)定性。
[0023]具體的，使用時(shí)，我們打開(kāi)電控開(kāi)關(guān)15，并調(diào)試好PLC電控箱5，成品的硅片通過(guò)切割機(jī)構(gòu)11，被切割成多個(gè)部分，然后通過(guò)第一傳送帶2分別通過(guò)PLC電控箱5、滅菌箱6和檢測(cè)箱8，完成滅菌和檢測(cè)質(zhì)量的過(guò)程，這樣，大大提高了輸送的效率，也節(jié)省了人工勞動(dòng)力的投入，降低了成本，在硅片輸送的過(guò)程中，由于會(huì)因?yàn)槟Σ炼a(chǎn)生碎渣，我們通過(guò)通孔13，能夠?qū)⑺樵M(jìn)入防輻射箱內(nèi)，再通過(guò)第二傳送帶3，將碎渣送出。
[0024]該種全自動(dòng)數(shù)控硅片輸送裝置，通過(guò)PLC電控箱5，能夠?qū)崿F(xiàn)裝置的全自動(dòng)運(yùn)行，這樣就能夠在無(wú)人的狀態(tài)下進(jìn)行輸送工作，減少了人工投入以及提高了輸送效率，通過(guò)通孔13和防輻射箱14，能夠?qū)崿F(xiàn)防輻射的同時(shí)，也可以對(duì)硅片輸送工作中產(chǎn)生的碎渣進(jìn)行收集，防止碎渣摩擦硅片，影響硅片成品的質(zhì)量。
[0025]最后應(yīng)說(shuō)明的是:以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種全自動(dòng)數(shù)控硅片輸送裝置，包括輸送臺(tái)(1)、第一傳送帶(2)、第二傳送帶(3)和防輻射箱(14)，其特征在于，所述輸送臺(tái)(I)內(nèi)部設(shè)有所述防輻射箱(14)，所述防輻射箱(14)內(nèi)部設(shè)有所述第二傳送帶(3)，所述輸送臺(tái)(I)頂部設(shè)有所述第一傳送帶(2)、切割箱(4)、PLC電控箱(5)、滅菌箱(6)和檢測(cè)箱(8)，所述切割箱(4)內(nèi)部設(shè)有切割機(jī)構(gòu)(11)，外側(cè)設(shè)有電動(dòng)機(jī)(12)，所述滅菌箱(6)內(nèi)部設(shè)有紫外線燈管(7)，所述切割箱(4)、所述PLC電控箱(5)、所述滅菌箱(6)和所述檢測(cè)箱(8)底部均設(shè)有出口(9)，所述滅菌箱(6)和所述檢測(cè)箱(8)的所述出口(9)內(nèi)壁兩側(cè)均設(shè)有限位器(10)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動(dòng)數(shù)控硅片輸送裝置，其特征在于，所述PLC電控箱(5)外側(cè)設(shè)有電控開(kāi)關(guān)(15)和三個(gè)指示燈(16)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動(dòng)數(shù)控硅片輸送裝置，其特征在于，所述切割箱(4)、所述滅菌箱(6)和所述檢測(cè)箱(8)均與所述PLC電控箱(5)電性連接。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動(dòng)數(shù)控硅片輸送裝置，其特征在于，所述第一傳送帶(2)表面設(shè)有通孔(13)，內(nèi)部設(shè)有彈簧(17)，且所述通孔(13)和所述防輻射箱(14)連通。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動(dòng)數(shù)控硅片輸送裝置，其特征在于，所述切割箱(4)、所述滅菌箱(6)、所述檢測(cè)箱(8)和所述PLC電控箱(5)均與所述第一傳送帶(2)螺栓連接。
【文檔編號(hào)】H01L21/677GK205508795SQ201620277133
【公開(kāi)日】2016年8月24日
【申請(qǐng)日】2016年4月6日
【發(fā)明人】林助水
【申請(qǐng)人】林助水