一種平板抽屜式光罩儲存柜的制作方法
【專利摘要】一種平板抽屜式光罩儲存柜，包括：儲存柜本體，圍閉形成由各儲存單元構(gòu)成的儲存空間；抽屜欄位，活動設(shè)置在各儲存單元內(nèi)，并在所述抽屜欄位之面向用戶的一側(cè)設(shè)置信息錄入欄位。本實用新型平板抽屜式光罩儲存柜通過設(shè)置獨(dú)立的儲存單元，并在儲存單元內(nèi)活動設(shè)置具有隔斷板的抽屜欄位，且在所述抽屜欄位之外側(cè)的信息錄入欄位內(nèi)記載光罩儲存信息，不僅利于光罩之儲存，保證儲存質(zhì)量，提高工作效率，而且儲存容量大，管理規(guī)范，值得推廣使用。
【專利說明】
一種平板抽屆式光罩儲存柜
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種平板抽屜式光罩儲存柜。
【背景技術(shù)】
[0002]芯片代工廠隨著產(chǎn)能的上升，以及產(chǎn)品的更新，生產(chǎn)線上所需要的光罩?jǐn)?shù)量勢必大幅度增加。如何安全、可靠的管理光罩，已成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題之
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[0003]通常地，對光罩的儲存多為在各獨(dú)立的儲存欄位內(nèi)進(jìn)行層疊放置，且每一儲存欄位之空間位置設(shè)置遠(yuǎn)大于單個光罩的體積。顯然地，由所述儲存欄位組成的儲存柜不僅極大的造成空間浪費(fèi)，而且層疊式方式不利于存取。另一方面，現(xiàn)有的儲存柜均為開口式設(shè)計，不僅在長期存放時易于受到粉塵污染，而且在存取光罩時極易造成滑落損傷，在無儲存錄入信息的情況下，管理混亂在所難免。
[0004]故針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本案設(shè)計人憑借從事此行業(yè)多年的經(jīng)驗，積極研究改良，于是有了本實用新型一種平板抽屜式光罩儲存柜。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]本實用新型是針對現(xiàn)有技術(shù)中，傳統(tǒng)對光罩之儲存多為在各獨(dú)立的儲存欄位內(nèi)進(jìn)行層疊放置，且每一儲存欄位之空間位置設(shè)置遠(yuǎn)大于單個光罩的體積，不僅極大的造成空間浪費(fèi)，而且層疊式方式不利于存取;又因現(xiàn)有的儲存柜均為開口式設(shè)計，不僅在長期存放時易于受到粉塵污染，而且在存取光罩時極易造成滑落損傷，在無儲存錄入信息的情況下，管理混亂在所難免等缺陷提供一種平板抽屜式光罩儲存柜。
[0006]為實現(xiàn)本實用新型之目的，本實用新型提供一種平板抽屜式光罩儲存柜，所述平板抽屜式光罩儲存柜，包括:儲存柜本體，圍閉形成由各儲存單元構(gòu)成的儲存空間；抽屜欄位，活動設(shè)置在各儲存單元內(nèi)，并在所述抽屜欄位之面向用戶的一側(cè)設(shè)置信息錄入欄位。
[0007]可選地，所述平板抽屜式光罩儲存柜之抽屜欄位的近中端處設(shè)置隔斷板，并將所述抽屜欄位分割成第一儲存欄位和第二儲存欄位。
[0008]可選地，所述抽屜欄位之第一儲存欄位和第二儲存欄位位于所述儲存單元內(nèi)的圍壁之高度為Icm0
[0009]可選地，所述各抽屜欄位之相鄰側(cè)的中間設(shè)置鋁制薄板。
[0010]可選地，封存后的光罩之尺寸為22 X 6 X 22(Cm)，所述儲存單元的尺寸為25 X 8 X50(cm)，所述平板抽屜式光罩儲存柜之尺寸為200 X 180 X 50(cm) ο
[0011]可選地，所述抽屜欄位設(shè)置在所述儲存單元內(nèi)，且所述抽屜欄位之幾何大小與所述儲存單元之幾何大小相匹配。
[0012]可選地，所述平板抽屜式光罩儲存柜之面向用戶一側(cè)的無礙距離為60cm以上。
[0013]可選地，所述平板抽屜式光罩儲存柜接地設(shè)置。
[0014]可選地，所述平板抽屜式光罩儲存柜上方設(shè)置去離子棒。
[0015]可選地，所述平板抽屜式儲存柜設(shè)置在凈化級別為100的無塵室。
[0016]綜上所述，本實用新型平板抽屜式光罩儲存柜通過設(shè)置獨(dú)立的儲存單元，并在儲存單元內(nèi)活動設(shè)置具有隔斷板的抽屜欄位，且在所述抽屜欄位之外側(cè)的信息錄入欄位內(nèi)記載光罩儲存信息，不僅利于光罩之儲存，保證儲存質(zhì)量，提高工作效率，而且儲存容量大，管理規(guī)范，值得推廣使用。
【附圖說明】
[0017]圖1所示為本實用新型平板抽屜式光罩儲存柜之立體結(jié)構(gòu)圖；
[0018]圖2所示為本實用新型平板抽屜式光罩儲存柜之抽屜欄位的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0019]為詳細(xì)說明本發(fā)明創(chuàng)造的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所達(dá)成目的及功效，下面將結(jié)合實施例并配合附圖予以詳細(xì)說明。
[0020]芯片代工廠隨著產(chǎn)能的上升，以及產(chǎn)品的更新，生產(chǎn)線上所需要的光罩?jǐn)?shù)量勢必大幅度增加。如何安全、可靠的管理光罩，已成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題之
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[0021]請參閱圖1、圖2，圖1所示為本實用新型平板抽屜式光罩儲存柜之立體結(jié)構(gòu)圖。圖2所示為本實用新型平板抽屜式光罩儲存柜之抽屜欄位的結(jié)構(gòu)示意圖。所述平板抽屜式光罩儲存柜I，包括:儲存柜本體11，所述儲存柜本體11圍閉形成由各儲存單元12構(gòu)成的儲存空間；抽屜欄位13，所述抽屜欄位13活動設(shè)置在各儲存單元12內(nèi)，并在所述抽屜欄位13之面向用戶的一側(cè)設(shè)置信息錄入欄位14。
[0022]為了提高本實用新型平板抽屜式光罩儲存柜I之光罩儲存容量，便于管理有序，優(yōu)選地，所述平板抽屜式光罩儲存柜I之抽屜欄位13的近中端處設(shè)置隔斷板131，以將所述抽屜欄位13分割成第一儲存欄位132和第二儲存欄位133。所述抽屜欄位13之面向用戶一側(cè)設(shè)置的信息錄入欄位14分別錄入所述第一儲存欄位132和所述第二儲存欄位133的儲存信息。
[0023]作為具體的實施方式，非限制性的列舉，封存后的所述光罩之尺寸為22X6X 22(cm);所述儲存單元12的尺寸為25X8 X 50(cm);所述抽屜欄位13設(shè)置在所述儲存單元12內(nèi)，且所述抽屜欄位13之幾何大小與所述儲存單元12之幾何大小相匹配。更具體地，所述抽屜欄位13之第一儲存欄位132和第二儲存欄位133位于所述儲存單元12內(nèi)的圍壁134之高度為lcm，以避免光罩(未圖示)間的碰撞和滑移。為了進(jìn)一步增強(qiáng)各抽屜欄位13之獨(dú)立性，優(yōu)選地，在各抽屜欄位13之相鄰側(cè)的中間設(shè)置鋁制薄板(未圖示)。又，為了提高空間利用率，所述平板抽屜式光罩儲存柜I之尺寸為200 X 180 X 50(cm)。
[0024]在本實用新型平板抽屜式光罩儲存柜I之進(jìn)行光罩儲存的過程中，所述平板抽屜式光罩儲存柜I之面向用戶一側(cè)的無礙距離為60cm以上。所述平板抽屜式光罩儲存柜I接地設(shè)置。所述平板抽屜式光罩儲存柜I上方設(shè)置去離子棒(未圖示)，以去除外界環(huán)境和用戶之靜電。同時，為了防止粉塵污染，優(yōu)選地，所述平板抽屜式儲存柜I設(shè)置在凈化級別為100的無塵室。
[0025]綜上所述，本實用新型平板抽屜式光罩儲存柜通過設(shè)置獨(dú)立的儲存單元，并在儲存單元內(nèi)活動設(shè)置具有隔斷板的抽屜欄位，且在所述抽屜欄位之外側(cè)的信息錄入欄位內(nèi)記載光罩儲存信息，不僅利于光罩之儲存，保證儲存質(zhì)量，提高工作效率，而且儲存容量大，管理規(guī)范，值得推廣使用。
[0026]本領(lǐng)域技術(shù)人員均應(yīng)了解，在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，可以對本實用新型進(jìn)行各種修改和變型。因而，如果任何修改或變型落入所附權(quán)利要求書及等同物的保護(hù)范圍內(nèi)時，認(rèn)為本實用新型涵蓋這些修改和變型。
【主權(quán)項】
1.一種平板抽屜式光罩儲存柜，其特征在于，所述平板抽屜式光罩儲存柜，包括: 儲存柜本體，圍閉形成由各儲存單元構(gòu)成的儲存空間； 抽屜欄位，活動設(shè)置在各儲存單元內(nèi)，并在所述抽屜欄位之面向用戶的一側(cè)設(shè)置信息錄入欄位。2.如權(quán)利要求1所述的平板抽屜式光罩儲存柜，其特征在于，所述平板抽屜式光罩儲存柜之抽屜欄位的近中端處設(shè)置隔斷板，并將所述抽屜欄位分割成第一儲存欄位和第二儲存欄位。3.如權(quán)利要求2所述的平板抽屜式光罩儲存柜，其特征在于，所述抽屜欄位之第一儲存欄位和第二儲存欄位位于所述儲存單元內(nèi)的圍壁之高度為lcm。4.如權(quán)利要求1所述的平板抽屜式光罩儲存柜，其特征在于，所述各抽屜欄位之相鄰側(cè)的中間設(shè)置鋁制薄板。5.如權(quán)利要求1所述的平板抽屜式光罩儲存柜，其特征在于，封存后的光罩之尺寸為22X 6 X 22厘米，所述儲存單元的尺寸為25 X 8 X 50厘米，所述平板抽屜式光罩儲存柜之尺寸為 200 X 180 X 50 厘米。6.如權(quán)利要求5所述的平板抽屜式光罩儲存柜，其特征在于，所述抽屜欄位設(shè)置在所述儲存單元內(nèi)，且所述抽屜欄位之幾何大小與所述儲存單元之幾何大小相匹配。7.如權(quán)利要求1所述的平板抽屜式光罩儲存柜，其特征在于，所述平板抽屜式光罩儲存柜之面向用戶一側(cè)的無礙距離為60cm以上。8.如權(quán)利要求1所述的平板抽屜式光罩儲存柜，其特征在于，所述平板抽屜式光罩儲存柜接地設(shè)置。9.如權(quán)利要求1所述的平板抽屜式光罩儲存柜，其特征在于，所述平板抽屜式光罩儲存柜上方設(shè)置去尚子棒。10.如權(quán)利要求1所述的平板抽屜式光罩儲存柜，其特征在于，所述平板抽屜式儲存柜設(shè)置在凈化級別為100的無塵室。
【文檔編號】H01L21/673GK205542728SQ201620146367
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年2月26日
【發(fā)明人】金衛(wèi), 許青峰, 朱駿, 呂煜坤
【申請人】上海華力微電子有限公司