掩膜處理裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種掩膜處理裝置，其包括：裝載部(100)，配備有用于分別取出夾具和掩膜并將其結(jié)合的多關(guān)節(jié)裝載機(jī)器手(140)；處理部(200)，配備有處理組(210)和工程機(jī)器手(220)，所述處理組(210)配備有一個(gè)以上，所述工程機(jī)器手(220)從所述裝載機(jī)器手(140)接收結(jié)合于夾具的掩膜并移動(dòng)而經(jīng)過所述處理組(210)；卸載部(300)，配備有多關(guān)節(jié)卸載機(jī)器手(330)，所述多關(guān)節(jié)卸載機(jī)器手(330)從所述處理部(200)接收已完成處理的結(jié)合于夾具的掩膜而分離夾具和掩膜，之后分別卸載所述分離的夾具和掩膜；以及夾具回收部(400)，與所述處理部(200)并排地配備于所述處理部(200)的上部，用于從所述卸載機(jī)器手(330)接收夾具并向所述裝載部返送。
【專利說明】
掩膜處理裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種掩膜處理裝置，尤其涉及一種能夠?qū)⒂糜谘谀ぬ幚砉ば虻膴A具回收到原來的位置而再次使用的、減少了大小并簡化了結(jié)構(gòu)的掩膜處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]通常，使用有機(jī)電激發(fā)光顯示裝置(0LED;0rganic Light Emitting Display)等大面積基板的顯示屏制造工序中，為了形成特定的薄膜而使用印網(wǎng)掩膜等掩膜。
[0003]對(duì)這種掩膜而言，要求高的清潔度以準(zhǔn)確地形成所需的薄膜圖案，因此需要周期性的清洗等處理工序。
[0004]現(xiàn)有的掩膜處理裝置如韓國授權(quán)專利第10-1195565號(hào)中記載，使借助于機(jī)器手(robot)而裝載的掩膜與從夾具堆積臺(tái)取出的夾具結(jié)合，從而被其他機(jī)器手移送且在多個(gè)清洗組進(jìn)行清洗。
[0005]圖1是所述韓國授權(quán)專利第10-1195565號(hào)的摘要附圖。
[0006]如圖1所示，現(xiàn)有的掩膜處理裝置包括:回收固定臺(tái)10;陳列單元20，配備于所述回收固定臺(tái)10的一側(cè);清洗單元30，配備于所述陳列單元20的一側(cè);排出固定臺(tái)40，配備于所述清洗單元30的一側(cè);第一移送單元50，配備于所述回收固定臺(tái)10和清洗單元30之間，第二移送單元60，配備于所述清洗單元30;第三移送單元70，配備于所述清洗單元30和排出固定臺(tái)40之間；以及回收單元80，在所述回收固定臺(tái)10和排出固定臺(tái)40之間來回移送。
[0007]并且，其構(gòu)成還包括待機(jī)固定臺(tái)95和排出單元90。
[0008]在上述構(gòu)成中，第一移送單元50起到如下的作用:移送陳列于陳列單元20的夾具并使其與位于回收固定臺(tái)10的屏幕掩膜結(jié)合，之后將其轉(zhuǎn)交給第二移送單元60，但省略了用于實(shí)質(zhì)地裝載屏幕掩膜的裝載單元，在該部分中，通常多個(gè)機(jī)器手裝載屏幕掩膜，取出夾具，并使夾具和屏幕掩膜結(jié)合后，轉(zhuǎn)交給在清洗單元30的區(qū)間內(nèi)進(jìn)行來回運(yùn)動(dòng)的第二移送單元60。
[0009]如上所述，目前為了掩膜的裝載、夾具的裝載以及夾具和掩膜的結(jié)合、移送而使用多個(gè)機(jī)器手，但是在該情況下，不容易對(duì)多個(gè)機(jī)器手進(jìn)行同步控制，且存在裝置的大小相對(duì)變大的問題。
[0010]并且，還包括:回收單元80，將結(jié)合于夾具的屏幕掩膜清洗后，分離夾具和屏幕掩膜而回收夾具，并將其供應(yīng)至所述陳列單元20。
[0011]為了夾具的連續(xù)且重復(fù)的使用而將夾具從清洗完畢的平面掩膜分離后，為了與新的掩膜結(jié)合，所述回收單元80形成在與第一至第三移送單元50、60、70不同的路徑，如圖1所示，與清洗單元30并排布置于在清洗單元30的一側(cè)。
[0012]根據(jù)上述回收單元80的構(gòu)成，因?yàn)檠谀ぬ幚硌b置的大小變大且結(jié)構(gòu)復(fù)雜而導(dǎo)致需要維修的部分過多，因此存在裝置的維護(hù)以及管理所需的費(fèi)用也增加的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0013]本實(shí)用新型為了解決上述問題而提出，其目的在于，提供一種如下的掩膜處理裝置，為了將用于掩膜的處理工序的夾具回收到原位并再使用的裝置中，減小其大小，簡化結(jié)構(gòu)，從而最小化需要維修的部分。
[0014]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的掩膜處理裝置I包括:裝載部100，配備有用于分別取出夾具和掩膜并將其結(jié)合的多關(guān)節(jié)裝載機(jī)器手140;處理部200，配備有處理組210和工程機(jī)器手220，所述處理組210配備有一個(gè)以上，所述工程機(jī)器手220從所述裝載機(jī)器手140接收結(jié)合于夾具的掩膜并移動(dòng)而經(jīng)過所述處理組210;卸載部300，配備有多關(guān)節(jié)卸載機(jī)器手330，所述多關(guān)節(jié)卸載機(jī)器手330從所述處理部200接收已完成處理的結(jié)合于夾具的掩膜而分離夾具和掩膜，之后分別卸載所述分離的夾具和掩膜；以及夾具回收部400，與所述處理部200并排地配備于所述處理部200的上部，用于從所述卸載機(jī)器手330接收夾具并向所述裝載部100返送。
[0015]所述夾具回收部400可以由穿梭輸送機(jī)410構(gòu)成，所述夾具安裝于所述穿梭輸送機(jī)410而被返送處理。
[0016]所述裝載部100可以包括:夾具堆載部110，使所述夾具得到收納;掩膜堆載部120，使所述掩膜得到收納;組裝部130，使從所述夾具堆載部110取出的夾具和從所述掩膜堆載部120取出的掩膜結(jié)合。
[0017]所述裝載機(jī)器手140可以從所述夾具回收部400接收夾具，并使其被收納在所述夾具堆載部110。
[0018]所述工程機(jī)器手220可以在所述處理部200上部向前后方向進(jìn)行來回移動(dòng)，并且進(jìn)行上下升降移動(dòng)以將所述結(jié)合于夾具的掩膜放置在所述處理組210內(nèi)。
[0019]所述卸載部300可以包括:分離部310，用于使從工程機(jī)器手220接收的結(jié)合于夾具的掩膜分離;掩膜卸載部320，收納從所述分離部310分離的掩膜。
[0020]所述卸載機(jī)器手330可以從位于所述分離部310的結(jié)合于夾具的掩膜分離掩膜后，使其被收納在所述掩膜卸載部320，然后將留在所述分離部310的夾具轉(zhuǎn)交給所述夾具回收部400。
[0021]對(duì)根據(jù)本實(shí)用新型的掩膜處理裝置而言，通過將多關(guān)節(jié)機(jī)器手應(yīng)用在裝載部和卸載部，能夠用一個(gè)裝置進(jìn)行所需處理操作，并且在處理部的上部與處理部并排地配備用于將掩膜處理工序中用到的夾具回收至原位而重新使用的夾具回收部，因此可以通過減少裝置的大小而進(jìn)行有效的使用，并且可以通過簡化裝置的結(jié)構(gòu)而最小化需要維修的部分，從而提高運(yùn)用裝置的便利性。
【附圖說明】
[0022]圖1是現(xiàn)有掩膜處理裝置的結(jié)構(gòu)圖。
[0023]圖2是根據(jù)本實(shí)用新型的掩膜處理裝置的平面圖。
[0024]圖3是根據(jù)本實(shí)用新型的掩膜處理裝置的正面圖。
[0025]附圖符號(hào)
[0026]1:掩膜處理裝置100:裝載部
[0027]110:夾具堆載部120:掩膜堆載部
[0028]130:組裝部140:裝載機(jī)器手
[0029]200:處理部210:處理組
[0030]220:工程機(jī)器手300:卸載部
[0031]310:分離部320:掩膜卸載部
[0032]330:卸載機(jī)器手400:夾具回收部
[0033]410:穿梭輸送機(jī)A:夾具
[0034]B:掩膜C:與夾具結(jié)合的掩膜
【具體實(shí)施方式】
[0035]以下，參照附圖對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例的構(gòu)成以及作用進(jìn)行詳細(xì)的說明。
[0036]參照?qǐng)D2和圖3，根據(jù)本實(shí)用新型的掩膜處理裝置I包括:裝載部100，配備有多關(guān)節(jié)裝載機(jī)器手140，所述多關(guān)節(jié)裝載機(jī)器手140用于分別取出夾具和掩膜并將其結(jié)合;處理部200，配備有處理組210和工程機(jī)器手220，所述處理組210配備有一個(gè)以上，所述工程機(jī)器手220從所述裝載機(jī)器手140接收結(jié)合于夾具的掩膜并移動(dòng)而經(jīng)過所述處理組210;卸載部300，配備有多關(guān)節(jié)卸載機(jī)器手330，所述多關(guān)節(jié)卸載機(jī)器手330從所述處理部200接收已完成處理的結(jié)合于夾具的掩膜而分離夾具和掩膜，之后分別卸載所述被分離的夾具和掩膜；夾具回收部400，與所述處理部200并排地配備于所述處理部200的上部，用于從所述卸載機(jī)器手330接收夾具并向所述裝載部100返送。
[0037]所述裝載部100包括:夾具堆載部110，使夾具A得到收納;掩膜堆載部120，使掩膜B得到收納;組裝部130，使從所述夾具堆載部110取出的夾具A和從所述掩膜堆載部120取出的掩膜B結(jié)合。
[0038]所述多關(guān)節(jié)裝載機(jī)器手140從夾具堆載部110取出夾具A而使其位于組裝部130，之后從掩膜堆載部120取出掩膜B并使其與位于所述組裝部103的夾具A結(jié)合。所述多關(guān)節(jié)裝載機(jī)器手140將結(jié)合于夾具的掩膜C轉(zhuǎn)交給移動(dòng)至處理部200的入口部的工程機(jī)器手220。
[0039]如上所述，相比現(xiàn)有的在裝載部設(shè)置有用于掩膜的取出、夾具的取出、夾具和掩膜的結(jié)合、將結(jié)合的夾具和掩膜轉(zhuǎn)交給工程機(jī)器手的多個(gè)機(jī)器手的情況，本實(shí)用新型中，通過使用多關(guān)節(jié)裝載機(jī)器手140的多關(guān)節(jié)卸載機(jī)器手330，可以進(jìn)一步簡化裝置的構(gòu)成，并消除需要對(duì)每個(gè)機(jī)器手進(jìn)行必要的控制編程的不便。
[0040]配備于所述處理部200的處理組210可以配備有多個(gè)，作為一實(shí)施例，可以由基于沉浸的清洗組、漂洗組、干燥組等構(gòu)成。
[0041]所述工程機(jī)器手220可以構(gòu)成為在處理部200上部向前后方向進(jìn)行來回移動(dòng)，同時(shí)為了將結(jié)合于夾具的掩膜C放置在處理組210內(nèi)而進(jìn)行上下升降移動(dòng)。
[0042]所述結(jié)合于夾具的掩膜C在借助于所述工程機(jī)器手220而移動(dòng)并完成處理工序后，被轉(zhuǎn)交到卸載部300的多關(guān)節(jié)卸載機(jī)器手330。
[0043]對(duì)將結(jié)合于夾具的掩膜C轉(zhuǎn)交給所述卸載機(jī)器手300的工程機(jī)器手220而言，其向裝載部100側(cè)移動(dòng)而準(zhǔn)備從裝載機(jī)器手140接收需要后續(xù)處理的結(jié)合于夾具的掩膜C。
[0044]所述卸載部300包括:分離部310，用于使從工程機(jī)器手220接收的結(jié)合于夾具的掩膜C分離;掩膜卸載部320，收納從所述分離部310分離的掩膜B。
[0045]所述卸載機(jī)器手330從位于所述分離部310的結(jié)合于夾具的掩膜C分離掩膜B并將其收納在掩膜卸載部320，然后舉起留在所述分離部310的夾具A而轉(zhuǎn)交給夾具回收部400。
[0046]所述夾具回收部400執(zhí)行使從卸載機(jī)器手330接收的夾具A向裝載部100返送而轉(zhuǎn)交給裝載機(jī)器手140的功能，其特征在于，由如下方式構(gòu)成:與處理部200并排地布置于處理部200的上部以減少設(shè)置空間。
[0047]本實(shí)施例中，所述夾具回收部400包括:穿梭輸送機(jī)410，使夾具A被安裝支撐而被返送處理；以及驅(qū)動(dòng)部(未圖示)，用于驅(qū)動(dòng)該穿梭輸送機(jī)410。但是，所述夾具回收部400只要是能夠?qū)男遁d部300回收的夾具A返送至裝載部100側(cè)的結(jié)構(gòu)，自然可以改變成穿梭輸送機(jī)410以外的結(jié)構(gòu)而實(shí)施。
[0048]被所述夾具回收部400返送至裝載部100側(cè)的夾具A被裝載機(jī)器手140接收，裝載機(jī)器手140將接收到的夾具A收納在夾具堆載部110并重新使用。
[0049]根據(jù)上述的本實(shí)用新型，可以通過在裝載部100和卸載部300應(yīng)用多關(guān)節(jié)機(jī)器手140、330而由一個(gè)裝置來進(jìn)行所需的處理操作，并且在處理部200的上部與所述處理部200并排地配備用于將掩膜處理工序中使用的夾具A回收到原位而再使用的夾具回收部400，從而可以通過減少掩膜處理裝置的大小而實(shí)現(xiàn)設(shè)置空間的有效使用，并且可以通過簡化裝置的結(jié)構(gòu)而最小化需要維修的部分。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種掩膜處理裝置，其特征在于，包括: 裝載部(100)，配備有用于分別取出夾具和掩膜并將其結(jié)合的多關(guān)節(jié)裝載機(jī)器手(140); 處理部(200)，配備有處理組(210)和工程機(jī)器手(220)，所述處理組(210)配備有一個(gè)以上，所述工程機(jī)器手(220)從所述裝載機(jī)器手(140)接收結(jié)合于夾具的掩膜并移動(dòng)而經(jīng)過所述處理組(210); 卸載部(300)，配備有多關(guān)節(jié)卸載機(jī)器手(330)，所述多關(guān)節(jié)卸載機(jī)器手(330)從所述處理部(200)接收已完成處理的結(jié)合于夾具的掩膜而分離夾具和掩膜，之后分別卸載所述分離的夾具和掩膜;以及 夾具回收部(400)，與所述處理部(200)并排地配備于所述處理部(200)的上部，用于從所述卸載機(jī)器手(330)接收夾具并向所述裝載部(100)返送。2.如權(quán)利要求1所述的掩膜處理裝置，其特征在于， 所述夾具回收部(400)由穿梭輸送機(jī)(410)構(gòu)成，所述夾具安裝于所述穿梭輸送機(jī)(410)而被返送處理。3.如權(quán)利要求1所述的掩膜處理裝置，其特征在于， 所述裝載部(I 00)包括: 夾具堆載部(110)，使所述夾具得到收納； 掩膜堆載部(120)，使所述掩膜得到收納； 組裝部(130)，使從所述夾具堆載部(I 10)取出的夾具和從所述掩膜堆載部(120)取出的掩膜結(jié)合。4.如權(quán)利要求3所述的掩膜處理裝置，其特征在于， 所述裝載機(jī)器手(140)從所述夾具回收部(400)接收夾具，并使其被收納在所述夾具堆載部(110)。5.如權(quán)利要求1所述的掩膜處理裝置，其特征在于， 所述工程機(jī)器手(220)在所述處理部(200)上部向前后方向進(jìn)行來回移動(dòng)，并且進(jìn)行上下升降移動(dòng)以將所述結(jié)合于夾具的掩膜放置在所述處理組(210)內(nèi)。6.如權(quán)利要求1所述的掩膜處理裝置，其特征在于， 所述卸載部(300)包括:分離部(310)，用于使從工程機(jī)器手(220)接收的結(jié)合于夾具的掩膜分離;掩膜卸載部(320)，收納從所述分離部(310)分離的掩膜。7.如權(quán)利要求6所述的掩膜處理裝置，其特征在于， 所述卸載機(jī)器手(330)從位于所述分離部(310)的結(jié)合于夾具的掩膜分離掩膜后，使其被收納在所述掩膜卸載部(320)，然后將留在所述分離部(310)的夾具轉(zhuǎn)交給所述夾具回收部(400)。
【文檔編號(hào)】H01L21/70GK205542788SQ201620307265
【公開日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年4月13日
【發(fā)明人】白云泳, 魯正勛
【申請(qǐng)人】K.C.科技股份有限公司