用于濕式制程的整合式藥液槽的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及一種整合式藥液槽，特別適用于濕式制程。所述整合式藥液槽包括一操作腔室、一液體槽以及一泵。所述操作腔室，用于執(zhí)行濕式制程。所述液體槽，設(shè)置于所述操作腔室下方以及用于儲(chǔ)存至少一液體。所述泵，用于自所述液體槽抽取所述至少一液體至所述操作腔室。所述至少一液體于所述操作腔室中使用后，通過(guò)所述操作腔室的至少一底板回收至所述液體槽。使用過(guò)的液體能夠直接回到所述液體槽，而不需要通過(guò)管線輸送，進(jìn)而解決了漏液的問(wèn)題。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
用于濕式制程的整合式藥液槽
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型系涉及一種整合式藥液槽，特別適用于濕式制程，尤其是用于面板產(chǎn)業(yè)。
【背景技術(shù)】
[0002]在面板產(chǎn)業(yè)中，濕式制程發(fā)展的已經(jīng)相當(dāng)成熟。然而，受限于現(xiàn)有的機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，在實(shí)際操作中仍存在許多問(wèn)題，如維修空間不足、耗液量大、均勻性不佳、漏液以及傳感器作動(dòng)異常。
[0003]參考圖1，繪示現(xiàn)有技術(shù)的濕式制程設(shè)備10之示意圖。所述濕式制程設(shè)備10包括操作腔室11、藥液槽12、藥液回收管路13、栗14以及驅(qū)動(dòng)裝置18。一般而言，藥液儲(chǔ)存于所述藥液槽12中，通過(guò)所述栗14輸送至所述操作腔室11中來(lái)對(duì)一基材15進(jìn)行濕式操作(蝕刻等)。最后使用過(guò)的藥液可以通過(guò)所述藥液回收管路13收集至所述藥液槽中以便再次使用。然而，漏液?jiǎn)栴}往往發(fā)生在所述藥液槽12以及所述操作腔室11之間的藥液回收管路13。
[0004]因此，有必要提供一種整合式藥液槽，以解決上述之問(wèn)題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]有鑒于此，本實(shí)用新型目的在于提供一整合式藥液槽，特別濕式制程，其具有改善上述之問(wèn)題的功效。
[0006]為達(dá)成上述目的，本實(shí)用新型提供一種整合式藥液槽，特別適用于濕式制程，所述整合式藥液槽包括一操作腔室、一液體槽以及一栗。
[0007]所述操作腔室，用于執(zhí)行濕式制程。所述液體槽，設(shè)置于所述操作腔室下方以及用于儲(chǔ)存至少一液體。所述栗，用于自所述液體槽抽取所述至少一液體至所述操作腔室中。所述至少一液體于所述操作腔室中使用后，通過(guò)所述操作腔室的至少一底板回收至所述液體槽中。
[0008]在一優(yōu)選實(shí)施例中，所述操作腔室還包括至少一噴頭，用于連接所述栗以及用于在所述操作腔室中噴灑所述至少一液體。
[0009]在一優(yōu)選實(shí)施例中，所述底板是相對(duì)于水平線為傾斜的。
[0010]在一優(yōu)選實(shí)施例中，所述底板具有至少一孔洞。
[0011]在一優(yōu)選實(shí)施例中，所述整合式藥液槽還包括一底板轉(zhuǎn)換裝置，用于轉(zhuǎn)換所述至少一底板，讓所述至少一液體能夠回收至所述液體槽的至少一分槽中。
[0012]在一優(yōu)選實(shí)施例中，所述至少一分槽系用來(lái)收納水，所述液體槽還包括至少另一分槽用來(lái)收納蝕刻液。
[0013]在一優(yōu)選實(shí)施例中，所述至少一底板包括第一和第二底板，所述水系經(jīng)由所述第一底板來(lái)回收至所述至少一分槽中，所述蝕刻液系經(jīng)由所述第二底板來(lái)回收至所述至少另一分槽中。
[0014]為達(dá)成上述目的，本實(shí)用新型提供一種用于濕式制程的整合式藥液槽，所述整合式藥液槽包括一操作腔室、一液體槽以及一栗。
[0015]所述操作腔室具有一噴嘴，用于執(zhí)行濕式制程。所述液體槽，設(shè)置于所述操作腔室下方以及用于儲(chǔ)存一液體，所述液體槽的上方系和所述操作腔室的下方至少部分地直接連通。所述栗，用于自所述液體槽抽取所述液體至所述操作腔室中。所述液體于所述操作腔室中使用后，通過(guò)所述操作腔室的下方回收至所述液體槽中。
[0016]在一優(yōu)選實(shí)施例中，所述操作腔室具有一底板介于所述操作腔室和所述液體槽之間，所述底板用來(lái)導(dǎo)引所述使用過(guò)的液體回收至所述液體槽中。
[0017]在一優(yōu)選實(shí)施例中，所述液體槽具有第一和第二分槽用以容納不同的液體，所述整合式藥液槽進(jìn)一步包括有一底板轉(zhuǎn)換裝置用來(lái)操作所述底板以在不同的處理過(guò)程中導(dǎo)引所述使用過(guò)的液體回收至所述第一和第二分槽的一者中。
[0018]相較于現(xiàn)有技術(shù)，在本實(shí)用新型中，濕式制程的液體槽設(shè)置在操作腔室之下，同時(shí)在所述液體槽以及所述操作腔室之間設(shè)置一底板，以便使用過(guò)的液體能夠直接回到所述液體槽，而不需要通過(guò)管線輸送，進(jìn)而解決了漏液的問(wèn)題。
【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1，繪示先前技術(shù)的濕式制程設(shè)備之示意圖；
[0020]圖2，繪示本實(shí)用新型的第一優(yōu)選實(shí)施例的整合式藥液槽之示意圖；以及
[0021]圖3，繪示本實(shí)用新型的第二優(yōu)選實(shí)施例的整合式藥液槽之示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]以下參照附圖詳細(xì)說(shuō)明的實(shí)施例將會(huì)使得本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征以及實(shí)現(xiàn)這些優(yōu)點(diǎn)和特征的方法更加明確。但是，本實(shí)用新型不局限于以下所公開(kāi)的實(shí)施例，本實(shí)用新型能夠以互不相同的各種方式實(shí)施，以下所公開(kāi)的實(shí)施例僅用于使本實(shí)用新型的公開(kāi)內(nèi)容更加完整，有助于本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能夠完整地理解本實(shí)用新型之范疇，本實(shí)用新型是根據(jù)申請(qǐng)專(zhuān)利范圍而定義。在說(shuō)明書(shū)全文中，相同的附圖標(biāo)記表示相同的裝置組件。
[0023]參考圖2，繪示本實(shí)用新型的第一優(yōu)選實(shí)施例的整合式藥液槽100之示意圖。所述整合式藥液槽100包括一操作腔室110、一液體槽120、一栗140以及一驅(qū)動(dòng)裝置180。
[0024]所述操作腔室110用于執(zhí)行濕式制程。所述液體槽120設(shè)置于所述操作腔室110下方以及用于儲(chǔ)存至少一液體。所述液體槽120的上方系和所述操作腔室110的下方至少部分地直接連通。所述栗140用于抽取所述至少一液體至所述操作腔室110。所述至少一液體于所述操作腔室110中使用后，通過(guò)所述操作腔室110的一底板160回收至所述液體槽120。所述驅(qū)動(dòng)裝置180用于運(yùn)輸一基材150在所述操作腔室中移動(dòng)，所述基材可以是面板或玻璃。詳細(xì)地，所述操作腔室110還包括至少一噴頭170，用于連接所述栗140以及用于在所述操作腔室110中噴灑所述至少一液體，以便對(duì)所述基材150進(jìn)行清洗、蝕刻等作業(yè)。
[0025]在本優(yōu)選實(shí)施例中，可以明確地看到所述底板160相對(duì)于水平線是傾斜的，以讓所述至少一液體可以順著斜度流入所述液體槽120中。在其他優(yōu)選實(shí)施例中，所述底板160也可以是具有至少一孔洞，如此一來(lái)，即使所述底板160不是傾斜也可以回收所述至少一液體至所述液體槽120中。
[0026]相較于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型解決了漏液的技術(shù)問(wèn)題，同時(shí)省略了藥液回收管路的設(shè)置，一并降低生產(chǎn)成本。
[0027]圖3，繪示本實(shí)用新型的第二優(yōu)選實(shí)施例的整合式藥液槽200之示意圖。本優(yōu)選實(shí)施例與第一優(yōu)選實(shí)施例的差異在于:所述底板具有第一底板161以及第二底板162;增加了一底板轉(zhuǎn)換裝置190;以及所述液體槽120具有第一分槽121以及第二分槽122。
[0028]在本優(yōu)選實(shí)施例中，舉例而言，所述第一分槽121是可用于回收水，而第二分槽122則是可用于回收蝕刻液。在使用清水的清洗流程中，所述底板轉(zhuǎn)換裝置190可驅(qū)動(dòng)所述第二底板162使其向左邊往所述液體槽120的槽壁折迭收納，或以逆時(shí)針的方向往上傾斜來(lái)使水不會(huì)經(jīng)由所述第二底板162流至所述第二分槽122中。如此，使用過(guò)的水可以通過(guò)所述第一底板161完全地回收到所述第一分槽121中。在蝕刻流程中，所述底板轉(zhuǎn)換裝置190驅(qū)動(dòng)所述第一底板161使其向左邊往所述液體槽120的槽壁收納，及驅(qū)動(dòng)所述第二底板162使其向右移動(dòng)至所述第二分槽122的上方。如此，使用過(guò)的蝕刻液可以通過(guò)所述第二底板162完全回收到所述第二分槽122中，而不會(huì)流到所述第一分槽121中。
[0029]雖然本實(shí)用新型已用優(yōu)選實(shí)施例揭露如上，然其并非用于限定本實(shí)用新型，本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本實(shí)用新型之精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種之改動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本實(shí)用新型之保護(hù)范圍當(dāng)視后附之申請(qǐng)專(zhuān)利范圍所界定者為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一整合式藥液槽，特別適用于濕式制程，其包括: 一操作腔室，用于執(zhí)行濕式制程； 一液體槽，設(shè)置于所述操作腔室下方以及用于儲(chǔ)存至少一液體；以及 一栗，用于自所述液體槽抽取所述至少一液體至所述操作腔室中； 其中，所述至少一液體于所述操作腔室中使用后，通過(guò)所述操作腔室的至少一底板回收至所述液體槽中。2.如權(quán)利要求1所述的整合式藥液槽，其特征在于，所述操作腔室還包括至少一噴頭，用于連接所述栗以及用于在所述操作腔室中噴灑所述至少一液體。3.如權(quán)利要求1所述的整合式藥液槽，其特征在于，所述底板是相對(duì)于水平線為傾斜的。4.如權(quán)利要求1所述的整合式藥液槽，其特征在于，所述底板具有至少一孔洞。5.如權(quán)利要求1所述的整合式藥液槽，其特征在于，所述整合式藥液槽還包括一底板轉(zhuǎn)換裝置，用于轉(zhuǎn)換所述至少一底板，讓所述至少一液體能夠回收至所述液體槽的至少一分槽中。6.如權(quán)利要求5所述的整合式藥液槽，其特征在于，所述至少一分槽系用來(lái)收納水，所述液體槽還包括至少另一分槽用來(lái)收納蝕刻液。7.如權(quán)利要求6所述的整合式藥液槽，其特征在于，所述至少一底板包括第一和第二底板，所述水系經(jīng)由所述第一底板來(lái)回收至所述至少一分槽中，所述蝕刻液系經(jīng)由所述第二底板來(lái)回收至所述至少另一分槽中。8.一用于濕式制程的整合式藥液槽，其包括: 一操作腔室具有一噴嘴，用于執(zhí)行濕式制程； 一液體槽，設(shè)置于所述操作腔室下方以及用于儲(chǔ)存一液體，所述液體槽的上方系和所述操作腔室的下方至少部分地直接連通；以及 一栗，用于自所述液體槽抽取所述液體至所述操作腔室中； 其中，所述液體于所述操作腔室中使用后，通過(guò)所述操作腔室的下方回收至所述液體槽中。9.如權(quán)利要求8所述的整合式藥液槽，其特征在于，所述操作腔室具有一底板介于所述操作腔室和所述液體槽的間，所述底板用來(lái)導(dǎo)引所述使用過(guò)的液體回收至所述液體槽中。10.如權(quán)利要求9所述的整合式藥液槽，其特征在于，所述液體槽具有第一和第二分槽用以容納不同的液體，所述整合式藥液槽進(jìn)一步包括有一底板轉(zhuǎn)換裝置用來(lái)操作所述底板以在不同的處理過(guò)程中導(dǎo)引所述使用過(guò)的液體回收至所述第一和所述第二分槽的一者中。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK205582893SQ201620239428
【公開(kāi)日】2016年9月14日
【申請(qǐng)日】2016年3月25日
【發(fā)明人】黃榮龍, 呂峻杰, 陳瀅如
【申請(qǐng)人】盟立自動(dòng)化股份有限公司