半導(dǎo)體雙端泵浦板條多程折疊腔激光器的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體雙端泵浦板條多程折疊腔激光器，解決了現(xiàn)有泵浦板條激光器存在的體積龐大、結(jié)構(gòu)復(fù)雜、晶體受熱不均等問(wèn)題。技術(shù)方案包括半導(dǎo)體泵浦模塊、激光諧振腔模塊和位于激光諧振腔模塊中心的增益介質(zhì)模塊，所述增益介質(zhì)模塊為板條激光晶體，所述半導(dǎo)體泵浦模塊為分別位于所述板條激光晶體兩個(gè)端面?zhèn)鹊膬蓚€(gè)半導(dǎo)體泵浦激光器及其對(duì)應(yīng)的耦合透鏡。本實(shí)用新型能得到高光光效率、高功率、高光束質(zhì)量的激光輸出，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、生產(chǎn)和制造成本低、維護(hù)簡(jiǎn)單、使用壽命長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
半導(dǎo)體雙端泵浦板條多程折疊腔激光器
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種激光器，具體的說(shuō)是一種半導(dǎo)體雙端栗浦板條多程折疊腔激光器。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體激光器栗浦的全固態(tài)激光器因具有轉(zhuǎn)換效率高、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、使用壽命長(zhǎng)等眾多優(yōu)點(diǎn)，使其成為當(dāng)今固態(tài)激光技術(shù)研究的熱點(diǎn)之一，其中板條激光器由于栗浦效率高、大面散熱效率好而受到廣泛重視。現(xiàn)有的1064nm激光器多是采用棒狀晶體得到近紅外激光輸出，采用棒狀工作介質(zhì)的高功率固體激光器在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，工作介質(zhì)的徑向溫度梯度使棒呈現(xiàn)出熱透鏡效應(yīng)和雙折射效應(yīng)，進(jìn)而嚴(yán)重降低了光束質(zhì)量，直接限制了高功率激光的高光束質(zhì)量輸出。
[0003]早在20世紀(jì)70年代美國(guó)GE公司的W.B.Mart in等就提出了板條激光器設(shè)計(jì)的概念，使得板條晶體內(nèi)部溫度場(chǎng)的分布趨于均勻，極大降低了晶體本身的熱效益。但該方案存在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)復(fù)雜、吸收長(zhǎng)度短、抽運(yùn)效率低等缺點(diǎn)，限制了其進(jìn)一步的發(fā)展。對(duì)于板條結(jié)構(gòu)的固體激光器，國(guó)內(nèi)已經(jīng)做出了基于側(cè)面栗浦、角栗浦和部分端面栗浦技術(shù)的激光器，側(cè)面栗浦的栗浦光與腔內(nèi)模式匹配不好，效率不高，輸出光束質(zhì)量不好；角栗浦的耦合效率不高，加工工藝復(fù)雜，成本高;大多數(shù)端面栗浦的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，增益介質(zhì)太長(zhǎng)時(shí)，遠(yuǎn)離栗浦光輸入端的增益不夠，增益不均勻，而且栗浦光發(fā)散角大，栗浦效率不高;增益介質(zhì)太短時(shí)，單程增益不高導(dǎo)致輸出功率不高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型的目的是為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、吸收長(zhǎng)度長(zhǎng)、抽運(yùn)效率高、熱效應(yīng)分布更均勻，栗浦光寬度方向與腔內(nèi)模式匹配，栗浦效率更高、晶體內(nèi)栗浦光長(zhǎng)度方向熱分布更均勻，有效減小了熱效應(yīng)的影響，從而獲得更好光束質(zhì)量、更高效率和更高功率的激光輸出的半導(dǎo)體雙端栗浦板條多程折疊腔激光器。
[0005]本實(shí)用新型激光器包括半導(dǎo)體栗浦模塊、激光諧振腔模塊和位于激光諧振腔模塊中心的增益介質(zhì)模塊，所述增益介質(zhì)模塊為板條激光晶體，所述半導(dǎo)體栗浦模塊為分別位于所述板條激光晶體兩個(gè)端面?zhèn)鹊膬蓚€(gè)半導(dǎo)體栗浦激光器及其對(duì)應(yīng)的耦合透鏡;所述兩個(gè)半導(dǎo)體栗浦激光器對(duì)向射出的兩束栗浦光經(jīng)對(duì)應(yīng)的耦合透鏡及所述激光諧振腔模塊對(duì)向射入板條激光晶體中，板條激光晶體在栗浦光的激勵(lì)下產(chǎn)生受激輻射在激光諧振腔模塊內(nèi)諧振后部分輸出。
[0006]所述激光諧振腔模塊為多程折疊激光諧振腔模塊，包括兩個(gè)分色折鏡、用于使激光光束偏折的兩個(gè)偏折鏡以及一個(gè)用于全反射激光光束的全反尾鏡和用于輸出部分激光光束的部分輸出鏡；以板條激光晶體為中心，所述兩個(gè)分色折鏡對(duì)稱(chēng)設(shè)置、兩個(gè)偏折鏡對(duì)稱(chēng)設(shè)置、全反尾鏡和部分輸出鏡對(duì)稱(chēng)設(shè)置;所述多程折疊激光諧振腔模塊內(nèi)的激光光束被全反尾鏡反射后，在兩個(gè)偏折鏡間多程折疊，從而使激光光束多次經(jīng)過(guò)板條激光晶體獲得多次增益，最后由部分輸出鏡部分輸出。
[0007]作為本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選結(jié)構(gòu):所述兩個(gè)分色折鏡分設(shè)于板條激光晶體的兩側(cè)，分別位于栗浦光耦合透鏡與板條激光晶體之間；
[0008]所述偏折鏡與所述分色折鏡對(duì)應(yīng)，分別設(shè)于分色折鏡與全反尾鏡和分色折鏡與部分輸出鏡之間，用于將被分色折鏡反射的部分激光光束偏轉(zhuǎn)角度后再經(jīng)分色折鏡反射回板條激光晶體。
[0009]栗浦光光軸、耦合透鏡中心軸線、分色折鏡中心、板條激光晶體中心軸線都在同一直線上，稱(chēng)為主軸線;全反尾鏡、部分輸出鏡和偏折鏡位于垂直于主軸線的方向上。
[0010]所述分色折鏡雙面鍍栗浦光增透膜，反射面鍍1064nm全反膜;偏折鏡的反射面鍍1064nm激光全反膜；全反尾鏡的反射面鍍1064nm全反膜，部分輸出鏡的激光入射面鍍1064nm激光部分透過(guò)膜。
[0011]作為本實(shí)用新型的另一優(yōu)選結(jié)構(gòu):所述偏折鏡設(shè)于板條激光晶體和分色折鏡之間，用于將來(lái)自板條激光晶體的激光光束偏轉(zhuǎn)角度后反射回板條激晶體。
[0012]所述兩個(gè)分色折鏡，一個(gè)位于全反尾鏡與偏折鏡之間，另一個(gè)位于部分輸出鏡與偏折鏡之間；分色折鏡中心和板條激光晶體中心軸線在同一直線上，稱(chēng)這條直線方向?yàn)橹鬏S線方向，全反尾鏡、部分輸出鏡、偏折鏡沿主軸線方向擺放，半導(dǎo)體栗浦激光器與耦合透鏡沿垂直于主軸線的方向擺放。
[0013]所述分色折鏡雙面鍍1064nm增透膜，反射面鍍栗浦光全反膜;偏折鏡的雙面鍍栗浦光增透膜，反射面鍍1064nm激光全反膜;全反尾鏡的反射面鍍1064nm全反膜，部分輸出鏡的激光入射面鍍1064nm激光部分透過(guò)膜。
[0014]所述分色折鏡反射面法線與栗浦光光軸夾角優(yōu)選為a為40°-50°，分色折鏡的反射面法線與對(duì)應(yīng)的偏折鏡的反射面法線的夾角b優(yōu)選為35°?55°。
[0015]與現(xiàn)有的板條激光器相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果:
[0016](I)，采用雙端栗浦對(duì)向入射板條激光晶體，不但使栗浦光與激光腔模式匹配更好，而且對(duì)稱(chēng)的栗浦光使得板條激光晶體熱效應(yīng)分布更為均勻，光-光效率更高，輸出更高功率更好光束質(zhì)量的激光；
[0017](2)，利用兩個(gè)偏折鏡實(shí)現(xiàn)激光多程折疊通過(guò)激光晶體，在同一增益介質(zhì)長(zhǎng)度的條件下有效增加增益長(zhǎng)度，使得輸出功率更高；
[0018](3)，激光多程折疊通過(guò)激光晶體可以使激光板條晶體內(nèi)栗浦光長(zhǎng)度方向的熱分布更均勻，可以輸出更好光束質(zhì)量的激光；
[0019](4)，板條狀激光晶體可以使用大面與散熱水冷熱沉接觸，顯著增加散熱面積，散熱效果更好，輸出光束質(zhì)量更好，光功率更高；
[0020](5)浦栗光在板條激光晶體入射面和射出面為板條激光晶體的對(duì)應(yīng)的兩個(gè)端面，采用端面直接入射的方式，使得入射光線的角度及位置更易控制，減少激光的損耗，提高光束質(zhì)量，解決了栗浦光由側(cè)面經(jīng)鏡面反射再入射導(dǎo)致的光功率損耗大、提取效率不高，從而輸出功率不高的問(wèn)題。
[0021]總而言之，本實(shí)用新型提出的半導(dǎo)體雙端栗浦板條晶體多程折疊腔激光器方案能得到高光光效率、高功率、高光束質(zhì)量的激光輸出，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、生產(chǎn)和制造成本低、控制維護(hù)簡(jiǎn)單、使用壽命長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說(shuō)明】
[0022]圖1是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的半導(dǎo)體激光器雙端栗浦板條晶體多程折疊腔激光器結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖2是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的半導(dǎo)體激光器雙端栗浦板條晶體多程折疊腔激光器另一種結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]圖3是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的半導(dǎo)體激光器雙端栗浦板條晶體多程折疊腔激光器另一種結(jié)構(gòu)示意圖。
[0025]圖4是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的半導(dǎo)體激光器雙端栗浦板條晶體多程折疊腔激光器另一種結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]1-板條激光晶體，2、3-分色折鏡，4、5-偏折鏡，6、7_親合透鏡，8_部分輸出鏡，9_全反尾鏡，1、11 -半導(dǎo)體栗浦激光器。
[0027]具體實(shí)施例方式
[0028]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步解釋說(shuō)明:
[0029]實(shí)施例1:參見(jiàn)圖1，本實(shí)用新型激光器包括半導(dǎo)體栗浦模塊、多程折疊激光諧振腔模塊和增益介質(zhì)模塊，所述增益介質(zhì)模塊為板條激光晶體I，所述半導(dǎo)體栗浦模塊為兩個(gè)半導(dǎo)體栗浦激光器10、11，及對(duì)應(yīng)的兩個(gè)耦合透鏡6、7;所述多程折疊激光諧振腔模塊包括兩個(gè)分色折鏡2、3，兩個(gè)偏折鏡4、5以及全反尾鏡9和部分輸出鏡8。參見(jiàn)圖1，本實(shí)施例中，以板條激光晶體I為對(duì)稱(chēng)中心，水平方向由內(nèi)外向依次對(duì)稱(chēng)布置兩個(gè)分色折鏡2、3、兩個(gè)耦合透
6、7鏡和兩個(gè)半導(dǎo)體栗浦激光器10、11，沿兩個(gè)分色折鏡2、3的反射面的激光光路上兩個(gè)偏折鏡4、5對(duì)稱(chēng)布置，全反尾鏡9和部分輸出鏡8對(duì)稱(chēng)布置。所述分色折鏡反射面法線與栗浦光光軸夾角為a為40°-50°，分色折鏡的反射面法線與對(duì)應(yīng)的偏折鏡的反射面法線的夾角b為35°?55°，具體角度的控制距離根據(jù)多程折疊激光諧振腔模塊內(nèi)激光光束的折疊次數(shù)決定，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際需要合理設(shè)計(jì)。
[0030]本實(shí)施中，所述分色折鏡2、3雙面鍍栗浦光增透膜，反射面鍍1064nm全反膜;偏折鏡4、5的反射面鍍1064nm激光全反膜;全反尾鏡9的反射面鍍1064nm全反膜，部分輸出鏡8的激光入射面鍍1064nm激光部分透過(guò)膜，本實(shí)施例中透過(guò)率控制在15 % -40 %。
[0031 ] 所述板條激光晶體可選用Nd: YV04晶體或Nd: YAG晶體或Nd: GdVO4晶體;激光晶體尺寸可選為12mmX 1mmX 1mm，通光方向?yàn)?mm尺寸方向，厚度為1mm，12mmX Imm面鍍栗浦光和激光增透膜;設(shè)計(jì)的水冷熱沉與激光晶體大面通過(guò)銦箔接觸散熱。
[0032]優(yōu)選地，半導(dǎo)體栗浦激光器10、11可選用的中心波長(zhǎng)為808nm或880nm，半導(dǎo)體栗浦激光器10、11發(fā)出的栗浦光經(jīng)過(guò)耦合透鏡6、7整形后在板條激光晶體I端面是長(zhǎng)條形，寬度方向與腔內(nèi)基模尺寸匹配，長(zhǎng)度方向與板條激光晶體I端面長(zhǎng)度尺寸匹配。具體地，栗浦光光軸、親合透鏡中心軸線、分色折鏡2、3中心、板條激光晶體5中心軸線都在同一直線上，稱(chēng)為主軸線;全反尾鏡9、部分輸出鏡8和偏折鏡4、5位于垂直于主軸線的方向上。
[0033]原理:
[0034]對(duì)稱(chēng)設(shè)置的兩個(gè)半導(dǎo)體栗浦激光器10、11由兩端對(duì)向發(fā)射栗浦光形成雙端栗浦光，所述雙端栗浦光經(jīng)耦合透鏡6、7整形，分別透過(guò)分色折鏡2、3由板條激光晶體I的兩側(cè)端面對(duì)向入射進(jìn)入板條激光晶體I，板條激光晶體I在栗浦光的激勵(lì)下產(chǎn)生受激輻射，激光光束由板條激光晶體I的兩端面射出，在多程折疊激光諧振腔模塊內(nèi)諧振輸出；諧振腔內(nèi)激光是無(wú)限次重復(fù)同一往返路徑，為簡(jiǎn)單說(shuō)明激光諧振光路，假設(shè)光路以板條激光晶體5靠近分色折鏡3的端面為起點(diǎn)，激光光束經(jīng)分色折鏡3、全反尾鏡9反射后，重新進(jìn)入板條激光晶體I，再由分色折鏡2反射到偏折鏡4上，再由偏折鏡4偏折一定角度后反射回分色折鏡2，再由分色折鏡2反射回板條激光晶體I，由板條激光晶體I另一側(cè)射出的激光光速再經(jīng)分色折鏡3的反射、偏折鏡5偏折一定角度后再經(jīng)分色折鏡3的反射后重新進(jìn)入板條激光晶體I，如此多程折疊通過(guò)板條激光晶體I，最后由激光晶體I出射由分色折鏡2反射到部分輸出鏡8上，由部分輸出鏡8輸出激光。
[0035]分色折鏡2、3、偏折鏡4、5選為平面反射鏡，全反尾鏡9和部分輸出鏡8可以為平面鏡，或者曲率為2000mm的平凹鏡，根據(jù)使激光輸出功率和光束質(zhì)量最佳來(lái)選取。
[0036]本實(shí)施例中，每個(gè)所述半導(dǎo)體栗浦激光器的功率為100W，合計(jì)200W栗浦光輸入時(shí)，可輸出約93W近紅外激光，光束質(zhì)量因子約為1.3。相比于同樣功率下的單端栗浦結(jié)構(gòu)，輸出功率更高，光束質(zhì)量更好;相比于穩(wěn)非穩(wěn)雙端栗浦結(jié)構(gòu)，輸出的光束質(zhì)量更高。
[0037]參見(jiàn)圖1及圖2，作為本實(shí)施例的變形，偏折鏡4及對(duì)應(yīng)的部分輸出鏡8，和偏折鏡5和對(duì)應(yīng)的全反尾鏡9可以在同側(cè)設(shè)置，也可以分別在兩對(duì)側(cè)設(shè)置，僅需對(duì)應(yīng)改變分色折鏡2、3的擺放方式即可。
[0038]實(shí)施例2
[0039]本實(shí)施例中，將偏折鏡4、5設(shè)于板條激光晶體I的兩側(cè)，即位于板條激光晶體I和分色折鏡之間，，利用偏折鏡擋住板條激光晶體I大部分端面，留出一部分端面使激光輸出到部分輸出鏡8，由板條激光晶體I射出的激光光束能夠在偏折鏡4、5之間多次穿過(guò)板條激光晶體I進(jìn)行多程折疊。具體地，分色折鏡中心和板條激光晶體中心軸線在同一直線上，稱(chēng)這條直線方向?yàn)橹鬏S線方向，全反尾鏡9、部分輸出鏡8、偏折鏡4、5沿主軸線方向擺放，半導(dǎo)體栗浦激光器10、11與耦合透鏡6、7沿垂直于主軸線的方向擺放。本實(shí)施例中，所述分色折鏡
2、3雙面鍍1064nm增透膜，反射面鍍栗浦光全反膜;偏折鏡4、5的雙面鍍栗浦光增透膜，反射面鍍1064nm激光全反膜;全反尾鏡9的反射面鍍1064nm全反膜，部分輸出鏡8的激光入射面鍍1064nm激光部分透過(guò)膜，其余同實(shí)施例1。
[0040]原理:
[0041]對(duì)稱(chēng)設(shè)置的兩個(gè)半導(dǎo)體栗浦激光器10、11發(fā)射栗浦光形成雙端栗浦光，所述雙端栗浦光經(jīng)耦合透鏡6、7整形，分別經(jīng)分色折鏡2、3反射后由板條激光晶體I的兩側(cè)端面對(duì)向入射進(jìn)入板條激光晶體I，板條激光晶體I在栗浦光的激勵(lì)下產(chǎn)生受激輻射，激光光束由板條激光晶體I的兩側(cè)端面反向射出，激光在腔內(nèi)開(kāi)始諧振；
[0042]諧振的激光光束在偏折鏡4、5的作用下穿過(guò)板條激光晶體I在偏折鏡4、5之間多程折疊，再透過(guò)分色折鏡3被全反尾鏡9反射后，再在偏折鏡4、5之間多程折疊后透過(guò)分色鏡2經(jīng)部分輸出鏡8輸出激光。
[0043]本實(shí)施例中，每個(gè)所述半導(dǎo)體栗浦激光器的功率為100W，合計(jì)在200W栗浦光輸入時(shí)，可輸出約75W近紅外激光，光束質(zhì)量因子約為1.3。
[0044]參見(jiàn)圖3及圖4，作為本實(shí)施例的變形，半導(dǎo)體栗浦激光器10、11及其對(duì)應(yīng)的耦合透鏡6、7可以在同側(cè)設(shè)置，也可以在兩對(duì)側(cè)設(shè)置，僅需對(duì)應(yīng)改變分色折鏡2、3的擺放位置即可。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種半導(dǎo)體雙端栗浦板條多程折疊腔激光器，包括半導(dǎo)體栗浦模塊、激光諧振腔模塊和位于激光諧振腔模塊中心的增益介質(zhì)模塊，其特征在于，所述增益介質(zhì)模塊為板條激光晶體，所述半導(dǎo)體栗浦模塊為分別位于所述板條激光晶體兩個(gè)端面?zhèn)鹊膬蓚€(gè)半導(dǎo)體栗浦激光器及其對(duì)應(yīng)的耦合透鏡;所述兩個(gè)半導(dǎo)體栗浦激光器對(duì)向射出的兩束栗浦光經(jīng)對(duì)應(yīng)的耦合透鏡及所述激光諧振腔模塊對(duì)向射入板條激光晶體中，板條激光晶體在栗浦光的激勵(lì)下產(chǎn)生受激輻射在激光諧振腔模塊內(nèi)諧振后輸出激光。2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體雙端栗浦板條多程折疊腔激光器，其特征在于，所述激光諧振腔模塊為多程折疊激光諧振腔模塊，包括兩個(gè)分色折鏡、用于使激光光束偏折的兩個(gè)偏折鏡以及一個(gè)用于全反射激光光束的全反尾鏡和用于輸出部分激光光束的部分輸出鏡；以板條激光晶體為中心，所述兩個(gè)分色折鏡對(duì)稱(chēng)設(shè)置、兩個(gè)偏折鏡對(duì)稱(chēng)設(shè)置、全反尾鏡和部分輸出鏡對(duì)稱(chēng)設(shè)置;所述多程折疊激光諧振腔模塊內(nèi)的激光光束被全反尾鏡反射后，在兩個(gè)偏折鏡間多程折疊，從而使激光光束多次經(jīng)過(guò)板條激光晶體獲得多次增益，最后由部分輸出鏡部分輸出。3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體雙端栗浦板條多程折疊腔激光器，其特征在于，所述兩個(gè)分色折鏡分設(shè)于板條激光晶體的兩側(cè);所述偏折鏡與所述分色折鏡對(duì)應(yīng)，用于將被分色折鏡反射的部分激光光束偏轉(zhuǎn)角度后再經(jīng)分色折鏡反射回板條激光晶體。4.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體雙端栗浦板條多程折疊腔激光器，其特征在于，所述兩個(gè)分色折鏡對(duì)稱(chēng)位于兩個(gè)耦合透鏡與激光晶體之間；栗浦光光軸、耦合透鏡中心軸線、分色折鏡中心、板條激光晶體中心軸線都在同一直線上，稱(chēng)為主軸線;全反尾鏡、部分輸出鏡和偏折鏡位于垂直于主軸線的方向上。5.如權(quán)利要求3或4所述的半導(dǎo)體雙端栗浦板條多程折疊腔激光器，其特征在于，所述分色折鏡雙面鍍栗浦光增透膜，反射面鍍1064nm全反膜;偏折鏡的反射面鍍1064nm激光全反膜;全反尾鏡的反射面鍍1064nm全反膜，部分輸出鏡的激光入射面鍍1064nm激光部分透過(guò)膜。6.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體雙端栗浦板條多程折疊腔激光器，其特征在于，所述偏折鏡設(shè)于板條激光晶體和分色折鏡之間，用于將來(lái)自板條激光晶體的部分激光光束偏轉(zhuǎn)角度后反射回板條激晶體。7.如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體雙端栗浦板條多程折疊腔激光器，其特征在于，所述兩個(gè)分色折鏡，一個(gè)位于全反尾鏡與偏折鏡之間，另一個(gè)位于部分輸出鏡與偏折鏡之間；分色折鏡中心和板條激光晶體中心軸線在同一直線上，這條直線方向稱(chēng)為主軸線方向，全反尾鏡、部分輸出鏡、偏折鏡沿主軸線方向擺放，半導(dǎo)體栗浦激光器與耦合透鏡沿垂直于主軸線的方向擺放。8.如權(quán)利要求6或7所述的半導(dǎo)體雙端栗浦板條多程折疊腔激光器，其特征在于，所述分色折鏡雙面鍍1064nm增透膜，反射面鍍栗浦光全反膜;偏折鏡的雙面鍍栗浦光增透膜，反射面鍍1064nm激光全反膜;全反尾鏡的反射面鍍1064nm全反膜，部分輸出鏡的激光入射面鍍1064nm激光部分透過(guò)膜。9.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體雙端栗浦板條多程折疊腔激光器，其特征在于，所述分色折鏡反射面法線與栗浦光光軸夾角為a為40°-50°角，分色折鏡的反射面法線與對(duì)應(yīng)的偏折鏡的反射面法線的夾角b為35°?55°角。
【文檔編號(hào)】H01S3/0941GK205583365SQ201620355798
【公開(kāi)日】2016年9月14日
【申請(qǐng)日】2016年4月26日
【發(fā)明人】陳培鋒, 鄧溯平, 張自豪, 余曉暢
【申請(qǐng)人】武漢市杰都易光電科技有限公司