針測機傳輸機構(gòu)晶圓防滑出保護(hù)裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了針測機傳輸機構(gòu)晶圓防滑出保護(hù)裝置，包括承載臺及對應(yīng)的承載臺蓋，所述承載臺與承載臺蓋之間設(shè)置有盛放晶圓的晶舟，所述晶舟側(cè)邊開口，所述承載臺上對應(yīng)晶舟側(cè)邊開口位置設(shè)置有紅外線偵測裝置以及防滑出裝置，所述紅外線偵測裝置包括紅外發(fā)射器及與之配合的接收器，所述紅外發(fā)射器設(shè)置于所述承載臺上，所述接收器對應(yīng)設(shè)置于所述紅外發(fā)射器的正上方，所述防滑出裝置可移動的設(shè)置于所述晶舟側(cè)邊開口處，所述防滑出裝置與所述紅外線偵測裝置配合。本實用新型的優(yōu)點在于：本實用新型利用紅外線偵測裝置和防滑出裝置的配合對晶圓進(jìn)行了有效保護(hù)，避免了晶圓滑出后壓破的風(fēng)險，減少了測試損失，具有良好的經(jīng)濟價值。
【專利說明】
針測機傳輸機構(gòu)晶圓防滑出保護(hù)裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體元件檢測設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種針測機傳輸機構(gòu)晶圓防滑出保護(hù)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體的生產(chǎn)和制造在不斷的發(fā)展中形成了完善的生產(chǎn)流程。一般是芯片電路設(shè)計(為實現(xiàn)某些功能，設(shè)計出合理的電路)_晶圓的制造(將電路經(jīng)過特殊工藝集成在晶圓上)_晶圓的測試(對晶圓上集成的成千上萬顆芯片進(jìn)行功能測試，淘汰一部分功能缺陷的芯片)_晶圓的切割研磨(將晶圓上通過功能測試的芯片切割取下)_芯片的封裝(把從晶圓上取下的芯片進(jìn)行封裝，保護(hù)其電路不受環(huán)境的影響)_成品芯片的測試(對已經(jīng)封裝好的芯片進(jìn)行功能測試，淘汰功能缺陷的芯片)。
[0003]半導(dǎo)體生產(chǎn)制造的過程中，晶圓的測試對該芯片的成本控制尤其重要。晶圓的測試可以將功能缺陷的芯片找出，不進(jìn)入后期較大成本的封裝中，節(jié)約了整體的成本，同時也對上一工序一一晶圓的制造提供改良的指導(dǎo)方向。因此晶圓測試是半導(dǎo)體整個制造過程中必不可少的重要環(huán)節(jié)。晶圓測試設(shè)備由手動到半自動，再到現(xiàn)在的全自動針測機，效率、穩(wěn)定性、安全性都在成倍的提高。
[0004]全自動針測機就外觀而言分為兩大部分:機臺主體部分和晶圓傳輸機構(gòu)，機臺主體部分為主要操作部分，用于將晶圓與探針卡放置于測試機的測試頭底下進(jìn)行測試，而晶圓傳輸機構(gòu)的主要工作是將晶舟內(nèi)晶圓傳輸至承載盤作測試之用。
[0005]晶圓傳輸機構(gòu)的工作過程為:1.打開承載臺的上蓋，將裝有晶圓的晶舟放入傳輸機構(gòu)升降機的承載臺位置，按下按鍵后，使升降機往下降；2.機械手臂伸進(jìn)晶舟盒抓取晶圓，將晶圓放入針測機主體部分的承載盤上。承載盤通過真空吸住晶圓，同時對晶圓做檢測，晶圓檢測完畢，機械手臂將晶圓從承載盤送回晶舟盒內(nèi)。
[0006]晶圓在整個制造過程中均勻承載在晶舟盒內(nèi)，一個晶舟為一批，通常一盒承載25片晶圓。
[0007]測試時將晶舟放于針測機臺晶舟承載臺上；晶舟盒內(nèi)晶圓平行放在晶舟內(nèi)，晶舟向內(nèi)開口。當(dāng)晶圓向盒外滑出時，此時蓋上承載臺蓋子，支撐氣桿會將滑出的晶圓壓破;另夕卜，升降機將晶圓承載臺往下降時也會有破片風(fēng)險，造成較大的經(jīng)濟損失。
【實用新型內(nèi)容】
[0008]本實用新型針對現(xiàn)有針測機晶圓傳輸機構(gòu)的不足，提出了一種針測機傳輸機構(gòu)晶圓防滑出保護(hù)裝置，在輸送過程中避免了晶圓從晶舟中滑出所導(dǎo)致的晶圓破損，有效減少了測試損失。
[0009]本實用新型采用以下技術(shù)方案解決上述技術(shù)問題:針測機傳輸機構(gòu)晶圓防滑出保護(hù)裝置，包括承載臺及對應(yīng)的承載臺蓋，所述承載臺與承載臺蓋之間設(shè)置有盛放晶圓的晶舟，所述晶舟側(cè)邊開口，所述承載臺上對應(yīng)所述晶舟側(cè)邊開口位置設(shè)置有紅外線偵測裝置以及防滑出裝置，所述紅外線偵測裝置包括紅外發(fā)射器及與之配合的接收器，所述紅外發(fā)射器設(shè)置于所述承載臺上，所述接收器對應(yīng)設(shè)置于所述紅外發(fā)射器的正上方，所述防滑出裝置可移動的設(shè)置于所述晶舟側(cè)邊開口處，所述防滑出裝置與所述紅外線偵測裝置配合。
[0010]其中優(yōu)化的，所述防滑出裝置包括推板及與所述推板連接的水平氣缸，所述推板設(shè)置于所述晶舟側(cè)邊開口處，所述水平氣缸驅(qū)動所述推板相對晶舟中心進(jìn)行往復(fù)滑移。 [〇〇11]進(jìn)一步優(yōu)化，為增強推板對晶圓的抵推作用，所述推板為弧形構(gòu)件，所述推板的弧形面與所述晶圓側(cè)邊相互對應(yīng)。
[0012]作為對晶圓保護(hù)的考慮，所述推板對應(yīng)所述晶舟側(cè)邊的板壁上設(shè)置有軟性墊層。
[0013]具體的，所述軟性墊層為海綿層或橡膠層或硅膠層中的任一種。
[0014]采用本實用新型的晶圓防滑出保護(hù)方法，包括如下步驟:
[0015]a)監(jiān)測過程通過紅外線偵測裝置對晶舟側(cè)邊開口處進(jìn)行監(jiān)測，紅外線偵測裝置產(chǎn)生連續(xù)信號，當(dāng)有晶圓滑出時，紅外線偵測裝置的連續(xù)信號被滑出的晶圓阻擋，此時，紅外線偵測裝置向控制器發(fā)出晶圓滑出信息；
[0016]b)保護(hù)過程控制器接收到步驟a中紅外線偵測裝置發(fā)出的晶圓滑出信息后，向防滑出裝置發(fā)出推送指令，所述防滑出裝置將滑出的晶圓推入晶舟中，當(dāng)紅外線偵測裝置恢復(fù)信號連通時，表明晶圓已被推回，控制器向防滑出裝置發(fā)出撤回指令，防滑出裝置撤回， 即完成保護(hù)作業(yè)。
[0017]本實用新型的優(yōu)點在于:本實用新型利用紅外線偵測裝置和防滑出裝置的配合， 對針測機的傳輸機構(gòu)進(jìn)行改良，從而對晶圓進(jìn)行了有效保護(hù)，避免了晶圓滑出后被支撐氣桿或機體壓破的風(fēng)險，減少了測試損失，具有良好的經(jīng)濟價值?！靖綀D說明】[0〇18]圖1為本實用新型的整體結(jié)構(gòu)不意圖；
[0019]圖2為本實用新型實施例中晶圓靜止時的位置關(guān)系示意圖；
[0020]圖3為本實用新型實施例中晶圓滑出時的位置關(guān)系不意圖；
[0021]圖4為本實用新型實施例中推板推動晶圓時的位置關(guān)系示意圖?！揪唧w實施方式】
[0022]如圖1所示，針測機傳輸機構(gòu)晶圓防滑出保護(hù)裝置，包括承載臺5及對應(yīng)的承載臺蓋1，所述承載臺5和承載臺蓋1通過支撐氣桿3連接，所述承載臺5與承載臺蓋1之間設(shè)置有盛放晶圓6的晶舟8,所述晶舟8側(cè)邊開口，所述承載臺5上對應(yīng)所述晶舟8側(cè)邊開口位置設(shè)置有紅外線偵測裝置以及防滑出裝置，所述紅外線偵測裝置包括紅外發(fā)射器4及與之配合的接收器2,所述紅外發(fā)射器4設(shè)置于所述承載臺5上，所述接收器2對應(yīng)設(shè)置于所述紅外發(fā)射器4的正上方，所述防滑出裝置可移動的設(shè)置于所述晶舟8側(cè)邊開口處，所述防滑出裝置與所述紅外線偵測裝置配合。
[0023]所述防滑出裝置包括推板7及與所述推板7連接的水平氣缸9,所述推板7設(shè)置于所述晶舟8側(cè)邊開口處，所述水平氣缸9驅(qū)動所述推板7相對晶舟8中心進(jìn)行往復(fù)滑移。[〇〇24]為增強推板7對晶圓6的抵推作用，所述推板7設(shè)計為弧形構(gòu)件，所述推板7的弧形面與所述晶圓6側(cè)邊相互對應(yīng)。
[0025]作為對晶圓保護(hù)的考慮，所述推板7對應(yīng)所述晶舟8側(cè)邊的板壁上設(shè)置有軟性墊層10，所述軟性墊層為海綿層或橡膠層或硅膠層中的任一種。
[0026]本實用新型的工作過程如圖2-4所示:紅外線偵測裝置對晶舟側(cè)邊開口處進(jìn)行監(jiān)測(如圖2)，當(dāng)有晶圓滑出時，承載臺上的紅外發(fā)射器發(fā)出的紅外線被阻擋，頂部的接收器未接收到信號(如圖3)，此時，紅外線偵測裝置通過控制器向防滑出裝置中的水平氣缸發(fā)出指令，推動推板將滑出的晶圓片推入晶舟中(如圖4所示)，當(dāng)紅外線偵測裝置恢復(fù)信號連通時，表明晶圓已被推回，推板撤回，完成保護(hù)作業(yè)。
[0027]本實用新型對晶圓進(jìn)行了有效保護(hù)，避免了晶圓滑出后被支撐氣桿或機體壓破的風(fēng)險，減少了測試損失，具有良好的經(jīng)濟實用價值。
[0028]以上所述僅為本實用新型創(chuàng)造的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型創(chuàng)造，凡在本實用新型創(chuàng)造的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型創(chuàng)造的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.針測機傳輸機構(gòu)晶圓防滑出保護(hù)裝置，包括承載臺及對應(yīng)的承載臺蓋，所述承載臺 與承載臺蓋之間設(shè)置有盛放晶圓的晶舟，所述晶舟側(cè)邊開口，其特征在于，所述承載臺上對 應(yīng)所述晶舟側(cè)邊開口位置設(shè)置有紅外線偵測裝置以及防滑出裝置，所述紅外線偵測裝置包 括紅外發(fā)射器及與之配合的接收器，所述紅外發(fā)射器設(shè)置于所述承載臺上，所述接收器對 應(yīng)設(shè)置于所述紅外發(fā)射器的正上方，所述防滑出裝置可移動的設(shè)置于所述晶舟側(cè)邊開口 處，所述防滑出裝置與所述紅外線偵測裝置配合。2.如權(quán)利要求1所述的針測機傳輸機構(gòu)晶圓防滑出保護(hù)裝置，其特征在于，所述防滑出 裝置包括推板及與所述推板連接的水平氣缸，所述推板設(shè)置于所述晶舟側(cè)邊開口處，所述 水平氣缸驅(qū)動所述推板相對晶舟中心進(jìn)行往復(fù)滑移。3.如權(quán)利要求2所述的針測機傳輸機構(gòu)晶圓防滑出保護(hù)裝置，其特征在于，所述推板為 弧形構(gòu)件，所述推板的弧形面與所述晶圓側(cè)邊相互對應(yīng)。4.如權(quán)利要求2或3所述的針測機傳輸機構(gòu)晶圓防滑出保護(hù)裝置，其特征在于，所述推 板對應(yīng)所述晶舟側(cè)邊的板壁上設(shè)置有軟性墊層。5.如權(quán)利要求4所述的針測機傳輸機構(gòu)晶圓防滑出保護(hù)裝置，其特征在于，所述軟性墊 層為海綿層或橡膠層或硅膠層中的任一種。
【文檔編號】H01L21/677GK205595314SQ201620418417
【公開日】2016年9月21日
【申請日】2016年5月9日
【發(fā)明人】沈順金, 王印璽, 鄭李
【申請人】安徽晶新微電子有限公司