用于工件處理的系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種用于工件處理的系統(tǒng)。所述系統(tǒng)包括：罩幕框，包括其中具有開口的上部平板，以及將罩幕框支撐在工作表面上的兩個(gè)或更多個(gè)的垂直側(cè)壁；多個(gè)罩幕，每一個(gè)罩幕包括具有圖案的中心部分，以及從中心部分的邊緣延伸的一個(gè)或更多個(gè)突出部；固定器，穿過(guò)配置于一個(gè)或更多個(gè)突出部中的固定孔并連接至上部平板的底面，使得多個(gè)罩幕的每一個(gè)中心部分與上部平板中的個(gè)別開口對(duì)準(zhǔn)；以及偏置元件，在上部平板的底面與每一個(gè)罩幕之間產(chǎn)生分離力。因此，本實(shí)用新型提供能夠讓多個(gè)罩幕對(duì)準(zhǔn)至多個(gè)工件的系統(tǒng)，此對(duì)準(zhǔn)可以快速而不昂貴的方式完成。
【專利說(shuō)明】用于工件處理的系統(tǒng)
[0001]相關(guān)申請(qǐng)案交叉引用
[0002]本申請(qǐng)案主張?jiān)?013年7月26日提申的美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)案第61/858,852號(hào)的優(yōu)先權(quán)，其所揭示的內(nèi)容以引用方式并入本文。
技術(shù)領(lǐng)域
[0003]本實(shí)用新型的實(shí)施例涉及在工件處理期間將罩幕對(duì)準(zhǔn)至工件的系統(tǒng)，且特別涉及在離子植入期間將罩幕對(duì)準(zhǔn)至工件的裝置。
【背景技術(shù)】
[0004]常將摻雜物植入至半導(dǎo)體工件中，以產(chǎn)生所需的傳導(dǎo)性。舉例來(lái)說(shuō)，可將摻雜物植入太陽(yáng)電池，以產(chǎn)生射極區(qū)。一般而言，離子是由離子源所產(chǎn)生。離子源可以是利用RF能量以產(chǎn)生離子的等離子體腔室，或間接加熱陰極(IHC)，或另一種類型的離子源。離子是從離子源提取，且離子在到達(dá)工件之前可先通過(guò)質(zhì)量分析與聚焦元件。在一些實(shí)施例中，將提取出的離子直接植入工件中，且離子源與工件之間不存在其他元件。也可將工件置于平臺(tái)上，以使工件處于適當(dāng)位置。
[0005]通常只會(huì)對(duì)部分工件進(jìn)行植入。因此，會(huì)在離子源與工件之間插入例如罩幕的機(jī)構(gòu)以防止離子到達(dá)工件的特定部分。此罩幕可與工件對(duì)準(zhǔn)，以嚴(yán)格控制罩幕所覆蓋的區(qū)域。在一些實(shí)施例中，將罩幕對(duì)準(zhǔn)至工件、進(jìn)行所需植入以及移除罩幕所需的時(shí)間可能過(guò)長(zhǎng)。
[0006]因此，在一些實(shí)施例中，同時(shí)植入多個(gè)工件可能是有利的。然而，在此多個(gè)工件上方安置多個(gè)罩幕的系統(tǒng)與方法可能昂貴且耗時(shí)。
[0007]因此，若有一種系統(tǒng)與方法能夠讓多個(gè)罩幕對(duì)準(zhǔn)至多個(gè)工件，且此對(duì)準(zhǔn)可以快速而不昂貴的方式完成，則將會(huì)是有利的。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0008]多個(gè)罩幕附接至罩幕框的底面。此附接使各罩幕能夠在三方向上相對(duì)于罩幕框而獨(dú)立地移動(dòng)。此相對(duì)移動(dòng)使各罩幕調(diào)整其位置以與配置于工作表面上的個(gè)別對(duì)準(zhǔn)銷對(duì)準(zhǔn)。在一實(shí)施例中，使用固定器將各罩幕附接至罩幕框，其中固定器具有軸部，軸部的直徑小于配置于罩幕上的固定孔的直徑?？墒褂闷迷沟谜帜慌c罩幕框能在垂直方向上相對(duì)移動(dòng)。各罩幕亦可具有活動(dòng)零件，以與工作表面上的個(gè)別對(duì)準(zhǔn)銷配對(duì)。
[0009]在一實(shí)施例中，揭示一種用于工件處理的系統(tǒng)。系統(tǒng)包括:罩幕框，包括其中具有開口的上部平板以及將罩幕框支撐于工作表面上的兩個(gè)或更多個(gè)垂直側(cè)壁;多個(gè)罩幕，每一罩幕包括具有圖案的中心部分以及從中心部分的邊緣延伸的一個(gè)或更多個(gè)突出部；固定器，穿過(guò)配置于一個(gè)或更多個(gè)突出部中的固定孔并連接至上部平板的底面，使得多個(gè)罩幕的每一個(gè)中心部分與上部平板中的個(gè)別開口對(duì)準(zhǔn)；以及偏置元件，在上部平板的底面與每一個(gè)罩幕之間產(chǎn)生分離力。
[0010]在一實(shí)施例中，所述固定孔具有直徑，且每一個(gè)所述固定器具有頭部與軸部，其中每一個(gè)所述固定器的所述頭部的直徑大于所述固定孔的直徑，而所述軸部的直徑小于所述固定孔的直徑，使得所述罩幕與所述罩幕框之間進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)。
[0011]在一實(shí)施例中，所述偏置元件包括配置于所述軸部周圍且安置于所述上部平板的所述底面與所述罩幕之間的彈簧。
[0012]在一實(shí)施例中，每一個(gè)所述罩幕還包括配置于所述一個(gè)或更多個(gè)突出部上的對(duì)準(zhǔn)孔，用以與配置于所述工作表面上的個(gè)別對(duì)準(zhǔn)銷配對(duì)。
[0013]在一實(shí)施例中，還包括配置于所述垂直側(cè)壁上的固持零件，以將所述罩幕框固持于所述工作表面上。
[0014]在一實(shí)施例中，所述固持零件包括配置于所述垂直側(cè)壁末端的磁性材料與配置于所述工作表面中的電切換磁鐵。
[0015]在第二實(shí)施例中，揭示一種用于工件處理的系統(tǒng)。系統(tǒng)包括:罩幕框，包括其中具有開口的上部平板以及從上部平板延伸以將罩幕框支撐于工作表面上的兩個(gè)或更多個(gè)垂直側(cè)壁;多個(gè)罩幕，每一個(gè)罩幕包括具有圖案的中心部分;一個(gè)或更多個(gè)突出部，從中心部分的邊緣延伸;一個(gè)或更多個(gè)固定孔，配置于一個(gè)或更多個(gè)突出部中；以及一個(gè)或更多個(gè)活動(dòng)零件，配置于一個(gè)或更多個(gè)突出部中，每一個(gè)活動(dòng)零件用以與工作表面上的個(gè)別對(duì)準(zhǔn)銷接合；固定器，穿過(guò)固定孔并連接至上部平板的底面，使得每一個(gè)罩幕的中心部分與上部平板的個(gè)別開口對(duì)準(zhǔn)，其中每一個(gè)固定器包括頭部與軸部，頭部的直徑大于固定孔的直徑，軸部的直徑則小于固定孔的直徑，使每一個(gè)罩幕在兩側(cè)向方向上相對(duì)于罩幕框而移動(dòng)。
[0016]在第二實(shí)施例中，還包括多個(gè)偏置元件，每一個(gè)所述偏置元件配置于所述固定器的個(gè)別所述軸部上，且位于所述罩幕框的底面與一個(gè)所述罩幕之間，以在所述上部平板與所述罩幕之間產(chǎn)生分離力，以及使得所述罩幕與所述罩幕框在垂直方向上進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)。
[0017]在第二實(shí)施例中，所述活動(dòng)零件與所述固定孔配置于相同的所述突出部上。
[0018]在第二實(shí)施例中，所述活動(dòng)零件與所述固定孔配置于不同的所述突出部上。
[0019]在第二實(shí)施例中，還包括配置于所述垂直側(cè)壁上的固持零件，以將所述罩幕框固持于所述工作表面上。
[0020]在第二實(shí)施例中，所述固持零件包括配置于所述垂直側(cè)壁末端的磁性材料以及配置于所述工作表面中的電切換磁鐵。
[0021]因此，提供能夠讓多個(gè)罩幕對(duì)準(zhǔn)至多個(gè)工件的系統(tǒng)，此對(duì)準(zhǔn)可以快速而不昂貴的方式完成。
【附圖說(shuō)明】
[0022]為了更加了解本案，參考以引用方式并入本文的附圖:
[0023]圖1呈現(xiàn)罩幕的實(shí)施例。
[0024]圖2呈現(xiàn)依據(jù)一實(shí)施例的罩幕框。
[0025]圖3呈現(xiàn)圖1的罩幕的上視圖。
[0026]圖4呈現(xiàn)罩幕、工件與對(duì)準(zhǔn)銷之間的對(duì)準(zhǔn)示意圖。
[0027]圖5是將罩幕框安置于工件上方的側(cè)視圖。
[0028]圖6呈現(xiàn)罩幕框與附接于其上的罩幕。
[0029]圖7是依據(jù)一實(shí)施例的罩幕框與罩幕之間的連接的側(cè)視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0030]圖1呈現(xiàn)可用來(lái)進(jìn)行圖案式植入的罩幕。此罩幕10包含中心部分15，中心部分經(jīng)過(guò)加工以包含所需圖案。沿著罩幕10的邊緣，可配置具有一個(gè)或更多個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔18的一個(gè)或更多個(gè)突出部16。在一些實(shí)施例中，活動(dòng)零件(未圖示)與對(duì)準(zhǔn)孔18是一體成形，使得這些活動(dòng)零件支撐于位于下方平臺(tái)上的銷并與其對(duì)準(zhǔn)。這些活動(dòng)零件可由碳化硅制成。活動(dòng)零件的上表面可以是V形，以便與對(duì)準(zhǔn)銷對(duì)準(zhǔn)。這些活動(dòng)零件可以有效地使罩幕10與工件精準(zhǔn)對(duì)準(zhǔn)。
[0031]如上所述，在特定情況下，同時(shí)植入例如4X 4陣列的多個(gè)工件可以是有利的。舉例來(lái)說(shuō)，可能想要結(jié)合毯覆式與圖案式植入以達(dá)成每小時(shí)超過(guò)3000個(gè)晶片的植入速度。然而，十六個(gè)罩幕的各別對(duì)準(zhǔn)與安置是耗時(shí)的，因而構(gòu)成對(duì)于使用同時(shí)植入的需求的主要原因。
[0032]圖2呈現(xiàn)用來(lái)容納罩幕10的陣列的罩幕框100。即使罩幕框100被圖示為能夠容納十六個(gè)罩幕10，但罩幕框100可為任意尺寸而用以容納任何數(shù)量的罩幕10。罩幕框100包含上部平板110，上部平板具有相當(dāng)于罩幕框100所能支撐的罩幕10的數(shù)目的多個(gè)開口 115。開口 115的尺寸與形狀必須設(shè)置成可經(jīng)由開口 115看見各罩幕10的中心部分15。罩幕10相對(duì)于上部平板110配置，使得罩幕10的突出部16可被上部平板110的支撐部125覆蓋。
[0033]圖3是圖1所示罩幕10的上視圖。一個(gè)或更多個(gè)突出部16可包含對(duì)準(zhǔn)孔18。如上所述，這些對(duì)準(zhǔn)孔18可填充有活動(dòng)零件，此活動(dòng)零件用來(lái)與配置于平臺(tái)上的對(duì)準(zhǔn)銷配合。在一些實(shí)施例中，這些對(duì)準(zhǔn)孔18可配置于罩幕10的兩相鄰側(cè)邊上。此外，這些突出部16中的一個(gè)或更多個(gè)可包含固定孔25。這些固定孔25是用來(lái)將罩幕10附接至罩幕框100，下文將描述更多細(xì)節(jié)。
[0034]圖4是罩幕10對(duì)準(zhǔn)至平臺(tái)或靜電夾具50的側(cè)視圖。罩幕10包含對(duì)準(zhǔn)孔18，對(duì)準(zhǔn)孔填充有活動(dòng)零件27。活動(dòng)零件27安置于配置在平臺(tái)或靜電夾具50上的對(duì)準(zhǔn)銷35上。對(duì)準(zhǔn)銷35的上部可具有與活動(dòng)零件27的V形凹槽接合的球狀末端。對(duì)準(zhǔn)銷35也可具有側(cè)部36，其作為工件I的硬停止元件?？蓪⒐ぜ蘒向側(cè)部36推動(dòng)，使側(cè)部作為工件I的側(cè)對(duì)準(zhǔn)零件。因此，對(duì)準(zhǔn)銷35是用來(lái)使工件I與罩幕10—同對(duì)準(zhǔn)至單個(gè)參考點(diǎn)。這減少產(chǎn)生公差疊加的主要原因，且可精準(zhǔn)對(duì)準(zhǔn)至十微米范圍內(nèi)。即使圖4呈現(xiàn)單個(gè)對(duì)準(zhǔn)銷35，但可以理解各罩幕10可與配置于平臺(tái)或靜電夾具50上的多個(gè)對(duì)準(zhǔn)銷35接合。
[0035]圖5是罩幕框100、罩幕10、工件I以及平臺(tái)或靜電夾具50的剖面圖。罩幕框100可具有如圖2所示的上部平板110。除了具有上部平板110，罩幕框100也可以具有多個(gè)垂直側(cè)面元件111，垂直側(cè)面元件從上部平板110的兩個(gè)或更多個(gè)邊緣向下延伸。當(dāng)罩幕框安置于工作表面170上時(shí)，這些垂直側(cè)面元件111支撐罩幕框100。這些垂直側(cè)面元件111經(jīng)過(guò)尺寸定制，因此能夠使靜電夾具50、工件1、與罩幕10皆在罩幕框100的上部平板110的下方堆迭而不壓縮。此外，這些垂直側(cè)面元件111也可配置于罩幕框100的所有四側(cè)上。然而，在其他實(shí)施例中，垂直側(cè)面元件111可僅配置于罩幕框100的相對(duì)兩側(cè)上。如圖5所示，垂直側(cè)面元件111可包括配置于垂直側(cè)面元件111的末端附近的磁性材料112。此磁性材料112可以是鐵，但也可使用其他材料?？梢罁?jù)離子植入或其他工件處理操作程序中用以固定罩幕框100所需的力來(lái)選擇磁性材料的量。
[0036]可在工作表面170中配置一個(gè)或更多個(gè)電切換磁鐵175。這些電切換磁鐵175可與控制器(未圖示)通信，而控制器是用來(lái)對(duì)電切換磁鐵175提供電力，以將電切換磁鐵的從有效或磁性狀態(tài)改變成無(wú)效或無(wú)作用狀態(tài)。因此，將罩幕框100放置于工作表面170上之前，電切換磁鐵175可處于其無(wú)效狀態(tài)。將罩幕框100妥善地對(duì)準(zhǔn)后，電切換磁鐵175可切換至其有效或磁性狀態(tài)，以使罩幕框100固持于適當(dāng)位置。欲移除罩幕框100時(shí)，將電切換磁鐵175切換至其無(wú)效狀態(tài)，則可移除罩幕框100。
[0037]即使圖5呈現(xiàn)具有電切換磁鐵175與磁性材料112的結(jié)構(gòu)，亦可使用其他機(jī)制來(lái)將罩幕框100固持至工作表面170上。舉例來(lái)說(shuō)，可使用例如勾扣或閂扣的機(jī)械固定器以使罩幕框100處于適當(dāng)位置。因此，罩幕框100與工作表面170可包含固持零件，而固持零件本身可以是磁性、機(jī)械或電氣零件。
[0038]可在工作表面170上配置一個(gè)或更多個(gè)平臺(tái)或靜電夾具50。如上所述，這些每一平臺(tái)可包含一個(gè)或更多個(gè)對(duì)準(zhǔn)銷35，其是用來(lái)使工件I與罩幕10對(duì)準(zhǔn)。罩幕10可包含用來(lái)與對(duì)準(zhǔn)銷35的球狀末端對(duì)準(zhǔn)的活動(dòng)零件27。即使僅圖示一個(gè)靜電夾具50，可理解的是可在工作表面170上配置由罩幕框100所覆蓋的多個(gè)靜電夾具50。如前文所述，在一實(shí)施例中，有排列成4 X 4陣列的十六個(gè)靜電夾具50。
[0039]通過(guò)螺釘或其他機(jī)械固定器將罩幕10固定至上部平板110的底面，更多細(xì)節(jié)請(qǐng)見圖6。此外，使用例如彈簧的偏置元件130在上部平板110與罩幕10之間產(chǎn)生分離力。此分離力可確保罩幕10牢固地安置于對(duì)準(zhǔn)銷35上。通過(guò)適當(dāng)?shù)膹椈沙叽缗c間隙，即使在建立此復(fù)雜組合時(shí)可能出現(xiàn)公差疊加的情況下，罩幕10的陣列能夠結(jié)合至靜電夾具50的陣列。
[0040]此外，圖5所示的組件可能因?yàn)槿肷潆x子束210所產(chǎn)生的熱能而膨脹?；诮M件各自的熱膨脹系數(shù)與所接收的熱量差異，這些組件可能以不同速率膨脹。偏置元件130提供所需的位置移動(dòng)以確保各罩幕10將適當(dāng)?shù)嘏鋵?duì)至其活動(dòng)零件27且各罩幕10將與其各自的靜電夾具50對(duì)準(zhǔn)。
[0041 ]圖6呈現(xiàn)罩幕框100與單一罩幕10的側(cè)視圖。如上所述，罩幕框100可支撐任何數(shù)量的罩幕10。如圖所示，罩幕10附接至上部平板110的下表面?？墒褂寐葆?98或其他固定器進(jìn)行此附接作用?？蓪⒙葆?98旋緊至上部平板110的底面。螺釘198的頭部經(jīng)過(guò)尺寸訂制，使得其大于固定孔25的直徑，以產(chǎn)生垂直停止。因此，由于螺釘沒有固定至罩幕10，所以罩幕10能夠相對(duì)于罩幕框100而垂直地移動(dòng)。固定孔25的直徑比螺釘198的軸部的直徑大。此尺寸上的微小差異可使罩幕10相對(duì)于罩幕框100而側(cè)向地移動(dòng)(亦即，與垂直方向垂直的X與Y方向)。此微小差異可使罩幕10相對(duì)于罩幕框100而些微地移動(dòng)，這可能因熱膨脹而發(fā)生。此夕卜，此微小差異可使罩幕10側(cè)向地移動(dòng)，以適當(dāng)?shù)嘏c個(gè)別靜電夾具50的對(duì)準(zhǔn)銷35對(duì)準(zhǔn)。在一些實(shí)施例中，固定孔25的直徑與螺釘198的軸部的直徑之間的差異可使罩幕10在XY平面上移動(dòng)約0.040英寸。
[0042]此外，例如彈簧的偏置元件130配置于上部平板110的底面與罩幕10的上表面之間，例如是配置于螺釘198周圍。此偏置元件130促使罩幕10向下而遠(yuǎn)離上部平板110。然而，偏置元件130是可壓縮的，使得罩幕10相對(duì)于上部平板110在垂直方向上移動(dòng)。
[0043]圖7呈現(xiàn)圖6的罩幕框100與罩幕10與對(duì)準(zhǔn)銷35接合。同樣地，即使僅圖示一個(gè)罩幕10，可理解的是罩幕框100可支撐多個(gè)罩幕10。此外，即使僅圖示一個(gè)對(duì)準(zhǔn)銷35，可理解的是可通過(guò)任何數(shù)目的對(duì)準(zhǔn)銷35支撐各罩幕10。舉例來(lái)說(shuō)，圖3呈現(xiàn)對(duì)準(zhǔn)孔18用以容納三個(gè)活動(dòng)零件。此外，即使僅圖示一個(gè)螺釘198與一個(gè)固定孔25，可理解的是可使用任何數(shù)目的螺釘198將罩幕10附接至罩幕框100。舉例來(lái)說(shuō)，圖3呈現(xiàn)具有三個(gè)固定孔25的罩幕10。再者，SP使圖3顯示固定孔25配置于對(duì)準(zhǔn)孔18附近，在其他實(shí)施例中，這些固定孔25可配置于不同的突出部16上。
[0044]回到圖7，由于罩幕10與對(duì)準(zhǔn)銷35之間的互動(dòng)，偏置元件130可能會(huì)被壓縮。使用螺釘198與偏置元件130可使罩幕10相對(duì)于罩幕框100在垂直方向上移動(dòng)約0.100英寸。此外，如上所述，罩幕10亦可相對(duì)于上部平板110而側(cè)向地移動(dòng)。罩幕10得以相對(duì)于罩幕框100而在所有三維度上移動(dòng)的能力，可使各罩幕10與其對(duì)準(zhǔn)銷35對(duì)準(zhǔn)，并使罩幕10亦能夠補(bǔ)償熱膨脹作用。此外，基于用來(lái)將罩幕10附接至罩幕框100的機(jī)制，各罩幕10可獨(dú)立于其他每一罩幕1而移動(dòng)。舉例來(lái)說(shuō)，一個(gè)罩幕1可通過(guò)些微地向左移動(dòng)而使其對(duì)準(zhǔn)至下方對(duì)準(zhǔn)銷35，而另一個(gè)罩幕10可通過(guò)些微地向右移動(dòng)來(lái)使其對(duì)準(zhǔn)。
[0045]本實(shí)用新型不受限于本文所述的具體實(shí)施例的范圍。當(dāng)然，除了本文所述，本實(shí)用新型的其他各種實(shí)施例及修正，對(duì)本技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者而言，通過(guò)前文所述與附圖為顯而易見。因此，其他實(shí)施例及修正落入本實(shí)用新型的范圍內(nèi)。進(jìn)而，雖然在用于特定目的的特定情形下的特定實(shí)施方式的內(nèi)文中已描述本實(shí)用新型，本技術(shù)領(lǐng)域中具通常知識(shí)者將理解其用途不限于此，且在用于任何目的的任何情形下可有效地實(shí)施本實(shí)用新型。因此，保護(hù)范圍應(yīng)解釋為基于本文所述本實(shí)用新型的完整范疇與精神。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于工件處理的系統(tǒng)，其特征在于，包括: 罩幕框，包括其中具有開口的上部平板，以及將所述罩幕框支撐在工作表面上的兩個(gè)或更多個(gè)的垂直側(cè)壁； 多個(gè)罩幕，每一個(gè)所述罩幕包括具有圖案的中心部分，以及從所述中心部分的邊緣延伸的一個(gè)或更多個(gè)突出部； 固定器，穿過(guò)配置于所述一個(gè)或更多個(gè)突出部中的固定孔并連接至所述上部平板的底面，使得所述多個(gè)罩幕的每一個(gè)所述中心部分與所述上部平板中的個(gè)別所述開口對(duì)準(zhǔn)；以及 偏置元件，在所述上部平板的所述底面與每一個(gè)所述罩幕之間產(chǎn)生分離力。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于工件處理的系統(tǒng)，其特征在于，所述固定孔具有直徑，且每一個(gè)所述固定器具有頭部與軸部，其中每一個(gè)所述固定器的所述頭部的直徑大于所述固定孔的直徑，而所述軸部的直徑小于所述固定孔的直徑，使得所述罩幕與所述罩幕框之間進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于工件處理的系統(tǒng)，其特征在于，所述偏置元件包括配置于所述軸部周圍且安置于所述上部平板的所述底面與所述罩幕之間的彈簧。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于工件處理的系統(tǒng)，其特征在于，每一個(gè)所述罩幕還包括配置于所述一個(gè)或更多個(gè)突出部上的對(duì)準(zhǔn)孔，用以與配置于所述工作表面上的個(gè)別對(duì)準(zhǔn)銷配對(duì)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于工件處理的系統(tǒng)，其特征在于，還包括配置于所述垂直側(cè)壁上的固持零件，以將所述罩幕框固持于所述工作表面上。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于工件處理的系統(tǒng)，其特征在于，所述固持零件包括配置于所述垂直側(cè)壁末端的磁性材料與配置于所述工作表面中的電切換磁鐵。7.一種用于工件處理的系統(tǒng)，其特征在于，包括: 罩幕框，包括其中具有開口的上部平板，以及從所述上部平板延伸以將所述罩幕框支撐在工作表面上的兩個(gè)或更多個(gè)垂直側(cè)壁； 多個(gè)罩幕，每一個(gè)所述罩幕包括: 具有圖案的中心部分； 一個(gè)或更多個(gè)突出部，從所述中心部分的邊緣延伸； 一個(gè)或更多個(gè)固定孔，配置于所述一個(gè)或更多個(gè)突出部中；以及一個(gè)或更多個(gè)活動(dòng)零件，配置于所述一個(gè)或更多個(gè)突出部中，每一個(gè)所述活動(dòng)零件用以與配置于所述工作表面上的個(gè)別對(duì)準(zhǔn)銷接合；以及 固定器，穿過(guò)所述固定孔并連接至所述上部平板的底面，使得每一個(gè)所述罩幕的所述中心部分與所述上部平板中的個(gè)別所述開口對(duì)準(zhǔn)，其中每一個(gè)所述固定器包括頭部與軸部，所述頭部的直徑大于所述固定孔的直徑，所述軸部的直徑小于所述固定孔的直徑，使每一個(gè)所述罩幕在兩側(cè)向方向上相對(duì)于所述罩幕框而移動(dòng)。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于工件處理的系統(tǒng)，其特征在于，還包括多個(gè)偏置元件，每一個(gè)所述偏置元件配置于所述固定器的個(gè)別所述軸部上，且位于所述罩幕框的底面與一個(gè)所述罩幕之間，以在所述上部平板與所述罩幕之間產(chǎn)生分離力，以及使得所述罩幕與所述罩幕框在垂直方向上進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)。9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于工件處理的系統(tǒng)，其特征在于，所述活動(dòng)零件與所述固定孔配置于相同的所述突出部上。10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于工件處理的系統(tǒng)，其特征在于，所述活動(dòng)零件與所述固定孔配置于不同的所述突出部上。11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于工件處理的系統(tǒng)，其特征在于，還包括配置于所述垂直側(cè)壁上的固持零件，以將所述罩幕框固持于所述工作表面上。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的用于工件處理的系統(tǒng)，其特征在于，所述固持零件包括配置于所述垂直側(cè)壁末端的磁性材料以及配置于所述工作表面中的電切換磁鐵。
【文檔編號(hào)】H01L21/68GK205595318SQ201490000908
【公開日】2016年9月21日
【申請(qǐng)日】2014年7月25日
【發(fā)明人】亞隆·P·威波, 查理斯·T·卡爾森, 麥克·河南, 陸伊基·G·亞瑪多, 克里斯多夫·尼爾·葛蘭特, 詹姆斯·D·史瑞斯奈
【申請(qǐng)人】瓦里安半導(dǎo)體設(shè)備公司