一種對(duì)帶狀材料進(jìn)行等離子處理的卷軸裝置的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及一種對(duì)帶狀材料進(jìn)行等離子處理的卷軸裝置，包括真空艙體、磁流體密封裝置、傳動(dòng)軸、電極、從動(dòng)軸、磁粉制動(dòng)器和支撐輥。所述傳動(dòng)軸的一端通過(guò)磁流體密封裝置伸入真空艙體內(nèi)部，內(nèi)端頭部為一字扁形并帶有螺紋，通過(guò)端蓋、蝶形螺母與空卷軸連接并固定，外端與減速機(jī)和電機(jī)聯(lián)接，使電機(jī)能夠帶動(dòng)空卷軸轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)收卷功能；從動(dòng)軸與磁粉制動(dòng)器一起安裝在真空艙體上，從動(dòng)軸頭部為一字扁形并帶有螺紋，通過(guò)端蓋、蝶形螺母與帶狀材料卷軸連接并固定，從動(dòng)軸帶動(dòng)帶狀材料卷軸旋轉(zhuǎn)而實(shí)現(xiàn)放卷功能。最終實(shí)現(xiàn)帶狀材料高效、連續(xù)、均勻的等離子處理。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
一種對(duì)帶狀材料進(jìn)行等離子處理的卷軸裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種卷軸裝置，特別是涉及一種用于帶狀材料等離子處理的專(zhuān)門(mén)卷軸裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]等離子表面處理是一種新興的高科技表面處理方法，通過(guò)處理可以使材料表面實(shí)現(xiàn)親水、疏水等特殊功能，以便大幅度增強(qiáng)表面的粘合、焊接、涂鍍或者是防水防腐蝕等能力。這一處理手段目前被廣泛地應(yīng)用于電子、芯片、航空航天、兵器、汽車(chē)等領(lǐng)域，而且隨著科技的發(fā)展此技術(shù)的應(yīng)用也越來(lái)越廣泛。
[0003]現(xiàn)有通常的等離子表面處理技術(shù)是，在真空艙體內(nèi)，導(dǎo)入射頻或高頻電源，連接到并聯(lián)的、水平布置(或垂直)的一個(gè)或者數(shù)個(gè)電極板上。電極板之間有一定的間隙，可以在間隙處放入水平托盤(pán)，需要處理的樣品就放置在托盤(pán)上。進(jìn)行處理時(shí)，樣品放入托盤(pán)并把托盤(pán)置入艙體，用真空栗把艙體內(nèi)的真空度抽到0.1-0.6mbar左右，通入處理氣體并接通射頻電源。因?yàn)榻尤氲纳漕l電源一般電壓在1000V至1600V之間，艙體內(nèi)的電極板被接通射頻電源后會(huì)擊穿艙體內(nèi)通入的處理氣體，將氣體分子電離產(chǎn)生等離子，電極板和艙體之間存在電位差，等離子在電位差的作用下從電極板向艙體或者接地的陰極運(yùn)動(dòng)，并轟擊放置在托盤(pán)上的樣品，從而使樣品得到處理。
[0004]但是這種常用的等離子處理設(shè)備結(jié)構(gòu)對(duì)帶狀材料處理是非常困難的，主要存在的問(wèn)題是，在真空艙體內(nèi)只有暴露在表面的材料才能得到處理，而大多數(shù)帶狀材料都是以卷狀存在，因此內(nèi)部的材料得不到處理。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了解決以上問(wèn)題，本實(shí)用新型采用的是卷對(duì)卷技術(shù)，該裝置能夠?qū)畈牧线M(jìn)行高效、連續(xù)、均勻的等離子處理。
[0006]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是:一種對(duì)帶狀材料進(jìn)行等離子處理的卷軸裝置，包括:真空艙體、磁流體密封裝置、傳動(dòng)軸、電極、從動(dòng)軸、磁粉制動(dòng)器和支撐輥。
[0007]可選地，在傳統(tǒng)的等離子清洗機(jī)的基礎(chǔ)上，在所述真空艙體的一側(cè)安裝一個(gè)傳動(dòng)軸、一個(gè)從動(dòng)軸和磁粉制動(dòng)器。
[0008]可選地，所述傳動(dòng)軸的一端通過(guò)磁流體密封裝置伸入所述真空艙體內(nèi)；其中在真空艙體外的一端連接減速機(jī)的輸出軸，所述減速機(jī)的輸入軸連接電機(jī)輸出軸；
[0009]所述傳動(dòng)軸伸入真空艙體內(nèi)的一端頭部為一字扁形并帶有螺紋，通過(guò)端蓋與蝶形螺母和空卷軸連接固定為一體。
[0010]可選地，所述傳動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)而實(shí)現(xiàn)帶動(dòng)空卷軸旋轉(zhuǎn)，達(dá)到收卷功能，所述空卷軸轉(zhuǎn)速為0.1-1OOrpm0
[0011 ]可選地，所述從動(dòng)軸和磁粉制動(dòng)器一起安裝于所述真空艙體一側(cè)，設(shè)置在所述傳動(dòng)軸上部，只有當(dāng)傳動(dòng)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)力足夠大時(shí)才能帶動(dòng)從動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)力小時(shí)，從動(dòng)軸就會(huì)停止轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使帶狀材料保持繃緊狀態(tài)。
[0012]可選地，所述從動(dòng)軸頭部同樣為一字扁形并帶有螺紋，帶狀材料卷軸會(huì)放在從動(dòng)軸上，通過(guò)端蓋和蝶形螺母與從動(dòng)軸連接，當(dāng)傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)力大于磁粉制動(dòng)力時(shí)，所述帶狀材料卷軸轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)放卷功能。
[0013]可選地，所述支撐輥共2個(gè)，分別設(shè)置在所述真空艙體內(nèi)部一側(cè)，帶狀材料從所述從動(dòng)軸繞過(guò)所述支撐輥后，卷在所述傳動(dòng)軸上的空卷軸上。
[0014]可選地，所述電極設(shè)置在所述真空艙體內(nèi)部，所述真空艙體作為陰極，所述電極作為陽(yáng)極。
[0015]本實(shí)用新型具體操作時(shí)，在傳動(dòng)軸連接固定空卷軸，把帶狀材料卷軸放在從動(dòng)軸上，拉動(dòng)帶狀材料繞過(guò)支撐輥后，卷在傳動(dòng)軸上的空卷軸上，在進(jìn)行等離子處理時(shí)，關(guān)閉真空艙門(mén)，真空艙體被抽真空至0.1-0.6mbar以達(dá)到等離子發(fā)生時(shí)所需要的真空度，啟動(dòng)處理氣體輸入，并維持真空度保持穩(wěn)定，啟動(dòng)設(shè)定好了功率的射頻電源，這時(shí)與射頻電源連接的電極帶電，并電離處理氣體，產(chǎn)生等離子，等離子充滿(mǎn)整個(gè)真空艙內(nèi)部時(shí)，啟動(dòng)電機(jī)旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)就會(huì)通過(guò)減速機(jī)-傳動(dòng)軸傳遞至空卷軸上，這樣帶狀材料會(huì)在空卷軸上收卷;當(dāng)傳動(dòng)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)力大于磁粉制動(dòng)力時(shí)，帶動(dòng)從動(dòng)軸上的帶狀材料卷軸旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)放卷功能；當(dāng)帶狀材料處理完后，關(guān)閉電機(jī)和射頻電源，傳動(dòng)軸停止旋轉(zhuǎn)，通入空氣以使真空艙體內(nèi)的真空與大氣連通，使真空艙體內(nèi)恢復(fù)常壓，而此時(shí)帶狀材料已完成處理并纏繞在了原來(lái)安裝在傳動(dòng)軸上的空卷軸上，能直接拿到下一步工序，打開(kāi)艙門(mén)，將卷軸從傳動(dòng)軸和從動(dòng)軸上取下拿出，完成處理。
[0016]本實(shí)用新型有益效果是:使帶狀材料連續(xù)通過(guò)處理區(qū)域，從而對(duì)帶狀材料進(jìn)行連續(xù)、高效、均勻的等離子處理;裝置使用的零件均可現(xiàn)成采購(gòu)，易于實(shí)現(xiàn)。
【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1是本實(shí)用新型的卷軸裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖中:1、真空艙體(陰極)，2、磁流體密封裝置，3、傳動(dòng)軸，4、電極(陰極)，5、從動(dòng)軸，6、磁粉制動(dòng)器，7、支撐輥。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖和實(shí)例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。
[0020]如圖1所述，一種用于帶狀材料等離子處理的專(zhuān)門(mén)卷軸裝置，包括:真空艙體1、磁流體密封裝置2、傳動(dòng)軸3、電極4、從動(dòng)軸5、磁粉制動(dòng)器6和支撐輥7。
[0021 ] 在所述真空艙體I的一側(cè)安裝一個(gè)傳動(dòng)軸3、一個(gè)從動(dòng)軸5和磁粉制動(dòng)器6。
[0022]所述傳動(dòng)軸3的一端通過(guò)專(zhuān)用的磁流體密封裝置2伸入真空艙體I內(nèi)部；
[0023]具體地，所述傳動(dòng)軸3在真空艙體I外的一端連接減速機(jī)的輸出軸，所述減速機(jī)的輸入軸連接電機(jī)輸出軸；
[0024]所述傳動(dòng)軸3在真空艙體I內(nèi)部一端頭部為一字扁形并帶有螺紋，通過(guò)端蓋和蝶形螺母與空卷軸連接固定為一體;所述傳動(dòng)軸3旋轉(zhuǎn)而實(shí)現(xiàn)帶動(dòng)空卷軸旋轉(zhuǎn)，達(dá)到收卷功能，所述空卷軸轉(zhuǎn)速為0.l-100rpm。
[0025]所述從動(dòng)軸5和磁粉制動(dòng)器6—起安裝于所述真空艙體I一側(cè)，設(shè)置在所述傳動(dòng)軸3上部，只有當(dāng)傳動(dòng)軸3的轉(zhuǎn)動(dòng)力足夠大時(shí)才能帶動(dòng)從動(dòng)軸5轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)力小時(shí)，從動(dòng)軸就會(huì)停止轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使帶狀材料保持繃緊狀態(tài)。
[0026]所述從動(dòng)軸5頭部同樣為一字扁形并帶有螺紋，通過(guò)端蓋和蝶形螺母與帶狀材料卷軸連接固定成一體，當(dāng)傳動(dòng)軸3轉(zhuǎn)動(dòng)力大于磁粉制動(dòng)力時(shí)，所述帶狀材料卷軸轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)放卷功能。
[0027]所述支撐輥7共2個(gè)，分別設(shè)置在所述真空艙體I內(nèi)部一側(cè)，帶狀材料從所述從動(dòng)軸5繞過(guò)所述支撐軸7后，卷在所述傳動(dòng)軸3上的空卷軸上。
[0028]可選地，所述電極4設(shè)置在所述真空艙體I內(nèi)部，所述真空艙體I作為陰極，所述電極4作為陽(yáng)極。
[0029]本實(shí)用新型具體操作時(shí)，在傳動(dòng)軸3連接固定空卷軸，把帶狀材料卷軸放在從動(dòng)軸5上，拉動(dòng)帶狀材料繞過(guò)支撐輥7后纏繞到安裝在傳動(dòng)軸3上的空卷軸上;在進(jìn)行等離子處理時(shí)，關(guān)閉真空艙門(mén)，真空艙體I被抽真空至0.1-0.6mbar以達(dá)到等離子發(fā)生時(shí)所需要的真空度，啟動(dòng)處理氣體輸入，并維持真空度保持穩(wěn)定，啟動(dòng)設(shè)定好了功率的射頻電源，這時(shí)與射頻電源連接的電極帶電，并電離處理氣體，產(chǎn)生等離子，等離子充滿(mǎn)整個(gè)真空艙體I內(nèi)部時(shí)，啟動(dòng)電機(jī)，旋轉(zhuǎn)就會(huì)通過(guò)減速機(jī)-傳動(dòng)軸3傳遞至空卷軸上，空卷軸開(kāi)始旋轉(zhuǎn)，這樣帶狀材料會(huì)在空卷軸上收卷；當(dāng)傳動(dòng)軸3轉(zhuǎn)動(dòng)力大于磁粉制動(dòng)力時(shí)，所述帶狀材料卷軸轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)放卷功能；當(dāng)帶狀材料處理完后，關(guān)閉電機(jī)和射頻電源，傳動(dòng)軸3停止旋轉(zhuǎn)，通入空氣以使真空艙體I內(nèi)的真空與大氣連通，使真空艙體I內(nèi)恢復(fù)常壓，而此時(shí)帶狀材料已完成處理并纏繞在了原來(lái)安裝在傳動(dòng)軸上的空卷軸上，能直接拿到下一步工序，打開(kāi)艙門(mén)，將卷軸從傳動(dòng)軸3和從動(dòng)軸5上取下拿出，完成處理。
[0030]本實(shí)用新型有益效果是:使帶狀材料連續(xù)通過(guò)處理區(qū)域，從而對(duì)帶狀材料進(jìn)行連續(xù)、高效、均勻的等離子處理;裝置使用的零件均可現(xiàn)成采購(gòu)，易于實(shí)現(xiàn)。
[0031]以上結(jié)合附圖為本實(shí)用新型的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，但本實(shí)用新型不限于上述實(shí)施方式，凡依據(jù)本實(shí)用新型申請(qǐng)專(zhuān)利范圍所做的均等變化與修飾，皆應(yīng)屬本實(shí)用新型的涵蓋范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種對(duì)帶狀材料進(jìn)行等離子處理的卷軸裝置，其特征是:所述卷軸裝置包括真空艙體(1)、磁流體密封裝置(2)、傳動(dòng)軸(3)、電極(4)、從動(dòng)軸(5)、磁粉制動(dòng)器(6)和支撐輥(7); 所述真空艙體(I)的一側(cè)設(shè)置有一個(gè)傳動(dòng)軸(3)、一個(gè)從動(dòng)軸(5);所述傳動(dòng)軸(3)的一端通過(guò)磁流體密封裝置(2)伸入真空艙體(I)內(nèi)部，伸入真空艙體(I)內(nèi)部的一端頭部為一字扁形并帶有螺紋，通過(guò)端蓋和蝶形螺母與空卷軸聯(lián)接并固定為一體，所述傳動(dòng)軸(3)旋轉(zhuǎn)而實(shí)現(xiàn)帶動(dòng)空卷軸旋轉(zhuǎn)，達(dá)到收卷功能； 所述從動(dòng)軸(5)頭部同樣為一字扁形并帶有螺紋，帶狀材料卷軸會(huì)放在從動(dòng)軸(5)上，通過(guò)端蓋和蝶形螺母與從動(dòng)軸(5)連接，當(dāng)傳動(dòng)軸(3)轉(zhuǎn)動(dòng)力大于磁粉制動(dòng)力時(shí)，所述帶狀材料卷軸轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)放卷功能。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種對(duì)帶狀材料進(jìn)行等離子處理的卷軸裝置，其特征是，所述空卷軸轉(zhuǎn)速為0.l-100rpm。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種對(duì)帶狀材料進(jìn)行等離子處理的卷軸裝置，其特征是，所述傳動(dòng)軸(3)在真空艙體(I)外的一端連接減速機(jī)的輸出軸，所述減速機(jī)的輸入軸連接電機(jī)輸出軸。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種對(duì)帶狀材料進(jìn)行等離子處理的卷軸裝置，其特征是所述從動(dòng)軸(5)與磁粉制動(dòng)器(6) 一起安裝在真空艙體(I)上。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種對(duì)帶狀材料進(jìn)行等離子處理的卷軸裝置，其特征是，所述支撐輥(7)共2個(gè)，分別設(shè)置在所述真空艙體(I)內(nèi)部一側(cè)，帶狀材料從所述從動(dòng)軸(5)繞過(guò)所述支撐輥(7)后，卷在所述傳動(dòng)軸(3)上的空卷軸上。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種對(duì)帶狀材料進(jìn)行等離子處理的卷軸裝置，其特征是，所述電極(4)設(shè)置在所述真空艙體(I)內(nèi)部，所述真空艙體(I)作為陰極，所述電極(4)作為陽(yáng)極。
【文檔編號(hào)】H01J37/32GK205621700SQ201620341065
【公開(kāi)日】2016年10月5日
【申請(qǐng)日】2016年4月21日
【發(fā)明人】鄭亮
【申請(qǐng)人】鄭亮