專利名稱：壓電夾持裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種夾持裝置，具體而言，涉及一種壓電夾持裝置。
背景技術(shù)：
微夾持器(Micro-Gripper)在微型組裝系統(tǒng)中扮演相當(dāng)重要的關(guān)鍵核心，其中微驅(qū) 動裝置更是攸關(guān)取放效果好壞的重要技術(shù)模塊。而一般談到微驅(qū)動裝置或精密驅(qū)動裝置， 不外乎就是利用壓電元件的微變形特點來實現(xiàn)。常見的壓電元件根據(jù)材料極化方向(P) 與施加電場方向(E)的不同，較常使用縱效應(yīng)及橫效應(yīng)作為驅(qū)動的方式(即水平、垂直 配置，實際上雖以縱效應(yīng)及橫效應(yīng)作為驅(qū)動方式，但以變形的角度來看，縱、橫向變化 都是同時都會存在的)。
參考圖1，其顯示常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件示意圖。所述常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電 元件l的極化方向(P)及施加電場方向(E)，兩者均為所述常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電元 件1的長度方向(平行設(shè)置)，通過所述極化方向(P)及所述施加電場方向(E)所產(chǎn) 生的應(yīng)力，使所述常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件1產(chǎn)生縱向的變形(如虛線所示)，以形 成縱向驅(qū)動力。
參考圖2，其顯示常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件示意圖。所述常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū)動的壓電 元件2的極化方向(P)相對于施加電場方向(E)，和所述極化方向(P)及所述施加電 場方向(E)均為所述常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件2的寬度方向(平行設(shè)置)，通過所述 極化方向(P)及所述施加電場方向(E)所產(chǎn)生的應(yīng)力，使所述常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電 元件2產(chǎn)生橫向的變形(如虛線所示)，以形成橫向驅(qū)動力。
上述所述常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件1及所述常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件2所分別 產(chǎn)生的縱效應(yīng)及橫效應(yīng)，其為當(dāng)外加電場(E)與極化方向(P)為平行設(shè)置時所產(chǎn)生的 特性。然而，上述兩種驅(qū)動配置方式卻無法在縱效應(yīng)與橫效應(yīng)發(fā)生的同時激發(fā)出剪切效 應(yīng)。因此，利用單一壓電元件雖然有較高的驅(qū)動精度或微驅(qū)動效果，但其能驅(qū)動行程卻 僅有幾十微米(pm)等級。甚至有些壓電元件僅有亞微米(sub屮m)等級的驅(qū)動功效， 所以對于要夾持較大尺寸(例如100pm以上)的精微元件則有些困難。
另外，如果要增加上述所述常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件1及所述常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū)動的 壓電元件2的驅(qū)動行程，需以多個壓電元件堆疊才能增加驅(qū)動行程的功效。參考圖3A及圖3B，其顯示一種常規(guī)堆疊式壓電驅(qū)動裝置3,其包括所述常規(guī)縱效 應(yīng)驅(qū)動的壓電元件1及所述常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件2，所述常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū)動的壓電 元件2設(shè)置于所述常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件1上。圖4A顯示輸入所述常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動 的壓電元件1的第一驅(qū)動信號；圖4B顯示輸入所述常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件2的第二 驅(qū)動信號。其中，所述第一驅(qū)動信號與所述第二驅(qū)動信號具有相位差。
結(jié)合參考圖3A至圖4B，所述常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件1接收所述第一驅(qū)動信號 后，即產(chǎn)生縱效應(yīng)以進行縱向運動，而所述常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件2接收所述第二 驅(qū)動信號后，即產(chǎn)生橫效應(yīng)以進行橫向運動。通過控制具有相位差的所述第一驅(qū)動信號 及所述第二驅(qū)動信號，分別驅(qū)動所述常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件1及所述常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū) 動的壓電元件2,使所述常規(guī)堆疊式壓電驅(qū)動裝置3產(chǎn)生類似長方形或橢圓形的運動軌 跡，以達到推動或驅(qū)動效果。
上述所述常規(guī)堆疊式壓電驅(qū)動裝置3的驅(qū)動方式，是精密壓電驅(qū)動器中最普遍且最 方便實施的一種方式，但相對的需要用到兩種壓電材料，且需準(zhǔn)確的搭配好兩相的電信 號(所述第一驅(qū)動信號及所述第二驅(qū)動信號)，才能產(chǎn)生產(chǎn)較佳的運動軌跡，其硬件實 現(xiàn)上較為復(fù)雜。
因此，有必要提供一種創(chuàng)新且富有進步性的壓電夾持裝置，以解決上述問題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種壓電夾持裝置，其包括基座、夾持單元、驅(qū)動元件、 至少一個壓電元件及預(yù)應(yīng)力裝置。所述基座具有第一側(cè)邊。所述夾持單元具有第一夾持 元件及第二夾持元件，所述第一夾持元件設(shè)置于所述基座的所述第一側(cè)邊，所述第二夾 持元件相對于所述第一夾持元件。所述驅(qū)動元件連接所述第二夾持元件。所述壓電元件 設(shè)置于所述襯底與所述驅(qū)動元件之間，其具有底面、側(cè)面及兩個電極，所述側(cè)面垂直于 所述驅(qū)動元件的軸向延伸方向，所述電極分別設(shè)置于所述底面及所述側(cè)面，所述底面固 設(shè)于所述基座。所述預(yù)應(yīng)力裝置固設(shè)于所述基座且與所述驅(qū)動元件接觸，用以向所述驅(qū) 動元件提供預(yù)應(yīng)力，以使所述驅(qū)動元件接觸所述壓電元件。
本發(fā)明的壓電夾持裝置通過所述預(yù)應(yīng)力元件施加預(yù)應(yīng)力于所述驅(qū)動元件上，在有限 的空間中可同時拘束所述驅(qū)動元件的垂直與水平的不可預(yù)期的偏移。再者，通過所述壓 電元件的多次變形，以多次驅(qū)動所述驅(qū)動元件而達到長行程的驅(qū)動效果并提升夾持力量。
圖1顯示常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件示意圖；圖2顯示常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件示意圖3A及圖3B顯示常規(guī)堆疊式壓電驅(qū)動裝置的驅(qū)動示意圖4A顯示輸入所述常規(guī)縱效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件的第一驅(qū)動信號示意圖4B顯示輸入所述常規(guī)橫效應(yīng)驅(qū)動的壓電元件的第二驅(qū)動信號示意圖5顯示本發(fā)明第一實施例壓電夾持裝置的立體圖； 圖6顯示本發(fā)明第一實施例壓電夾持裝置的剖面圖7顯示本發(fā)明第一實施例的驅(qū)動元件設(shè)置于壓電元件上的示意圖； 圖8顯示本發(fā)明方波單相驅(qū)動信號的時間-電位圖； 圖9顯示本發(fā)明鋸齒波單相驅(qū)動信號的時間-電位圖； 圖10顯示本發(fā)明弦波單相驅(qū)動信號的時間-電位圖； 圖11至圖13顯示本發(fā)明第一實施例壓電夾持裝置的操作示意圖； 圖14顯示本發(fā)明在驅(qū)動元件與壓電元件之間設(shè)置摩擦材料的示意圖； 圖15顯示本發(fā)明第一種預(yù)應(yīng)力元件(可彈性伸縮元件)的示意圖； 圖16顯示本發(fā)明第二種預(yù)應(yīng)力元件(軸承元件)的示意圖； 圖17顯示本發(fā)明第二實施例壓電夾持裝置的立體圖； 圖18顯示本發(fā)明第二實施例壓電夾持裝置的剖面圖； 圖19顯示本發(fā)明第三實施例壓電夾持裝置的立體圖； 圖20顯示本發(fā)明第三實施例壓電夾持裝置的剖面圖；及 圖21顯示本發(fā)明第三實施例壓電夾持裝置的另一實施方面。
具體實施例方式
圖5顯示本發(fā)明第一實施例壓電夾持裝置的立體圖；圖6顯示本發(fā)明第一實施例壓 電夾持裝置的剖面圖；圖7顯示本發(fā)明第一實施例的驅(qū)動元件設(shè)置于壓電元件上的示意 圖。結(jié)合參考圖5、圖6及圖7，所述第一實施例的壓電夾持裝置4包括基座41、夾 持單元42、驅(qū)動元件43、至少一個壓電元件44 (在本實施例中為三個)及預(yù)應(yīng)力裝置 45。所述基座41具有第一側(cè)邊411。所述夾持單元42具有第一夾持元件421及第二夾持 元件422，所述第一夾持元件421設(shè)置于所述基座41的所述第一側(cè)邊411，所述第二夾 持元件422相對于所述第一夾持元件421。優(yōu)選地，所述夾持單元42用以夾持微型裝置 (例如微型馬達)的精微零組件，以便進行微型裝置的組裝。在本實施例中，所述基座 41的所述第一側(cè)邊411具有柱體412，所述第一夾持元件421固設(shè)于所述柱體412。
所述驅(qū)動元件43連接所述第二夾持元件422。所述壓電元件44設(shè)置于所述襯底41與所述驅(qū)動元件43之間，每一壓電元件44具有底面441、側(cè)面442及兩個電極443。其 中，所述側(cè)面442垂直于所述驅(qū)動元件43的軸向延伸方向，所述電極443分別設(shè)置于所 述底面441及所述側(cè)面442，所述底面441固設(shè)于所述基座41。
在本實施例中，所述壓電元件44為正立方體。優(yōu)選地，所述壓電元件44可設(shè)置于 載體46上。其中，所述載體46固設(shè)于所述基座41，優(yōu)選地，所述載體46以螺設(shè)方式 固設(shè)于所述基座41。
在本實施例中，由于所述壓電元件44為正立方體，所述電極443以垂直角度設(shè)置于 每一壓電元件44的所述底面431及所述側(cè)面432 (即所述電極443非平行設(shè)置)，所以 每一壓電元件44的電場方向(E)與極化方向(P)呈四十五度差角。將單相驅(qū)動信號電 連接至上述所述電極443，所述壓電元件44會同時呈現(xiàn)縱向效應(yīng)、橫向效應(yīng)及剪向效應(yīng)。 優(yōu)選地，所述單相驅(qū)動信號可為方波、鋸齒波或弦波(例如正弦波或余弦波)等周期 性信號，分別如圖8、圖9及圖10所示。
圖11至圖13顯示本發(fā)明第一實施例壓電夾持裝置的操作示意圖。參考圖ll，當(dāng)所 述單相驅(qū)動信號(V)施予所述電極443為零電位差時，所述壓電元件44仍呈原未加入 所述單相驅(qū)動信號時的正立方體。結(jié)合參考圖9及圖12，以所述單相驅(qū)動信號為如圖9 的鋸齒波周期性信號作為所述單相驅(qū)動信號為例，當(dāng)時間為T1時，所述單相驅(qū)動信號呈 正電位差，所以所述壓電元件44同時呈現(xiàn)拉升狀態(tài)的縱向效應(yīng)及向左的剪向效應(yīng)。結(jié)合 參考圖9及圖13，當(dāng)所述單相驅(qū)動信號在T2時間的電位差降至零時，此時所述壓電元 件44回復(fù)至原未加入所述單相驅(qū)動信號的結(jié)構(gòu)形狀。如此重復(fù)施加所述單相驅(qū)動信號于 所述電極443，則所述壓電元件44即會重復(fù)縱向效應(yīng)及向左的剪向效應(yīng)的變化，以及回 復(fù)至原未加入所述單相驅(qū)動信號的結(jié)構(gòu)形狀。因此，當(dāng)施加所述單相驅(qū)動信號即可使所 述壓電元件44產(chǎn)生二維的變形，所以適合作為壓電夾持裝置的動力源。
再結(jié)合參考圖5、圖6及圖7，所述驅(qū)動元件43設(shè)置于所述壓電元件44上且接觸所 述壓電元件44。其中，所述驅(qū)動元件43具有接觸面431，所述接觸面431的形狀配合與 所述驅(qū)動元件43接觸的所述壓電元件44表面的形狀，在本實施例中，所述接觸面431 為平面。優(yōu)選地，所述驅(qū)動元件43為氧化鋁材質(zhì)，或者，在其它應(yīng)用中，另外可在所述 驅(qū)動元件43與所述壓電元件44之間設(shè)置摩擦材料432 (如圖14所示)，用以增加所述 驅(qū)動元件43與所述壓電元件44間的摩擦力，以提升所述第一實施例的壓電夾持裝置4 的所述夾持單元42的夾持力量。要注意的是，所述摩擦材料442還可為氧化鋁材質(zhì)。
所述預(yù)應(yīng)力裝置45固設(shè)于所述基座41且與所述驅(qū)動元件43接觸，用以向所述驅(qū)動
7元件43提供預(yù)應(yīng)力，以使所述驅(qū)動元件43接觸所述壓電元件44。在本實施例中，所述 預(yù)應(yīng)力裝置45具有殼體451及至少一個預(yù)應(yīng)力元件452 (在本實施例中為四個)，所述 殼體451固設(shè)于所述基座41，所述預(yù)應(yīng)力元件452固設(shè)于所述殼體451且接觸所述驅(qū)動 元件43。
優(yōu)選地，相對于所述基座41的表面，所述預(yù)應(yīng)力元件452以非垂直角度施加預(yù)應(yīng)力 于所述驅(qū)動元件43上，因此，所述預(yù)應(yīng)力元件452施加于所述驅(qū)動元件43上的預(yù)應(yīng)力 可分解為垂直方向預(yù)應(yīng)力及水平方向預(yù)應(yīng)力。所述垂直方向預(yù)應(yīng)力可使所述驅(qū)動元件43 接觸所述壓電元件44，而所述驅(qū)動元件43兩側(cè)的所述水平方向預(yù)應(yīng)力則可平衡所述驅(qū) 動元件43，其限制所述驅(qū)動元件43不會在驅(qū)動過程中過度左右偏移而影響驅(qū)動效果， 以維持所述驅(qū)動元件43驅(qū)動時的線性度。
在本實施例中，所述預(yù)應(yīng)力元件452為可彈性伸縮元件(如圖15所示)，所述預(yù)應(yīng) 力元件452的內(nèi)部具有彈簧453，且所述預(yù)應(yīng)力元件452的端部具有滾珠454，借助所述 彈簧453可伸縮的特性，以彈性地調(diào)節(jié)所述預(yù)應(yīng)力元件452與所述驅(qū)動元件43間的摩擦 力，使所述驅(qū)動元件43得以較平順的移動。依據(jù)不同的應(yīng)用，所述預(yù)應(yīng)力元件452還可 為軸承元件(如圖16所示)。
在適當(dāng)?shù)念A(yù)應(yīng)力下，所述第一實施例的壓電夾持裝置4的所述壓電元件44可順利被 單相驅(qū)動信號驅(qū)動，以驅(qū)動所述驅(qū)動元件43進行單軸運動，且所述預(yù)應(yīng)力元件452施加 于所述驅(qū)動元件43上的所述垂直方向預(yù)應(yīng)力及所述水平方向預(yù)應(yīng)力，在有限的空間中可 同時限制所述驅(qū)動元件43的垂直與水平的不可預(yù)期的偏移。再者，在所述第一實施例中， 可通過所述壓電元件44的多次變形，以多次驅(qū)動所述驅(qū)動元件43而達到長行程的驅(qū)動 效果。并且，通過所述壓電元件44同時驅(qū)動所述驅(qū)動元件43，還可提升所述夾持單元 42的夾持力量。
圖17顯示本發(fā)明第二實施例壓電夾持裝置的立體圖。圖18顯示本發(fā)明第二實施例 壓電夾持裝置的剖面圖。結(jié)合參考圖17及圖18，所述第二實施例的壓電夾持裝置5包 括基座51、夾持單元52、驅(qū)動元件53、至少一個壓電元件54 (在本實施例中為三個) 及預(yù)應(yīng)力裝置55 (在本實施例中，所述預(yù)應(yīng)力裝置55具有兩個預(yù)應(yīng)力元件552)。所述 第二實施例的壓電夾持裝置5與所述第一實施例的壓電夾持裝置4不同之處在于，在所 述第二實施例中，所述驅(qū)動元件53具有至少一個槽道531，所述槽道531形成于所述驅(qū) 動元件53的頂面，且大致平行于所述驅(qū)動元件53的軸向延伸方向，所述預(yù)應(yīng)力裝置55 的每一預(yù)應(yīng)力元件552的一端延伸地設(shè)置于所述槽道531內(nèi)且接觸所述驅(qū)動元件53，藉此，使所述驅(qū)動元件53接觸所述壓電元件54，并且，利用所述預(yù)應(yīng)力元件552引導(dǎo)及 限制所述驅(qū)動元件53,使其不會在驅(qū)動過程中過度左右偏移而影響驅(qū)動效果，以維持所 述驅(qū)動元件53驅(qū)動時的線性度。
圖19顯示本發(fā)明第三實施例壓電夾持裝置的立體圖。圖20顯示本發(fā)明第三實施例 壓電夾持裝置的剖面圖。結(jié)合參考圖19及圖20,所述第三實施例的壓電夾持裝置6包 括基座61、夾持單元62、驅(qū)動元件63、至少一個壓電元件64 (在本實施例中為三個) 及預(yù)應(yīng)力裝置65。所述第三實施例的壓電夾持裝置6與所述第一實施例的壓電夾持裝置 4不同之處在于，在所述第三實施例中，所述預(yù)應(yīng)力裝置65為軸桿，所述驅(qū)動元件63 具有軸孔631，所述預(yù)應(yīng)力裝置65的一端固設(shè)于所述基座61的柱體612，另一端設(shè)置于 所述軸孔631內(nèi)且接觸所述軸孔631。
參考圖21，要注意的是，在其它應(yīng)用中，所述基座61具有第一側(cè)邊611及第二側(cè)邊 613，所述第二側(cè)邊613相對于所述第一側(cè)邊611，所述夾持單元62固設(shè)于所述基座61 的所述第一側(cè)邊611，所述預(yù)應(yīng)力裝置65的一端固設(shè)于所述基座61的所述第二側(cè)邊613， 所述預(yù)應(yīng)力裝置65的另一端設(shè)置于所述驅(qū)動元件63的所述軸孔631內(nèi)且接觸所述軸孔 631。藉此，使所述驅(qū)動元件63接觸所述壓電元件64，并且，利用所述預(yù)應(yīng)力元件65 引導(dǎo)及限制所述驅(qū)動元件63,使其不會在驅(qū)動過程中過度左右偏移而影響驅(qū)動效果，以 維持所述驅(qū)動元件63驅(qū)動時的線性度。
上述實施例僅為說明本發(fā)明的原理及其功效，并非限制本發(fā)明。因此所屬領(lǐng)域的技 術(shù)人員可在不脫離本發(fā)明的精神的情況下對上述實施例進行修改及變化。本發(fā)明的權(quán)利 范圍應(yīng)如所附的權(quán)利要求書所列。
權(quán)利要求
1. 一種壓電夾持裝置，其包括基座，其具有第一側(cè)邊；夾持單元，其具有第一夾持元件及第二夾持元件，所述第一夾持元件設(shè)置于所述基座的所述第一側(cè)邊，所述第二夾持元件相對于所述第一夾持元件；驅(qū)動元件，其連接所述第二夾持元件；至少一個壓電元件，其設(shè)置于所述襯底與所述驅(qū)動元件之間，其具有底面、側(cè)面及兩個電極，所述側(cè)面垂直于所述驅(qū)動元件的軸向延伸方向，所述電極分別設(shè)置于所述底面及所述側(cè)面，所述底面固設(shè)于所述基座；及預(yù)應(yīng)力裝置，其固設(shè)于所述基座且與所述驅(qū)動元件接觸，用以向所述驅(qū)動元件提供預(yù)應(yīng)力，以使所述驅(qū)動元件接觸所述壓電元件。
2 根據(jù)權(quán)利要求l所述的壓電夾持裝置，其中所述基座的所述第一側(cè)邊具有柱體，所 述第一夾持元件固設(shè)于所述柱體。
3 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電夾持裝置，其另外包括載體，所述載體固設(shè)于所述基座， 所述壓電元件設(shè)置于所述載體上。
4 根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓電夾持裝置，其中所述載體以螺設(shè)方式固設(shè)于所述基座。
5 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電夾持裝置，其中所述驅(qū)動元件具有接觸面，所述接觸面 的形狀配合與所述驅(qū)動元件接觸的所述壓電元件表面的形狀。
6 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電夾持裝置，其中所述驅(qū)動元件為氧化鋁材質(zhì)。
7 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電夾持裝置，其另外包括摩擦材料，所述摩擦材料設(shè)置于所述驅(qū)動元件與所述壓電元件之間。
8 根據(jù)權(quán)利要求7所述的壓電夾持裝置
9 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電夾持裝置 應(yīng)力元件，所述殼體固設(shè)于所述基座 驅(qū)動元件。
10 根據(jù)權(quán)利要求9所述的壓電夾持裝置
11 根據(jù)權(quán)利要求9所述的壓電夾持裝置
12 根據(jù)權(quán)利要求9所述的壓電夾持裝置其中所述摩擦材料為氧化鋁材質(zhì)。其中所述預(yù)應(yīng)力裝置具有殼體及至少一個預(yù)所述預(yù)應(yīng)力元件固設(shè)于所述殼體且接觸所述其中所述預(yù)應(yīng)力元件為可彈性伸縮元件。 其中所述預(yù)應(yīng)力元件為軸承元件。 其中所述驅(qū)動元件具有至少一個槽道，所述 槽道形成于所述驅(qū)動元件的頂面且大致平行于所述驅(qū)動元件的軸向延伸方向，所述 預(yù)應(yīng)力元件的一端延伸地設(shè)置于所述槽道內(nèi)且接觸所述驅(qū)動元件。
13. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的壓電夾持裝置，其中所述預(yù)應(yīng)力裝置為軸桿，所述驅(qū)動元件 具有軸孔，所述軸桿的一端固設(shè)于所述基座的所述第一側(cè)邊，另一端設(shè)置于所述軸 孔內(nèi)且接觸所述軸孔。
14. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的壓電夾持裝置，其中所述預(yù)應(yīng)力裝置為軸桿，所述驅(qū)動元件 具有軸孔，所述軸桿的一端固設(shè)于所述基座的第二側(cè)邊，所述第二側(cè)邊相對于所述 第一側(cè)邊，所述軸桿的另一端設(shè)置于所述軸孔內(nèi)且接觸所述軸孔。
15. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的壓電夾持裝置，其中所述壓電元件的所述電極接收單相驅(qū)動 信號，以使所述壓電元件產(chǎn)生縱向效應(yīng)、橫向效應(yīng)及剪向效應(yīng)。
16. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的壓電夾持裝置，其中所述單相驅(qū)動信號為方波周期性信號。
17. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電夾持裝置，其中所述單相驅(qū)動信號為鋸齒波周期性信號。
18. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的壓電夾持裝置，其中所述單相驅(qū)動信號為弦波周期性信號。
19. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電夾持裝置，其中所述單相驅(qū)動信號為正弦波周期性信號。
20. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電夾持裝置，其中所述單相驅(qū)動信號為余弦波周期性信號。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種壓電夾持裝置，其利用至少一個壓電元件驅(qū)動一驅(qū)動元件，以驅(qū)動夾持器而達到夾持的效果。本發(fā)明的壓電夾持裝置利用從預(yù)應(yīng)力裝置施加到所述驅(qū)動元件上預(yù)應(yīng)力，在有限的空間中同時限制所述驅(qū)動元件的垂直與水平的不可預(yù)期的偏移。此外，通過利用所述壓電元件的多次變形，所述驅(qū)動元件可實現(xiàn)長驅(qū)動及高夾持力的效果。
文檔編號H02N2/00GK101471613SQ20071030634
公開日2009年7月1日 申請日期2007年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月28日
發(fā)明者吳永成, 林忠憲, 王圣禾, 蔡明祺, 薛博文 申請人:財團法人金屬工業(yè)研究發(fā)展中心