專利名稱：一種振動(dòng)環(huán)的生產(chǎn)工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及振動(dòng)環(huán)的制造生產(chǎn)工藝，特別涉及使用化學(xué)蝕刻生產(chǎn)無連接點(diǎn)振動(dòng)環(huán) 或振動(dòng)片的工藝。
技術(shù)背景目前利用精密蝕刻技術(shù)生產(chǎn)的產(chǎn)品品種越來越多，對(duì)產(chǎn)品尺寸精度以及表面光滑 度的要求也越來越高。蝕刻生產(chǎn)單個(gè)產(chǎn)品外邊緣必須有至少一個(gè)連接點(diǎn)(單個(gè)產(chǎn)品與 邊框連接，這樣形成一個(gè)單張)，這樣才能確保整個(gè)生產(chǎn)過程中不會(huì)掉片，但同時(shí)產(chǎn) 品邊緣必定留下一個(gè)小缺口，影響邊緣的平滑度。應(yīng)客戶要求加工一類小圓環(huán)或者是 小圓片，外邊緣平滑度要求極高，不允許有連接點(diǎn)。由于不能有連結(jié)點(diǎn)，目前的生產(chǎn) 工藝中的蝕刻過程中，在噴射壓力的作用下產(chǎn)品會(huì)聚為一堆，處于最外面的產(chǎn)品由于 接觸腐蝕液較為充分，產(chǎn)品的幾何尺寸偏大；而處于最里面的產(chǎn)品由于受外面產(chǎn)品的 包圍，腐蝕就略欠，同時(shí)產(chǎn)品不同部位腐蝕的一致性較差。另外，若按照目前的生產(chǎn) 工藝進(jìn)行，產(chǎn)品勢(shì)必全部掉片，導(dǎo)致剝膜及脫水時(shí)不能整張進(jìn)行，產(chǎn)品損失較多，無 法生產(chǎn)出合格的產(chǎn)品。 發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，提出一種本發(fā)明的目的在于提供一種適 應(yīng)無連接點(diǎn)小圓環(huán)或者小圓片的生產(chǎn)工藝，本工藝剝膜及脫水時(shí)可以整張進(jìn)行，采用 本發(fā)明的工藝生產(chǎn)可以提高產(chǎn)品的良品率。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明釆取的技術(shù)方案是本發(fā)明的工藝包括設(shè)計(jì)、制版、 切料、清洗、涂膠烘干、曝光、顯影堅(jiān)膜、固化、蝕刻、剝膜、清洗烘干本發(fā)明包括下列步驟(1) 、設(shè)計(jì)用CAD制圖，制版按A-T/2計(jì)算(其中A為腐蝕余量，T為原材料厚度)；(2) 、制版:采用光繪機(jī)制作菲林，在100倍顯微鏡下對(duì)位，對(duì)位偏差不超過5Mm;(3) 、切料用剪板機(jī)將巻材切成板材；(4) 、清洗對(duì)板材先用清洗劑進(jìn)行清洗，然后用清水清洗，再置于濃度為2-3%的稀硝酸中 進(jìn)行粗化，取出后依次用清水、純水沖洗，置于純水槽中；(5) 、涂膠烘干將材料放于旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)中，開啟旋轉(zhuǎn)，在板材一面倒上25ml左右的感光膠，使 感光膠在離心作用下均勻涂于材料表面，同法涂另一面，涂好后開啟旋轉(zhuǎn)、加熱， 3-4min取出；(6) 、曝光將涂膠干燥后的板材在菲林中間進(jìn)行紫外線雙面曝光，紫外線燈照度8-12W/cm2， 曝光時(shí)間15-18s;(7) 、顯影堅(jiān)膜用清水作為顯影液，常溫顯影，顯影壓力0.10Mpa-0.15Mpa，顯影時(shí)間30~40s， 顯影完成后將板材放入4-6%的鉻酸槽中浸泡25-30s,取出清水沖洗，再進(jìn)入脫水機(jī) 80-90。C脫水；(8) 、固化固化過程采用烘箱，烘箱內(nèi)溫度200-220'C，固化時(shí)間300 s -—400s;(9) 、蝕刻采用蝕刻機(jī)FeCl3液噴淋蝕刻，F(xiàn)eCl3液的疲勞度8-12V將產(chǎn)品置于絲網(wǎng)托架上 進(jìn)行蝕刻，對(duì)八個(gè)噴淋室中八個(gè)泵的上下壓力重新比例分配，板材的下部壓力較上 部壓力大0.01MPa;根據(jù)腐蝕的特點(diǎn)，觀察其穿孔的部位，在前部未穿孔時(shí)產(chǎn)品互相 有連接，腐蝕壓力適當(dāng)增大為0.09Mpa;當(dāng)穿孔后，使用小壓力，對(duì)孔型進(jìn)行細(xì)小的 修正，解決了產(chǎn)品在壓力沖擊下的飛濺問題；最終確定的蝕刻壓力 上部0.09， 0.09， 0.09， 0.08， 0.07, 0.06， 0.05， 0.04MPa; 下部0.09， 0.09， 0.09, 0.08， 0.07， 0.07， 0.06， 0.05Mpa; 溫度保持43'C-47'C,蝕刻時(shí)間3-5min。 (10)、 剝膜剝膜使用購置的A、B型堿性剝膜液，先將產(chǎn)品連同自制的絲網(wǎng)托架置于500-1000 毫升的A液中，下置一加熱器，加熱到9(TC-IOO'C，倒入相當(dāng)于A液1/3量的B液,迅速反應(yīng)，待表面膠膜脫凈后取出清水沖洗； (11)、清洗烘干 取出后產(chǎn)品連同絲網(wǎng)托架進(jìn)入脫水機(jī)80-90'C低溫烘干。采用本發(fā)明的振動(dòng)環(huán)生產(chǎn)工藝，適應(yīng)無連接點(diǎn)小圓環(huán)或者小圓片的生產(chǎn)，本工藝 剝膜及脫水時(shí)可以整張進(jìn)行，采用本發(fā)明的工藝生產(chǎn)可以提高產(chǎn)品的良品率。


圖l是本發(fā)明的工藝過程圖；圖2是自制絲網(wǎng)托架圖。
具體實(shí)施方式
本發(fā)明的第一個(gè)實(shí)施例 本發(fā)明包括下列步驟(1) 、設(shè)計(jì)用CAD制圖，制版按A4/2計(jì)算(其中A為腐蝕余量，T為原材料厚度)；(2) 、制版采用光繪機(jī)制作菲林，在100倍顯微鏡下對(duì)位，對(duì)位偏差不超過5Mffl;(3) 、切料 用剪板機(jī)將巻材切成板材；(4) 、清洗對(duì)板材先用清洗劑進(jìn)行清洗，然后用清水清洗，再置于濃度為2.2%的稀硝酸中 迸行粗化，取出后依次用清水、純水沖洗，置于純水槽中；(5) 、涂膠烘干將材料放于旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)中，開啟旋轉(zhuǎn)，在板材一面倒上22ml的感光膠，使感光 膠在離心作用下均勻涂于材料表面，同法涂另一面，涂好后開啟旋轉(zhuǎn)、加熱，3min 取出；(6) 、曝光將涂膠干燥后的板材在菲林中間進(jìn)行紫外線雙面曝光，紫外線燈照度8-12W/cm2， 曝光時(shí)間16s;(7) 、顯影堅(jiān)膜用清水作為顯影液，常溫顯影，顯影壓力0.11Mpa，顯影時(shí)間30s,顯影完成后將板材放入4.5%的鉻酸槽中浸泡258，取出清水沖洗，再進(jìn)入脫水機(jī)80X:脫水；(8) 、固化固化過程采用烘箱，烘箱內(nèi)溫度200'C，固化時(shí)間330s;(9) 、蝕刻采用蝕刻機(jī)FeCl3液噴淋蝕刻，F(xiàn)eCl3液的疲勞度8-12%，將產(chǎn)品置于絲網(wǎng)托架上 進(jìn)行蝕刻，蝕刻壓力上部0.09， 0.09, 0.09, 0.08， 0.07， 0.06， 0.05， 0.04MPa; 下部0.09， 0.09， 0.09， 0.08, 0.07， 0.07, 0.06， 0.05Mpa; 溫度保持44。C，蝕刻時(shí)間5min; (10)、 剝膜剝膜使用購置的A、 B型堿性剝膜液，先將產(chǎn)連同絲網(wǎng)托架品置于600毫升的A 液中，下置一加熱器，加熱到90'C，倒入200毫升B液，迅速反應(yīng)，待表面膠膜脫 凈后取出清水沖洗；(11)、清洗烘干取出后產(chǎn)品連同絲網(wǎng)托架進(jìn)入脫水機(jī)8(TC低溫烘干。最后經(jīng)檢驗(yàn)包裝后出廠。本發(fā)明的第二個(gè)實(shí)施例本發(fā)明包括下列步驟(1) 、設(shè)計(jì)用CAD制圖，制版按八=172計(jì)算(其中A為腐蝕余量，T為原材料厚度)；(2) 、制版采用光繪機(jī)制作菲林，在100倍顯微鏡下對(duì)位，對(duì)位偏差不超過5Pm;(3) 、切料用剪板機(jī)將巻材切成板材；(4) 、清洗對(duì)板材先用清洗劑進(jìn)行清洗，然后用清水清洗，再置于濃度為2.5%的稀硝酸中 進(jìn)行粗化，取出后依次用清水、純水沖洗，置于純水槽中；(5) 、涂膠烘干-將材料放于旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)中，開啟旋轉(zhuǎn)，在板材一面倒上25ml的感光膠，使感光膠在離心作用下均勻涂于材料表面，同法涂另一面，涂好后開啟旋轉(zhuǎn)、加熱，3.5min 取出；(6) 、曝光將涂膠干燥后的板材在菲林中間進(jìn)行紫外線雙面曝光，紫外線燈照度8-12W/cm2， 曝光時(shí)間17s;(7) 、顯影堅(jiān)膜用清水作為顯影液，常溫顯影，顯影壓力O. 15Mpa，顯影時(shí)間30s，顯影完成后 將板材放入5X的鉻酸槽中浸泡28s，取出清水沖洗，再進(jìn)入脫水機(jī)85'C脫水；(8) 、固化固化過程采用烘箱，烘箱內(nèi)溫度210'C,固化時(shí)間300s;(9) 、蝕刻采用蝕刻機(jī)FeCl3液噴淋蝕刻，F(xiàn)eCl3液的疲勞度8-12%，將產(chǎn)品置于絲網(wǎng)托架上 進(jìn)行蝕刻，蝕刻壓力上部0.09， 0.09， 0.09， 0.08， 0.07， 0.06， 0.05, 0.04MPa; 下部0.09， 0.09， 0.09， 0.08， 0.07， 0.07， 0.06， 0.05Mpa; 溫度保持45°C ，蝕刻時(shí)間4. 5min; (10)、 剝膜剝膜使用購置的A、 B型堿性剝膜液，先將產(chǎn)品連同絲網(wǎng)托架置于750毫升的A 液中，下置一加熱器，加熱到95'C,倒入250毫升B液，迅速反應(yīng)，待表面膠膜脫 凈后取出清水沖洗； (11)、清洗烘干取出后產(chǎn)品連同絲網(wǎng)托架進(jìn)入脫水機(jī)85'C低溫烘干。最后經(jīng)檢驗(yàn)包裝后出廠本發(fā)明的第三個(gè)實(shí)施例本發(fā)明包括下列步驟(1) 、設(shè)計(jì)用CAD制圖，制版按A-T/2計(jì)算(其中A為腐蝕余量，T為原材料厚度)；(2) 、制版采用光繪機(jī)制作菲林，在100倍顯微鏡下對(duì)位，對(duì)位偏差不超過5Mffl;(3) 、切料用剪板機(jī)將巻材切成板材；(4) 、清洗對(duì)板材先用清洗劑進(jìn)行清洗，然后用清水清洗，再置于濃度為3%的稀硝酸中進(jìn) 行粗化，取出后依次用清水、純水沖洗，置于純水槽中；(5) 、涂膠烘干將材料放于旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)中，開啟旋轉(zhuǎn)，在板材一面倒上28ml的感光膠，使感光 膠在離心作用下均勻涂于材料表面，同法涂另一面，涂好后開啟旋轉(zhuǎn)、加熱，4min 取出；(6) 、曝光將涂膠干燥后的板材在菲林中間進(jìn)行紫外線雙面曝光，紫外線燈照度8-12W/cm2， 曝光時(shí)間18s;(7) 、顯影堅(jiān)膜用清水作為顯影液，常溫顯影，顯影壓力0.15Mpa，顯影時(shí)間40s,顯影完成后 將板材放入6%的鉻酸槽中浸泡308，取出清水沖洗，再進(jìn)入脫水機(jī)9(TC脫水；(8) 、固化周化過程采用烘箱，烘箱內(nèi)溫度22(TC,固化時(shí)間400s;(9) 、蝕刻 '采用蝕刻機(jī)FeCl3液噴淋蝕亥！], FeCl3液的疲勞度8-12先，將產(chǎn)品置于絲網(wǎng)托架上 進(jìn)行蝕刻，蝕刻壓力上部0.09， 0.09， 0.09, 0.08， 0.07， 0.06， 0.05， 0.04MPa; 下部0.09， 0.09, 0.09， 0.08， 0.07， 0.07， 0.06， 0.05Mpa; 溫度保持47 'C ，蝕刻對(duì)間5mi n; (10)、 剝膜剝膜使用購置的A、 B型堿性剝膜液，先將產(chǎn)品連同絲兩托架置于恥0毫升的A 液中，下置一加熱器，加熱到100'C，倒入300毫升B液，迅速反應(yīng)，待表面膠膜脫 凈后取出清水沖洗；(11)、清洗烘干取出后產(chǎn)品連詞絲網(wǎng)托架進(jìn)入脫水機(jī)90'C低溫烘干。最后經(jīng)檢驗(yàn)包裝后出廠由于采用了本發(fā)明的蝕刻工藝，解決了產(chǎn)品在壓力沖擊下的飛濺問題。而且產(chǎn)品 不同部位腐蝕的一致性較好。由于采用了本發(fā)明的絲網(wǎng)托架剝膜工藝，剝膜效果良好， 剝膜及脫水時(shí)可以整張進(jìn)行，產(chǎn)品損失較少，生產(chǎn)出合格的產(chǎn)品，大大提高了良品率。
權(quán)利要求
1、一種振動(dòng)環(huán)生產(chǎn)工藝，包括設(shè)計(jì)、制版、切料、清洗、涂墨烘干、曝光、顯影、固化、蝕刻、剝膜、清洗，其特征在于，包括下列步驟(1)、設(shè)計(jì)用CAD制圖，制版按A＝T/2計(jì)算(其中A為腐蝕余量，T為原材料厚度)；(2)、制版采用光繪機(jī)制作菲林，在100倍顯微鏡下對(duì)位，對(duì)位偏差不超過5μm；(3)、切料用剪板機(jī)將卷材切成板材；(4)、清洗對(duì)板材先用清洗劑進(jìn)行清洗，然后用清水清洗，再置于濃度為2-3％的稀硝酸中進(jìn)行粗化，取出后依次用清水、純水沖洗，置于純水槽中；(5)、涂膠烘干將材料放于旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)中，開啟旋轉(zhuǎn)，在板材一面倒上25ml左右的感光膠，使感光膠在離心作用下均勻涂于材料表面，同法涂另一面，涂好后開啟旋轉(zhuǎn)、加熱，3-4min取出；(6)、曝光將涂膠干燥后的板材在菲林中間進(jìn)行紫外線雙面曝光，紫外線燈照度8-12W/cm2，曝光時(shí)間15-18s；(7)、顯影堅(jiān)膜用清水作為顯影液，常溫顯影，顯影壓力0.10Mpa-0.15Mpa，顯影時(shí)間30-40s，顯影完成后將板材放入4-6％的鉻酸槽中浸泡25-30s，取出清水沖洗，再進(jìn)入脫水機(jī)80-90℃脫水；(8)、固化固化過程采用烘箱，烘箱內(nèi)溫度200-220℃，固化時(shí)間300s-400s；(9)、蝕刻采用蝕刻機(jī)FeCl3液噴淋蝕刻，F(xiàn)eCl3液的疲勞度8-12％，將產(chǎn)品置于自制的絲網(wǎng)托架上進(jìn)行蝕刻，對(duì)八個(gè)噴淋室中八個(gè)泵的上下壓力重新比例分配，板材的下部壓力較上部壓力大0.01MPa；根據(jù)腐蝕的特點(diǎn)，觀察其穿孔的部位，在前部未穿孔時(shí)產(chǎn)品互相有連接，腐蝕壓力適當(dāng)增大為0.09Mpa當(dāng)穿孔后，使用小壓力，對(duì)孔型進(jìn)行細(xì)小的修正，解決了產(chǎn)品在壓力沖擊下的飛濺問題；最終確定的蝕刻壓力上部0.09，0.09，0.09，0.08，0.07，0.06，0.05，0.04MPa；下部0.09，0.09，0.09，0.08，0.07，0.07，0.06，0.05Mpa；溫度保持43℃-47℃，蝕刻時(shí)間3-5min；(10)、剝膜剝膜使用購置的A、B型堿性剝膜液，先將產(chǎn)品連同絲網(wǎng)托架置于500-1000毫升的A液中，下置一加熱器，加熱到90℃-100℃，倒入相當(dāng)于A液1/3量的B液，迅速反應(yīng)，待表面膠膜脫凈后取出清水沖洗；(11)、清洗烘干取出后產(chǎn)品連同絲網(wǎng)托架進(jìn)入脫水機(jī)80-90℃低溫烘干。
全文摘要
本發(fā)明提供一種適應(yīng)無連接點(diǎn)小圓環(huán)或者小圓片的生產(chǎn)工藝，工藝過程包括，設(shè)計(jì)、制版、切料、清洗、涂墨烘干、曝光、顯影、固化、蝕刻、剝膜、清洗、由于采用了本發(fā)明的蝕刻工藝，解決了產(chǎn)品在壓力沖擊下的飛濺問題。而且產(chǎn)品不同部位腐蝕的一致性較好。由于采用了本發(fā)明的絲網(wǎng)托架剝膜工藝，剝膜效果良好，剝膜及脫水時(shí)可以整張進(jìn)行，產(chǎn)品損失較少，生產(chǎn)出合格的產(chǎn)品，大大提高了良品率。
文檔編號(hào)H02K15/00GK101227121SQ20071030773
公開日2008年7月23日 申請(qǐng)日期2007年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月26日
發(fā)明者蘭建偉, 紹 黃 申請(qǐng)人:彩虹集團(tuán)電子股份有限公司