專利名稱：壓電元件與超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種壓電元件及包括該壓電元件的超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
到目前為止，已知有這樣的超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)(參考例如專利文獻(xiàn)l)，即用于各 種電氣設(shè)備且包括壓電元件(電氣機(jī)械轉(zhuǎn)換元件)。該壓電元件是通過(guò)將壓電晶體 和電極交替著疊層而構(gòu)成的。而且，所述超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)中，通過(guò)將電壓施加在電 極上而讓壓電元件振動(dòng)，由此讓可動(dòng)體3運(yùn)動(dòng)。 專利文獻(xiàn)1:特表2003—501988號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題
本案發(fā)明人對(duì)以下結(jié)構(gòu)的超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)進(jìn)行了考察。圖16是該超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)的立體圖，圖17 (a)是用于超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)的壓電元件的立體圖，圖17 (b)是壓電元件的分解立體圖。
如圖16、圖17所示，壓電元件100借助設(shè)置在殼體103的三個(gè)支承部104A~104C收納在該殼體103中。在壓電元件100的端面設(shè)置有驅(qū)動(dòng)子110、 110，這些驅(qū)動(dòng)子100、 lOO支承可動(dòng)體lll。驅(qū)動(dòng)子110、 110被支承部104B擠壓到可動(dòng)體111上。
壓電晶體101和內(nèi)部電極102交替著疊層構(gòu)成壓電元件100。內(nèi)部電極102G是跨越壓電晶體101的幾乎整個(gè)主要面而設(shè)的共用電極(接地電極)。壓電晶體101在圖17所示的箭頭方向上極化。
內(nèi)部電極102A 102D、 102G分別連接在外部電極103A 103D、 103G上。該各個(gè)外部電極103A 103D、 103G設(shè)置在壓電元件100的端面上。例如引線108A 108D、108G借助焊料107連接在該各個(gè)外部電極103A 103D、 103G上。于是，電壓通過(guò)這些引線108A 108D、 108G供到各個(gè)內(nèi)部電極102A 102D、跳上。
但是，壓電元件100的后述伸縮振動(dòng)的共振頻率和彎曲振動(dòng)的共振頻率分別根 據(jù)壓電元件100的材料、形狀等決定。于是，決定壓電元件100的材料、形狀等要 使得伸縮振動(dòng)的共振頻率和彎曲振動(dòng)的共振頻率基本上一致。
下面，對(duì)超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。圖6到圖8分別是說(shuō)明壓電元件的 振動(dòng)形態(tài)的概念圖。
將引線108G接地，同時(shí)經(jīng)由引線108A、 108C將特定頻率的正弦波基準(zhǔn)電壓施 加到布置在壓電晶體101的主要面的一個(gè)對(duì)角線上的內(nèi)部電極102A、 102C上，經(jīng) 由引線108B、 108D將大小和頻率大致與基準(zhǔn)電壓相等的正弦波電壓施加到布置在 另一對(duì)角線上的內(nèi)部電極102B、 102D上。這樣一來(lái)，內(nèi)部電極102A、 102C上施加 了同相位電壓，內(nèi)部電極102B、 102D上施加了同相位電壓。當(dāng)基準(zhǔn)電壓和內(nèi)部電 極102B、 102D上所施加的電壓的相位差是0。的時(shí)候，如圖6所示，壓電元件IOO 會(huì)感應(yīng)出一次模式伸縮振動(dòng)。另一方面，當(dāng)該相位差是180。的時(shí)候，如圖7所示， 壓電元件100會(huì)感應(yīng)出二次模式的彎曲振動(dòng)。
若將與所述基本上一致的共振頻率附近的頻率的正弦波基準(zhǔn)電壓加到內(nèi)部電 極102A、 102C上，將相位與基準(zhǔn)電壓相差90°或者是一90。、大小和頻率基本上 與基準(zhǔn)電壓相等的正弦波電壓施加給內(nèi)部電極102B、 102D，則壓電元件100協(xié)調(diào)地 感應(yīng)出一次模式的伸縮振動(dòng)和二次模式的彎曲振動(dòng)。這樣一來(lái)，壓電元件100的形 狀便按照?qǐng)D8 (a)到圖8 (d)所示的順序變化。結(jié)果是，從貫穿圖8紙面的方向 看被設(shè)置在壓電元件100上的驅(qū)動(dòng)子110、 110進(jìn)行近似于橢圓的運(yùn)動(dòng)。換句話說(shuō)， 驅(qū)動(dòng)子110、 110由于壓電元件100的伸縮振動(dòng)和彎曲振動(dòng)的合成振動(dòng)而進(jìn)行橢圓 運(yùn)動(dòng)。在該橢圓運(yùn)動(dòng)的作用下由驅(qū)動(dòng)子110、 110支承的可動(dòng)體111在與壓電元件 100之間進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)，朝著箭頭A或者箭頭B的方向移動(dòng)。
但是，在所述超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)中，至少需要將五根引線108A~108D、 108G連接 在壓電元件100上的外部電極103A 103D、 103G上。因此，在壓電元件100振動(dòng)時(shí)， 引線108A 108D、跳、作為將引線108A 108D、 108G和外部電極103A~103D、 103G 連接起來(lái)的導(dǎo)電性連接部件的焊料107成為負(fù)擔(dān)，而妨礙了壓電元件100的振動(dòng)。 結(jié)果是，有超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)的效率下降之虞。
本發(fā)明正是為解決上述問(wèn)題而研究開(kāi)發(fā)出來(lái)的，其目的在于抑制對(duì)壓電元件 的振動(dòng)的妨礙。
為達(dá)成該目的，本發(fā)明的壓電元件是這樣的，該壓電元件由近似矩形形狀的壓 電晶體層和內(nèi)部電極層交替疊層而構(gòu)成。所述內(nèi)部電極層，由在疊層方向上夾著所 述壓電晶體層交替布置的共用電極層和供電電極層構(gòu)成。所述共用電極層具有共用 電極。所述供電電極層，具有被設(shè)置在所述壓電晶體層的主要面上的第一供電電極 層、和被設(shè)置在與主要面上設(shè)置有該第一供電電極層的壓電晶體層不同的壓電晶體 層的主要面上的第二供電電極層。所述第一供電電極層具有一對(duì)第一電極，該一對(duì) 第一電極分別形成在將所述壓電晶體層的主要面的長(zhǎng)邊方向和短邊方向分別二等 分后得到的四個(gè)區(qū)域中在所述壓電晶體層的主要面的第一對(duì)角線方向上相向的兩 個(gè)區(qū)域中且相互導(dǎo)通。所述第二供電電極層具有一對(duì)第二電極，該一對(duì)第二電極分 別形成在所述四個(gè)區(qū)域中在所述壓電晶體層的主要面的第二對(duì)角線方向上相向的 兩個(gè)區(qū)域中且相互導(dǎo)通。所述共用電極、所述第一電極以及所述第二電極，連接在 設(shè)置在所述壓電元件的外面的各個(gè)外部電極上。 發(fā)明的效果
根據(jù)本發(fā)明，使分別設(shè)置在將壓電晶體層的主要面的長(zhǎng)邊方向和短邊方向分別二等分啟得到的四個(gè)區(qū)域中在壓電晶體層的主要面的第一對(duì)角線方向上相向的兩 個(gè)區(qū)域中、第一供電電極層的一對(duì)第一電極相互導(dǎo)通，使分別設(shè)置在四個(gè)區(qū)域中在 壓電晶體層的主要面的第二對(duì)角線方向上相向的兩個(gè)區(qū)域中、第二供電電極層的一 對(duì)第二電極相互導(dǎo)通，便能夠使引線等的數(shù)量減少。結(jié)果是，能夠抑制對(duì)壓電元件 的振動(dòng)的妨礙。
本發(fā)明的超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)，因?yàn)槟軌蚴挂€等的連接工時(shí)減少，所以很容易制 造超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)。特別是，因?yàn)閴弘娫臋C(jī)械強(qiáng)度較弱，所以在將引線等連接 到外部電極上之際，有壓電元件由于機(jī)械應(yīng)力而損壞之虞。但如上所述，因?yàn)橐€ 等的連接工時(shí)減少了，所以便能夠減少該連接工序下對(duì)壓電元件的破壞。
而且，因?yàn)槟軌蚴挂€和外部電極的連接點(diǎn)減少，所以可靠性也提高。
圖1是本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施例所涉及的超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)的立體圖。 圖2是壓電元件的立體圖。 圖3是壓電元件的分解立體圖。
圖4是壓電晶體層的俯視圖。圖5 (a)是顯示第一供電電極層和共用電極層的位置關(guān)系的圖，圖5 (b)是 顯示第二供電電極層和共用電極層的位置關(guān)系的圖。 圖6是一次模式的伸縮振動(dòng)的位移圖。 圖7是二次模式的彎曲振動(dòng)的位移圖。 圖8是顯示壓電元件的動(dòng)作的概念圖。 圖9是超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)的變形例的立體圖。圖io是第二個(gè)實(shí)施例所涉及的壓電元件的分解立體圖。圖11 (a)是第三個(gè)實(shí)施例所涉及的壓電元件的立體圖，圖11 (b)是壓電元 件的分解立體圖。圖12是壓電元件的分解立體圖。圖13是超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)的變形例的立體圖。圖14 (a)是壓電元件的立體圖，圖14 (b)是壓電元件的分解立體圖。 圖15是超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)的變形例的立體圖。 圖16是超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)的立體圖。圖17 (a)是壓電元件的立體圖，圖17 (b)是壓電元件的分解立體圖。符號(hào)說(shuō)明1壓電晶體層2第一電極3共用電極層3a共用電極4第二電極5內(nèi)部電極6供電電極層6a第一供電電極層6b第二供電電極層7外部電極7a 第二電極用外部電極 7b 第一電極用外部電極 7g 共用電極用外部電極8 驅(qū)動(dòng)子9 可動(dòng)體10 引線11 殼體(支承體)12、 21、 23、 33、 43 壓電元件13a 13c 支承部22 第一側(cè)部電極24 第二側(cè)部電極具體實(shí)施方式
下面，參考附圖，詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例。
(第一個(gè)實(shí)施例)一超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)的構(gòu)成一圖1是該第一個(gè)實(shí)施例所涉及的超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)的立體圖。圖2是用于該超聲 波執(zhí)行機(jī)構(gòu)的壓電元件12的立體圖。圖3是壓電元件12的分解立體圖。圖4是壓 電晶體層l的俯視圖。圖5 (a)是顯示第一供電電極層6a和共用電極層3之間的 位置關(guān)系的圖，圖5 (b)是顯示第二供電電極層6b和共用電極層3之間的位置關(guān) 系的圖。
如圖1到圖3所示，超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括壓電元件12。該壓電元件12具有 相互相向的一對(duì)主要面、與該主要面垂直沿著壓電元件12的主要面的長(zhǎng)邊方向延 伸且相互相向的一對(duì)端面、以及與這些主要面和端面都垂直且沿著壓電元件12的 主要面的短邊方向延伸、互相相向的一對(duì)側(cè)面。主要面、端面以及側(cè)面構(gòu)成壓電元 件12的外面，端面和側(cè)面構(gòu)成壓電元件12的周圍面。在該實(shí)施例中，主要面、端 面以及側(cè)面中主要面具有最大的面積。
壓電元件12，借助三個(gè)支承部13a 13c被收納在殼體11 (支承體)中。壓電 元件12的一個(gè)端面上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)子8、 8，這些驅(qū)動(dòng)子8、 8支承著平板狀的可動(dòng)體 9。壓電元件12的另一個(gè)端面(與設(shè)置有驅(qū)動(dòng)子8、 8的端面相反的那一側(cè)的端面) 的支承體13b將驅(qū)動(dòng)子8、 8擠壓到可動(dòng)體9上。這樣一來(lái)，驅(qū)動(dòng)子8、 8的上端部 和可動(dòng)體9的摩擦力便被提高，壓電元件12的振動(dòng)經(jīng)由驅(qū)動(dòng)子8、 8可靠地傳遞給 可動(dòng)體9。
壓電元件12，是近似矩形形狀的壓電晶體層1和內(nèi)部電極層5交替著疊層而構(gòu) 成的近似長(zhǎng)方體形狀。該壓電晶體層1是由鋯鈦酸鉛等陶瓷材料制成的絕緣體層。 內(nèi)部電極層5由在疊層方向(壓電元件12的厚度方向)上夾著壓電晶體層1交替 著布置的共用電極層3和供電電極層6構(gòu)成。該共用電極層3具有設(shè)置在幾乎整個(gè) 壓電晶體層1的上側(cè)主要面上的近似矩形的共用電極3a。該共用電極3a設(shè)置有從 該長(zhǎng)邊方向中央部分朝著壓電元件12的兩個(gè)端面分別延伸的引出電極3b、 3b。
供電電極層6，由設(shè)置在壓電晶體層1的上側(cè)主要面上的第一供電電極層6a、 和與上側(cè)主要面上設(shè)置有第一供電電極層6a的壓電晶體層1不同的壓電晶體層1 的上側(cè)主要面上的第二供電電極層6b構(gòu)成。也就是說(shuō)，壓電晶體層1的主要面上 印刷有共用電極層3、第一供電電極層6a、第二供電電極層6b中的任一個(gè)層。而 且，如圖3的箭頭方向所示，壓電晶體層1從第一供電電極層6a或者第二供電電 極層6b —側(cè)朝著共用電極層3 —側(cè)極化。
第一供電電極層6a具有一對(duì)第一電極2、 2，分別形成在將壓電晶體層1的上 側(cè)主要面的長(zhǎng)邊方向L和短邊方向S分別二等分而得到的四個(gè)區(qū)域A廣A4 (參看圖 4)中在壓電晶體層1的上側(cè)主要面的第一對(duì)角線方向(第一對(duì)角線的延伸方向) Dl上相向的兩個(gè)區(qū)域A2、 A4中且經(jīng)由導(dǎo)通電極2a相互導(dǎo)通。該各個(gè)第一電極2是 近似矩形形狀的電極，從疊層方向看去與共用電極層3重疊(參看圖5 (a))。也就 是說(shuō)，各個(gè)第一電極2，夾著共用電極層3和壓電晶體層1相向。從疊層方向看去 導(dǎo)通電極2a也與共用電極層3重疊(參看圖5 (a))。各個(gè)第一電極2上設(shè)置有從 它的長(zhǎng)邊方向中央部位朝著壓電元件12的端面延伸的引出電極2b。該各個(gè)引出電 極2b從疊層方向看去不與共用電極層3重疊(參看圖5 (a))。也就是說(shuō)，該各個(gè) 引出電極2b與共用電極層3不相向。因此，在壓電晶體層1的與各個(gè)引出電極2b 相向的部分不產(chǎn)生電場(chǎng)。亦即這部分成為壓電上非活性部分。
第二供電電極層6b具有一對(duì)第二電極4、 4，分別形成在將壓電晶體層1的上 側(cè)主要面的長(zhǎng)邊方向L和短邊方向S分別二等分而得到的四個(gè)區(qū)域A1 A4中在壓電 晶體層1的上側(cè)主要面的第二對(duì)角線方向(第二對(duì)角線的延伸方向)D2上相向的兩 個(gè)區(qū)域A1、 A3中且經(jīng)由導(dǎo)通電極4a相互導(dǎo)通。該各個(gè)第二電極4是近似矩形形狀
的電極，從疊層方向看去與共用電極層3重疊(參看圖5 (b))。從疊層方向看去導(dǎo) 通電極4a也與共用電極層3重疊(參看圖5 (b))。各個(gè)第二電極4上設(shè)置有從它 的長(zhǎng)邊方向中央部位朝著壓電元件12的端面延伸的引出電極4b。該各個(gè)引出電極 4b從疊層方向看去不與共用電極層3重疊(參看圖5 (b))。因此，在壓電晶體層l 的與各個(gè)弓I出電極4b相向的部分不產(chǎn)生電場(chǎng)。
不同的壓電晶體層l上的共用電極3a和共用電極3a,經(jīng)由引出電極3b被共用 電極用外部電極7g連接起來(lái)。第一電極2、 2，經(jīng)由引出電極2b連接在第一電極用 外部電極7b上。第二電極4、 4經(jīng)由引出電極4b連接在第二電極用外部電極7a上。 該各個(gè)外部電極7a、 7b、 7g，跨越壓電元件12的一個(gè)端面和一個(gè)主要面而設(shè)置， 延伸到壓電元件12的振動(dòng)節(jié)點(diǎn)部分附近。引線IO借助焊料連接在各個(gè)外部電極7a、 7b、 7g位于壓電元件12的主要面上的部分。于是，用以使壓電元件12振動(dòng)的電壓 便通過(guò)該引線10施加在內(nèi)部電極層5上。這樣一來(lái)，通過(guò)讓各個(gè)外部電極7a、 7b、 7g跨越壓電元件12的一個(gè)端面和一個(gè)主要面而形成，并延伸到壓電元件12的振動(dòng) 節(jié)點(diǎn)附近，就能抑制壓電元件12和引線10的連接點(diǎn)對(duì)振動(dòng)造成的不良影響。
但是，壓電元件12的伸縮振動(dòng)的共振頻率和彎曲振動(dòng)的共振頻率分別根據(jù)壓 電元件12的材料、形狀等決定。于是，決定壓電元件100的材料、形狀等要使得 伸縮振動(dòng)的共振頻率和彎曲振動(dòng)的共振頻率基本上一致。在該實(shí)施例中，決定壓電 元件12的材料、形狀等，使得一次模式的伸縮振動(dòng)的共振頻率和二次模式的彎曲 振動(dòng)的共振頻率基本上一致。
如上所述，排列在對(duì)角線方向D1、 D2上的電極2、 4相互導(dǎo)通，由外部電極7g 將不同的壓電晶體層1上的共用電極3a和共用電極3a連接起來(lái)，將壓電晶體層1 上的第一電極2、 2連接到外部電極7b上，將壓電晶體層1上的第二電極4、 4連 接到外部電極7a上。也就是說(shuō)，只要設(shè)置共用電極用外部電極7g、第一電極用外 部電極7b以及第二電極用外部電極7a共計(jì)三個(gè)外部電極7即可。這樣一來(lái)，便能 夠使應(yīng)該連接在外部電極7的引線10的個(gè)數(shù)減少。結(jié)果是，能夠抑制對(duì)壓電元件 12的振動(dòng)的妨礙，從而能夠抑制超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)的效率下降。
因?yàn)槟軌蚴挂€10的連接工時(shí)減少，所以很容易制造超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)。特別 是，因?yàn)閴弘娫?2的機(jī)械強(qiáng)度較弱，所以在將引線10連接到外部電極7上之際， 有壓電元件12由于機(jī)械應(yīng)力而損壞之虞。但如上所述，因?yàn)橐€10的連接工時(shí)減
少了，所以便能夠減少該連接工序下對(duì)壓電元件12的破壞。
還能夠使引線10和外部電極7的連接點(diǎn)減少。這樣一來(lái)，便便能夠抑制由于設(shè)置在該連接點(diǎn)上的焊料對(duì)振動(dòng)的妨礙。再就是，雖然從驅(qū)動(dòng)超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)這一 方面來(lái)看該連接點(diǎn)是重要的地方，但因?yàn)槿菀资軡穸?、溫度變化等外部環(huán)境的影響， 所以通過(guò)使該連接點(diǎn)減少，就能使超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)的可靠性提高。
在小型超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)(例如壓電元件12的長(zhǎng)度在0. liraiTlOiMi左右)中，若 在各個(gè)供電電極層6a、 6b形成電位不同的電極，則在電位不同的電極間的距離不 夠充分就施加高電壓的時(shí)候，有時(shí)侯，會(huì)在電位不同的電極間產(chǎn)生漏電流。若產(chǎn)生 漏電流，就會(huì)產(chǎn)生供電電力損失，超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)的功率就會(huì)下降。但是，通過(guò)將 使供電電極層6a、 6b成為上述結(jié)構(gòu)，則各個(gè)供電電極6a、 6b上只形成電位相等的 電極。結(jié)果是，能夠?qū)崿F(xiàn)難以產(chǎn)生漏電流、小型且效率高的超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)。
除此以外，因?yàn)楣灿秒姌O3a、第一電極2以及第二電極4，分別經(jīng)由引出電極 3b、 2b、 4b連接在外部電極7g、 7b、 7a上，所以能夠?qū)⒐灿秒姌O3a、第一電極2 以及第二電極4分別引出到壓電元件12周圍面的不同位置上。結(jié)果是，能夠在共 用電極3a、第一電極2以及第二電極4之間確保充分的絕緣距離。這樣一來(lái)，為了 得到充分的絕緣距離，最好是，形成電位不同的電極3a、 2、 4的引出電極3b、 2b、 4b時(shí)，使它們之間保持壓電晶體層1的厚度以上的間隔。
如上所述，因?yàn)楣灿秒姌O3a、第一電極2以及第二電極4，分別經(jīng)由布置在壓 電上非活性部分的引出電極3b、 2b、 4b連接在外部電極7g、 7b、 7a上，所以壓電 元件12不會(huì)產(chǎn)生多余的振動(dòng)。結(jié)果是，壓電元件12能夠進(jìn)行平衡良好的振動(dòng)，該 振動(dòng)效率提高。
下面，對(duì)供電電極層6等進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。
第一供電電極層6a的第一電極2、 2和導(dǎo)通電極2a所呈的形狀，是相對(duì)壓電 晶體層1的上側(cè)主要面的中心點(diǎn)M (參看圖4)為點(diǎn)對(duì)稱的形狀。第二供電電極層 6b的第二電極4、 4和導(dǎo)通電極4a所呈的形狀，是相對(duì)壓電晶體層1的上側(cè)主要面 的中心點(diǎn)M為點(diǎn)對(duì)稱的形狀。也就是說(shuō)，引出電極2b以外的第一供電電極層6a的 形狀和引出電極4b以外的第二供電電極層6b的形狀，分別是相對(duì)壓電元件12的 上側(cè)主要面的第一對(duì)角線和第二對(duì)角線的交點(diǎn)成為點(diǎn)對(duì)稱的形狀。這樣一來(lái)，通過(guò) 使供電電極層6的形狀成為相對(duì)壓電晶體層1的上側(cè)主要面的中心點(diǎn)M是近似點(diǎn)對(duì)
稱的形狀，壓電元件12的振動(dòng)特別是二次模式的彎曲振動(dòng)的對(duì)稱性就提高了。這 樣一來(lái)，壓電元件12就不會(huì)產(chǎn)生多余的振動(dòng)，能量損失被大幅度地減少。結(jié)果是， 能夠?qū)⒐╇婋娏Ω咝У剞D(zhuǎn)換為振動(dòng)。
第一供電電極層6a的第一電極2、 2和導(dǎo)通電極2a所呈的形狀、以及第一供 電電極層6a的第一電極2、 2和導(dǎo)通電極2a所呈的形狀，是相對(duì)沿著壓電晶體層1 的上側(cè)主要面的長(zhǎng)邊方向L延伸的中心線C (參看圖4)相互顛倒過(guò)來(lái)后的形狀。 也就是說(shuō)，相對(duì)中心線C將引出電極2b以外的第一供電電極層6a的形狀顛倒過(guò)來(lái) 后的形狀，就是引出電極4b以外的第二供電電極層6b的形狀。這樣一來(lái)，通過(guò)使 第一供電電極層6a的形狀和第二供電電極層6b的形狀成為相對(duì)該中心線C大致顛 倒過(guò)來(lái)后的形狀后，壓電元件12的振動(dòng)特別是二次模式彎曲振動(dòng)的對(duì)稱性就提高。 結(jié)果是，壓電元件12就不會(huì)產(chǎn)生多余的振動(dòng)，能量損失大幅度地減少。結(jié)果是， 能夠?qū)⒐╇婋娏Ω咝У剞D(zhuǎn)換為振動(dòng)。
第一供電電極層6a的個(gè)數(shù)和第二供電電極層6b的個(gè)數(shù)相等。這樣一來(lái)，壓電 元件12的振動(dòng)對(duì)稱性就提高。這樣做以后，壓電元件12就不會(huì)產(chǎn)生多余的振動(dòng)， 能量損失大幅度地減少。結(jié)果是，能夠?qū)⒐╇婋娏Ω咝У剞D(zhuǎn)換為振動(dòng)。
供電電極層6是通過(guò)在疊層方向上交替地布置第一供電電極層6a和第二供電 電極層6b而形成的。因此，壓電元件12的導(dǎo)通電極2a、 4a布置部分的振動(dòng)的對(duì) 稱性提高。結(jié)果是，壓電元件12就不會(huì)產(chǎn)生多余的振動(dòng)，能量損失大幅度地減少。 結(jié)果是，能夠?qū)⒐╇婋娏Ω咝У剞D(zhuǎn)換為振動(dòng)。
壓電元件12的疊層方向最外層是壓電晶體層1。由此能收到以下效果。也就是 說(shuō)，在將小型超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)(例如長(zhǎng)度lmm 20mm左右)安裝到電子機(jī)器內(nèi)部的 非常小的空間內(nèi)的情況下，若壓電元件12最外層是共用電極層3或#供電電極層6， 則在壓電元件12主要面周圍的金屬部件接觸到壓電元件12的主要面的時(shí)候，有該 最外層的電極層發(fā)生短路，超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)的特性明顯下降的情況。這里，如上所 述，通過(guò)使壓電元件12疊層方向最外層成為是絕緣體的壓電晶體層1，則即使金屬 部件接觸壓電元件12的主要面，也不會(huì)發(fā)生短路。結(jié)果是，能夠使超聲波執(zhí)行機(jī)^ 構(gòu)的可靠性提高。
—超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)的動(dòng)作一下面，對(duì)超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。圖6是該實(shí)施例所涉及的一次模式 的伸縮振動(dòng)的位移圖。圖7是二次模式的彎曲振動(dòng)的位移圖。圖8是顯示壓電元件 12的動(dòng)作的概念圖。補(bǔ)充說(shuō)明一下，在圖6到圖8中，壓電元件12的主要面和紙 面的位置關(guān)系是平行的位置關(guān)系。
例如，若經(jīng)由引線10將與所述基本上一致的共振頻率附近的頻率的正弦波基 準(zhǔn)電壓加到共用電極層3和第一供電電極層6a之間，經(jīng)由引線10將相位與基準(zhǔn)交 流電壓相差90?；蛘呤且?(T 、大小和頻率基本上與基準(zhǔn)交流電壓相等的基準(zhǔn)交流 電壓加在共用電極層3和第二供電電極層6b之間，則壓電元件12會(huì)協(xié)調(diào)地感應(yīng)出 圖6所示的一次模式的伸縮振動(dòng)和圖7所示的二次模式的彎曲振動(dòng)。
這樣一來(lái)，壓電元件12的形狀便按照?qǐng)D8 (a)到圖8 (d)所示的順序變化。 結(jié)果是，進(jìn)行從貫穿圖8紙面的方向看去被設(shè)置在壓電元件12上的驅(qū)動(dòng)子8、 8進(jìn) 行近似于橢圓的運(yùn)動(dòng)。也就是說(shuō)，驅(qū)動(dòng)子8、 8由于壓電元件12的伸縮振動(dòng)和彎曲 振動(dòng)的合成振動(dòng)而進(jìn)行橢圓運(yùn)動(dòng)。在該橢圓運(yùn)動(dòng)的作用下由驅(qū)動(dòng)子8、 8支承的可 動(dòng)體9在與壓電元件12之間進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)，朝著圖1所示的箭頭A或者箭頭B的 方向移動(dòng)?！?044] 這里，伸縮振動(dòng)的伸縮方向是壓電元件12的主要面的長(zhǎng)邊方向，也就是說(shuō)， 是可動(dòng)體9的可動(dòng)方向。彎曲振動(dòng)的振動(dòng)方向是驅(qū)動(dòng)子8、 8支承可動(dòng)體9的方向。 壓電元件12的疊層方向是與伸縮振動(dòng)的振動(dòng)方向和彎曲振動(dòng)的振動(dòng)方向這兩個(gè)方 向都垂直的方向。
補(bǔ)充說(shuō)明一下，讓外部電極7a、 7b、 7g跨越壓電元件12的一個(gè)端面和一個(gè)主 要面而形成，不僅如此，如圖9所示，僅形成在壓電元件12的端面也是可以的。
(第二個(gè)實(shí)施例)該第二個(gè)實(shí)施例與第一個(gè)實(shí)施例的不同之處，是供電電極層6的構(gòu)成不同。圖 10是該第二個(gè)實(shí)施例所涉及的壓電元件21的分解立體圖。
如圖10所示，第一供電電極層6a，除了具有一對(duì)第一電極2、 2以夕卜，還具有 設(shè)置于在所述第二對(duì)角線方向D2上相向的兩個(gè)區(qū)域Al、 A3中之一 Al的第一側(cè)部 電極22。該第一側(cè)部電極22是近似矩形的電極，從疊層方向看去與共用電極層3 重疊。第一側(cè)部電極22上設(shè)置有從它的長(zhǎng)邊方向中央部位朝著壓電元件12的端面 延伸的引出電極22a。該引出電極22a從疊層方向看去不與共用電極層3重疊。因 此，在壓電晶體層1的與引出電極22a相向的部分不產(chǎn)生電場(chǎng)。 第二供電電極層6b，除了具有一對(duì)第二電極4、 4以外，還具有被設(shè)置于在所 述第一對(duì)角線方向D,l上相向的兩個(gè)區(qū)域A2、 A4中之一A2的第二側(cè)部電極24。該 第二側(cè)部電極24是近似矩形的電極，從疊層方向看去與共用電極層3重疊。第二 側(cè)部電極24上設(shè)置有從它的長(zhǎng)邊方向中央部位朝著壓電元件12的端面延伸的引出 電極24a。該引出電極24a從疊層方向看去不與共用電極層3重疊。因此，在壓電 晶體層1的與引出電極24a相向的部分不產(chǎn)生電場(chǎng)。
第一電極2、 2和第二側(cè)部電極24經(jīng)由引出電極2b、 24a被第一電極用外部電 極7b連接在一起，第二電極4、 4和第一側(cè)部電極22經(jīng)由引出電極4b、 22a在第 二電極用7a相連接。該各個(gè)外部電極7a、 7b分別設(shè)置在壓電元件21的兩個(gè)端面。 外部電極7g也分別設(shè)置在壓電元件21的兩個(gè)端面。
如上所述，通過(guò)在供電電極層6進(jìn)一步設(shè)置側(cè)部電極22、 24,則能夠使電極面 積增大。這樣一來(lái)，便能夠使壓電元件21的位移增大，從而能夠使超聲波執(zhí)行機(jī) 構(gòu)的效率上升。
補(bǔ)充說(shuō)明一下，在該實(shí)施例中，可以將第一側(cè)部電極22和第二側(cè)部電極24布 置成相對(duì)沿著壓電晶體層1的上側(cè)主要面的長(zhǎng)邊方向L延伸的中心線C大致左右對(duì) 稱的樣子。在該情況下，第一供電電極層6a的第一電極2、 2、導(dǎo)通電極2a以及第 一側(cè)部電極22所呈的形狀與第二供電電極層6b的第二電極4、 4、導(dǎo)通電極4a與 第二側(cè)部電極24所呈的形狀，成為相對(duì)沿著壓電晶體層1的上側(cè)主要面的長(zhǎng)邊方 向L延伸的中心線C相互顛倒過(guò)來(lái)的形狀。
(第三個(gè)實(shí)施例)該第三個(gè)實(shí)施例與第一個(gè)實(shí)施例、第二個(gè)實(shí)施例的不同之處，在于供電電極 層6的構(gòu)成不同。圖ll (a)是壓電元件23的分解立體圖，圖ll (b)是壓電元件 23的分解立體圖。
如圖11所示，第一供電電極層6a除了具有一對(duì)第一電極2、 2以外，還具有 分別被設(shè)置于在所述第二對(duì)角線方向D2上相向的兩個(gè)區(qū)域A1、 A3中的一對(duì)第一側(cè) 部電極22。
第二供電電極層6b除了具有一對(duì)第二電極4、 4以外，還具有分別被設(shè)置于在所述第一對(duì)角線D1方向上相向的兩個(gè)區(qū)域A2、 A4中的一對(duì)第二側(cè)部電極24。
這樣一來(lái)，通過(guò)在供電電極層6進(jìn)一步設(shè)置側(cè)部電極22、 24，則能夠使電極面 積增大。這樣一來(lái)，便能夠使壓電元件23的位移增大，從而能夠使超聲波執(zhí)行機(jī) 構(gòu)的效率上升。
為了有效地感應(yīng)出二次模式的彎曲振動(dòng)，最好是，分別設(shè)置在壓電晶體層l的 上側(cè)主要面的對(duì)角部分的一對(duì)電極電位相同。這里，如圖11所示，與第一電極2、 2不同的壓電晶體層1上的第二側(cè)部電極24、 24，由分別設(shè)置在壓電元件21的兩 個(gè)端面的外部電極7b、 7b連接在一起，不同壓電晶體層1上的第二電極4、 4與第 一側(cè)部電極22、 22由分別設(shè)置在壓電元件21的兩個(gè)端面的外部電極7a、 7a連接 在一起。也就是說(shuō)，第一供電電極層6a和第二供電電極層6b的相互相向的電極 2a~2d、 4a 4d，分別由外部電極7a、 7b連接在一起。這樣一來(lái)，第一電極2便經(jīng) 由外部電極7b與第二側(cè)部電極24導(dǎo)通而成為相同的電位，第二電極4便經(jīng)由外部 電極7a與第一側(cè)部電極22導(dǎo)通而成為相同的電位。結(jié)果是，能夠使分別設(shè)置在壓 電晶體層1的上側(cè)主要面的對(duì)角部分的一對(duì)電極全部成為相同的電位。在該情況下， 如上所述，需要壓電元件23的各個(gè)端面上的兩個(gè)地方共計(jì)四個(gè)地方形成外部電極 7a、 7b。但是，因?yàn)榕c引線10連接的，僅僅是壓電元件23—個(gè)端面上的外部電極 7a、 7b也無(wú)妨，所以壓電元件23和引線10的連接處，就是外部電極7a、 7b與引 線10的連接處各一個(gè)共計(jì)兩個(gè)和共用電極用外部電極7g與引線10的一個(gè)連接處， 共計(jì)三個(gè)。
外部電極7g分別形成在壓電元件23的兩個(gè)端面上。這樣一來(lái)，壓電元件23 的方向性就沒(méi)有了，在將驅(qū)動(dòng)子8、 8安裝到壓電元件23上的時(shí)候，便不需要使其 位置對(duì)齊了。結(jié)果是，超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)的量產(chǎn)性提高。補(bǔ)充說(shuō)明一下，可以讓外部 電極7g僅形成在壓電元件23的一個(gè)端面上。
第一供電電極層6a的第一電極2、 2、導(dǎo)通電極2a以及第一側(cè)部電極22、 22 所呈的形狀與第二供電電極層6b的第二電極4、 4、導(dǎo)通電極4a以及第二側(cè)部電極 24、 24所呈的形狀，是分別是相對(duì)設(shè)置有第一供電電極層6a、 6b的壓電晶體層1 的上側(cè)主要面的中心點(diǎn)M為點(diǎn)對(duì)稱的形狀。也就是說(shuō)，引出電極2b以外的第一供 電電極層6a的形狀和引出電極4b以外的第二供電電極層6b的形狀，分別是相對(duì) 壓電晶體層1的上側(cè)主要面的第一對(duì)角線和第二對(duì)角線的交點(diǎn)成為點(diǎn)對(duì)稱的形狀。
第一供電電極層6a的第一電極2、 2、導(dǎo)通電極2a以及第一側(cè)部電極22、 22 所呈的形狀、以及第二供電電極層6b的第二電極4， 4、導(dǎo)通電極4a以及第二側(cè)部 電極24、 24所呈的形狀，是相對(duì)沿著壓電晶體層1的上側(cè)主要面的長(zhǎng)邊方向L延 伸的中心線C顛倒過(guò)來(lái)的形狀。也就是說(shuō)，引出電極2b以外的第一供電電極層6a 的形狀和引出電極4b以外的第二供電電極層6b的形狀，是相對(duì)該中心線C相互顛 倒過(guò)來(lái)的形狀。
如圖11 (b)所示，供電電極層6可以是在疊層方向上將第一供電電極層6a或 第二供電電極層6b連續(xù)疊層幾層后而形成，或者是第一供電電極層6a和第二供電 電極層6b隨意地疊層而形成。但最好是，如圖12所示，第一供電電極層6a的層 數(shù)和第二供電電極層6b的層數(shù)相等，供電電極層6由第一供電電極層6a和第二供 電電極層6b在疊層方向上交替著疊層而形成。
(其它實(shí)施例)在所述各個(gè)實(shí)施例中，最好是僅在壓電元件12、 21、 23、 33的周圍面形成外 部電極7，而不在壓電元件12、 21、 23、 33的主要面形成外部電極7。在這一情況 下，因?yàn)樵趬弘娫?2、 21、 23、 33外面中面積最大的主要面上不形成外部電極7， 所以即使與周圍的金屬部件接觸，也難以發(fā)生短路。而且，因?yàn)樵谕獠侩姌O7和共 用電極層3之間不產(chǎn)生電場(chǎng)，所以壓電元件12、 21、 23、 33不會(huì)產(chǎn)生多余的振動(dòng)， 從而能夠抑制超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)的效率下降。
在所述實(shí)施例中，使第一電極2、第二電極4、第一側(cè)部電極22以及第二側(cè)部 電極24為近似矩形的電極，但并不限于此，例如可以使第一電極2、第二電極4、 第一側(cè)部電極22以及第二側(cè)部電極24為對(duì)應(yīng)于由振動(dòng)帶來(lái)的應(yīng)力分布的形狀。
在所述各個(gè)實(shí)施例中，說(shuō)明的是利用焊料將引線10連接到外部電極7的情況， 不僅如此，還可以利用以下其它的電氣連接方法。例如，通過(guò)線焊的連接、由導(dǎo)電 性粘接劑的連接、利用壓力接合的連接、利用接觸的連接等。這樣做，能夠收到與 所述各個(gè)實(shí)施例一樣的效果。
在所述實(shí)施例中，說(shuō)明的是用引線10供電的情況，還可以利用其它的供電方 法。例如，用導(dǎo)電性橡膠供電、用柔性基板供電、用接觸針供電等。這樣做，也能 收到也所述實(shí)施例一樣的效果。
以下說(shuō)明用導(dǎo)電性橡膠供電的一個(gè)例子。如圖13、圖14所示，各個(gè)支承部 13a~13c，由將硅橡膠中混入金屬粒子所得到的導(dǎo)電性橡膠構(gòu)成。區(qū)域A4 (參看圖 4)的第一電極2上設(shè)置有從該第一電極2朝著壓電元件43的側(cè)面延伸的引出電極
2c。區(qū)域A3 (參看圖4)的第二電極4上設(shè)置有從該第二電極4朝著壓電元件43 的側(cè)面延伸的引出電極4c。壓電元件43的兩個(gè)側(cè)面上分別設(shè)置有外部電極7c。共 用電極3a經(jīng)由外部電極7g連接在支承部13b上。第一電極2、 2和第二側(cè)部電極 24、 24，經(jīng)由引出電極2c和外部電極7c連接在支承部13c上。第二電極4、 4和 第一側(cè)部電極22、 22，經(jīng)由引出電極4c和外部電極7c連接在支承部13a上。于是， 電壓通過(guò)這些支承部13a、3c等施加到內(nèi)部電極層5上。其它方面的情況基本上和 第三個(gè)實(shí)施例一樣。如上所述，因?yàn)椴恍枰趬弘娫?3上設(shè)置焊料，所以能夠 抑制由振動(dòng)引起的應(yīng)力集中在設(shè)置有焊料的壓電元件43的部位，壓電元件43破裂。
在所述實(shí)施例中，靠超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)力而被驅(qū)動(dòng)的可動(dòng)體9是平板形狀， 但并不限于此，可以采用任意的構(gòu)成作為可動(dòng)體9的構(gòu)成?？梢允侨鐖D15所示的 結(jié)構(gòu)，可動(dòng)體是一個(gè)能夠圍繞規(guī)定的X軸旋轉(zhuǎn)的圓板體9,超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng) 子8、 8與該圓板體9的側(cè)周面9a接觸。在這樣的結(jié)構(gòu)的情況下，若驅(qū)動(dòng)超聲波執(zhí) 行機(jī)構(gòu)，則該圓板體9由于驅(qū)動(dòng)子8、 8進(jìn)行近似于橢圓的運(yùn)動(dòng)而圍繞著規(guī)定的X 軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
在所述各個(gè)實(shí)施例中，說(shuō)明的是將驅(qū)動(dòng)子8、 8設(shè)置在壓電元件12、 21、 23、 33的一個(gè)端面上的情況，不僅如此，還可以使驅(qū)動(dòng)子8、 8形成在壓電元件12、 21、 23、 33的一個(gè)側(cè)面上。在該情況下， 一次模式的伸縮振動(dòng)的伸縮方向成為驅(qū)動(dòng)子8、 8支承可動(dòng)體9的方向，二次模式的彎曲振動(dòng)的振動(dòng)方向成為可動(dòng)體9的可動(dòng)方向。
在所述實(shí)施例中，用殼體ll構(gòu)成支承體，不僅如此，只要是支承壓電元件12、 21、 23、 33的支承部，任何結(jié)構(gòu)都可以。 工業(yè)實(shí)用性
綜上所述，本發(fā)明，通過(guò)在供電電極層的構(gòu)成上下工夫，抑制了對(duì)壓電元件的 振動(dòng)的妨礙，對(duì)用于各種電子設(shè)備等的超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)等很有用。
權(quán)利要求
1. 一種壓電元件，由近似矩形形狀的壓電晶體層和內(nèi)部電極層交替疊層而構(gòu)成，其特征在于所述內(nèi)部電極層，由在疊層方向上夾著所述壓電晶體層交替布置的共用電極層和供電電極層構(gòu)成，所述共用電極層具有共用電極，所述供電電極層，具有被設(shè)置在所述壓電晶體層的主要面上的第一供電電極層、和被設(shè)置在與主要面上設(shè)置有該第一供電電極層的壓電晶體層不同的壓電晶體層的主要面上的第二供電電極層，所述第一供電電極層具有一對(duì)第一電極，該一對(duì)第一電極分別形成在將所述壓電晶體層的主要面的長(zhǎng)邊方向和短邊方向分別二等分后得到的四個(gè)區(qū)域中在所述壓電晶體層的主要面的第一對(duì)角線方向上相向的兩個(gè)區(qū)域中且相互導(dǎo)通，所述第二供電電極層具有一對(duì)第二電極，該一對(duì)第二電極分別形成在所述四個(gè)區(qū)域中在所述壓電晶體層的主要面的第二對(duì)角線方向上相向的兩個(gè)區(qū)域中且相互導(dǎo)通，所述共用電極、所述第一電極以及所述第二電極，連接在設(shè)置在所述壓電元件的外面的各個(gè)外部電極上。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的壓電元件，其特征在于第一供電電極層，除具有所述一對(duì)第一電極以外，還具有被設(shè)置于在所述第二對(duì)角線 方向上相向的兩個(gè)區(qū)域之一的第一側(cè)部電極，第二供電電極層，除具有所述一對(duì)第二電極以外，還具有被設(shè)置于在所述第一對(duì)角線 方向上相向的兩個(gè)區(qū)域之一的第二側(cè)部電極，所述第一電極和所述第二側(cè)部電極由所述外部電極連接在一起，所述第二電極和所述第一側(cè)部電極由所述外部電極連接在一起。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的壓電元件，其特征在于第一供電電極層，除具有所述一對(duì)第一電極以外，還具有分別被設(shè)置于在所述第二對(duì) 角線方向上相向的兩個(gè)區(qū)域中的一對(duì)第一側(cè)部電極，第二供電電極層，除具有所述一對(duì)第二電極以外，還具有分別被設(shè)置于在所述第一對(duì) 角線方向上相向的兩個(gè)區(qū)域中的一對(duì)第二側(cè)部電極， 所述第一電極和所述第二側(cè)部電極由所述外部電極連接在一起， 所述第二電極和所述第一側(cè)部電極由所述外部電極連接在一起。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的壓電元件，其特征在于-供電電極層的形狀，是相對(duì)所述壓電晶體層的主要面的中心點(diǎn)近似于點(diǎn)對(duì)稱的形狀。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的壓電元件，其特征在于第一供電電極層的形狀和第二供電電極層的形狀，是相對(duì)沿著所述壓電晶體層的主要 面的長(zhǎng)邊方向延伸的中心線相互近似于顛倒過(guò)來(lái)的形狀。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其特征在于-第一供電電極層的層數(shù)和第二供電電極層的層數(shù)相等。
7. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的壓電元件，其特征在于供電電極層，是所述第一供電電極層和所述第二供電電極層在疊層方向上交替布置后 而構(gòu)成。
8. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的壓電元件，其特征在于 壓電元件在疊層方向上的最外層是所述壓電晶體層。
9. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的壓電元件，其特征在于外部電極，僅被設(shè)置在由所述壓電元件的端面和側(cè)面構(gòu)成的周圍面上。
10. —種超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其特征在于包括權(quán)利要求l所述的壓電元件、設(shè)置在所述壓電元件的端面或者側(cè)面的驅(qū)動(dòng)子以 及由所述驅(qū)動(dòng)子支承的可動(dòng)體，向所述內(nèi)部電極層供電，來(lái)讓所述壓電元件進(jìn)行合成了一次模式的伸縮振動(dòng)和二次模 式的彎曲振動(dòng)的振動(dòng)，讓該振動(dòng)帶動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)子進(jìn)行近似于橢圓的運(yùn)動(dòng)，從而讓所述可動(dòng) 體在與所述壓電元件之間做相對(duì)運(yùn)動(dòng)。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的超聲波執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其特征在于 進(jìn)一步包括具有支承壓電元件的支承部的支承體， 所述支承部由導(dǎo)電性橡膠制成。
全文摘要
內(nèi)部電極層(5)由在疊層方向上夾著壓電晶體層(1)交替布置的共用電極層(3)和供電電極層(6)構(gòu)成。共用電極層(3)具有共用電極(3a)。供電電極層(6)由第一供電電極層(6a)和第二供電電極層(6b)構(gòu)成。第一供電電極層(6a)具有一對(duì)第一電極(2、2)，分別形成在將壓電晶體層(1)的主要面的長(zhǎng)邊方向(L)和短邊方向(S)分別二等分后得到的四個(gè)區(qū)域(A1~A4)中在壓電晶體層(1)的主要面的第一對(duì)角線方向(D1)上相向的兩個(gè)區(qū)域(A2、A4)中且相互導(dǎo)通。第二供電電極層(6b)具有一對(duì)第二電極(4、4)，分別形成在四個(gè)區(qū)域(A1~A4)中在壓電晶體層(1)的主要面的第二對(duì)角線方向(D2)上相向的兩個(gè)區(qū)域(A1、A3)中且相互導(dǎo)通。共用電極(3a)、第一電極(2、2)以及第二電極(4、4)分別連接在各自的外部電極(7g、7b、7a)上。
文檔編號(hào)H02N2/00GK101213733SQ200780000049
公開(kāi)日2008年7月2日 申請(qǐng)日期2007年1月19日 優(yōu)先權(quán)日2006年1月23日
發(fā)明者足立祐介 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社