專利名稱：驅(qū)動(dòng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及利用振子的橢圓振動(dòng)驅(qū)動(dòng)移動(dòng)體，使其向預(yù)定的方向移 動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置。
背景技術(shù)：
以往，作為具有抖動(dòng)校正功能的攝像裝置，例如有照相機(jī)。作為照 相機(jī)所具有的抖動(dòng)校正功能，公知有下述的手抖校正功能利用角速度 傳感器等抖動(dòng)檢測(cè)構(gòu)件檢測(cè)照相機(jī)俯仰(pitch)方向的抖動(dòng)振動(dòng)和照相 機(jī)偏轉(zhuǎn)(yaw)方向的抖動(dòng)振動(dòng)，根據(jù)檢測(cè)到的抖動(dòng)信號(hào)，在消除抖動(dòng)的 方向上使攝像光學(xué)系統(tǒng)的一部分或者攝像元件在與攝影光軸正交的平面 內(nèi)向水平方向和垂直方向分別獨(dú)立地移位，由此對(duì)在攝像元件的攝像面 上的像的抖動(dòng)進(jìn)行校正。
在實(shí)現(xiàn)這樣的手抖校正功能的手抖校正機(jī)構(gòu)中，為了校正手抖而使 用驅(qū)動(dòng)構(gòu)件，該驅(qū)動(dòng)構(gòu)件使攝影鏡頭的一部分的透鏡、或者攝像元件本 身在與攝影光軸正交的平面內(nèi)向水平方向和垂直方向移動(dòng)。對(duì)于該驅(qū)動(dòng) 構(gòu)件，要求其具有高響應(yīng)性以追隨手抖而動(dòng)作，并要求其可進(jìn)行精密驅(qū) 動(dòng)(微小驅(qū)動(dòng))，以及要求其具有即使切斷電源也能夠保持移動(dòng)體的位置 的自保持性。
針對(duì)這樣的要求，在專利文獻(xiàn)l中，公開了使用沖力致動(dòng)器(impact actuator)的手抖校正機(jī)構(gòu)。另外，在專利文獻(xiàn)2中，公開了使用振動(dòng)波 致動(dòng)器(actuator)來驅(qū)動(dòng)透鏡的裝置。
專利文獻(xiàn)1日本特開2005—331549號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2日本特開平7—104166號(hào)公報(bào)
但是，在專利文獻(xiàn)1所示的將沖力致動(dòng)器用作驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的手抖校正 機(jī)構(gòu)中，雖然可獲得高響應(yīng)性、精密驅(qū)動(dòng)和自保持性，但是由于利用慣
性力進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，所以存在無法以小型的結(jié)構(gòu)獲得高的輸出的問題。特別
是在照相機(jī)等中防塵過濾器等在CCD等的攝像元件的前面一體化、并以 較大且重的攝像單元作為驅(qū)動(dòng)對(duì)象的情況下是不適合的。為了提高驅(qū)動(dòng) 力需要增大慣性質(zhì)量，從而驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)本身變大。并且，從利用克服摩擦 力的慣性力進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的原理來看，必然產(chǎn)生由滑動(dòng)摩擦(摩擦滑19)導(dǎo) 致的能量損失，存在基本無法提高效率的根本性的不良情況。
另外，在專利文獻(xiàn)2所示的技術(shù)中，由于直接將振子壓接在透鏡或 者固定透鏡的框部件上，因此振子的振動(dòng)直接傳遞至作為移動(dòng)體的透鏡 或者框部件。因此，存在透鏡或框部件共振的情況，變得難以獲得期望 的驅(qū)動(dòng)特性。即，在專利文獻(xiàn)2所示的結(jié)構(gòu)中，當(dāng)對(duì)驅(qū)動(dòng)頻率一驅(qū)動(dòng)特 性進(jìn)行測(cè)定時(shí)，由于移動(dòng)體即框部件的共振導(dǎo)致驅(qū)動(dòng)速度降低，或者相 對(duì)于驅(qū)動(dòng)頻率的速度變化不順暢，有可能產(chǎn)生速度暫時(shí)降低的拐點(diǎn)(谷、 峰)，當(dāng)該拐點(diǎn)接近實(shí)際的驅(qū)動(dòng)頻率(士lkHz)時(shí)，無法進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制。
一般地，利用振子的橢圓振動(dòng)的所謂振動(dòng)波電動(dòng)機(jī)的效率高，容易 獲得大的驅(qū)動(dòng)力，可以說適于比較大且重的攝像單元等的驅(qū)動(dòng)。但是， 在利用振動(dòng)波電動(dòng)機(jī)的情況下，需要消除由于振子的振動(dòng)而產(chǎn)生移動(dòng)體 的共振。為了防止移動(dòng)體的共振，能夠通過改變移動(dòng)體的形狀、大小、 材質(zhì)等使移動(dòng)體的固有振動(dòng)數(shù)變化來實(shí)現(xiàn)，但是會(huì)對(duì)移動(dòng)體的形狀、大 小、材質(zhì)等施加制約。并且，在使用振子對(duì)透鏡框等移動(dòng)體進(jìn)行摩擦驅(qū) 動(dòng)的情況下，不進(jìn)行線形地變位且移動(dòng)體的形狀變得復(fù)雜，伴隨與此， 振動(dòng)解析的難易度也增大，即使進(jìn)行振動(dòng)解析的仿真(simulation),與實(shí) 際的驅(qū)動(dòng)狀況之間也產(chǎn)生差別，難以確保期望的驅(qū)動(dòng)性能。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于上述情況而完成的，其目的在于提供一種能夠有效 地防止由振子的橢圓振動(dòng)驅(qū)動(dòng)的移動(dòng)體的共振，獲得期望的驅(qū)動(dòng)特性的 驅(qū)動(dòng)裝置。
為了解決上述課題，達(dá)到目的，本發(fā)明所述的驅(qū)動(dòng)裝置具有作為驅(qū) 動(dòng)件的壓電體，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置具有第一振子，其通過被
施加預(yù)定的周期電壓而產(chǎn)生橢圓振動(dòng)；保持所述第一振子的第一部件； 第二部件，其包括按壓所述第一振子的第一滑動(dòng)部件，由所述第一振子 的橢圓振動(dòng)驅(qū)動(dòng)而相對(duì)于所述第一部件進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)；以及第一共振防 止部件，其設(shè)在所述第二部件上，防止由所述第一振子的振動(dòng)產(chǎn)生的所 述第二部件的共振。
并且，本發(fā)明所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置形成為，在上述發(fā)明中，所述第一 共振防止部件可以是設(shè)在所述第二部件和所述第一滑動(dòng)部件之間的夾裝 部件。
并且，本發(fā)明所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置形成為，在上述發(fā)明中，所述第一 共振防止部件可以固定在所述第二部件上。
并且，本發(fā)明所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置形成為，在上述發(fā)明中，所述第一 共振防止部件可以是分散形成在所述第二部件的振動(dòng)路徑上的填充部 件。
并且，本發(fā)明所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置形成為，在上述發(fā)明中，所述第一 部件可以是被固定的固定部件。
并且，本發(fā)明所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置形成為，在上述發(fā)明中，所述第一 部件可以是框部件。
并且，本發(fā)明所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置形成為，在上述發(fā)明中，所述第二 部件可以是框部件。
并且，本發(fā)明所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置形成為，在上述發(fā)明中，所述第一 共振防止部件可以由彈性材料形成。
并且，本發(fā)明所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置形成為，在上述發(fā)明中，所述第一 共振防止部件可以由金屬材料形成。
并且，本發(fā)明所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置形成為，在上述發(fā)明中，所述夾裝 部件可以由彈性材料形成。
并且，本發(fā)明所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置形成為，在上述發(fā)明中，所述夾裝 部件可以由金屬材料形成。
并且，本發(fā)明所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置形成為，在上述發(fā)明的驅(qū)動(dòng)裝置中， 所述驅(qū)動(dòng)裝置還具有第二振子，其設(shè)在所述第二部件上；第三部件，
其設(shè)置為能夠在與所述第二部件的移動(dòng)方向成直角的方向上移動(dòng)，包括 按壓所述第二振子的第二滑動(dòng)部件，由所述第二振子的橢圓振動(dòng)驅(qū)動(dòng)而
相對(duì)于所述第二部件進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)；以及第二共振防止部件，其設(shè)在所 述第三部件上，防止由所述第二振子的振動(dòng)產(chǎn)生的所述第三部件的共振。 并且，本發(fā)明所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置形成為，在上述發(fā)明中，所述第二 共振防止部件可以是設(shè)在所述第三部件和所述第二滑動(dòng)部件之間的夾裝 部件。
并且，本發(fā)明所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置形成為，在上述發(fā)明中，所述第二 共振防止部件可以是分散形成在所述第三部件的振動(dòng)路徑上的填充部 件。
并且，本發(fā)明所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置形成為，在上述發(fā)明中，所述第二 共振防止部件可以固定在所述第三部件上。
并且，本發(fā)明所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置形成為，在上述發(fā)明中，所述夾裝 部件可以由彈性材料形成。
并且，本發(fā)明所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置形成為，在上述發(fā)明中，所述夾裝 部件可以由金屬材料形成。
并且，本發(fā)明所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置形成為，在上述發(fā)明中，所述驅(qū)動(dòng) 裝置可以是在照相機(jī)中使用的手抖校正機(jī)構(gòu)，所述照相機(jī)在所述第三部 件上載置有攝像元件。
本發(fā)明所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置起到下述效果能夠消除由振子的橢圓振
動(dòng)驅(qū)動(dòng)的移動(dòng)體的共振，由此，能夠獲得期望的驅(qū)動(dòng)特性。


圖1是概略地示出本發(fā)明的實(shí)施方式的照相機(jī)的主要的電氣系統(tǒng)結(jié) 構(gòu)的框圖。
圖2是示出攝像單元的結(jié)構(gòu)例的縱剖側(cè)視圖。
圖3是示出振子的動(dòng)作原理的示意圖。
圖4是示出防振單元的結(jié)構(gòu)例的分解立體圖。
圖5是將圖4所示的各部分的形狀簡(jiǎn)化進(jìn)行表示的防振單元的概略
側(cè)視圖。
圖6是將圖5中的X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部抽出進(jìn)行放大表示的概略側(cè)視圖。 圖7是示出導(dǎo)向軸承結(jié)構(gòu)的剖視圖。
圖8是對(duì)比現(xiàn)有例和本實(shí)施方式示出輸入到振子的驅(qū)動(dòng)頻率和驅(qū)動(dòng) 速度的關(guān)系的特性圖。
圖9是對(duì)比現(xiàn)有例和本實(shí)施方式示出輸入到振子的驅(qū)動(dòng)頻率和驅(qū)動(dòng) 速度的關(guān)系的特性圖。
圖IO是示出夾裝部件的安裝例的主視圖。
圖11是示出夾裝部件的安裝例的分解立體圖。
圖12是示出變形例的夾裝部件的安裝例的主視圖。
圖13是示出其它實(shí)施方式的X框的主視圖。
圖14是X框的側(cè)視圖。
圖15是X框周圍的分解立體圖。
符號(hào)說明
31: CCD; 38:保持器；301: X框；302:框架；304x、 304y:軸
承；307x、 307y:滾珠；311x、 311y:移動(dòng)體；320x: X軸振子；320y: Y軸振子；321x、 322x:驅(qū)動(dòng)件；321y、 322y:驅(qū)動(dòng)件；330x、 330y: 滑動(dòng)體；342x、 342y:保持部；350x、 350y:夾裝部件；370x:槽；371x:
填充部件。
具體實(shí)施例方式
下面，根據(jù)附圖對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置和攝像裝置的 最佳方式進(jìn)行說明。本實(shí)施方式的攝像裝置搭載有用于對(duì)攝像單元進(jìn)行 手抖校正的驅(qū)動(dòng)裝置，所述攝像單元包含通過光電轉(zhuǎn)換獲得圖像信號(hào)的 攝像元件，此處，作為一例，對(duì)應(yīng)用于能夠更換鏡頭的單鏡頭反光式電 子照相機(jī)(數(shù)字照相機(jī))的例子進(jìn)行說明。另外，本發(fā)明不限于實(shí)施方 式，只要在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)，能夠進(jìn)行各種變形。
首先，參照?qǐng)D1對(duì)本實(shí)施方式的照相機(jī)的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)例進(jìn)行說明。圖 1是概略地示出本實(shí)施方式的照相機(jī)的主要的電氣系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的框圖。本實(shí)
施方式的照相機(jī)由作為照相機(jī)本體的主體單元100、和附件裝置之一即作 為更換鏡頭的鏡頭單元10來構(gòu)成系統(tǒng)。
鏡頭單元10經(jīng)由設(shè)在主體單元100的前面的未圖示的鏡頭支座裝卸
自如。鏡頭單元io的控制由自身所具有的鏡頭控制用微型計(jì)算機(jī)(以下
稱為"Lucom")5進(jìn)行。主體單元100的控制由主體控制用微型計(jì)算機(jī)(以 下稱為"Bucom") 50進(jìn)行。這些Lucom 5和Bucom 50在鏡頭單元10安 裝于主體單元100的狀態(tài)下，以能夠經(jīng)由通信連接器6通信的方式電連 接。并且，作為照相機(jī)系統(tǒng)，構(gòu)成為L(zhǎng)ucom 5 —邊從屬地協(xié)作于Bucom 50 一邊進(jìn)行工作。
鏡頭單元10具有攝影鏡頭1和光圈3。攝影鏡頭1由設(shè)在鏡頭驅(qū)動(dòng) 機(jī)構(gòu)2內(nèi)的未圖示的DC電動(dòng)機(jī)(直流電動(dòng)機(jī))驅(qū)動(dòng)。光圈3由設(shè)在光 圈機(jī)構(gòu)4內(nèi)的未圖示的步進(jìn)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)。Lucom 5根據(jù)Bucom 50的指令 對(duì)這些各電動(dòng)機(jī)進(jìn)行控制。
在主體單元100內(nèi)，如圖所示地配設(shè)有以下結(jié)構(gòu)部件。例如設(shè)置有 作為光學(xué)系統(tǒng)的單鏡頭反光式的結(jié)構(gòu)部件(五棱鏡12、快速復(fù)原反射鏡 (quick return mirror) 11、目鏡13、副反射鏡lla);位于攝影光軸上的 焦平面式的快門15;以及用于接收來自副反射鏡lla的反射光束并檢測(cè) 散焦量的AF (自動(dòng)對(duì)焦)傳感器單元16。
并且，在主體單元100內(nèi)還設(shè)有對(duì)AF傳感器單元16進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控 制的AF傳感器驅(qū)動(dòng)電路17;對(duì)快速復(fù)原反射鏡11進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制的反射 鏡驅(qū)動(dòng)電路18;用于對(duì)驅(qū)動(dòng)快門15的前幕和后幕的彈簧進(jìn)行上緊的快門
上緊機(jī)構(gòu)19;對(duì)這些前幕和后幕的動(dòng)作進(jìn)行控制的快門控制電路20;以
及根據(jù)檢測(cè)來自五棱鏡12的光束的測(cè)光傳感器21a進(jìn)行測(cè)光處理的測(cè)光 電路21。
在攝影光軸上設(shè)有用于對(duì)通過上述光學(xué)系統(tǒng)后的被攝體像進(jìn)行光電 轉(zhuǎn)換的攝像單元30。攝像單元30是將作為攝像元件的CCD 31和配設(shè)在 該CCD 31的前面的光學(xué)低通濾波器(LPF) 32、防塵過濾器33作為單 元并一體化而成的。在防塵過濾器33的周緣部安裝有壓電元件34。壓電 元件34具有兩個(gè)電極，并構(gòu)成為通過防塵過濾器控制電路48使壓電元
件34以預(yù)定的頻率振動(dòng)，從而使防塵過濾器33振動(dòng)，由此可除去附著 在過濾器表面的灰塵。對(duì)于攝像單元30附加有后述的手抖校正用的防振單元。
并且，本實(shí)施方式的照相機(jī)系統(tǒng)具備與CCD31連接的CCD接口 電路23;以及圖像處理控制器28，其利用液晶監(jiān)視器24、作為存儲(chǔ)區(qū)域 而發(fā)揮功能的SDRAM (同步動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器)25、 FlashROM (快閃只 讀存儲(chǔ)器)26等進(jìn)行圖像處理，所述照相機(jī)系統(tǒng)構(gòu)成為能夠同時(shí)提供電 子攝像功能和電子記錄顯示功能。此處，記錄介質(zhì)27是各種存儲(chǔ)卡或外 置的HDD等的外部記錄介質(zhì)，安裝為能夠經(jīng)由通信連接器與照相機(jī)本體 通信并且能夠更換。進(jìn)而，通過攝影得到的圖像數(shù)據(jù)記錄在該記錄介質(zhì) 27中。作為其它的存儲(chǔ)區(qū)域，用于存儲(chǔ)照相機(jī)控制所需的預(yù)定的控制參 數(shù)的、例如由EEPROM構(gòu)成的非易失性存儲(chǔ)器29設(shè)置成能夠從Bucom 50 進(jìn)行存取。
在Bucom 50中設(shè)有用于通過顯示輸出向用戶告知該照相機(jī)的動(dòng)作 狀態(tài)的動(dòng)作顯示用LCD 51及動(dòng)作顯示用LED 51a;以及照相機(jī)操作SW 52。照相機(jī)操作SW 52是包含例如釋放SW、模式變更SW及電源SW 等操作該照相機(jī)所需的操作鈕在內(nèi)的開關(guān)組。另外，設(shè)有作為電源的電 池54，和將電池54的電壓轉(zhuǎn)換為構(gòu)成該照相機(jī)系統(tǒng)的各電路單元所需的 電壓來提供的電源電路53，還設(shè)有檢測(cè)從外部電源通過插座提供電流時(shí) 的電壓變化的電壓檢測(cè)電路。
其次，參照?qǐng)D2對(duì)包含CCD31的攝像單元30進(jìn)行說明。圖2是示 出攝像單元30的結(jié)構(gòu)例的縱剖側(cè)視圖。攝像單元30具有作為攝像元 件的CCD31，其獲得與透過攝影光學(xué)系統(tǒng)并照射到自身的光電轉(zhuǎn)換面上 的光對(duì)應(yīng)的圖像信號(hào)；光學(xué)低通濾波器(LPF) 32，其配設(shè)在CCD31的 光電轉(zhuǎn)換面?zhèn)?，從透過攝影光學(xué)系統(tǒng)照射來的被攝體光束中除去高頻成 分；在該光學(xué)LPF32的前面?zhèn)雀糸_預(yù)定間隔對(duì)置配置的防塵過濾器33; 以及壓電元件34，其配設(shè)在該防塵過濾器33的周緣部，用于對(duì)防塵過濾 器33賦予預(yù)定的振動(dòng)。
此處，CCD 31的CCD芯片31a直接安裝在配設(shè)于固定板35上的撓
性基板31b上，從撓性基板31b的兩端出來的連接部31c、 31d經(jīng)由設(shè)在 主電路基板36上的連接器36a、 36b與主電路基板36側(cè)連接。另外，CCD 31所具有的保護(hù)玻璃31e經(jīng)由襯墊(spacer) 31f緊固在撓性基板31b上。 此外，在CCD31和光學(xué)LPF32之間，配設(shè)有由彈性部件等構(gòu)成的 濾波器支承部件37。該濾波器支承部件37構(gòu)成為，在CCD31的前面?zhèn)?周緣部，配設(shè)在避開光電轉(zhuǎn)換面的有效范圍的位置，并且，通過與光學(xué) LPF 32的背面?zhèn)戎芫壊康母浇纸?，從而使CCD 31和光學(xué)LPF 32之間 大致保持氣密性。并且，配設(shè)有氣密地覆蓋CCD31和光學(xué)LPF32的作 為第三部件的保持器38。保持器38在攝影光軸周圍的大致中央部分具有 矩形狀的開口 38a，在該開口 38a的靠防塵過濾器33側(cè)的內(nèi)周緣部上形 成有截面為大致L字形狀的階梯部38b，相對(duì)于開口 38a從其后方側(cè)配設(shè) 有光學(xué)LPF32和CCD31。此處，通過將光學(xué)LPF 32的前面?zhèn)戎芫壊颗?置成大致氣密地與階梯部38b接觸，從而光學(xué)LPF 32被階梯部38b限制 在攝影光軸方向上的位置，可防止光學(xué)LPF 32從保持器38的內(nèi)部相對(duì) 于前面?zhèn)让摮觥?br> 另一方面，在保持器38的前面?zhèn)鹊闹芫壊可希瑸榱藢⒎缐m過濾器 33隔開預(yù)定間隔保持在光學(xué)LPF32的前面，在階梯部38b的周圍整周地 形成有比階梯部38b向前面?zhèn)韧怀龅姆缐m過濾器支承部38c。整體形成為 圓形或者多邊形的板狀的防塵過濾器33通過按壓部件40以按壓狀態(tài)支 撐在防塵過濾器支承部38c上，所述按壓部件40由板簧等彈性體形成， 并用螺釘39固定在防塵過濾器支承部38c上。此處，在配設(shè)于防塵過濾 器33的背面?zhèn)鹊耐庵芫壊康膲弘娫?4部分，在壓電元件34與防塵過 濾器支承部38c之間夾裝有環(huán)狀的密封件41，可確保氣密狀態(tài)。攝像單 元30這樣構(gòu)成為如下的氣密結(jié)構(gòu)具有用于搭載CCD 31的形成為期望 的大小的保持器38。
其次，對(duì)本實(shí)施方式的照相機(jī)的手抖校正功能進(jìn)行說明。在本實(shí)施 方式中，在設(shè)攝影光軸的方向?yàn)閆軸方向的情況下，使作為攝像元件的 CCD 31向在與攝影光軸正交的XY平面內(nèi)正交的第一方向即X軸方向和 第二方向即Y軸方向變位移動(dòng)，以補(bǔ)償抖動(dòng)，包含手抖校正用的驅(qū)動(dòng)裝
置的防振單元將通過被附加預(yù)定的周期電壓而在驅(qū)動(dòng)部產(chǎn)生橢圓振動(dòng)的
振子用作驅(qū)動(dòng)源，將搭載了攝像單元30中的CCD 31的保持器38構(gòu)成為 移動(dòng)對(duì)象物。
首先，對(duì)本實(shí)施方式的驅(qū)動(dòng)裝置中用作驅(qū)動(dòng)源的振子的動(dòng)作原理進(jìn) 行說明。圖3是表示振子的動(dòng)作原理的示意圖。振子200具備壓電體 201，其以預(yù)定的大小形成為矩形狀； 一對(duì)驅(qū)動(dòng)電極202、 203，它們偏置 在該壓電體201的一面?zhèn)炔⒅行膶?duì)稱地形成；以及作為驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)件 204、 205，它們?cè)O(shè)在壓電體201的與驅(qū)動(dòng)電極202、 203對(duì)應(yīng)的表面位置。 當(dāng)對(duì)驅(qū)動(dòng)電極202施加+的電壓時(shí)，如圖3 (a)所示，驅(qū)動(dòng)電極202部分 伸長(zhǎng)變形，另一方面，其背面?zhèn)鹊膲弘婓w201部分不伸長(zhǎng)變形，因此整 體變形為圓弧狀。相反，當(dāng)對(duì)驅(qū)動(dòng)電極202施加一的電壓時(shí)，如圖3 (c) 所示，驅(qū)動(dòng)電極202部分收縮變形，另一方面，其背面?zhèn)鹊膲弘婓w201 部分不收縮，因此整體變形為與圖3 (a)反向的圓弧狀。在驅(qū)動(dòng)電極203 側(cè)也同樣。
因此，為了在驅(qū)動(dòng)件204、 205的表面上產(chǎn)生橢圓振動(dòng)，對(duì)壓電體 201的一個(gè)驅(qū)動(dòng)電極202施加基于預(yù)定頻率的正弦波的周期電壓，并且， 對(duì)另一個(gè)驅(qū)動(dòng)電極203施加基于頻率與施加在驅(qū)動(dòng)電極202上的周期電 壓的頻率相同但相位錯(cuò)開的正弦波的周期電壓。施加的周期電壓的頻率 設(shè)定為如下的預(yù)定的數(shù)值壓電體201的中央成為彎曲振動(dòng)的波節(jié)，驅(qū) 動(dòng)件204、 205的部分成為彎曲振動(dòng)的波腹，并且，壓電體201的縱向振 動(dòng)的波節(jié)與彎曲振動(dòng)的波節(jié)一致。于是，伴隨著施加的周期電壓的+、 _ 的變化，振子200反復(fù)進(jìn)行包含圖3(b)所示的復(fù)原狀態(tài)在內(nèi)的圖3(a) 圖3 (c)所示的彎曲振動(dòng)，從而在驅(qū)動(dòng)件204、 205的表面產(chǎn)生橢圓振動(dòng)。 由此，通過將作為驅(qū)動(dòng)對(duì)象的移動(dòng)體配設(shè)為與振子200的驅(qū)動(dòng)件204、 205 側(cè)按壓接觸，從而移動(dòng)體按照在驅(qū)動(dòng)件204、 205的表面產(chǎn)生的橢圓振動(dòng) 的方向移動(dòng)。
此時(shí)，通過改變施加在驅(qū)動(dòng)電極202、 203上的周期電壓的相位差， 能夠改變?cè)隍?qū)動(dòng)件204、 205的表面產(chǎn)生的橢圓振動(dòng)的形狀，由此能夠改 變由振子200驅(qū)動(dòng)而移動(dòng)的移動(dòng)體的移動(dòng)速度。例如，如果周期電壓的
相位差為0。則速度為0，當(dāng)增大相位差時(shí)速度逐漸上升，在相位差為90° 時(shí)成為最大速度，并且，當(dāng)增大相位差使其超過90。時(shí)速度反而逐漸減小， 在相位差為180。時(shí)速度再次變?yōu)?。當(dāng)使相位差為負(fù)值時(shí)，在驅(qū)動(dòng)件204、 205上產(chǎn)生的橢圓振動(dòng)的旋轉(zhuǎn)方向反轉(zhuǎn)，能夠向反方向驅(qū)動(dòng)移動(dòng)體。在該 情況下也是在相位差為一卯。時(shí)成為最大速度。
接著，參照?qǐng)D4 圖7對(duì)將這樣的振子用作驅(qū)動(dòng)源的本實(shí)施方式的 防振單元進(jìn)行說明。圖4是表示本實(shí)施方式的防振單元的結(jié)構(gòu)例的分解 立體圖，圖5是將圖4所示的各部分的形狀簡(jiǎn)化表示的防振單元的概略 側(cè)視圖，圖6是將圖5中的X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部抽出進(jìn)行放大表示的概略側(cè) 視圖，圖7是示出導(dǎo)向軸承結(jié)構(gòu)的剖視圖。
首先，本實(shí)施方式的防振單元300將搭載有光學(xué)LPF32、防塵過濾 器33等以及CCD 31的保持器38作為在X軸方向和Y軸方向移動(dòng)的最 終移動(dòng)對(duì)象物，所述防振單元300具有作為第二部件的框部件即X框 (第一移動(dòng)體部)301，其是具有包圍攝影光軸周圍的開口 301a的框部 301b的框形狀，并形成為期望的大小，以將保持器38搭載成能夠在Y 軸方向上移動(dòng)；以及作為第一部件的框部件即框架(固定部件)302，其 緊固在未圖示的照相機(jī)本體上，是具有包圍攝影光軸周圍的開口 302a的 框部302b的框形狀，并形成為期望的大小，以將X框301搭載成能夠在 X軸方向上移動(dòng)。
并且，所述防振單元300具有使X框301相對(duì)于框架302在X軸 方向上相對(duì)移動(dòng)的X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部310x;以及使保持器38相對(duì)于X框 301在Y軸方向上相對(duì)移動(dòng)的Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)310y，通過使保持器38與X 框301 —起相對(duì)于框架302在X軸方向上相對(duì)移動(dòng)，并且相對(duì)于X框301 在Y軸方向上相對(duì)移動(dòng)，從而使搭載在保持器38上的CCD 31在XY平 面內(nèi)向X軸方向和Y軸方向變位移動(dòng)以補(bǔ)償抖動(dòng)。
此處，對(duì)X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部310x的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部 310x具有X軸振子(第一振子)320x;滑動(dòng)體(第二移動(dòng)體部)330x， 其一體地固定在移動(dòng)體(第一移動(dòng)體)311x上；以及按壓機(jī)構(gòu)(施力構(gòu) 件)340x，其對(duì)X軸振子320x向滑動(dòng)體330x側(cè)施力。
X軸振子320x在矩形狀的壓電體323x的一面上具有驅(qū)動(dòng)件(驅(qū)動(dòng) 部)321x、 322x，所述驅(qū)動(dòng)件321x、 322x根據(jù)圖3中說明了的振子200 的動(dòng)作原理，通過被施加預(yù)定的周期電壓即用于使振子共振的周期電壓， 從而產(chǎn)生橢圓振動(dòng)。X軸振子320x在壓電體323x的與驅(qū)動(dòng)件321x、322x 相反的一側(cè)的中央位置具有振子保持器324x，形成在振子保持器324x上 的突起325x嵌合在框架302的槽342x (保持部)中，由此X軸振子320x 被定位并保持，以限制其在X軸方向上的移動(dòng)。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，基于 在驅(qū)動(dòng)件321x、 322x上產(chǎn)生的橢圓振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)力作用在X軸方向。
另外，滑動(dòng)體330x通過在軸承(被引導(dǎo)部)331x上緊固第一滑動(dòng) 部件即滑動(dòng)板(滑動(dòng)部)332x而成。軸承331x在X軸振子320的驅(qū)動(dòng) 件321x、 322x被按壓而與滑動(dòng)板332x接觸的位置，利用例如小螺釘333x 一體地固定在X框301的一部分上。再有，滑動(dòng)體330x相對(duì)于X框301 的固定不限于小螺釘固定，也可以是粘接等，固定方式?jīng)]有特別限定。 這里，從圖4也可以看出，滑動(dòng)體330x以比形成為期望的大小的X框 301小的尺寸(與X軸振子320x相當(dāng)?shù)某叽?形成。另外，X框301由 剛性低的樹脂材料或鋁等形成，與此相對(duì)，滑動(dòng)板332x由具有耐磨性且 剛性高的陶瓷等材質(zhì)形成，軸承331x是對(duì)鐵素體系的不銹鋼等的可以淬 火的材質(zhì)進(jìn)行淬火來提高剛性而成的。
另外，框架302具有軸承(導(dǎo)向部)304x，所述軸承304x配置在形 成于框架302上的開口形狀的安裝部上，并用小螺釘303x以與滑動(dòng)體 330x的軸承331x對(duì)置的方式固定。如圖7所示，在該軸承304x上，通 過緊固用于防止磨損的V形槽板306x而形成有沿著X軸方向的V形槽 305x。如圖7所示，在軸承331x上，形成有與軸承304x的V形槽305x (V形槽板306x)對(duì)置的V形槽334x。此處，通過將由定位器(retainer) 335x定位的兩個(gè)滾珠336x (滾動(dòng)體)夾在V形槽305x、 334x之間，從 而軸承304x、 331x形成為具有沿著X軸方向排成一列的兩個(gè)滾珠336x 的結(jié)構(gòu)。如圖6等所示，兩個(gè)滾珠336x被定位在驅(qū)動(dòng)件321x、 322x正 下方的位置附近，并由定位器335x限制在X軸方向的移動(dòng)。再有，作為 滾動(dòng)體不限于滾珠，也可以是滾柱。
按壓機(jī)構(gòu)340x具有按壓板341x，其一端隔著襯墊343x利用小螺 釘344x固定在第一部件即框架302上，并保持X軸振子320x;以及按 壓彈簧347x，其隔著襯墊346x配設(shè)在將該按壓板341x的另一端側(cè)固定 在框架302上的小螺釘345x周圍，并對(duì)按壓板341x施力，以使X軸振 子320x的驅(qū)動(dòng)件321x、 322x與滑動(dòng)板332x按壓接觸。由按壓機(jī)構(gòu)340x 產(chǎn)生的按壓力設(shè)定為15N (牛頓)左右的非常大的力。
再有，雖然軸承331x通過滾柱336x的中心，可以繞與V形槽334x 平行的軸旋轉(zhuǎn)，但是軸承331x與X框301 —體化，在與X軸方向不同 的方向上離開軸承331x的位置(在框部302b上離軸承331x最遠(yuǎn)的大致 對(duì)角位置)上，在框架302和X框301之間配設(shè)有一個(gè)滾珠307x (滾動(dòng) 體)，因此能夠防止該旋轉(zhuǎn)。該滾珠307x借助于在滾珠307x的附近卡定 在框架302和X框301之間的彈簧308x的作用力而維持夾持狀態(tài)，并進(jìn) 行定位，以維持X框301相對(duì)于框架302在攝影光軸(Z軸)方向的間 隔。此處，彈簧308x的作用力只要能夠維持滾珠307x的夾持狀態(tài)即可， 設(shè)定為比按壓彈簧347x的作用力弱得多。由此，由X框301和滑動(dòng)體 330x構(gòu)成的移動(dòng)體311x構(gòu)成為，相對(duì)于框架302能夠利用由兩個(gè)滾珠 336x和一個(gè)滾珠307x形成的三點(diǎn)支撐而移動(dòng)。另外，通過將滾珠307x 相對(duì)于滾珠336x隔著攝影光軸和開口 301a配置在相反側(cè)，從而能夠?qū)?滾珠307x和滾珠336x的距離分開，因此能夠形成為穩(wěn)定的三點(diǎn)支撐結(jié) 構(gòu)。這樣，根據(jù)本實(shí)施方式，利用三個(gè)滾珠(滾動(dòng)體)，能夠在對(duì)移動(dòng)體 311x的移動(dòng)方向進(jìn)行引導(dǎo)的同時(shí)規(guī)定其傾斜，能夠進(jìn)行穩(wěn)定的驅(qū)動(dòng)。
另一方面，Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部310y的基本結(jié)構(gòu)也與X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部 310x同樣，對(duì)于相同或者對(duì)應(yīng)的部分在同一符號(hào)上附上字母y進(jìn)行表示， 并省略說明。再有，Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部310y以X框301代替框架302作為 固定部件，以保持器38代替X框301作為成為移動(dòng)對(duì)象的第一移動(dòng)體部 (或者第三移動(dòng)體部)，并具有滑動(dòng)體(第二移動(dòng)體部或者第四移動(dòng)體部) 330y，所述滑動(dòng)體330y—體地固定在保持器38上，與保持器38—起構(gòu) 成作為驅(qū)動(dòng)對(duì)象的移動(dòng)體(第二移動(dòng)體)311y。
另外，本實(shí)施方式的防振單元300在框架302上配設(shè)有檢測(cè)主體單
元100的圍繞X軸的抖動(dòng)(俯仰方向的抖動(dòng))的X軸陀螺儀400x和檢 測(cè)主體單元100的圍繞Y軸的抖動(dòng)(偏轉(zhuǎn)方向的抖動(dòng))的Y軸陀螺儀400y。 并且，具有位置檢測(cè)傳感器353，該位置檢測(cè)傳感器353由配設(shè)在框架 302上的霍爾元件351和以與霍爾元件351對(duì)置的方式配設(shè)在保持器38 的一部分上的磁鐵352構(gòu)成。而且，具有防振控制電路355，所述防振控 制電路355根據(jù)來自這些X軸陀螺儀400x、 Y軸陀螺儀400y以及位置 檢測(cè)傳感器353的信號(hào)，相對(duì)于X軸振子320x、作為第二振子的Y軸振 子320y對(duì)振子驅(qū)動(dòng)電路354進(jìn)行控制。防振控制電路355根據(jù)來自Bucom 50的指示執(zhí)行控制動(dòng)作。
其次，對(duì)X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)310x的動(dòng)作進(jìn)行說明。當(dāng)對(duì)X軸振子320x 施加預(yù)定的周期電壓而在驅(qū)動(dòng)件321x、 322x上產(chǎn)生橢圓振動(dòng)時(shí)，X軸振 子320x的驅(qū)動(dòng)件321x、322x利用按壓機(jī)構(gòu)340x的強(qiáng)作用力與滑動(dòng)板332x 按壓接觸，因此滑動(dòng)體330x被向驅(qū)動(dòng)件321x、 322x的橢圓振動(dòng)的旋轉(zhuǎn) 方向驅(qū)動(dòng)。
此時(shí)，施加在X軸振子320x上的按壓力強(qiáng)，因此，如果構(gòu)成滑動(dòng)體 330x的滑動(dòng)板332x和軸承331x的剛性弱，則由于所施加的按壓力，滑 動(dòng)板332x和軸承331x撓曲，驅(qū)動(dòng)件321x、 322x和滑動(dòng)板332x—側(cè)接 觸，動(dòng)作變得不穩(wěn)定，或者無法動(dòng)作。
對(duì)于這點(diǎn)，在本實(shí)施方式中，由于構(gòu)成滑動(dòng)體330x的滑動(dòng)板332x 和軸承331x的剛性高，所以驅(qū)動(dòng)件321x、 322x與滑動(dòng)板332x的按壓接 觸狀態(tài)穩(wěn)定，伴隨橢圓振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)力能夠可靠地傳遞至滑動(dòng)板332x，能 夠高效地向橢圓振動(dòng)的旋轉(zhuǎn)方向進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。此時(shí)，滑動(dòng)體330x的具有滑 動(dòng)板332x的一側(cè)相對(duì)于框架302不是面接觸，而是在軸承331x、 304x 部分通過滾珠336x以滾動(dòng)方式接觸，因此，即使按壓力強(qiáng)，滑動(dòng)體330x 也能夠相對(duì)于框架302以摩擦少的狀態(tài)可靠地移動(dòng)。進(jìn)而，由于軸承331x、 304x由沿著X軸方向的一列的滾珠軸承的軸承結(jié)構(gòu)形成，所以滑動(dòng)體 330x在受到X軸振子320x的驅(qū)動(dòng)時(shí)只在X軸方向移動(dòng)。當(dāng)滑動(dòng)體330x 這樣移動(dòng)時(shí)，固定有滑動(dòng)體330x的X框301也與滑動(dòng)體330x —體地在 X軸方向移動(dòng)。即，X框301的移動(dòng)方向也通過由沿著X軸方向的一列的滾珠軸承的軸承結(jié)構(gòu)形成的軸承331x、 304x之間的卡合來引導(dǎo)。
在這樣的動(dòng)作中，雖然軸承331x通過滾珠336x的中心，能夠繞與 V形槽334x平行的軸旋轉(zhuǎn)，但是軸承331x與X框301—體化，在與X 軸方向不同的方向上離開軸承331x的位置，在框架302和X框301之間 配設(shè)有一個(gè)滾珠307x，由X框301和滑動(dòng)體330x構(gòu)成的移動(dòng)體311x相 對(duì)于框架302通過兩個(gè)滾珠336x和一個(gè)滾珠307x在離幵的位置三點(diǎn)支 撐，因此不會(huì)因繞與V形槽334x平行的軸旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生影響，能夠穩(wěn)定地 在框架302上向X軸方向移動(dòng)。由此，相對(duì)于X軸振子320x的強(qiáng)按壓 部分的導(dǎo)向支撐機(jī)構(gòu)為基于軸承331x、 304x的沿著X軸方向的一列滾珠 軸承的軸承結(jié)構(gòu)即可，能夠?qū)崿F(xiàn)小型化、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單化。
Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)310y也和X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)310x的情況同樣進(jìn)行動(dòng)作。 接著，對(duì)伴隨著X軸振子320x和Y軸振子320y的驅(qū)動(dòng)而相對(duì)于X 框301和保持器38傳遞振動(dòng)帶來的共振進(jìn)行考察。例如，直接將X軸振 子320x壓接在滑動(dòng)體330x上，利用伴隨X軸振子320x的驅(qū)動(dòng)而在兩者 之間產(chǎn)生的振動(dòng)摩擦力對(duì)滑動(dòng)體330x進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，因此，X軸振子320x 的振動(dòng)直接傳遞至滑動(dòng)體330x和固定有滑動(dòng)體330x的X框301上。因 此，存在X框301共振、難以獲得期望的驅(qū)動(dòng)特性的情況。S卩，當(dāng)對(duì)輸 入到X軸振子320x的驅(qū)動(dòng)頻率f和驅(qū)動(dòng)速度V的關(guān)系進(jìn)行測(cè)定時(shí)，如圖 8中的NG特性所示，驅(qū)動(dòng)速度V因X框301的共振而降低，或者如圖 9(a)中的NG特性所示，驅(qū)動(dòng)速度V相對(duì)于驅(qū)動(dòng)頻率f的變化不順暢，有 可能產(chǎn)生速度暫時(shí)降低的拐點(diǎn)(谷、峰)。進(jìn)而，當(dāng)這種拐點(diǎn)存在于實(shí)際 使用的使用頻率范圍附近時(shí)，無法對(duì)X軸振子320x適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制。 關(guān)于Y軸振子320y側(cè)也同樣。
為了防止這種不良情況，需要如上所述那樣，消除由于X軸振子320x 和Y軸振子320y的振動(dòng)而產(chǎn)生X框301和保持器38共振的情況。但是， 在使用振子320x、 320y對(duì)移動(dòng)體311x、 311y進(jìn)行摩擦驅(qū)動(dòng)的情況下， 不線形地變位，并且隨著X框301和保持器38的形狀變復(fù)雜，振動(dòng)解析 的難易度也增大，即使對(duì)振動(dòng)解析進(jìn)行仿真也會(huì)與實(shí)際的驅(qū)動(dòng)狀況之間 產(chǎn)生差別，難以確保期望的驅(qū)動(dòng)性能，是不現(xiàn)實(shí)的。
相對(duì)于此，在本實(shí)施方式中，考慮到上述的拐點(diǎn)是由于以下原因產(chǎn)
生的由于振子320x、 320y的振動(dòng)傳遞部與X框301和保持器38的固 定方法，X框301和保持器38的固有振動(dòng)數(shù)與振子320x、 320y的驅(qū)動(dòng) 頻率一致，從而使構(gòu)成致動(dòng)器的部件共振。進(jìn)而，為了消除這種共振， 在本實(shí)施方式中具有振動(dòng)傳遞變更部件，所述振動(dòng)傳遞變更部件用于吸 收來自振子320x、 320y的振動(dòng)使其衰減，從而變更從振子320x、 320y 相對(duì)于X框301和保持器38的振動(dòng)的傳遞方式，以使X框301和保持 器38的固有振動(dòng)與驅(qū)動(dòng)頻率錯(cuò)開(使其成為足夠遠(yuǎn)的頻率)，或者，使 頻率與振子320x、 320y的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)數(shù)相同的振動(dòng)不傳遞至X框301和保 持器38。
在圖10和圖11中示出了這樣的振動(dòng)傳遞變更部件的一例，將作為 第一共振防止部件的夾裝部件350x作為振動(dòng)傳遞變更部件，所述夾裝部 件350x夾裝在作為第一移動(dòng)體部的X框301和作為第二移動(dòng)體部的滑動(dòng) 體330x的接合部中。此處，夾裝部件350x是由例如硅橡膠等橡膠材料 形成的長(zhǎng)條板狀的部件，在將夾裝部件350x夾入滑動(dòng)體330x和X框301 之間的狀態(tài)下使用小螺釘333x進(jìn)行小螺釘固定。在滑動(dòng)體330x、夾裝部 件350x上分別形成有小螺釘333x用的小螺釘孔351x、小螺釘避讓孔 352x，在X框301上形成有小螺釘333x用的小螺釘穴353x。并且，滑 動(dòng)體330x具有定位銷354x，通過將定位銷354x嵌合在形成于X框301 上的定位穴355x中，從而滑動(dòng)體330x被定位。在夾裝部件350x的兩端， 形成有用于使定位銷354x避開的半圓狀的避讓部356x。因此，可以說夾 裝部件350x位于X框301和滑動(dòng)板332x之間。
在作為第三移動(dòng)體部的保持器38和作為第四移動(dòng)體部的滑動(dòng)體 330y之間，同樣作為第二共振防止部件即振動(dòng)傳遞變更部件也夾裝有夾 裝部件350y (參照?qǐng)D5)。另外，在振子320y上具有驅(qū)動(dòng)件321y、 322y， 在這些驅(qū)動(dòng)件321y、 322y和滑動(dòng)體330y之間具有作為第二滑動(dòng)部件的 滑動(dòng)板332y，所述滑動(dòng)板332y緊固在滑動(dòng)體330y上。另外，保持器38 隔著夾裝部件350y固定滑動(dòng)體330y。因此，可以說夾裝部件350y位于 保持器38和滑動(dòng)板332y之間。
這樣，在本實(shí)施方式中，通過在將由硅橡膠等形成的夾裝部件350x 夾入滑動(dòng)體330x和X框301之間的狀態(tài)下使用小螺釘333x進(jìn)行小螺釘 固定，利用夾裝部件350x使與X軸振子320x的驅(qū)動(dòng)頻率具有相同頻率 的振動(dòng)衰減，從而能夠變更振動(dòng)的傳遞方式，由此，能夠消除X框301 上的共振，或者使其振動(dòng)與驅(qū)動(dòng)頻率錯(cuò)開。在夾裝部件350y側(cè)也同樣。
通過夾裝這樣的夾裝部件350x，與沒有夾裝部件350x的情況相比， 既能夠如圖8中的OK特性所示，防止驅(qū)動(dòng)速度V相對(duì)于輸入到X軸振 子320x的驅(qū)動(dòng)頻率f的降低，提高了性能，又能夠如圖9 (b)中的OK 特性所示，消除拐點(diǎn)的產(chǎn)生而使速度變化順暢，在使用頻率范圍內(nèi)，能 夠?qū)軸振子320x適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制。在夾裝部件350y側(cè)也一樣。
再有，作為夾裝部件350x、 350y，不限于由橡膠材料形成的彈性材 料，也可以使用由樹脂材料等形成的彈性材料。并且，作為夾裝部件350x、 350y，不限于彈性材料，也可以使用黃銅板等金屬材料。在夾裝有由金 屬材料形成的夾裝部件的情況下，能夠?qū)φ駝?dòng)的傳遞方式進(jìn)行變更，以 使X框301和保持器38的固有振動(dòng)數(shù)變化，因此，通過使固有振動(dòng)數(shù)從 振子320x、 320y的驅(qū)動(dòng)頻率錯(cuò)開，能夠使X框301和保持器38與驅(qū)動(dòng) 頻率不會(huì)引起共振，即能夠防止共振。根據(jù)本發(fā)明人的實(shí)驗(yàn)，在采用下 述組合的情況下能夠獲得良好的共振防止效果使相對(duì)于X框301側(cè)的 夾裝部件350x為硅橡膠等的橡膠制作的，使相對(duì)于保持器38側(cè)的夾裝 部件350y為黃銅板等的金屬制作的。
再有，該夾裝部件是使X框301和保持器38不產(chǎn)生共振的共振防止 部件，將從振子傳遞至X框301和保持器38的振動(dòng)轉(zhuǎn)換為熱能等而使其 衰減，或者使振動(dòng)系統(tǒng)的慣性量變化而使共振點(diǎn)錯(cuò)開。因此，前者、后 者都是橡膠、彈性材料這樣的沖擊吸收材料等，根據(jù)情況可以適當(dāng)選擇 金屬材料、合成樹脂等。
另外，本實(shí)施方式的夾裝部件350x使用具有橫跨滑動(dòng)體330x和X 框301的接合部整個(gè)面的大小的部件，但也可以如圖12所示，構(gòu)成為由 在連接部處例如中央部、兩端部分散配置的多個(gè)片形成的夾裝部件360x。 361x是定位銷354x用的避讓孔。
圖13 圖15示出振動(dòng)傳遞變更部件的其它實(shí)施方式，圖13是X框 301，的主視圖，圖14是X框310'的側(cè)視圖，圖15是X框301'周圍的分
解立體圖。在該實(shí)施方式中，在沿著具有大體積的x框3or的框形狀的
振動(dòng)路徑上分散形成有多個(gè)槽370x，將相對(duì)于這些多個(gè)槽370x裝填并粘 接固定的填充部件371x作為振動(dòng)傳遞變更部件。填充部件371x由例如 樹脂材料或金屬材料形成，但是根據(jù)需要，也可以對(duì)材質(zhì)、大小、裝填 個(gè)數(shù)進(jìn)行變更。另外，上述粘接固定也不限于此，根據(jù)需要也可以是螺 釘固定等其它方法。
通過這樣在X框301，的振動(dòng)路徑上裝填多個(gè)填充部件371x，與僅有
x框3or的情況相比，通過對(duì)具有大體積的移動(dòng)體即x框3or的固有振
動(dòng)數(shù)進(jìn)行調(diào)整，以改變來自X軸振子320x的振動(dòng)的傳遞方式，從而將其 設(shè)定為不接近X軸振子320x的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)數(shù)的值。由此，能夠抑制在X 軸振子320x的使用頻率范圍內(nèi)的驅(qū)動(dòng)速度的拐點(diǎn)的產(chǎn)生和性能的降低。
權(quán)利要求
1.一種驅(qū)動(dòng)裝置，該驅(qū)動(dòng)裝置具有作為驅(qū)動(dòng)件的壓電體，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置具有第一振子，其通過被施加預(yù)定的周期電壓而產(chǎn)生橢圓振動(dòng)；保持所述第一振子的第一部件；第二部件，其包括按壓所述第一振子的第一滑動(dòng)部件，由所述第一振子的橢圓振動(dòng)驅(qū)動(dòng)而相對(duì)于所述第一部件進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)；以及第一共振防止部件，其設(shè)在所述第二部件上，防止由所述第一振子的振動(dòng)產(chǎn)生的所述第二部件的共振。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于， 所述第一共振防止部件是設(shè)在所述第二部件和所述第一滑動(dòng)部件之間的夾裝部件。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于， 所述第一共振防止部件固定在所述第二部件上。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于， 所述第一共振防止部件是分散形成在所述第二部件的振動(dòng)路徑上的填充部件。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于， 所述第一部件是被固定的固定部件。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于， 所述第一部件是框部件。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于， 所述第二部件是框部件。
8、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于， 所述第一共振防止部件由彈性材料形成。
9、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于， 所述第一共振防止部件由金屬材料形成。
10、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于， 所述夾裝部件由彈性材料形成。
11、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于， 所述夾裝部件由金屬材料形成。
12、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置還具有第二振子，其設(shè)在所述第二部件上；第三部件，其設(shè)置為能夠在與所述第二部件的移動(dòng)方向成直角的方 向上移動(dòng)，包括按壓所述第二振子的第二滑動(dòng)部件，由所述第二振子的 橢圓振動(dòng)驅(qū)動(dòng)而相對(duì)于所述第二部件進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)；以及第二共振防止部件，其設(shè)在所述第三部件上，防止由所述第二振子 的振動(dòng)產(chǎn)生的所述第三部件的共振。
13、 根據(jù)權(quán)利要求12所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于， 所述第二共振防止部件是設(shè)在所述第三部件和所述第二滑動(dòng)部件之間的夾裝部件。
14、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于， 所述第二共振防止部件是分散形成在所述第三部件的振動(dòng)路徑上的填充部件。
15、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于， 所述第二共振防止部件固定在所述第三部件上。
16、 根據(jù)權(quán)利要求13所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于， 所述夾裝部件由彈性材料形成。
17、 根據(jù)權(quán)利要求13所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于， 所述夾裝部件由金屬材料形成。
18、 根據(jù)權(quán)利要求12所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于， 所述驅(qū)動(dòng)裝置是在照相機(jī)中使用的手抖校正機(jī)構(gòu)，所述照相機(jī)在所述第三部件上載置有攝像元件。
全文摘要
本發(fā)明提供驅(qū)動(dòng)裝置。所述驅(qū)動(dòng)裝置能夠有效地防止由振子的橢圓振動(dòng)驅(qū)動(dòng)的移動(dòng)體中的共振，能夠獲得期望的驅(qū)動(dòng)特性。所述驅(qū)動(dòng)裝置使用產(chǎn)生橢圓振動(dòng)的振子(320x、320y)作為驅(qū)動(dòng)源，另一方面，所述驅(qū)動(dòng)裝置具有作為共振防止部件的夾裝部件(350x、350y)，所述夾裝部件(350x、350y)夾裝在移動(dòng)體部(301、38)和移動(dòng)體部(330x、330y)之間，由此，利用夾裝部件(350x、350y)，使頻率與振子(320x、320y)的驅(qū)動(dòng)頻率相同的振動(dòng)不傳遞至移動(dòng)體部(301、38)，或者使移動(dòng)體部(301、38)的固有振動(dòng)從振子(320x、320y)的驅(qū)動(dòng)頻率錯(cuò)開。
文檔編號(hào)H02N6/00GK101373940SQ20081013190
公開日2009年2月25日 申請(qǐng)日期2008年6月27日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月29日
發(fā)明者坂野博通 申請(qǐng)人:奧林巴斯映像株式會(huì)社