專利名稱：精密重載真空直線導(dǎo)入裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及真空導(dǎo)入裝置，具體地說是一種將動(dòng)力由大氣環(huán) 境傳遞到真空環(huán)境驅(qū)動(dòng)工件實(shí)現(xiàn)高精度直線運(yùn)動(dòng)的精密重載真空直 線導(dǎo)入裝置。
背景技術(shù)：
目前，現(xiàn)有的精密真空導(dǎo)入機(jī)構(gòu)的構(gòu)造是由步進(jìn)電機(jī)、驅(qū)動(dòng)器、 聯(lián)軸節(jié)、滾珠絲框(精密絲杠)、滾珠絲母(精密絲母)、軸承、直線 導(dǎo)軌和焊接波紋管組成，經(jīng)過焊接、裝配而成。將工件與波紋管連接， 步進(jìn)電機(jī)通過聯(lián)軸節(jié)與滾珠絲杠相連，電機(jī)通電后，驅(qū)動(dòng)器給出脈沖 信號(hào)，電機(jī)驅(qū)動(dòng)絲杠旋轉(zhuǎn)，推動(dòng)與焊接波紋管相連接的絲母帶動(dòng)波紋 管沿直線導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)。但是，從步進(jìn)電機(jī)到絲杠需要聯(lián)軸器聯(lián)接、絲杠 需要軸承支撐定位，由于環(huán)節(jié)過多會(huì)導(dǎo)致整套系統(tǒng)精度下降，而且安 裝空間過大還會(huì)導(dǎo)致負(fù)載對直線導(dǎo)軌的彎矩增大，降低系統(tǒng)的精度。
實(shí)用新型內(nèi)容
為了解決現(xiàn)有真空導(dǎo)入機(jī)構(gòu)的上述問題，本實(shí)用新型的目的在于 提供一種傳動(dòng)精度高、安裝空間小的精密重載真空直線導(dǎo)入裝置，該 裝置能夠充分利用空間減小彎矩，而且減少了中間環(huán)節(jié)。
本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的
本實(shí)用新型包括直線步進(jìn)電機(jī)、固定板、刀口法蘭及波紋管，所 述固定板設(shè)置在刀口法蘭上，直線步進(jìn)電機(jī)安裝在固定板上，直線步 進(jìn)電機(jī)上設(shè)有作為輸出軸的絲杠，絲杠上螺紋連接有絲母，帶有滑塊 的連接板與絲母相連接、與絲母連動(dòng)；所述波紋管內(nèi)設(shè)有空心軸，波 紋管的一端與法蘭相連、空心軸的一端由法蘭穿出，波紋管的另一端 通過過渡板與連接板相連接、絲杠插入空心軸的另一端；在固定板上 設(shè)有直線導(dǎo)軌，滑塊在直線導(dǎo)軌上往復(fù)移動(dòng)。
其中所述連接板上設(shè)有調(diào)節(jié)過渡板與連接板之間間距的調(diào)節(jié)螺 釘；所述法蘭上固接有固定支座，固定板的一端與固定支座螺紋連接， 另一端固接有電機(jī)座，直線步進(jìn)電機(jī)安裝在電機(jī)座上；所述過渡板為 方形，其上開有多個(gè)螺紋孔，波紋管的另一端通過內(nèi)六角螺栓與過渡 板相連接，連接板通過鎖緊螺釘與過渡板相連接。
本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)與積極效果為1. 本實(shí)用新型釆用直線步進(jìn)電機(jī)，將絲杠整合在電機(jī)內(nèi)部，直 接驅(qū)動(dòng)絲杠旋轉(zhuǎn)，這樣就可以取代普通的步進(jìn)電機(jī)、聯(lián)軸節(jié)、滾珠絲 杠(精密絲杠)、軸承，減少了中間環(huán)節(jié)、降低裝配難度，從而提高 了系統(tǒng)的精度。
2. 釆用直線步進(jìn)電機(jī)后，不再需要安裝聯(lián)軸節(jié)、軸承等零件， 可以有效地減小安裝空間，進(jìn)而減小負(fù)載所產(chǎn)生的彎矩。
3. 本實(shí)用新型可通過調(diào)節(jié)螺釘對驅(qū)動(dòng)部件進(jìn)行調(diào)整，保證了精 密重載的直線導(dǎo)入。
圖l為本實(shí)用新型的主視圖，
圖2為圖1的A—A剖視其中l(wèi)為法蘭，2為固定支座，3為波紋管，4為空心軸，5為 固定板，6為電機(jī)座，7為直線步進(jìn)電機(jī)，8為絲母，9為鎖緊螺釘， 10為調(diào)節(jié)螺釘，11為過渡板，12為內(nèi)六角螺栓，13為連接板，14 為滑塊，15為直線導(dǎo)軌，16為絲杠。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳述。
如圖1、圖2所示，本實(shí)用新型包括法蘭1、固定支座2、波紋 管3、空心軸4、固定板5、電機(jī)座6、直線步進(jìn)電機(jī)7、絲母8、過 渡板ll、連接板13、滑塊14、直線導(dǎo)軌15及絲杠16,法蘭l與真 空室密封連接，固定支座2固定安裝在法蘭1上，固定板5的一端與 固定支座2螺紋連接、便于拆卸，另一端固接有電機(jī)座6，直線步進(jìn) 電機(jī)7安裝在電機(jī)座6上。直線步進(jìn)電機(jī)7的輸出軸為絲杠16,絲 杠16上螺紋連接有絲母8，該絲母8通過螺釘與連接板13固接，直 線步進(jìn)電機(jī)7的轉(zhuǎn)動(dòng)輸出通過絲母8與絲杠16的螺紋連接變成連接 板13的上下移動(dòng)。固定板5上固接有直線導(dǎo)軌15,連接板13上通 過螺釘固接有滑塊14,滑塊14套設(shè)在直線導(dǎo)軌15上，可在直線導(dǎo) 軌15上往復(fù)移動(dòng)。波紋管3內(nèi)經(jīng)氬弧焊焊接有空心軸4,波紋管的 一端通過氬弧焊焊接在法蘭1上，空心軸4的一端由法蘭1穿出、與 驅(qū)動(dòng)部件相連接；波紋管的另一端通過內(nèi)六角螺栓12固接有過渡板 11,絲杠16插入空心軸4的另一端，空心軸4的中空內(nèi)腔為絲杠16
預(yù)留了運(yùn)動(dòng)及調(diào)節(jié)空間。過渡板ll為方形，其上開有多個(gè)螺紋孔； 過渡板11位于連接板13的下方、與連接板13通過鎖緊螺釘9相連 接。連接板13上還設(shè)有可以調(diào)節(jié)其與過渡板11之間間距的調(diào)節(jié)螺釘 10。
本實(shí)用新型的工作原理為直線步進(jìn)電機(jī)7工作，驅(qū)動(dòng)絲杠16轉(zhuǎn)動(dòng)，絲杠16通過與絲母8
的螺紋連接使絲母8直線運(yùn)動(dòng)，并帶動(dòng)連接板13通過滑塊14沿直線 導(dǎo)軌15平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)，波紋管3張開或收縮，通過與空心軸4相連接的 驅(qū)動(dòng)部件實(shí)現(xiàn)精密重載的真空直線導(dǎo)入。當(dāng)與空心軸4相連接的驅(qū)動(dòng) 部件位置需要微量調(diào)整時(shí)，可擰開鎖緊螺釘9,使用調(diào)節(jié)螺釘10調(diào) 節(jié)過渡板11與連接板13的間距，保證精密重載的直線導(dǎo)入，調(diào)整好 后緊固鎖緊螺釘9即可。
本實(shí)用新型的直線步進(jìn)電機(jī)為巿購產(chǎn)品，購置于海頓直線電機(jī) (常州)有限公司生產(chǎn)的混合式57000#external的直線步進(jìn)電機(jī)； 法蘭1為CF150刀口法蘭。
權(quán)利要求1.一種精密重載真空直線導(dǎo)入裝置，其特征在于包括直線步進(jìn)電機(jī)(7)、固定板(5)、刀口法蘭(1)及波紋管(3)，所述固定板(5)設(shè)置在刀口法蘭(1)上，直線步進(jìn)電機(jī)(7)安裝在固定板(5)上，直線步進(jìn)電機(jī)(7)上設(shè)有作為輸出軸的絲杠(16)，絲杠(16)上螺紋連接有絲母(8)，帶有滑塊(14)的連接板(13)與絲母(8)相連接、與絲母(8)連動(dòng)；所述波紋管(3)內(nèi)設(shè)有空心軸(4)，波紋管(3)的一端與法蘭(1)相連、空心軸(4)的一端由法蘭(1)穿出，波紋管(3)的另一端通過過渡板(11)與連接板(13)相連接、絲杠(16)插入空心軸(4)的另一端；在固定板(5)上設(shè)有直線導(dǎo)軌(15)，滑塊(14)在直線導(dǎo)軌(15)上往復(fù)移動(dòng)。
2. 按權(quán)利要求1所述的精密重載真空直線導(dǎo)入裝置，其特征在 于所述連接板(13)上設(shè)有調(diào)節(jié)過渡板(11)與連接板(13)之間 間距的調(diào)節(jié)螺釘(10)。
3. 按權(quán)利要求1所述的精密重載真空直線導(dǎo)入裝置，其特征在 于所述法蘭(1)上固接有固定支座(2)，固定板(5)的一端與固 定支座(2 )螺紋連接，另 一端固接有電機(jī)座(6 )，直線步進(jìn)電機(jī)(7 ) 安裝在電機(jī)座(6)上。
4. 按權(quán)利要求l所述的精密重載真空直線導(dǎo)入裝置，其特征在 于所述過渡板(11)為方形，其上開有多個(gè)螺紋孔，波紋管(3) 的另 一端通過內(nèi)六角螺栓(12 )與過渡板(11 )相連接，連接板(13 ) 通過鎖緊螺釘(9)與過渡板(11)相連接。
專利摘要本實(shí)用新型涉及真空導(dǎo)入裝置，具體地說是一種精密重載真空直線導(dǎo)入裝置，包括直線步進(jìn)電機(jī)、固定板、刀口法蘭及波紋管，固定板設(shè)置在刀口法蘭上，直線步進(jìn)電機(jī)安裝在固定板上，直線步進(jìn)電機(jī)上設(shè)有作為輸出軸的絲杠，絲杠上螺紋連接有絲母，帶有滑塊的連接板與絲母相連接、與絲母連動(dòng)；波紋管內(nèi)設(shè)有空心軸，波紋管的一端與法蘭相連、空心軸的一端由法蘭穿出，波紋管的另一端通過過渡板與連接板相連接、絲杠插入空心軸的另一端；在固定板上設(shè)有直線導(dǎo)軌，滑塊在直線導(dǎo)軌上往復(fù)移動(dòng)。本實(shí)用新型采用直線步進(jìn)電機(jī)，將絲杠整合在電機(jī)內(nèi)部，直接驅(qū)動(dòng)絲杠旋轉(zhuǎn)，減少了中間環(huán)節(jié)、降低裝配難度，從而提高了系統(tǒng)的精度。
文檔編號(hào)H02K7/116GK201430500SQ20092001498
公開日2010年3月24日 申請日期2009年6月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月30日
發(fā)明者輝 佟, 影 孫, 張曉哲, 鵬 李, 良 汪 申請人:中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司