專利名稱：供電系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的供電系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造廠區(qū)主要包括制造廠房(FAB，F(xiàn)abrication Bui lding)、中央 動力廠房(CUB, Center Utility Building)、支援廠房(SB, Supply Building)和電力供應(yīng) 廠房(PSB, Power Supply Building)等。FAB是產(chǎn)品的制造中心，里面為無塵室，晶圓、芯片等都在FAB的無塵室里生產(chǎn)； CUB供應(yīng)制造工藝所需要的能源和動力，例如水、空調(diào)、電以及一些化學(xué)藥劑或者氣體；SB 對CUB提供的能源和動力進行分配和整合，并提供給FAB ；FAB, CUB和SB里都有獨立的電 站，各電站的電力由PSB分配。SB是連接CUB和FAB的樞紐，SB電站運行的穩(wěn)定性對半導(dǎo) 體產(chǎn)品制造有著重要作用。請參考圖1，由于環(huán)境和條件的限制，現(xiàn)有的SB電站通常僅包括兩套供電單元， 即交流供電單元Al和直流供電單元A2 ；SB電站的轉(zhuǎn)換單元A3將交流供電單元Al提供的 380V三相交流電轉(zhuǎn)換為SB的工作設(shè)備10所需的直流電。交流供電單元Al為工作設(shè)備10 的主供電，直流供電單元A2為工作設(shè)備10的備用供電，當(dāng)交流供電單元Al出現(xiàn)供電故障 時，即切換直流供電單元A2向工作設(shè)備10供電。然而，由于上述SB電站只有兩套供電單元，其供電可靠性和運行穩(wěn)定性并不高； 而且，現(xiàn)有SB電站的直流供電系統(tǒng)也沒有放電功能測試，其存在的故障隱患也較大，一旦 交流供電單元斷電并且直流供電單元也出現(xiàn)故障，SB電站就處于關(guān)閉狀態(tài)，這將對SB和 FAB的工作設(shè)備造成較大的影響。為提高SB電站的可靠性的穩(wěn)定性，可以增加一套交流供電單元或直流供電單元， 然而，受現(xiàn)有SB的空間限制，增加一套交流供電單元會比較困難；并且增加一套交流供電 單元或直流供電單元不僅費用成本高，而且還會增加系統(tǒng)預(yù)防性維護(PM—Preventive Maintenance)的工作量。

實用新型內(nèi)容本實用新型解決的問題是，提供一種供電系統(tǒng)，以提高供電可靠性和運行穩(wěn)定性。為解決上述問題，本實用新型提供一種供電系統(tǒng)，其包括給兩組工作設(shè)備中的一 組供電的第一交流供電單元、第一直流供電單元、切換供電單元的第一切換單元以及給另 外一組工作設(shè)備供電的第二交流供電單元、第二直流供電單元、切換供電單元的第二切換 單元，所述第一直流供電單元與第二直流供電單元并聯(lián)在一起，所述第一、第二切換單元控 制第一、第二直流供電單元同時對兩組工作設(shè)備或任意一組工作設(shè)備供電。與現(xiàn)有技術(shù)相比，上述技術(shù)方案將SB電站的直流供電單元和FAB電站的直流供電 單元并聯(lián)，既不需要增加其他單元，也不需要改變其他單元，就可以給SB電站增加一套備 用供電，因而提高了 SB電站的供電可靠性和運行穩(wěn)定性。[0010]同樣地，上述技術(shù)方案也給FAB電站增加了一套備用供電，因而也提高了 FAB電站 的供電可靠性和運行穩(wěn)定性。另外，上述技術(shù)方案相比于增加一套交流供電單元或直流供電單元來說，還具有 實現(xiàn)簡單，成本低和效率高等優(yōu)點。

圖1是現(xiàn)有的SB電站的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實用新型實施方式的供電系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實用新型實施例的供電系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
本實用新型實施方式的供電系統(tǒng)將SB電站的直流供電單元和FAB電站的直流供 電單元并聯(lián)，在不增加或改變其他裝置的情況下就可以提高電站的供電可靠性和運行穩(wěn)定 性。在半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造廠區(qū)中，SB是將CUB提供的能源和動力進行分配和整合，并 提供給FAB，即SB是對FAB的支援，其距離FAB非常近，一般為幾十米；并且SB和FAB的直 流供電單元提供的是相同的直流電，一般為103V 121V，因此將SB的直流供電單元和FAB 的直流供電單元并聯(lián)是可行的，并且易于實現(xiàn)。圖2是本實用新型實施方式的供電系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，所述供電系統(tǒng)包括SB電 站1和FAB電站2，其中，SB電站1包括可向SB電站1的工作設(shè)備10供電的第一直流供電 單元12，F(xiàn)AB電站2包括第二直流供電單元22，所述SB電站1的第一直流供電單元12和 FAB電站2的第二直流供電單元22并聯(lián)。另外，SB電站1還包括第一交流供電單元11和第一轉(zhuǎn)換單元13，第一轉(zhuǎn)換單元13 將第一交流供電單元11提供的交流電轉(zhuǎn)換成直流電，并可將所述轉(zhuǎn)換的直流電提供給SB 電站1的工作設(shè)備10。
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型的具體實施方式
做詳細的說明。圖3是本實 施例的供電系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，所述供電系統(tǒng)包括SB電站1和FAB電站2。SB電站1包括第一交流供電單元11、第一直流供電單元12、第一轉(zhuǎn)換單元13、第 一交流開關(guān)單元14、第一直流開關(guān)單元15和第一切換單元16。FAB電站2包括第二交流供電單元21、第二直流供電單元22、第二轉(zhuǎn)換單元23、 第二交流開關(guān)單元24、第二直流開關(guān)單元25和第二切換單元26。其中，第一直流供電單元12和第二直流供電單元22并聯(lián)，第一直流供電單元12 為提供IlOV電壓的電池或電池組，第二直流供電單元22為提供IlOV電壓的電池或電池組。SB電站1的第一交流供電單元11提供380V的三相交流電；第一轉(zhuǎn)換單元13將 第一交流供電單元11提供的380V的三相交流電轉(zhuǎn)換成IlOV直流電，第一轉(zhuǎn)換單元13可 以包括整流器和變壓器；第一交流開關(guān)單元14將第一交流供電單元11接入SB的工作設(shè)備 10，或斷開第一交流供電單元11和SB的工作設(shè)備10的連接；第一直流開關(guān)單元15將第一 直流供電單元12接入SB的工作設(shè)備10，或斷開第一直流供電單元12和SB的工作設(shè)備10的連接；第一切換單元16，在第一交流供電單元11斷電或出現(xiàn)故障時，將第一直流供電單 元12接入SB的工作設(shè)備10，在第一交流供電單元11恢復(fù)供電或故障排除后，將第一交流 供電單元11接入SB的工作設(shè)備10。FAB電站2的第二交流供電單元21提供380V的三相交流電；第二轉(zhuǎn)換單元23將第二交流供電單元21提供的380V的三相交流電轉(zhuǎn)換成IlOV直流電，第二轉(zhuǎn)換單元23可 以包括整流器和變壓器；第二交流開關(guān)單元24將第二交流供電單元21接入FAB的工作設(shè) 備20，或斷開第二交流供電單元21和FAB的工作設(shè)備20的連接；第二直流開關(guān)單元25將 第二直流供電單元22接入FAB的工作設(shè)備20，或斷開第二直流供電單元22和FAB的工作 設(shè)備20的連接；第二切換單元26，在第二交流供電單元21斷電或出現(xiàn)故障時，將第二直流 供電單元12接入FAB的工作設(shè)備20，在第二交流供電單元21恢復(fù)正常時，將第二交流供電 單元11接入FAB的工作設(shè)備20。由于FAB電站2的第二直流供電單元22并聯(lián)于SB電站1的第一直流供電單元 12，相當(dāng)于給SB電站1增加了一套備用供電。具體來說，SB電站1的第一交流供電單元11 作為工作設(shè)備10的主供電，即在正常狀態(tài)下，第一切換單元16將第一交流供電單元11接 入工作設(shè)備10，并斷開第一直流供電單元12和工作設(shè)備10的連接；SB電站1的第一直流 供電單元12和FAB電站2的第二直流供電單元22作為工作設(shè)備的備用供電，即在第一交 流供電單元11斷電或出現(xiàn)故障時，第一切換單元16檢測到了第一交流供電單元11的失電 信號，將并聯(lián)的第一直流供電單元12和第二直流供電單元22接入工作設(shè)備10，并斷開第 一交流供電單元11和工作設(shè)備10的連接，在此情況下，即使第一直流供電單元12和第二 直流供電單元22其中有任何一個出現(xiàn)故障都不會影響工作設(shè)備10的工作，并且無需額外 的電源管理來切換第一直流供電單元12和第二直流供電單元22向工作設(shè)備10進行供電。 另外，在第一交流供電單元11恢復(fù)供電或故障排除后，第一切換單元16檢測到了第一交流 供電單元11的得電信號，可以將第一交流供電單元11重新接入工作設(shè)備10，并斷開第一直 流供電單元12和工作設(shè)備10的連接。同理，由于SB電站1的第一直流供電單元12并聯(lián)于FAB電站2的第二直流供電 單元22，相當(dāng)于也給FAB電站2增加了一套備用供電。綜上所述，上述技術(shù)方案將SB電站的直流供電單元和FAB電站的直流供電單元并 聯(lián)，既不需要增加其他單元，也不需要改變其他單元，就可以給SB電站增加一套備用供電， 因而提高了 SB電站的供電可靠性和運行穩(wěn)定性。同樣地，上述技術(shù)方案也給FAB電站增加 了一套備用供電，因而也提高了 FAB電站的供電可靠性和運行穩(wěn)定性。本實用新型雖然以較佳實施例公開如上，但其并不是用來限定本實用新型，任何 本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，都可以做出可能的變動和修改，因 此本實用新型的保護范圍應(yīng)當(dāng)以本實用新型權(quán)利要求所界定的范圍為準。
權(quán)利要求一種供電系統(tǒng)，其包括給兩組工作設(shè)備中的一組供電的第一交流供電單元、第一直流供電單元、切換供電單元的第一切換單元以及給另外一組工作設(shè)備供電的第二交流供電單元、第二直流供電單元、切換供電單元的第二切換單元，其特征在于所述第一直流供電單元與第二直流供電單元并聯(lián)在一起，所述第一、第二切換單元控制第一、第二直流供電單元同時對兩組工作設(shè)備或任意一組工作設(shè)備供電。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的供電系統(tǒng)，其特征在于，所述第一直流供電單元為電池或電 池組。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的供電系統(tǒng)，其特征在于，所述第二直流供電單元為電池或電 池組。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的供電系統(tǒng)，其特征在于，所述供電系統(tǒng)還包括兩個直流開關(guān) 單元，其分別將控制所述第一、第二直流供電單元與工作設(shè)備的電路連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的供電系統(tǒng)，其特征在于，所述供電系統(tǒng)還包括兩個分別將第 一、第二交流供電單元所提供的交流電轉(zhuǎn)換成直流電的轉(zhuǎn)換單元。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的供電系統(tǒng)，其特征在于，所述供電系統(tǒng)還包括兩個交流開關(guān) 單元，其分別將控制所述第一、第二交流供電單元與工作設(shè)備的電路連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的供電系統(tǒng)，其特征在于，所述兩組工作設(shè)備分別位于支援廠 房和制造廠房內(nèi)。
專利摘要本實用新型提供一種供電系統(tǒng)，其包括給兩組工作設(shè)備中的一組供電的第一交流供電單元、第一直流供電單元、切換供電單元的第一切換單元以及給另外一組工作設(shè)備供電的第二交流供電單元、第二直流供電單元、切換供電單元的第二切換單元，所述第一直流供電單元與第二直流供電單元并聯(lián)在一起，所述第一、第二切換單元控制第一、第二直流供電單元同時對兩組工作設(shè)備或任意一組工作設(shè)備供電。
文檔編號H02J7/34GK201570890SQ20092004940
公開日2010年9月1日 申請日期2009年10月23日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月23日
發(fā)明者徐輝 申請人:無錫華潤上華半導(dǎo)體有限公司;無錫華潤上華科技有限公司