專利名稱：一種真空干法刻蝕機(jī)的靜電處理方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空干法刻蝕機(jī)的靜電處理方法及裝置。
背景技術(shù)：
靜電在日常的生活和工作中經(jīng)常出現(xiàn)，一次走動，一次起坐均能達(dá)到上萬伏的靜電電壓。在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，真空干法刻蝕機(jī)是靜電最具活躍的場所之一。例如真空干法刻蝕機(jī)AM8330。在一定的真空度條件下，在真空干法刻蝕機(jī)的電極上加入一定功率的射頻(13.56MHZ)電源時，真空中的氣體分子在射頻電場作用下相互碰撞、摩擦、分解、電離而產(chǎn)生大量的離子、電子、自由基原子團(tuán)等導(dǎo)電集合體。在包括導(dǎo)電集合體的環(huán)境中，真空干法刻蝕機(jī)傳片的晶圓產(chǎn)品的表面，與電極之間相對絕緣，并且晶圓產(chǎn)品的表面以及電極聚集的導(dǎo)電集合體極性相反、電荷量相等，因此表現(xiàn)出相互吸引的特性。但導(dǎo)電集合體會隨著射頻電源的停止而逐漸消失，從而不會影響晶圓產(chǎn)品的傳輸。但是并且在真空干法刻蝕機(jī)電極中聚集的導(dǎo)電結(jié)合體，并不會隨著射頻電源的停止而逐漸消失，因此會對晶圓產(chǎn)品造成較強(qiáng)的吸附力，因此在對晶圓產(chǎn)品傳片的過程中會導(dǎo)致掉片、碎片、疊片、斷爪等故障，從而導(dǎo)致真空干法刻蝕機(jī)傳片故障率高。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明實施例提供一種真空干法刻蝕機(jī)的靜電處理方法及裝置，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中真空干法刻蝕機(jī)傳片故障率高的問題。本發(fā)明實施例提供的一種真空干法刻蝕機(jī)，所述真空干法刻蝕機(jī)包括電極和用于通過抓爪抓取所述電極上傳輸?shù)木A的機(jī)械手臂，所述真空干法刻蝕機(jī)還包括靜電釋放控制模塊；所述靜電釋放控制模塊的一端與所述電極相連，另一端接地，用于控制所述電極與地的開合。發(fā)明實施例提供的一種真空干法刻蝕機(jī)的靜電處理方法，在所述真空干法刻蝕機(jī)的電極與地之間連接靜電釋放控制模塊，所述方法包括在所述真空干法刻蝕機(jī)的電極上停止加入射頻信號時，所述靜電釋放控制模塊控制所述電極與地接通，釋放所述電極上聚集的靜電。本發(fā)明實施例提供了一種真空干法刻蝕機(jī)靜電釋放的方法及裝置，真空干法刻蝕機(jī)中的電極通過連接靜電釋放控制模塊，通過靜電釋放控制模塊控制電極與地的開合，從而實現(xiàn)將真空干法刻蝕機(jī)上聚集的靜電釋放到大地，進(jìn)而降低真空干法刻蝕機(jī)的傳片故障率。


圖1為本發(fā)明實施例提供的真空干法刻蝕機(jī)的組成結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實施例提供的當(dāng)該靜電釋放控制模塊12采用手動控制時，該靜電釋放控制模塊12的連接結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明實施例提供的當(dāng)該靜電釋放控制模塊12采用自動控制時，該靜電釋放控制模塊12的連接結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明實施例提供的當(dāng)該靜電釋放控制模塊12采用自動控制時，靜電釋放控制模塊12的另一連接結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明實施例提供的靜電釋放控制模塊12的內(nèi)部連接邏輯示意圖。
具體實施例方式本發(fā)明實施例中為了有效的去除真空干法刻蝕機(jī)上的靜電，采用靜電釋放控制模塊的開合，控制電極與地的開合，從而有效釋放真空干法刻蝕機(jī)上的靜電，從而降低真空干法刻蝕機(jī)傳片的故障率。下面結(jié)合說明書附圖，對本發(fā)明實施進(jìn)行詳細(xì)說明。圖1為本發(fā)明實施例提供的真空干法刻蝕機(jī)的組成結(jié)構(gòu)示意圖，該真空干法刻蝕機(jī)包括電極10和機(jī)械手臂11，其中連接該機(jī)械手臂的抓爪用于抓取與所述電極上傳輸?shù)木A，并且在本發(fā)明實施例中該真空干法刻蝕機(jī)還包括靜電釋放控制模塊12，該靜電釋放控制模塊12的一端與所述電極10連接，另一端接大地，該靜電釋放控制模塊12用于控制電極10與地的開合。在本發(fā)明實施例中該真空干法刻蝕機(jī)中的靜電釋放控制模塊12可以采用手動控制，也可以采用自動控制。圖2為當(dāng)該靜電釋放控制模塊12采用手動控制時，該靜電釋放控制模塊12的連接結(jié)構(gòu)示意圖。該靜電釋放控制模塊12包括控制開關(guān)121，該控制開關(guān)121連接在電極11 與地之間，控制開關(guān)121可以直接接地，或者也可以在與地之間連接電阻等與器件。例如在該靜電釋放控制模塊12包括控制開關(guān)121以及連接該控制開關(guān)的兩根導(dǎo)線，其中一根導(dǎo)線的一端與地連接，另一端與控制開關(guān)121的一端連接，另一根導(dǎo)線的一端與控制開關(guān)121的另一端連接，另一根導(dǎo)線的另一端與電極11連接。圖3為該靜電釋放控制模塊12采用自動控制時，該靜電釋放控制模塊12的連接結(jié)構(gòu)示意圖。靜電釋放控制模塊12包括信號處理板122和繼電器。其中由于繼電器的電感線圈的兩端與信號處理板連接并形成回路，在該圖3中為了簡化將信號處理板與繼電器電感線圈中間連接部分的元器件省略。信號處理板122，用于在電極上加入的射頻信號停止時，停止向繼電器的電感線圈輸出電壓信號。繼電器包括電感線圈以及一對常閉觸點(diǎn)，該一對常閉觸點(diǎn)控制所述電極與地的開
I=I O在本發(fā)明實施例中信號處理板輸入端輸入的信號的停止和工作的頻率，與電極上加入的射頻信號的停止和工作的頻率相同，即當(dāng)電極上加入射頻信號時，該信號處理板的輸入端存在輸入信號，當(dāng)電極上加入的射頻信號停止時，該信號處理板的輸入端也停止輸入輸入信號。
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該信號處理板接收到輸入信號時，采用邏輯運(yùn)算電路，輸出高電平，并且該輸出的高電平，可以根據(jù)連接在該信號處理板兩端的繼電器電感線圈的電壓，進(jìn)行相應(yīng)的放大處理。處理后的電壓信號加載在與該信號處理板連接的繼電器的電感線圈兩端。由于該繼電器的電感線圈兩端加載了電壓信號，該繼電器的常閉觸點(diǎn)打開，而繼電器的常閉觸點(diǎn)連接在電極與地之間，并且該常閉觸點(diǎn)打開，因此電極與地斷開。當(dāng)信號處理板的輸入端停止輸入輸入信號時，則該信號處理板經(jīng)過邏輯運(yùn)算電路運(yùn)算后輸出低電平，此時該信號處理板停止向繼電器的電感線圈輸出電壓信號，由于繼電器的電感線圈兩端未加載電壓信號，該繼電器的常閉觸點(diǎn)閉合，繼電器的常閉觸點(diǎn)連接在電極與地之間，因此電極與地接通，此時電極上聚集的靜電得到釋放。圖4為本發(fā)明實施例提供的當(dāng)該靜電釋放控制模塊12采用自動控制時，該靜電釋放控制模塊的另一連接結(jié)構(gòu)示意圖。該靜電釋放控制模塊12包括信號處理板122和繼電器。其中，信號處理板122，用于在電極上加入的射頻信號停止時，控制向繼電器的電感線圈輸出電壓信號。繼電器包括電感線圈和一對常開觸點(diǎn)，其中該常開觸點(diǎn)控制所述電極與地的開合。在本發(fā)明實施例中該信號處理板輸入端輸入的信號的停止和工作的頻率，與電極上加入的射頻信號的工作和停止的頻率相同，即當(dāng)電極上加入射頻信號時，該信號處理板的輸入端停止輸入輸入信號，當(dāng)電極上加入的射頻信號停止時，該信號處理板的輸入端存在輸入信號。該信號處理板接收到輸入信號時，采用邏輯運(yùn)算電路，輸出高電平，并且該輸出的高電平，可以根據(jù)連接在該信號處理板兩端的繼電器電感線圈的電壓，進(jìn)行相應(yīng)的放大處理。處理后的電壓信號加載在與該信號處理板連接的繼電器的電感線圈兩端。由于該繼電器的電感線圈兩端加載了電壓信號，該繼電器的常開觸點(diǎn)閉合，而繼電器的常開觸點(diǎn)連接在電極與地之間，并且該常開觸點(diǎn)閉合，因此電極與地連接，從而達(dá)到靜電釋放的目的。上述實施過程從信號處理板的功能角度對信號處理板進(jìn)行描述，相信本領(lǐng)域技術(shù)人員可以通過邏輯電路等，實現(xiàn)該信號處理板的功能，在此就不對該信號處理板的具體實現(xiàn)方式進(jìn)行描述。在本發(fā)明實施例中為了進(jìn)一步提高靜電釋放的可控性，該信號處理板122可以包括射頻電源使能信號輸入端和開始信號輸入端，即該信號處理板122的輸入信號包括射頻電源使能信號以及開始信號。為了實現(xiàn)及時釋放電極上的靜電，提高靜電釋放的效率，在本發(fā)明實施例中信號處理板122的射頻電源使能信號的工作和停止頻率，和/或開始信號的工作和停止頻率，與所述電極上加入的射頻信號的工作和停止的頻率相同。該信號處理板的開始信號可以為恒定的電壓信號。該實施方式與上述實現(xiàn)方式基本相同。該信號處理板122的射頻電源使能信號輸入端輸入的射頻電源使能信號的工作和停止頻率，與所述電極上加入的射頻信號的工作和停止頻率相同時包括當(dāng)電極上加入射頻信號的同時在該信號處理板122的射頻電源使能信號輸入端亦輸入射頻電源使能信號，當(dāng)電極上停止加入射頻信號時，該信號處理板的射頻電源輸入端的輸入的射頻電源使能信號也停止。在本發(fā)明實施例中為了進(jìn)一步提高靜電釋放的效率，為了實現(xiàn)信號處理板輸入的射頻電源使能信號的工作和停止頻率，與電極上加入的射頻信號的工作和停止的頻率相同。同時由于主機(jī)通過射頻電源向電極上加入射頻信號，在本發(fā)明實施例中可以通過圖5 所示的靜電釋放控制模塊12的內(nèi)部連接邏輯示意圖實現(xiàn)。該靜電釋放控制模塊12包括信號處理板122以及繼電器。其中信號處理板122的輸入信號包括射頻電源使能信號以及開始信號。信號處理板輸入的輸入信號的停止和工作頻率，可以根據(jù)電極上加入的射頻信號的工作和停止頻率進(jìn)行控制。信號處理板122的輸入端接收到射頻電源使能信號和開始信號時，經(jīng)過邏輯電路和放大處理等，信號處理板122的輸出端將輸出輸出信號，例如該輸出端可以輸出24V直流電壓信號。信號處理板122輸出的電壓信號加載在繼電器的電感線圈兩端。由于該繼電器的電感線圈兩端加載電壓，則該繼電器的一對常閉觸點(diǎn)打開，該繼電器的一對常閉觸點(diǎn)的一端接地，另一端接電極，因此當(dāng)該常閉觸點(diǎn)打開時，電極與地處于斷開狀態(tài)。當(dāng)該繼電器的電感線圈兩端加載電壓時，該繼電器的一對常開觸點(diǎn)閉合，該繼電器的常開觸點(diǎn)的一端連接信號處理板的開始信號輸入端，另一端連接使電極工作的射頻電源控制端，當(dāng)該控制端接收到電壓信號時，該控制端控制射頻電源輸出射頻信號，并將該射頻信號加入到電極上，當(dāng)控制端沒有接收到電壓信號時，該射頻電源沒有射頻信號輸出到電極上。因此由于該常開觸點(diǎn)閉合時，該射頻電源的控制端接收到控制信號，控制射頻電源開始為電極提供射頻信號，該電極在射頻信號的作用下開始工作。當(dāng)該信號處理板122輸入端接收到的射頻電源使能信號停止，和/或開始信號停止時，則該信號處理板122的輸出端沒有信號輸出。當(dāng)繼電器的電感線圈兩端沒有加載電壓時，該繼電器的常開觸點(diǎn)打開，由于該常開觸點(diǎn)連接在信號處理板122的開始信號輸入端與使電極工作的射頻電源的控制端之間，由于該常開觸點(diǎn)打開，因此該射頻電源的控制端沒有接收到控制信號，因此該射頻電源不能向電極輸出射頻信號，該電極停止工作。同時，繼電器的一對常閉觸點(diǎn)由于繼電器的電感線圈兩端沒有加載電壓，該常閉觸點(diǎn)閉合，由于該常閉觸點(diǎn)連接在地與電極之間，因此此時電極與地連通，電極上聚集的靜電可以得到釋放。在本發(fā)明實施例中靜電釋放控制模塊控制電極與地的連接和斷開，對應(yīng)電極上所加射頻信號的停止與開始形成嚴(yán)密的邏輯關(guān)系，以保證真空干法刻蝕機(jī)的安全運(yùn)行。由于晶圓產(chǎn)品存在較特殊的結(jié)構(gòu)，例如為夾心結(jié)構(gòu)，在該晶圓產(chǎn)品的表層或里層聚集的導(dǎo)電集合體可能不會隨著射頻電源的停止而消失，而始終駐留在晶圓產(chǎn)品上。因此為了釋放真空干法刻蝕機(jī)上進(jìn)行傳片的晶圓產(chǎn)品上的靜電，并且由于在傳片過程中與晶圓產(chǎn)品進(jìn)行接觸的為機(jī)械手臂上的抓爪，抓爪通過伸張與收縮來抓住晶圓產(chǎn)品的邊緣進(jìn)行裝取片。因此抓爪與晶圓產(chǎn)品的接觸面可以采用金屬材料，例如同時為了減輕抓爪的重量，該金屬材料可以采用金屬鋁。通過在該金屬材料上固定與地連接的導(dǎo)線，實現(xiàn)對晶圓產(chǎn)品上靜電的釋放。由于大地中也可能具有返地電流，該電流將會對晶圓產(chǎn)品上的靜電釋放造成一定的影響，因此在本發(fā)明實施例中可以將與抓爪固定的導(dǎo)線通過間接方式接地，例如連接在機(jī)械手臂的未用通道中，從而實現(xiàn)靜電釋放的目的。本發(fā)明實施例提供了一種真空干法刻蝕機(jī)的靜電釋放方法，在所述真空干法刻蝕機(jī)的電極與地之間連接靜電釋放控制模塊，所述方法包括
在所述真空干法刻蝕機(jī)的電極上停止加入射頻電壓時，所述控制靜電釋放控制模
塊控制所述電極與地接通，釋放所述電極上聚集的靜電。 所述控制靜電釋放控制模塊控制所述電極與地接通包括當(dāng)所述電極上加入的射頻電源停止時，停止向所述控制靜電釋放控制模塊中的繼電器的電感線圈輸出電壓信號，所述繼電器的常閉觸點(diǎn)在電感線圈接收不到電壓信號時， 控制所述電極與地接通。所述控制靜電釋放控制模塊控制所述電極與地接通包括在所述電極上加入的射頻電源停止時，控制向所述靜電釋放控制模塊中的繼電器的電感線圈輸出電壓信號，所述繼電器的常開觸點(diǎn)在電感線圈接收電壓信號時，控制所述電極與接通。本發(fā)明實施例提供了一種真空干法刻蝕機(jī)靜電釋放的方法及裝置，在真空干法刻蝕機(jī)中的電極通過連接靜電釋放控制模塊，通過靜電釋放控制模塊控制電極與地的開合， 從而實現(xiàn)將真空干法刻蝕機(jī)上聚集的靜電釋放到大地，進(jìn)而降低真空干法刻蝕機(jī)的傳片故障率。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種真空干法刻蝕機(jī)，包括電極和用于通過抓爪抓取所述電極上傳輸?shù)木A的機(jī)械手臂，其特征在于，還包括靜電釋放控制模塊；所述靜電釋放控制模塊的一端與所述電極相連，另一端接地，用于控制所述電極與地的開合。
2.如權(quán)利要求1所述的真空干法刻蝕機(jī)，其特征在于，所述靜電釋放控制模塊采用手動控制或自動控制。
3.如權(quán)利要求2所述的真空干法刻蝕機(jī)，其特征在于，當(dāng)所述靜電釋放控制模塊采用自動控制時，所述靜電釋放控制模塊包括繼電器，所述繼電器包括電感線圈及常閉觸點(diǎn)，其中所述常閉觸點(diǎn)在電感線圈接收不到電壓信號時，控制所述電極與地接通；信號處理板，用于在所述電極上加入的射頻信號停止時，停止向所述繼電器的電感線圈輸出電壓信號。
4.如權(quán)利要求3所述的真空干法刻蝕機(jī)，其特征在于，所述信號處理板的輸入信號包括射頻電源使能信號和開始信號，其中所述射頻電源使能信號的工作和停止頻率，與所述電極上加入的射頻信號的工作和停止的頻率相同。
5.如權(quán)利要求4所述的真空干法刻蝕機(jī)，其特征在于，所述繼電器還包括一對常開觸點(diǎn)，所述一對常開觸點(diǎn)分別連接信號處理板的開始信號輸入端以及使電極工作的射頻電源的控制端。
6.如權(quán)利要求1所述的真空干法刻蝕機(jī)，其特征在于，還包括所述抓爪采用金屬材料。
7.如權(quán)利要求6所述的真空干法刻蝕機(jī)，其特征在于，所述抓爪通過導(dǎo)線與地連接。
8.一種真空干法刻蝕機(jī)的靜電處理方法，其特征在于，在所述真空干法刻蝕機(jī)的電極與地之間連接靜電釋放控制模塊，所述方法包括在所述真空干法刻蝕機(jī)的電極上停止加入射頻信號時，所述靜電釋放控制模塊控制所述電極與地接通，釋放所述電極上聚集的靜電。
9.如權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，所述控制靜電釋放控制模塊控制所述電極與地接通包括當(dāng)所述電極上加入的射頻信號停止時，停止向所述靜電釋放控制模塊中的繼電器的電感線圈輸出電壓信號，所述繼電器的常閉觸點(diǎn)在電感線圈接收不到電壓信號時，控制所述電極與地接通。
10.如權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，所述控制靜電釋放控制模塊控制所述電極與地接通包括在所述電極上加入的射頻信號停止時，控制向所述靜電釋放控制模塊中的繼電器的電感線圈輸出電壓信號，所述繼電器的常開觸點(diǎn)在電感線圈接收電壓信號時，控制所述電極與接通。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種真空干法刻蝕機(jī)的靜電處理裝置，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中真空干法刻蝕機(jī)傳片故障率高的問題。該裝置包括電極和機(jī)械手臂，所述真空干法刻蝕機(jī)還包括靜電釋放控制模塊，所述靜電釋放控制模塊的一端與所述電極相連，另一端接地，用于控制所述電極與地的開合。本發(fā)明實施例還提供了一種真空干法刻蝕機(jī)的靜電處理方法。如本發(fā)明提出的方案，通過靜電釋放控制模塊控制電極與地的開合，從而實現(xiàn)將真空干法刻蝕機(jī)上聚集的靜電釋放到大地，進(jìn)而降低真空干法刻蝕機(jī)的傳片故障率。
文檔編號H02H9/04GK102263408SQ20101019227
公開日2011年11月30日 申請日期2010年5月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月26日
發(fā)明者左迪建, 張進(jìn) 申請人:北大方正集團(tuán)有限公司, 深圳方正微電子有限公司