專利名稱：真空泵用屏蔽電機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及真空設(shè)備領(lǐng)域，具體說是一種真空泵用屏蔽電機。
背景技術(shù)：
普通電機與真空泵的連接采用剛性聯(lián)軸器連接，當電機與泵軸通過剛性聯(lián)軸器傳 遞動力時，起動沖擊較大，在高轉(zhuǎn)速情況下還可能出現(xiàn)異常尖銳叫噪聲；普通電機與真空泵 連接，其主動軸的密封使用軸封，由于高頻振動及材料原因，軸封磨損較快，需要頻繁更換， 容易出現(xiàn)真空腔內(nèi)介質(zhì)泄漏的問題。

實用新型內(nèi)容為解決上述技術(shù)問題，本實用新型的目的是提供一種解決普通電機使用上由于軸 封磨損導(dǎo)致的介質(zhì)污染問題、剛性聯(lián)軸器引起的高頻振動與起動沖擊噪聲問題的真空泵用 屏蔽電機，并且適合粉塵等惡劣工藝環(huán)境。具體方案是一種真空泵用屏蔽電機，包括真空泵殼、真空泵殼端蓋、電機殼、屏蔽罩、端板，所 述屏蔽罩、電機殼、端板焊接為一個整體，并在內(nèi)部形成一個密閉腔，電機定子設(shè)置在所述 密閉腔內(nèi)，電機轉(zhuǎn)子熱脹裝配于主動軸上，所述密閉腔與電機轉(zhuǎn)子均處于真空腔內(nèi)部，但密 閉腔與真空環(huán)境隔絕，可通過引線孔直通大氣；為解決屏蔽電機溫升問題，所述電機殼的外壁車削有螺旋槽，還設(shè)置有套筒，所述 套筒套裝電機殼外，并與電機殼過盈配合形成閉合的冷卻水槽，冷卻水入口孔和出口孔在 電機殼端蓋上；電機殼與真空泵殼端蓋之間采用兩個0型氟橡膠圈密封，使密封圈間的環(huán)形空 間，可直通大氣；電機轉(zhuǎn)子與屏蔽罩的間隙小于0. 2mm ；本實用新型中，電機轉(zhuǎn)子與真空泵軸為熱裝配，裝配后進行電機轉(zhuǎn)子外徑加工，以 保證同軸度小于0. 015mm ；轉(zhuǎn)子需經(jīng)過動平衡檢測，不平衡量小于lgmm。本實用新型具有如下優(yōu)點本實用新型的電機轉(zhuǎn)子熱裝配在真空泵軸上，不存在 電機與真空泵主動軸的剛性連接問題，可以避免普通電機的起動沖擊。電機整體在真空腔 體內(nèi)部，使真空泵結(jié)構(gòu)緊湊，并將真空泵主動軸與泵體與電機定子間的動密封轉(zhuǎn)換為腔體 間的靜密封，可以避免軸封磨損泄漏問題。電機定子為一體結(jié)構(gòu)，適合粉塵等惡劣工藝環(huán)境。

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為左視圖。其中1、電機殼，2、套筒，3、屏蔽罩，4、端板，5、主動軸，6、轉(zhuǎn)子，7、真空泵腔，8、氟 橡膠0圈A，9、氟橡膠0圈B，10、真空泵殼，101、真空泵殼端蓋，102、螺旋槽，11、固定用螺紋孔，12、進水口，13、出水口，14、引線孔，15、密封面A，16、密封面B。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖具體說明本實用新型，如圖1所示，本實用新型為一種真空泵用屏 蔽電機，包括真空泵殼10、真空泵殼端蓋101、電機殼1、屏蔽罩3、端板4，所述屏蔽罩3、電 機殼1、端板4焊接為一個整體，并在內(nèi)部形成一個密閉腔，電機定子設(shè)置在所述密閉腔內(nèi)， 電機轉(zhuǎn)子6熱脹裝配于主動軸5上，所述密閉腔與電機轉(zhuǎn)子6均處于真空腔7內(nèi)部，但密閉 腔與真空環(huán)境隔絕，可通過弓I線孔直通大氣。為解決屏蔽電機溫升問題，所述電機殼1的外壁車削有螺旋槽102，還設(shè)置有套筒 2，所述套筒2套裝電機殼1外，并與電機殼1過盈配合形成閉合的冷卻水槽，冷卻水進水孔 12和出水孔13在真空泵殼端蓋101上。氟橡膠0圈A8、氟橡膠0圈B9與密封面A15、密封面B16配合，使電機殼1的側(cè)面 形成環(huán)形空間，可以直通大氣，固定用螺紋孔11、進水口 12、出水口 13、引線孔14均在此環(huán) 形空間中，并可直通真空泵外部。閉腔內(nèi)通過固定用螺紋孔11，由螺釘固定在真空泵殼10 上，電機定子由外部水冷降溫。電機轉(zhuǎn)子6與屏蔽罩3的間隙小于0. 2mm。本實用新型中，電機轉(zhuǎn)子6與真空泵軸5為熱裝配，裝配后進行電機轉(zhuǎn)子6外徑加 工，以保證同軸度小于0. 015mm ；轉(zhuǎn)子6需經(jīng)過動平衡檢測，不平衡量小于lgmm。電機電源接通時，電機轉(zhuǎn)子6帶動主動軸5轉(zhuǎn)動，真空腔7被抽成真空狀態(tài)，此時 電機整體在真空室內(nèi)，泵體與電機之間為靜密封。
權(quán)利要求一種真空泵用屏蔽電機，其特征在于包括真空泵殼、電機殼、屏蔽罩、端板，所述屏蔽罩、電機殼、端板焊接為一個整體，并在內(nèi)部形成一個密閉腔，電機定子設(shè)置在所述密閉腔內(nèi)，電機轉(zhuǎn)子熱脹裝配于主動軸上，所述密閉腔與電機轉(zhuǎn)子均處于真空腔內(nèi)部，但密閉腔與真空環(huán)境隔絕，可通過引線孔直通大氣。
2.按權(quán)利要求1所述的真空泵用屏蔽電機，其特征在于所述電機殼的外壁車削有螺 旋槽，還設(shè)置有套筒，所述套筒套裝電機殼外，并與電機殼過盈配合形成閉合的冷卻水槽， 冷卻水入口孔和出口孔在電機殼端蓋上。
3.按權(quán)利要求1所述的真空泵用屏蔽電機，其特征在于電機殼與真空泵殼端蓋之間采 用兩個0型氟橡膠圈密封。
4.按權(quán)利要求1所述的真空泵用屏蔽電機，其特征在于電機轉(zhuǎn)子與屏蔽罩的間隙小 于 0. 2mmο
專利摘要本實用新型公開一種真空泵用屏蔽電機，包括真空泵殼、電機殼、屏蔽罩、端板，所述屏蔽罩、電機殼、端板焊接為一個整體，并在內(nèi)部形成一個密閉腔，電機定子設(shè)置在所述密閉腔內(nèi)，電機轉(zhuǎn)子熱脹裝配于主動軸上，所述密閉腔與電機轉(zhuǎn)子均處于真空腔內(nèi)部，但密閉腔與真空環(huán)境隔絕，可通過引線孔直通大氣。本實用新型具有如下優(yōu)點電機轉(zhuǎn)子熱裝配在真空泵軸上，不存在電機與真空泵主動軸的剛性連接問題，可以避免普通電機的起動沖擊。電機整體在真空腔體內(nèi)部，使真空泵結(jié)構(gòu)緊湊，并將真空泵主動軸與泵體與電機定子間的動密封轉(zhuǎn)換為腔體間的靜密封，可以避免軸封磨損泄漏問題。電機定子為一體結(jié)構(gòu)，適用于多粉塵等的苛刻工藝環(huán)境，如半導(dǎo)體、光伏、制藥、冶金等行業(yè)。
文檔編號H02K15/00GK201699506SQ20102022418
公開日2011年1月5日 申請日期2010年6月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月12日
發(fā)明者孔祥玲, 張振厚, 王光玉, 薛玉茹 申請人:中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司