慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明具有：位移單元(壓電元件)(103)，在第1方向以及與第1方向相反的第2方向上產(chǎn)生微小位移；線圈(102)，在與位移單元(壓電元件)(103)不同的方向上產(chǎn)生磁通；移動(dòng)件，具有與線圈(102)的至少一個(gè)面對(duì)置的面，具有使線圈(102)所產(chǎn)生的磁通集中于規(guī)定的位置的第1軛；檢測(cè)單元(104)，對(duì)反映基于移動(dòng)件(移動(dòng)體)(101)與線圈(102)的位置關(guān)系的線圈附近的磁通變化的線圈(102)的電信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)；判定單元(105)，基于檢測(cè)單元(104)的輸出來判定移動(dòng)件(移動(dòng)體)(101)的位置，其中，通過控制從線圈(102)產(chǎn)生的磁通，控制作用于移動(dòng)件(移動(dòng)體)(101)的摩擦力來驅(qū)動(dòng)移動(dòng)件(移動(dòng)體)(101)，線圈(102)進(jìn)行磁通的產(chǎn)生和磁通的檢測(cè)。
【專利說明】慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器。

【背景技術(shù)】
[0002]已知一種如下致動(dòng)器:該致動(dòng)器向與驅(qū)動(dòng)軸結(jié)合的電氣機(jī)械變換元件提供鋸齒狀波驅(qū)動(dòng)脈沖來使驅(qū)動(dòng)軸在軸向上位移，使與該驅(qū)動(dòng)軸摩擦結(jié)合的移動(dòng)構(gòu)件在軸向上移動(dòng)。下面，將這種致動(dòng)器稱為“慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器”。這種慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器例如在專利文獻(xiàn)I中提出。
[0003]在以往的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器中，壓電元件的一端固定于固定構(gòu)件，另一端固定于振動(dòng)基板的一端。在振動(dòng)基板上配置有能夠在壓電元件的振動(dòng)方向上移動(dòng)的移動(dòng)體。在此，固定基板或振動(dòng)基板由磁性材料(例如鐵、具有磁性的不銹鋼)構(gòu)成，吸附部也是磁性材料。當(dāng)對(duì)線圈施加電流時(shí)產(chǎn)生磁場(chǎng)。所產(chǎn)生的磁場(chǎng)還在吸附部中產(chǎn)生磁場(chǎng)。通過吸附部中產(chǎn)生的磁場(chǎng)，對(duì)作為磁性材料的振動(dòng)基板或固定構(gòu)件產(chǎn)生磁吸附力，移動(dòng)體與振動(dòng)基板貼緊，在其間產(chǎn)生摩擦力。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特開2009-177974號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]發(fā)明要解決的問題
[0008]在以往的通過磁吸附力進(jìn)行摩擦力的控制的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器中，為了檢測(cè)移動(dòng)體的位置，需要設(shè)置位移傳感器。作為位移傳感器，能夠使用光學(xué)傳感器、電容傳感器、光學(xué)傳感器、磁傳感器、渦流傳感器等。使用哪一種位移傳感器，都存在包括傳感器在內(nèi)的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器整體的尺寸變大這樣的問題。
[0009]本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的，其目的在于提供不使慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器的尺寸變大而能夠進(jìn)行移動(dòng)體的位置檢測(cè)的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器。
[0010]用于解決問題的方案
[0011]為了解決上述問題并達(dá)到目的，本發(fā)明所涉及的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器的特征在于，具有:位移單兀，在第I方向以及與所述第I方向相反的第2方向上產(chǎn)生微小位移；線圈,在與位移單元不同的方向上產(chǎn)生磁通；移動(dòng)件，具有與線圈的至少一個(gè)面對(duì)置的面，具有使線圈所產(chǎn)生的磁通集中于規(guī)定的位置的第I軛；檢測(cè)單元，對(duì)線圈的電信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)，該線圈的電信號(hào)是反映基于移動(dòng)件與線圈的位置關(guān)系而產(chǎn)生的線圈附近的磁通變化的信號(hào)；以及判定單元，基于檢測(cè)單元的輸出來判定移動(dòng)件的位置，其中，通過控制從線圈產(chǎn)生的磁通，控制作用于移動(dòng)件的摩擦力來驅(qū)動(dòng)移動(dòng)件，線圈進(jìn)行磁通的產(chǎn)生和磁通的檢測(cè)。
[0012]發(fā)明效果
[0013]根據(jù)本發(fā)明，起到能夠提供一種不使尺寸變大而能夠進(jìn)行移動(dòng)體的位置檢測(cè)的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器的效果。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1 (a)是從上面觀察的第I實(shí)施方式所涉及的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器的圖，(b)是從側(cè)面觀察的圖，(C)是表示剖面結(jié)構(gòu)的圖。
[0015]圖2(a)、(b)、(C)是說明移動(dòng)體的位置檢測(cè)的原理的圖。
[0016]圖3是說明移動(dòng)體的位置變化與磁通變化的關(guān)系的圖。
[0017]圖4(a)是從上面觀察第2實(shí)施方式所涉及的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器的圖，(b)是從側(cè)面觀察的圖，(C)是表示剖面結(jié)構(gòu)的圖。
[0018]圖5 (a)是從上面觀察第3實(shí)施方式所涉及的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器的圖，(b)是從側(cè)面觀察的圖，(C)是表示剖面結(jié)構(gòu)的圖。
[0019]圖6 (a)是從上面觀察第4實(shí)施方式所涉及的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器的圖，(b)是從側(cè)面觀察的圖，(C)是表示剖面結(jié)構(gòu)的圖。
[0020]圖7 (a)是從上面觀察第5實(shí)施方式所涉及的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器的圖，(b)是從側(cè)面觀察的圖，(C)是表示剖面結(jié)構(gòu)的圖。

【具體實(shí)施方式】
[0021]下面，基于附圖詳細(xì)說明本發(fā)明所涉及的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器的實(shí)施方式。此外，本發(fā)明不限定于該實(shí)施方式。
[0022](第I實(shí)施方式)
[0023]基于圖1 (a)、(b)、(C)說明第I實(shí)施方式所涉及的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器。
[0024]慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器100具有移動(dòng)體101、線圈102、壓電元件103、檢測(cè)單元104以及判定單元105。
[0025]壓電元件103 (位移單元)在第I方向以及與第I方向相反的第2方向上產(chǎn)生微小位移。
[0026]線圈102在與壓電元件103不同的方向上產(chǎn)生磁通。
[0027]移動(dòng)體101 (移動(dòng)件)具有與線圈102的至少一個(gè)面對(duì)置的面，構(gòu)成使線圈102所產(chǎn)生的磁通集中于規(guī)定的位置的第I軛。
[0028]檢測(cè)單元104對(duì)反映基于移動(dòng)體101與線圈102的位置關(guān)系的線圈附近的磁通變化的線圈102的電信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)。
[0029]判定單元105基于檢測(cè)單元104的輸出來判定移動(dòng)體101的位置。后面說明位置判定的詳細(xì)內(nèi)容。
[0030]而且，通過控制從線圈102產(chǎn)生的磁通，控制在移動(dòng)體101與線圈102之間起作用的摩擦力來驅(qū)動(dòng)移動(dòng)體101。
[0031]線圈102進(jìn)行磁通的產(chǎn)生和磁通的檢測(cè)。
[0032]由此，起到以下效果。
[0033].根據(jù)線圈102與移動(dòng)體101的位置關(guān)系，線圈102附近的磁通量發(fā)生變化。
[0034].由于線圈102附近的磁通量發(fā)生變化，線圈102的電信號(hào)(阻抗)發(fā)生變化。
[0035].根據(jù)線圈102的電信號(hào)能夠檢測(cè)移動(dòng)體的位置。
[0036]接著，更詳細(xì)說明在本實(shí)施方式中檢測(cè)移動(dòng)體101的位置的結(jié)構(gòu)。
[0037]首先，在本實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)中，根據(jù)線圈102與移動(dòng)體101的相對(duì)位置關(guān)系，線圈102附近的磁通量發(fā)生變化。另外，由于線圈102附近的磁通量變化，線圈102的電信號(hào)(阻抗)發(fā)生變化。
[0038]接著，說明基于移動(dòng)體101的位置的磁通變化。
[0039]圖2(a)、(b)、(C)分別是表示移動(dòng)體101處于不同的位置時(shí)的磁通的變化的圖。在圖中，以虛線表示移動(dòng)體101，以粗的虛線表示流過移動(dòng)體101的經(jīng)過線圈102的內(nèi)側(cè)的磁通。
[0040]按圖2(a)、(b)、(C)的順序示出了移動(dòng)體101相對(duì)于線圈102從左端向中央移動(dòng)的狀態(tài)。關(guān)于從中央向右側(cè)的移動(dòng)，與從左側(cè)向中央移動(dòng)時(shí)具有對(duì)稱的關(guān)系，因此省略重復(fù)的說明。
[0041]為了使說明簡(jiǎn)單，在圖2(a)、(b)、(C)中，以虛線表示的箭頭的數(shù)量反映透過移動(dòng)體101的磁通量的總和。
[0042]為了使說明簡(jiǎn)單，圖中的距離Ad表示在從移動(dòng)體101遠(yuǎn)離距離Ad的位置處也能夠使得磁通流過移動(dòng)體101的距離。下面，按圖2(a)、(b)、(C)的順序進(jìn)行說明。
[0043]圖2 (a)是移動(dòng)體101存在于線圈102的左端的位置的狀態(tài)。關(guān)于從移動(dòng)體101的右側(cè)至距離Ad，經(jīng)過線圈102的內(nèi)側(cè)的磁通流過移動(dòng)體101。關(guān)于比距離(間隔)Ad的右端更靠右側(cè)的區(qū)域，成為漏磁通，因此磁通不經(jīng)過移動(dòng)體101。
[0044]芯或比線圈102的內(nèi)側(cè)更靠左側(cè)的區(qū)域不是產(chǎn)生磁通的部位。因此，在圖2(a)中，移動(dòng)體101覆蓋線圈102的內(nèi)側(cè)的部分和右側(cè)的與距離Ad相當(dāng)?shù)膮^(qū)域成為經(jīng)過移動(dòng)體101的磁通量。
[0045]圖2 (b)是移動(dòng)體101移動(dòng)到比線圈102的左端的位置更靠右側(cè)的位置的狀態(tài)。關(guān)于從移動(dòng)體101的右側(cè)至距離Ad的位置，與圖2(a)同樣地，經(jīng)過線圈102的內(nèi)側(cè)的磁通流過移動(dòng)體101。
[0046]另外，關(guān)于比離移動(dòng)體101的右側(cè)距離Ad的位置更靠右側(cè)的區(qū)域，成為漏磁通。因此，磁通不經(jīng)過移動(dòng)體101。移動(dòng)體101的左側(cè)的區(qū)域也與該右側(cè)的區(qū)域同樣地，到距離Ad的位置為止經(jīng)過線圈102的內(nèi)側(cè)的磁通流過移動(dòng)體101。另外，芯或線圈102的內(nèi)側(cè)處于距離Ad的范圍內(nèi)，因此左側(cè)的到距離Ad的一部分為止的磁通流過移動(dòng)體。
[0047]因而，從移動(dòng)體101的左側(cè)至線圈102的內(nèi)側(cè)端部、移動(dòng)體101的部分、以及離移動(dòng)體101的右側(cè)距離Ad的區(qū)域在圖2(b)中成為經(jīng)過移動(dòng)體101的磁通量。
[0048]圖2(c)是移動(dòng)體101位于線圈102的中央的狀態(tài)。關(guān)于移動(dòng)體101的右側(cè)以及從左側(cè)至距離Ad的區(qū)域，經(jīng)過線圈101的內(nèi)側(cè)的磁通流過移動(dòng)體101。
[0049]因而，離移動(dòng)體101的左側(cè)距離Ad、移動(dòng)體101的部分以及離移動(dòng)體101的右側(cè)距離Ad的部分成為經(jīng)過移動(dòng)體101的磁通量。
[0050]如上述說明，在關(guān)于經(jīng)過移動(dòng)體的磁通量將圖2(a)、(b)、(C)的3個(gè)狀態(tài)進(jìn)行了比較的情況下，經(jīng)過移動(dòng)體101的磁通量大的狀態(tài)為圖2(c)、(b)、(a)所示的順序。因而，在本實(shí)施方式中，移動(dòng)體101位于線圈102的中央的狀態(tài)時(shí)經(jīng)過移動(dòng)體101的磁通量最多。而且，隨著移動(dòng)體101向線圈102的端部移動(dòng)，經(jīng)過移動(dòng)體101的磁通量減少。
[0051]此外，在圖2中，設(shè)置有磁鐵106、軛107，但是并不是在本說明中必須的結(jié)構(gòu)要素。
[0052]接著，基于圖3說明移動(dòng)體101的位置與磁通變化的關(guān)系。
[0053]具有在圖2(a)、(b)、(C)中說明的根據(jù)移動(dòng)體101位于線圈102的中央的狀態(tài)，經(jīng)過移動(dòng)體101的磁通增加的趨勢(shì)。圖3表示移動(dòng)體101的位置與經(jīng)過移動(dòng)體101的磁通量的關(guān)系。
[0054]在圖3中，橫軸P表不移動(dòng)體101的位置。相對(duì)于線圈102,分別表不了移動(dòng)體101的中央的位置C、右端的位置R、左端的位置L?？v軸FL表示磁通量。
[0055]在向線圈102流通了交流的情況下，經(jīng)過移動(dòng)體101的磁通量也隨著交流而發(fā)生變化。因此，產(chǎn)生因磁通量的變化產(chǎn)生的反電動(dòng)勢(shì)，對(duì)線圈102自身帶來影響。
[0056]經(jīng)過線圈102附近的移動(dòng)體101的磁通量的變化引起對(duì)線圈101自身帶來影響的反電動(dòng)勢(shì)的變化。因此,如果經(jīng)過移動(dòng)體101的磁通多，則與經(jīng)過移動(dòng)體101的磁通小時(shí)相比，線圈102的電阻、電感變大。
[0057]因而，關(guān)于線圈102的電阻、電感，也成為與圖3所示的經(jīng)過移動(dòng)體101的磁通量變化同等的趨勢(shì)。如圖3所示，對(duì)于移動(dòng)體101的位置具有依賴性，因此在本實(shí)施方式中，是能夠檢測(cè)移動(dòng)體101的位置的結(jié)構(gòu)。
[0058]實(shí)際上，經(jīng)過移動(dòng)體101的磁通量以外的磁通也對(duì)線圈102的阻抗帶來影響。作為結(jié)果，經(jīng)過移動(dòng)體101的磁通量以外的磁通也反映在經(jīng)過移動(dòng)體101的磁通量上。因此，關(guān)于基于移動(dòng)體101的位置的、線圈102的電信號(hào)的變化，以經(jīng)過移動(dòng)體101的磁通量來進(jìn)行說明。
[0059]返回圖1繼續(xù)說明。本實(shí)施方式的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器100具有線圈102、壓電元件103、移動(dòng)體101、檢測(cè)單元104、判定單元105。移動(dòng)體101是磁性體。移動(dòng)體101具有封閉線圈102所產(chǎn)生的磁通的軛(第I軛)的作用。例如在圖6(c)中使用箭頭來表示磁通的封閉方法。
[0060]而且，將線圈102連接到檢測(cè)單元104，檢測(cè)線圈102的電輸出信號(hào)。通過判定單元105根據(jù)來自檢測(cè)單元104的輸出來判定移動(dòng)體101的位置。關(guān)于移動(dòng)體101的位置與線圈102的電信號(hào)的關(guān)系如上所述。
[0061]根據(jù)移動(dòng)體101的位置，線圈102所產(chǎn)生的磁通經(jīng)過移動(dòng)體101的量發(fā)生變化。在經(jīng)過移動(dòng)體101的磁通量多時(shí)，由于反電動(dòng)勢(shì)的影響，線圈102的電阻和電感增加。因此，通過檢測(cè)線圈102的阻抗，能夠檢測(cè)移動(dòng)體101的位置。
[0062]檢測(cè)單元104是檢測(cè)線圈102的阻抗的檢測(cè)電路。通過判定單元105根據(jù)反映阻抗值的來自檢測(cè)單元104的輸出信號(hào)判定位置。并且，通過與來自檢測(cè)單元104的剛剛之前的輸出信號(hào)進(jìn)行比較，判定單元105不僅能夠判定位置，還能夠判定移動(dòng)體101移動(dòng)的方向。
[0063]由此，起到以下效果。
[0064].通過檢測(cè)阻抗的實(shí)部(電阻)來能夠進(jìn)行位置檢測(cè)。
[0065].通過檢測(cè)阻抗的虛部(電感)來能夠進(jìn)行位置檢測(cè)。
[0066].通過檢測(cè)阻抗的大小來能夠進(jìn)行位置檢測(cè)。
[0067].電感由于溫度依賴性小，因此從溫度影響的觀點(diǎn)來看電感檢測(cè)有效果。
[0068]另外，通過將由判定單元105判定的移動(dòng)體位置信息反饋給未圖示的致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)電路，能夠進(jìn)行位置控制驅(qū)動(dòng)。
[0069]在本實(shí)施方式中，根據(jù)磁力的變化來進(jìn)行慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器的摩擦控制。而且，還能夠防止因反復(fù)驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生的磨耗劣化。
[0070]另外，設(shè)為如下結(jié)構(gòu):為了控制移動(dòng)體101的摩擦力而由電磁線圈產(chǎn)生的磁通通過移動(dòng)體101被封閉。當(dāng)將控制摩擦力的磁通的路徑設(shè)為驅(qū)動(dòng)磁通路徑時(shí)，根據(jù)移動(dòng)體101的位置，驅(qū)動(dòng)磁通路徑的磁通量發(fā)生變化。
[0071]因此，基于移動(dòng)體101與電磁線圈的位置關(guān)系，線圈102附近的磁通的流動(dòng)發(fā)生變化。因此，通過檢測(cè)電磁線圈的電特性，能夠進(jìn)行移動(dòng)體101的位置檢測(cè)。通過電磁線圈兼作驅(qū)動(dòng)和位置檢測(cè)，能夠提供與另外追加了位移傳感器的結(jié)構(gòu)相比致動(dòng)器尺寸不會(huì)增大、且能夠進(jìn)行位置檢測(cè)的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器。
[0072](第2實(shí)施方式)
[0073]接著，基于圖4(a)、(b)、(C)說明第2實(shí)施方式所涉及的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器200。
[0074]對(duì)與上述第I實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)附加相同的參照符號(hào)，省略重復(fù)的說明。在本實(shí)施方式中，是在第I實(shí)施方式的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器100的結(jié)構(gòu)中在線圈102的內(nèi)側(cè)進(jìn)一步追加了磁性體的芯201 (第2軛)的結(jié)構(gòu)。
[0075]也就是說，配置有至少一部分被插入在線圈102的內(nèi)側(cè)的第2軛。
[0076]由此，起到以下效果。
[0077].由于存在線圈102的芯201，基于位置的磁通變化增加。
[0078].檢測(cè)靈敏度提高。
[0079].能夠抑制線圈102的變形。
[0080]進(jìn)一步具體進(jìn)行說明。由于存在芯201，線圈102所產(chǎn)生的磁通量變多。由此，反映移動(dòng)體101的位置的線圈102的輸出信號(hào)變大。其結(jié)果，移動(dòng)體101的位置的檢測(cè)靈敏度提高。
[0081]在圖4中，芯201僅設(shè)置于線圈102的內(nèi)側(cè)。不限于此，也可以將芯201以向線圈102的外側(cè)(在紙面中左右方向和前后側(cè)方向)伸出的方式配置。例如，也可以將芯201配置到線圈102的外側(cè)，配置成延長(zhǎng)至移動(dòng)體101的下側(cè)附近。由此，通過移動(dòng)體101封閉線圈102的磁通的效率提高。
[0082](第3實(shí)施方式)
[0083]接著，基于圖5(a)、(b)、(C)說明第3實(shí)施方式所涉及的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器300。
[0084]對(duì)與上述各實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)附加相同的參照符號(hào)，省略重復(fù)的說明。
[0085]本實(shí)施方式是在芯201的下側(cè)或線圈102的下側(cè)追加了磁鐵301的結(jié)構(gòu)。
[0086]在此，以在與線圈102所產(chǎn)生的磁通的方向相同的方向上產(chǎn)生磁通的方式配置有磁鐵301。
[0087]由此，起到以下效果。
[0088].能夠始終保持移動(dòng)體101。
[0089].基于移動(dòng)體101的位置的磁通變化增加與磁鐵的磁通相應(yīng)的量。
[0090].檢測(cè)靈敏度提高。
[0091]進(jìn)一步具體說明上述效果。通過設(shè)置磁鐵301，始終產(chǎn)生磁通。因此，即使在線圈102不產(chǎn)生磁場(chǎng)的狀態(tài)下，也與線圈102所產(chǎn)生的磁通同樣地存在通過移動(dòng)體101封閉磁通的磁路徑。
[0092]由此，在線圈的方向上力始終作用于移動(dòng)體101，因此移動(dòng)體101被保持。另外，與磁鐵301的磁通相應(yīng)地，通過移動(dòng)體101的磁通量變多。因此，移動(dòng)體101的位置的檢測(cè)靈敏度提高。
[0093](第4實(shí)施方式)
[0094]接著，基于圖6(a)、(b)、(C)說明第4實(shí)施方式所涉及的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器400。
[0095]對(duì)與上述各實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)附加參照符號(hào)，省略重復(fù)的說明。
[0096]本實(shí)施方式是在磁鐵301的下側(cè)追加了作為磁性體的第3軛401的結(jié)構(gòu)。
[0097]也就是說，在與移動(dòng)體101和線圈102對(duì)置的方向相反的一側(cè)具有第3軛401。
[0098]由此，起到以下效果。
[0099].主磁通(與驅(qū)動(dòng)和檢測(cè)有關(guān)的磁通)的量增加。
[0100]?檢測(cè)靈敏度增加。
[0101].能夠誘發(fā)磁鐵的磁通。
[0102]進(jìn)一步具體說明上述效果。由于存在第3軛401，通過移動(dòng)體101的從線圈102和磁鐵301產(chǎn)生的磁通經(jīng)過磁路徑的磁通量增加。因此，移動(dòng)體101的位置的檢測(cè)靈敏度提聞。
[0103]在圖6(c)中，線圈102所產(chǎn)生的磁通的方向與磁鐵301所產(chǎn)生的磁通的方向成為平行的關(guān)系。磁通經(jīng)過芯201而經(jīng)過移動(dòng)體101，在移動(dòng)體101的下部傳到第3軛401，并傳到磁鐵301。經(jīng)過移動(dòng)體101的磁通被封閉。不經(jīng)過移動(dòng)體101的漏磁通無助于驅(qū)動(dòng)，而且也無助于反映位置檢測(cè)的線圈102的電信號(hào)。因而，減少漏磁通來增加經(jīng)過移動(dòng)體101的磁通量對(duì)于驅(qū)動(dòng)和位置檢測(cè)有效。
[0104](第5實(shí)施方式)
[0105]接著，基于圖7(a)、(b)、(C)說明第5實(shí)施方式所涉及的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器500。
[0106]對(duì)與上述各實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)附加相同的參照符號(hào)，省略重復(fù)的說明。
[0107]本實(shí)施方式是在移動(dòng)體101與線圈102之間追加了振動(dòng)平板501的結(jié)構(gòu)。
[0108]也就是說，在本實(shí)施方式中，在移動(dòng)體101與線圈102之間具有振動(dòng)平板501，振動(dòng)平板501隨著壓電元件103 (位移單元)的位移而位移。
[0109]由此，起到以下效果。
[0110]?振動(dòng)部變小。
[0111].能夠抑制因壓電元件103的小型化產(chǎn)生的發(fā)熱。
[0112]?能夠保護(hù)線圈102。
[0113]進(jìn)一步具體說明上述效果。通過壓電元件103，微小振動(dòng)的部位僅為振動(dòng)平板501。由此，能夠使用更小型的壓電元件103。其結(jié)果，能夠使因壓電元件103產(chǎn)生的消耗電力降低，抑制發(fā)熱。另外，線圈102與壓電元件103不接觸。因此，還起到保護(hù)線圈102的效果。
[0114]產(chǎn)業(yè)上的可利用性
[0115]如上，本發(fā)明對(duì)于不使慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器的尺寸變大而能夠進(jìn)行移動(dòng)體的位置檢測(cè)的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器有用。
[0116]附圖標(biāo)記說明
[0117]101:移動(dòng)體；
[0118]102:線圈；
[0119]103:壓電元件；
[0120]104:檢測(cè)單元；
[0121]105:判定單元；
[0122]106:磁鐵；
[0123]107:軛；
[0124]201:芯；
[0125]301:磁鐵；
[0126]401:軛；
[0127]501:振動(dòng)平板
【權(quán)利要求】
1.一種慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器，其特征在于，具有: 位移單兀，在第I方向以及與所述第I方向相反的第2方向上產(chǎn)生微小位移； 線圈，在與所述位移單元不同的方向上產(chǎn)生磁通； 移動(dòng)件，具有與所述線圈的至少一個(gè)面對(duì)置的面，具有使所述線圈所產(chǎn)生的磁通集中于規(guī)定的位置的第I軛； 檢測(cè)單元，對(duì)所述線圈的電信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)，該線圈的電信號(hào)是反映基于所述移動(dòng)件與所述線圈的位置關(guān)系而產(chǎn)生的線圈附近的磁通變化的信號(hào)；以及判定單元，基于所述檢測(cè)單元的輸出來判定所述移動(dòng)件的位置， 通過控制從所述線圈產(chǎn)生的磁通，控制作用于所述移動(dòng)件的摩擦力來驅(qū)動(dòng)所述移動(dòng)件， 所述線圈進(jìn)行磁通的產(chǎn)生和磁通的檢測(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器，其特征在于， 所述檢測(cè)單元是阻抗檢測(cè)電路。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器，其特征在于， 配置有至少一部分被插入在所述線圈的內(nèi)側(cè)的第2軛。
4.根據(jù)權(quán)利要求1?3中的任一項(xiàng)所述的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器，其特征在于， 以在與所述線圈所產(chǎn)生的磁通的方向相同的方向上產(chǎn)生磁通的方式配置有磁鐵。
5.根據(jù)權(quán)利要求1?4中的任一項(xiàng)所述的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器，其特征在于， 在與所述移動(dòng)件和所述線圈對(duì)置的方向相反的一側(cè)具有第3軛。
6.根據(jù)權(quán)利要求1?5中的任一項(xiàng)所述的慣性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器，其特征在于， 在所述移動(dòng)件與所述線圈之間具有振動(dòng)平板， 所述振動(dòng)平板隨著所述位移單元的位移而位移。
【文檔編號(hào)】H02N2/00GK104137411SQ201380009604
【公開日】2014年11月5日 申請(qǐng)日期:2013年4月17日 優(yōu)先權(quán)日:2012年5月17日
【發(fā)明者】高橋雅矢 申請(qǐng)人:奧林巴斯株式會(huì)社