技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種基于壓電驅(qū)動(dòng)的串并混連式三自由度精密驅(qū)動(dòng)平臺(tái)，屬于精密驅(qū)動(dòng)領(lǐng)域。包括上、下兩層驅(qū)動(dòng)單元，上層驅(qū)動(dòng)單元包括上層橋式柔性鉸鏈放大結(jié)構(gòu)A、上層橋式柔性鉸鏈放大結(jié)構(gòu)B、A型壓電疊堆Ⅰ、A型壓電疊堆Ⅱ，可實(shí)現(xiàn)X軸、Y軸方向的直線(xiàn)位移；下層驅(qū)動(dòng)單元包括上板、下層橋式柔性鉸鏈放大結(jié)構(gòu)、下板、B型壓電疊堆、弓形支撐，可實(shí)現(xiàn)Z軸方向的直線(xiàn)位移。優(yōu)點(diǎn)在于：可輸出X、Y、Z三個(gè)方向的精密位移，且體積小、結(jié)構(gòu)緊湊、控制簡(jiǎn)單，定位精度高、工作穩(wěn)定可靠，可應(yīng)用于精密與超精密加工、微機(jī)電系統(tǒng)、顯微操作等領(lǐng)域。位移輸出穩(wěn)定、載荷輸出大，能夠?qū)崿F(xiàn)小行程內(nèi)的高精度位移。

技術(shù)研發(fā)人員：孟祥非;王吉如;姜紹東;馬志超;吳彤
受保護(hù)的技術(shù)使用者：孟祥非;王吉如
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.25
技術(shù)公布日：2017.09.19