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一種透射電鏡用薄膜樣品的制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3254659

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本發(fā)明屬于電鏡薄膜樣品的制備技術(shù)。背景技術(shù)合金功能薄膜由于具有優(yōu)良的特性得到愈來(lái)愈廣泛的應(yīng)用,人們有必要通過(guò)透射電鏡技術(shù)對(duì)其微觀組織與結(jié)構(gòu)進(jìn)行研究,但用于透射電子顯微鏡觀察的薄膜樣品的厚度很小(一般在5~200nm之間),一般通過(guò)先在襯底上鍍上一層幾個(gè)微米厚的合金膜后,再通過(guò)機(jī)械減薄(如研磨)、電化學(xué)減薄或離子減薄等傳統(tǒng)方法使薄膜樣品達(dá)到電鏡觀察所要求的厚度。上述過(guò)程中容易造成應(yīng)變并引入假象,并對(duì)樣品的原始組織和結(jié)構(gòu)造成不同程度的損傷,從而不能很好地反映膜...
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