本技術(shù)涉及微距調(diào)節(jié),尤其涉及一種磁體位移機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù):
1、磁環(huán)位置調(diào)節(jié)器是用于磁環(huán)位置微距調(diào)節(jié)的部件,而目前所采用的磁環(huán)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)在低溫環(huán)境中存在著不能正常使用,同時(shí)在低溫環(huán)境中其精度變低的問(wèn)題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本實(shí)用新型提供了一種磁體位移機(jī)構(gòu),以解決上述現(xiàn)有技術(shù)的不足,能夠在低溫環(huán)境下正常使用,并且提高了調(diào)節(jié)時(shí)的精度,具有較強(qiáng)的實(shí)用性。
2、為了實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的目的,擬采用以下技術(shù):
3、一種磁體位移機(jī)構(gòu),包括磁鐵安裝圈,磁鐵安裝圈的外周成型有連接板,連接板的另一端垂直設(shè)有端板,端板上安裝有安裝板,安裝板上連接有z軸電機(jī),z軸電機(jī)的下端安裝有z軸轉(zhuǎn)接板,z軸轉(zhuǎn)接板的另一端設(shè)有y軸電機(jī),y軸電機(jī)設(shè)有x軸電機(jī),x軸電機(jī)上連接有固定板,固定板的一端安裝有安裝底座,固定板上開(kāi)設(shè)有矩形孔,安裝板在矩形孔內(nèi)移動(dòng)。其中,z軸電機(jī)能對(duì)磁鐵安裝圈的高度在粗調(diào)節(jié)時(shí)可進(jìn)行0-6毫米的調(diào)節(jié)。y軸電機(jī)能沿著z軸轉(zhuǎn)接板的寬度方向?qū)Υ盆F安裝圈的位置在粗調(diào)節(jié)時(shí)可進(jìn)行0-6毫米的調(diào)節(jié)。x軸電機(jī)能對(duì)z軸轉(zhuǎn)接板和固定板之間的間距在在粗調(diào)節(jié)時(shí)可進(jìn)行0-6毫米的調(diào)節(jié)。
4、進(jìn)一步地,磁鐵安裝圈、連接板、端板、安裝板及z軸轉(zhuǎn)接板均采用鈦合金制成,鈦合金具有顯著的抗低溫特性。
5、進(jìn)一步地,鈦合金為ct20α型鈦合金,其具有無(wú)磁性且膨脹系數(shù)與壓電陶瓷和驅(qū)動(dòng)器的其他元件相匹配,強(qiáng)度高,重量輕,可實(shí)現(xiàn)可靠的低溫性能。
6、進(jìn)一步地,x軸電機(jī)、y軸電機(jī)及z軸電機(jī)均為壓電陶瓷納米驅(qū)動(dòng)器,這種驅(qū)動(dòng)器其主體采用的是鈦合金材料,并且其能承受的最大負(fù)載為2公斤,而其調(diào)節(jié)速度為0-3毫米/秒。
7、進(jìn)一步地,x軸電機(jī)、y軸電機(jī)及z軸電機(jī)均采用線性納米定位器。
8、進(jìn)一步地,x軸電機(jī)對(duì)y軸電機(jī)x軸方向的調(diào)節(jié)距離為0微米至5微米,y軸電機(jī)對(duì)z軸轉(zhuǎn)接板寬度方向的調(diào)節(jié)距離為0微米至5微米,z軸電機(jī)對(duì)磁鐵安裝圈沿著z軸轉(zhuǎn)接板長(zhǎng)度方向的調(diào)節(jié)距離為0微米至5微米。通過(guò)上述的微米級(jí)的細(xì)調(diào)節(jié)能力,提高了磁鐵安裝圈(33位置的調(diào)節(jié)精度。
9、上述技術(shù)方案的優(yōu)點(diǎn)在于:
10、本實(shí)用新型能夠在零下200℃以下對(duì)磁鐵安裝圈及磁鐵的位置進(jìn)行微米級(jí)的調(diào)節(jié)操作。
1.一種磁體位移機(jī)構(gòu),其特征在于,包括磁鐵安裝圈(33),磁鐵安裝圈(33)的外周成型有連接板(32),連接板(32)的另一端垂直設(shè)有端板(30),端板(30)上安裝有安裝板(3),安裝板(3)上連接有z軸電機(jī)(2),z軸電機(jī)(2)的下端安裝有z軸轉(zhuǎn)接板(1),z軸轉(zhuǎn)接板(1)的另一端設(shè)有y軸電機(jī)(4),y軸電機(jī)(4)設(shè)有x軸電機(jī)(40),x軸電機(jī)(40)上連接有固定板(41),固定板(41)的一端安裝有安裝底座(45),固定板(41)上開(kāi)設(shè)有矩形孔(43),安裝板(3)在矩形孔(43)內(nèi)移動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁體位移機(jī)構(gòu),其特征在于,磁鐵安裝圈(33)、連接板(32)、端板(30)、安裝板(3)及z軸轉(zhuǎn)接板(1)均采用鈦合金制成。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁體位移機(jī)構(gòu),其特征在于,鈦合金為ct20α型鈦合金。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁體位移機(jī)構(gòu),其特征在于,x軸電機(jī)(40)、y軸電機(jī)(4)及z軸電機(jī)(2)均為壓電陶瓷納米驅(qū)動(dòng)器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁體位移機(jī)構(gòu),其特征在于,x軸電機(jī)(40)、y軸電機(jī)(4)及z軸電機(jī)(2)均采用線性納米定位器。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁體位移機(jī)構(gòu),其特征在于,x軸電機(jī)(40)對(duì)y軸電機(jī)(4)x軸方向的調(diào)節(jié)距離為0微米至5微米;