驅(qū)動器、開閉裝置、流體控制裝置及二維掃描型傳感器裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及具備形成有駐極體的梳齒電極且能向多個穩(wěn)定位置移動的驅(qū)動器、具備該驅(qū)動器的開閉裝置、流體控制裝置、開關(guān)及二維掃描型傳感器裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]作為具備駐極體且雙穩(wěn)定結(jié)構(gòu)的驅(qū)動器，已知專利文獻1所記載的技術(shù)。在專利文獻1所記載的靜電繼電器中，以夾持能動搖運動的可動板的方式配置固定側(cè)驅(qū)動電極與駐極體，通過對固定側(cè)驅(qū)動電極施加電壓，使可動板進行動搖運動而進行接點的接通斷開。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0004]專利文獻
[0005]專利文獻1:日本國特開平5-2978號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明所要解決的課題
[0007]但是，由于是可動板進行動搖的結(jié)構(gòu)，因此，需要能進行動搖運動的程度的高度方向空間。因此，存在靜電繼電器的高度尺寸變大的缺點。另外，由于是以由上側(cè)及下側(cè)的固定側(cè)基體夾持形成有可動板的可動側(cè)基體的方式結(jié)合的結(jié)構(gòu)，因此，需要正確的位置重合，還存在工序增加的缺點。
[0008]用于解決課題的方法
[0009]根據(jù)本發(fā)明的第一方案，驅(qū)動器具備:具備固定電極及可動電極的靜電驅(qū)動機構(gòu)；設(shè)有可動電極且由靜電驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動的第一可動部；以可動電極能相對于固定電極在面內(nèi)滑動移動的方式彈性支撐第一可動部的第一彈性支撐部;形成于靜電驅(qū)動機構(gòu)的固定電極及可動電極的至少一方的駐極體；以及控制向靜電驅(qū)動機構(gòu)的電壓施加的驅(qū)動控制部。在驅(qū)動器上設(shè)定多個將第一可動部定位于由駐極體引起的靜電力與第一彈性支撐部的彈性力平衡的穩(wěn)定位置或設(shè)于其附近的穩(wěn)定位置的穩(wěn)定狀態(tài)。驅(qū)動控制部通過對靜電驅(qū)動機構(gòu)施加電壓來控制該靜電驅(qū)動機構(gòu)的靜電力，以使從任意的穩(wěn)定狀態(tài)向其他穩(wěn)定狀態(tài)變化，使第一可動部從任意的穩(wěn)定位置向其他穩(wěn)定位置移動。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的第二方案，在第一方案的驅(qū)動器中，靜電驅(qū)動機構(gòu)至少具有具備作為固定電極的固定梳齒電極及作為可動電極的可動梳齒電極的梳齒驅(qū)動部，并且，可動梳齒電極相對于固定梳齒電極的插入量變化的方向與滑動移動的方向一致，在固定梳齒電極及可動梳齒電極的至少一方形成駐極體。
[0011]根據(jù)本發(fā)明的第三方案，在第二方案的驅(qū)動器中，靜電驅(qū)動機構(gòu)具備:第一梳齒驅(qū)動部，其具有第一固定梳齒電極及能插脫地與該第一固定梳齒電極嚙合的第一可動梳齒電極；以及第二梳齒驅(qū)動部，其具有相對于第一固定梳齒電極隔著間隔地對置配置的第二固定梳齒電極以及能插脫地與該第二固定梳齒電極嚙合的第二可動梳齒電極，第一可動部配置于第一固定梳齒電極與第二固定梳齒電極之間，并且，設(shè)有第一可動梳齒電極及第二可動梳齒電極，第一彈性部以能在第一及第二可動梳齒電極相對于第一及第二固定梳齒電極的各插入量變化的方向滑動移動的方式彈性支撐第一可動部，駐極體具有:設(shè)于第一固定梳齒電極及第一可動梳齒電極的至少一方的第一駐極體；以及設(shè)于第二固定梳齒電極及第二可動梳齒電極的至少一方的第二駐極體，作為多個穩(wěn)定位置，設(shè)定下述穩(wěn)定位置:第一穩(wěn)定位置，其為第一可動梳齒電極被第一固定梳齒電極吸引至第二可動梳齒電極的插入量為零的位置且由第一駐極體引起的第一靜電力與第一彈性支撐部的彈性力平衡的穩(wěn)定位置，或設(shè)于其附近的穩(wěn)定位置；以及第二穩(wěn)定位置，其為第二可動梳齒電極被第二固定梳齒電極吸引至第一可動梳齒電極的插入量為零的位置且由第二駐極體引起的第二靜電力與第一彈性支撐部的彈性力平衡的穩(wěn)定位置，或設(shè)于其附近的穩(wěn)定位置，驅(qū)動控制部對第一梳齒驅(qū)動部施加減弱第一靜電力的第一電壓，使第一可動部從第一穩(wěn)定位置向第二穩(wěn)定位置移動，驅(qū)動控制部對第二梳齒驅(qū)動部施加減弱第二靜電力的第二電壓，使第一可動部從第—?穩(wěn)定位置向弟一穩(wěn)定位置移動。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的第四方案，在第二方案的驅(qū)動器中，靜電驅(qū)動機構(gòu)還具備:沿第一可動部的滑動方向以夾著該第一可動部的方式設(shè)于與固定梳齒電極相反側(cè)的固定電極板；以及與固定電極板對置配置且設(shè)于第一可動部的可動電極板，駐極體具有:設(shè)于固定梳齒電極及可動梳齒電極的至少一方的第一駐極體；以及設(shè)于對置配置的上述固定電極板及可動電極板的至少一方的第二駐極體，作為多個穩(wěn)定位置，設(shè)定下述穩(wěn)定位置:第一穩(wěn)定位置，其為可動梳齒電極以插入固定梳齒電極的方式被吸引且由第一駐極體引起的第一靜電力與第一彈性支撐部的彈性力平衡的穩(wěn)定位置，或設(shè)于其附近的穩(wěn)定位置；以及第二穩(wěn)定位置，其為可動電極板向固定電極板側(cè)被吸引至可動梳齒電極相對于固定梳齒電極的插入量為零的位置且由第二駐極體引起的第二靜電力與第一彈性支撐部的彈性力平衡的穩(wěn)定位置，或設(shè)于其附近的穩(wěn)定位置，驅(qū)動控制部對固定梳齒電極與可動梳齒電極之間施加減弱第一靜電力的第一電壓，使第一可動部從第一穩(wěn)定位置向第二穩(wěn)定位置移動，驅(qū)動控制部對固定電極板與可動電極板之間施加減弱第二靜電力的第二電壓，使第一可動部從第二穩(wěn)定位置向第一穩(wěn)定位置移動。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的第五方案，在第二方案的驅(qū)動器中，作為多個穩(wěn)定設(shè)置，設(shè)定下述穩(wěn)定位置:第一穩(wěn)定位置，其為插入量為正且由駐極體引起的靜電力與第一彈性支撐部的彈性力平衡的穩(wěn)定位置，或設(shè)于其附近的穩(wěn)定位置，第二穩(wěn)定位置，其為插入量為零且由駐極體引起的由固定梳齒電極的干擾電場產(chǎn)生的靜電引力與彈性力平衡，且由施加第二電壓時的干擾電場產(chǎn)生的靜電力比彈性力大的穩(wěn)定位置，或設(shè)于其附近的穩(wěn)定位置，驅(qū)動控制部施加減弱梳齒驅(qū)動部的靜電力的第一電壓，使第一可動部從第一穩(wěn)定位置向第二穩(wěn)定位置驅(qū)動，并且，施加增強梳齒驅(qū)動部的靜電力的第二電壓，使第一可動部從第二穩(wěn)定位置向第一穩(wěn)走位置驅(qū)動。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的第六方案，在第三方案的驅(qū)動器中，以第一靜電力的大小根據(jù)第一可動梳齒電極的插入量多級地變化，在第一穩(wěn)定位置與第二穩(wěn)定位置之間設(shè)定第一及第二靜電力與第一彈性支撐部的彈性力平衡的多個第一中間穩(wěn)定位置的方式，構(gòu)成第一固定梳齒電極或第一可動梳齒電極的梳齒形狀，驅(qū)動控制部控制第一梳齒驅(qū)動部及第二梳齒驅(qū)動部的至少一方的施加電壓，使第一可動部向第一穩(wěn)定位置、第二穩(wěn)定位置及多個第一中間穩(wěn)定位置的任一個穩(wěn)定位置移動。
[0015]根據(jù)本發(fā)明的第七方案，在第四方案的驅(qū)動器中，以第一靜電力的大小根據(jù)可動梳齒電極的插入量多級地變化，在第一穩(wěn)定位置與第二穩(wěn)定位置之間設(shè)定第一及第二靜電力與第一彈性支撐部的彈性力平衡的多個中間穩(wěn)定位置的方式，構(gòu)成固定梳齒電極或可動梳齒電極的梳齒形狀，驅(qū)動控制部能對梳齒驅(qū)動部施加用于將第一可動部向多個中間穩(wěn)定位置驅(qū)動的多個電壓。
[0016]根據(jù)本發(fā)明的第八方案，在第五方案的驅(qū)動器中，以由駐極體引起的靜電力的大小根據(jù)可動梳齒電極的插入量多級地變化，在第一穩(wěn)定位置與第二穩(wěn)定位置之間設(shè)定由駐極體引起的靜電力與第一彈性支撐部的彈性力平衡的多個中間穩(wěn)定位置的方式，構(gòu)成固定梳齒電極或可動梳齒電極的梳齒形狀，驅(qū)動控制部能對梳齒驅(qū)動部施加用于將第一可動部向多個中間穩(wěn)定位置驅(qū)動的多個電壓。
[0017]根據(jù)本發(fā)明的第九方案，在第二方案的驅(qū)動器中，靜電驅(qū)動機構(gòu)具備:具有第一固定梳齒電極及第一可動梳齒電極的第一梳齒驅(qū)動部；以及具有第二固定梳齒電極及第二可動梳齒電極的第二梳齒驅(qū)動部，第一固定梳齒電極及第二固定梳齒電極隔著間隔地對置配置，第一可動部以配置于第一固定梳齒電極與第二固定梳齒電極之間且能插脫地與第一固定梳齒電極嚙合的方式設(shè)有第一可動梳齒電極，并且，以能插脫地與第二固定梳齒電極嚙合的方式設(shè)有第二可動梳齒電極，第一彈性支撐部以能在第一及第二可動梳齒電極的各插入量變化的方向滑動移動的方式彈性支撐第一可動部，駐極體具有設(shè)于第一固定梳齒電極及第一可動梳齒電極的至少一方的第一駐極體和設(shè)于第二固定梳齒電極及第二可動梳齒電極的至少一方的第二駐極體，
[0018]第一固定梳齒電極或第一可動梳齒電極的梳齒形狀構(gòu)成為:作為多個穩(wěn)定位置，設(shè)定多個由第一駐極體引起的第一靜電力、由第二駐極體引起的第二靜電力及第一彈性支撐部的彈性力平衡的穩(wěn)定位置，且第一靜電力的大小根據(jù)第一可動電極的插入量多級地變化，驅(qū)動控制部控制第一梳齒驅(qū)動部及第二梳齒驅(qū)動部的至少一方的施加電壓，使第一可動部向多個穩(wěn)定位置的任一個穩(wěn)定位置移動。
[0019]根據(jù)本發(fā)明的第十方案，在第六或九方案的驅(qū)動器中，第一固定梳齒電極或第一可動梳齒電極具備長度不同的多種梳齒組或梳齒排列方向的梳齒寬度尺寸不同的多種梳齒組。
[0020]根據(jù)本發(fā)明的第十一方案，在第七或八方案的驅(qū)動器中，固定梳齒電極或可動梳齒電極具備長度不同的多種梳齒組或梳齒排列方向的梳齒寬度尺寸不同的多種梳齒組。
[0021]根據(jù)本發(fā)明的第十二方案，在第一至十一任一方案的驅(qū)動器中，靜電驅(qū)動機構(gòu)、第一可動部及第一彈性支撐部的每一個通過對相同硅基板進行加工而形成。
[0022]根據(jù)本發(fā)明的第十三方案，在第三方案的驅(qū)動器中，還具備:設(shè)于第一可動部，且在與該第一可動部的移動方向相交的方向隔著間隔地對置配置的第三固定梳齒電極及第四固定梳齒電極;設(shè)有配置于第三固定梳齒電極與第四固定梳齒電極之間且能插脫地與第三固定梳齒電極嚙合的第三可動梳齒電極及能插脫地與第四固定梳齒電極嚙合的第四可動梳齒電極的第二可動部；以及以能在與相交的方向滑動移動的方式相對于第一可動部彈性支撐第二可動部的第二彈性支撐部，駐極體還具有:設(shè)于第三固定梳齒電極及第三可動梳齒電極的至少一方的第三駐極體；以及設(shè)于第四固定梳齒電極及第四可動梳齒電極的至少一方的第四駐極體，作為多個穩(wěn)定位置，還設(shè)定下述穩(wěn)定位置:第三穩(wěn)定位置，其為第三可動梳齒電極被第三固定梳齒電極吸引至第四可動梳齒電極相對于第四固定梳齒電極的插入量為零的位置且由第三駐極體引起的第三靜電力與第二彈性支撐部的彈性力平衡的穩(wěn)定位置，或設(shè)于其附近的穩(wěn)定位置；以及第四穩(wěn)定位置，其為第四可動梳齒電極被第四固定梳齒電極吸引至第三可動梳齒電極相對于第三固定梳齒電極的插入量為零的位置且由第四駐極體引起的第四靜電力與第二彈性支撐部的彈性力平衡的穩(wěn)定位置，或設(shè)于其附近的穩(wěn)定位置，驅(qū)動控制部對第三固定梳齒電極與第三可動梳齒電極之間施加減弱第三靜電力的第三電壓，使第二可動部從第三穩(wěn)定位置向第四穩(wěn)定位置移動，驅(qū)動控制部對第四固定梳齒電極與第四可動梳齒電極之間施加減弱第四靜電力的第四電壓，使第二可動部從第四穩(wěn)定位置向第三穩(wěn)定位置移動。
[0023]根據(jù)本發(fā)明的第十四方案，在第九方案的驅(qū)動器中，還具備:設(shè)于第一可動部，在與該第一可動部的移動方向正交的方向隔著間隔地對置配置的第三固定梳齒電極及第四固定梳齒電極，設(shè)有配置于第三固定梳齒電極與第四固定梳齒電極之間且能插脫地與第三固定梳齒電極嚙合的第三可動梳齒電極及能插脫地與第四固定梳齒電極嚙合的第四可動梳齒電極的第二可動部；以及以能在相交的方向移動的方式相對于第一可動部彈性支撐第二可動部的第二彈性支撐部，駐極體還具有設(shè)于第三固定梳齒電極及第三可動梳齒電極的至少一方的第三駐極體和設(shè)于第四固定梳齒電極及第四可動梳齒電極的至少一方的第四駐極體，第三固定梳齒電極或第三可動梳齒電極的梳齒形狀構(gòu)成為:作為多個穩(wěn)定位置，設(shè)定多個由第三駐極體引起的第三靜電力、由第四駐極體引起的第四靜電力及第二彈性支撐部的彈性力平衡的第二穩(wěn)定位置，且第三靜電力的大小根據(jù)第三可動電極的插入量多級地變化，驅(qū)動控制部控制第三固定梳齒電極與第三可動梳齒電極之間的施加電壓及第四固定梳齒電極與第四可動梳齒電極之間的施加電壓的至少一方，使第二可動部向多個第二穩(wěn)定位置的任一個穩(wěn)定位置移動。
[0024]根據(jù)本發(fā)明的第十五方案，開閉裝置具備:第一至第三任一方案所述的驅(qū)動器；以及與驅(qū)動器的第一可動部一體地移動而與光路插脫，將來自光源的光轉(zhuǎn)換為通過狀態(tài)及非通過狀態(tài)的任一個狀態(tài)的開閉部件，當?shù)谝豢蓜硬肯蚨鄠€穩(wěn)定位置中的第一穩(wěn)定位置移動時為通過狀態(tài)，當?shù)谝豢蓜硬肯蚱渌诙€(wěn)定位置移動時為非通過狀態(tài)。
[0025]根據(jù)本發(fā)明的第十六方案，開閉裝置具備:方案六或九所述的驅(qū)動器；以及與驅(qū)動器的第一可動部一體地移動而與光路插脫，根據(jù)第一可動部移動至多個穩(wěn)定位置的哪一個穩(wěn)定位置而光路遮蔽率不同的遮蔽部件，通過驅(qū)動控制部控制施加電壓，使第一可動部向多個穩(wěn)定位置移動，控制通過光量。
[0026]根據(jù)本發(fā)明的第十七方案，流體控制裝置具備:方案一至三任一項所述的驅(qū)動器；形成有流道的流道形成體；以及與驅(qū)動器的第一可動部一體地移動并對流道進行開閉的閥體，當?shù)谝豢蓜硬肯蚨鄠€穩(wěn)定位置中的第一穩(wěn)定位置移動時，閥體打開上述流道，當?shù)谝豢蓜硬肯蚱渌诙€(wěn)定位置移動時，閥體關(guān)閉流道。
[0027]根據(jù)本發(fā)明的第十八方案，流體控制裝置具備:形成有多個流道的流道形成體;設(shè)于多個流道的每一個的方案一至三任一項所述的驅(qū)動器；以及設(shè)于多個流道的每一個，且與對應(yīng)于該流道的驅(qū)動器的第一可動部一體地移動而對該流道進行開閉的閥體，當與該閥體一體地移動的第一可動部向多個穩(wěn)定位置中的第一穩(wěn)定位置移動時，多個閥體的每一個打開上述流道，當?shù)谝豢蓜硬肯蚱渌诙€(wěn)定位置移動時，多個閥體的每一個關(guān)閉流道。
[0028]根據(jù)本發(fā)明的第十九方案，在第十七或十八方案的流體控制裝置中，流道具有入口側(cè)的第一流道與出口側(cè)的第二流道，在與流道對應(yīng)的閥體形成有連通第一流道與第二流道的連通部以及堵塞第一及第二流道的一方而形成非連通狀態(tài)的遮蔽部。
[0029]根據(jù)本發(fā)明的第二十方案，流體控制裝置具備:形成有第一流道及多個第二流道的流道形成體;設(shè)于多個第二流道的每一個的、方案一至三任一項所述的驅(qū)動器；以及設(shè)于多個第二流道的每一個，與對應(yīng)于該第二流道的驅(qū)動器的第一可動部一體地移動而切換該第二流道與第一流道的連通及非連通的閥體，當與該閥體一體地移動的第一可動部向多個穩(wěn)定位置中的第一穩(wěn)定位置移動時，多個閥體的每一個使對應(yīng)的第二流道與第一流道為連通狀態(tài)，當?shù)谝豢蓜硬肯蚱渌诙€(wěn)定位置移動時，多個閥體的每一個使對應(yīng)的第二流道與第一流道為非連通狀態(tài)。
[0030]根據(jù)本發(fā)明的第二十一方案，開關(guān)具備:方案一至三任一項所述的驅(qū)動器;連接高頻信號輸入用的信號線的第一接點;連接用于輸出所輸入的高頻信號的信號線的第二接點部；以及與驅(qū)動器的第一可動部一體地移動，切換第一接點與第二接點之間的導通及非導通的可動接點，當?shù)谝豢蓜硬肯蚨鄠€穩(wěn)定位置中的第一穩(wěn)定位置移動時，可動接點使第一及第二接點間為導通，當?shù)谝豢蓜硬肯蚱渌诙€(wěn)定位置移動時，可動接點使第一及第二接點間為非導通。
[0031]根據(jù)本發(fā)明的第二十二方案，開關(guān)具備:方案一至三任一項所述的驅(qū)動器;連接高頻信號輸入用的第一信號線的第一及第二接點;連接用于輸出所輸入的高頻信號的第二信號線的第三接點；連接用于輸出所輸入的高頻信號的第三信號線的第四接點；與驅(qū)動器的第一可動部一體地移動，切換第一及第三接點間的導通及非導通的第一可動接點；以及與驅(qū)動器的第一可動部一體地移動，切換第二及第四接點的導通及非導通的第二可動接點，當?shù)谝豢蓜硬肯蚨鄠€穩(wěn)定位置中的第一穩(wěn)定位置移動時，第一及第三接點間為導通，并且，第二及第四接點間為非導通，當?shù)谝豢蓜硬肯蚱渌诙€(wěn)定位置移動時，第二及第四接點間為導通，并且，第一及第三接點間為非導通。
[0032]根據(jù)本發(fā)明的第二十三方案，二維掃描型傳感器裝置具備:方案十三或十四所述的驅(qū)動器；以及與驅(qū)動器的第二可動部一體地移動，檢測該第二可動部的移動范圍中的物理量的傳感器，通過將第一可動部及第二可動部的至少一方移動到各自的穩(wěn)定位置，使傳感器進行二維移動來檢測上述物理量。
[0033]發(fā)明效果
[0034]在本發(fā)明中，可動部利用駐極體的靜電力維持在多個穩(wěn)定位置，通過利用電壓施加改變靜電力，在穩(wěn)定位置間移動。另外，靜電驅(qū)動機構(gòu)的可動電極相對于固定電極在面內(nèi)滑動移動。其結(jié)果，能提供省電力、薄型的驅(qū)動器、開閉裝置、流體控制裝置、高頻開關(guān)及二維掃描型傳感器裝置。
【附圖說明】
[0035]圖1是表示本發(fā)明的驅(qū)動器的第一實施方式的圖。
[0036]圖2是示意地表示梳齒300、400的帶電狀態(tài)的圖。
[0037]圖3是表示位移x= 0的狀態(tài)的圖。
[0038]圖4是表示可動部5的位移X與作用在可動部5上的力的關(guān)系的圖。
[0039]圖5是從位移x= 0向第一穩(wěn)定位置移動可動部5的情況的動作說明圖。
[0040]圖6是說明從第一穩(wěn)定位置向第二穩(wěn)定位置的位移的圖。
[0041 ]圖7是表示彈性支撐部6由于壓曲而撓曲的狀態(tài)的圖。
[0042]圖8是表示具有壓曲的情況的位移與力的關(guān)系的圖。
[0043]圖9是表示形成方法的第一步驟的圖。
[0044]圖10是表示形成方法的第二步驟的圖。
[0045]圖11是表示形成方法的第三步驟的圖。
[0046]圖12是表示形成方法的第四步驟的圖。
[0047]圖13是表示形成方法的第五步驟的圖。
[0048]圖14是表示形成方法的第六步驟的圖。
[0049]圖15是表示形成方法的第七步驟的圖。
[0050]圖16是驅(qū)動器1的立體圖。
[0051 ]圖17是說明在梳齒300、400上形成駐極體的方法的圖。
[0052]圖18是說明帶電處理的圖。
[0053]圖19是表示光開閉器的圖。
[0054]圖20是說明FSC方式的彩色化的概念的圖。
[0055]圖21是表示第二實施例的圖。
[0056]圖22是表示閥體202與流道結(jié)構(gòu)體204的圖。
[0057]圖23是表示第二實施例的變形例的圖。
[0058]圖24是三方切換閥210的俯視圖。
[0059]圖25是說明三方切換閥210的切換動作的圖。
[0000]圖26是表示流量控制閥220的正面?zhèn)鹊膱D。
[0061 ]圖27是表示流道結(jié)構(gòu)體221的表面?zhèn)鹊膱D。
[0062]圖28是表示B-B剖面的圖。
[0063]圖29是表示第五實施例的圖。
[0064]圖30是表示RF開關(guān)230的一部分的剖視圖。
[0065]圖31是表示RF開關(guān)230的導通狀態(tài)的圖。
[0066]圖32是表示作為SPDT(Single Pole Double Throw)的RF開關(guān)1的情況的結(jié)構(gòu)的圖。
[0067]圖33是說明接觸位置的設(shè)定的圖。
[0068]圖34是表示本發(fā)明的驅(qū)動器的第二實施方式的圖。
[0069]圖35是第二固定電極3C及第二可動電極4B的放大圖。
[0070]圖36是表示V1=V2= 0的情況下的、位移X與作用在可動部5上的力的關(guān)系的圖。[0071 ]圖37是使位于平衡位置C0的可動部5向平衡位置C1移動的情況的說明圖。
[0072]圖38是使位于平衡位置C1的可動部5向平衡位置C2移動的情況的說明圖。
[0073]圖39是說明位于平衡位置C0的可動部5向位置C2移動的圖。
[0074]圖40是說明位于位置C0的可動部5向位置C3的移動的圖。
[0075]圖41是說明位于位置C0的可動部5向位置C4的移動的圖。
[0076]圖42是使位于位置C0的可動部5向位置C5移動的情況的說明圖。
[0077]圖43是使位于位置C5的可動部5向位置C4移動的情況的說明圖。
[0078]圖44