專利名稱：壓電諧振器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種能量收集器型壓電諧振器，更特別地涉及一種壓電諧振器，它能有效地利用基于所需振動(dòng)的諧振特性，同時(shí)抑制不期望的能夠產(chǎn)生偽反應(yīng)的振動(dòng)。
通常，能量收集器型壓電諧振器已經(jīng)廣泛地使用于壓電振動(dòng)器和其他裝置。在這種壓電諧振器中，由于偽反應(yīng)不是由所需的振動(dòng)模式的振動(dòng)產(chǎn)生的，所以有必要抑制這種不必要的振動(dòng)的產(chǎn)生。
傳統(tǒng)裝置試圖抑止不必要的振動(dòng)。例如，日本未審實(shí)用新型公開號(hào)No.4-119123公開了一種能量收集器型壓電諧振器，它包括在壓電基片末端的孤立元件上提供的阻尼材料，毗連于一個(gè)諧振部分。
并且，日本未檢驗(yàn)實(shí)用新型公開號(hào)No.3-79528公開了一種如

圖13所示的組合了壓電振動(dòng)器的負(fù)載電容器。壓電振動(dòng)器51包括壓電諧振器52和提供負(fù)載電容器的電容器53。壓電諧振器52由矩形板狀壓電基片54構(gòu)成。在壓電基片54的兩個(gè)主表面的中央部分，激勵(lì)電極55通過壓電基片54彼此相對排放。這種包括在其上下表面通過基片彼此相對排放的激勵(lì)電極55的零件就構(gòu)成了能量收集器型諧振部分。阻尼電極56位于上述的諧振部分的壓電基片54一個(gè)表面54a的附近區(qū)域。通過在阻尼電極56提供焊合，不必要的振動(dòng)被減弱。
在能量收集器型諧振器中，諧振部分和阻尼材料之間的關(guān)系很重要。就是說，如果阻尼材料的位置不合適，則所需的主振動(dòng)被減弱，或者不必要振動(dòng)的減弱沒有實(shí)現(xiàn)。
在日本未檢查實(shí)用新型公開號(hào)No.4-119123公開的常規(guī)技術(shù)中，阻尼材料只被安置在壓電基片的諧振部分指定距離外的壓電基片的末端部分，但是很難精確地確定該阻尼材料的位置。因此，這種常規(guī)的壓電諧振器是很難生產(chǎn)的，所經(jīng)歷的失敗是由于沒對正阻尼材料。并且，安置在孤立元件上的阻尼材料會(huì)產(chǎn)生另一個(gè)問題，即當(dāng)安裝阻尼材料或在其后的加工處理過程中，壓電基片上經(jīng)常會(huì)產(chǎn)生裂紋。另外，精確安置阻尼材料的困難性致使壓電諧振器的尺寸也很難減小。
在日本未檢查實(shí)用新型公開號(hào)No.3-79528中公開的壓電振蕩器中，在壓電基片54上提供的阻尼電極56是非常小的。因此，在阻尼電極56上施焊是很困難的。為了精確地施焊，有必要擴(kuò)大阻尼電極56的電極區(qū)域，這也就使壓電諧振器52的尺寸減少變得困難。
為了克服上述的問題，本發(fā)明的最佳實(shí)施例提供了一種小得多的并容易生產(chǎn)的能量收集器型壓電諧振器，它能有效地減弱不必要的振動(dòng)并利用所需的振動(dòng)，并且使外部電連接變得容易。
根據(jù)本發(fā)明最佳實(shí)施例的壓電諧振器，包括壓電基片；分別在壓電基片的第一和第二主表面部分地提供第一和第二激勵(lì)電極，它們經(jīng)過位于上下表面的第一和第二激勵(lì)電極彼此相對，并分別電連接到第一和第二激勵(lì)電極的第一和第二導(dǎo)出電極，它們分別在壓電基片的第一和第二主表面上提供；在第一和第二導(dǎo)出電極各自的末端部分提供的用于與外部建立外部連接的第一和第二終端電極各自的第一和第二激勵(lì)電極連接端與未端部分相對；第一和第二終端電極中至少一個(gè)具有擴(kuò)展至一個(gè)虛引區(qū)域的電極擴(kuò)展部分，在該區(qū)域中第一和第二激勵(lì)電極擴(kuò)展到壓電基片的側(cè)邊緣中的至少一個(gè)。
最好是，從外部激勵(lì)電極外圍邊緣到電極擴(kuò)展部分的內(nèi)部邊緣的平均法線距離至少是大約1.2d,d是激勵(lì)電極的直徑。
更可取的是，在電極擴(kuò)展部分提供焊合。在這種情況下，在終端電極整個(gè)上表面提供焊合。
根據(jù)本發(fā)明最佳實(shí)施例的壓電諧振器，其更可取之處還包括通過焊接使第一和第二導(dǎo)線端子焊合到各自的第一和第二終端電極，從而提供一個(gè)具有導(dǎo)線的壓電諧振器。
本發(fā)明的其它功能、元件、步驟、特征以及優(yōu)點(diǎn)將通過參考附圖的最佳實(shí)施例的詳細(xì)描述而變得更清楚。
圖1是一個(gè)平面圖，顯示了根據(jù)本發(fā)明的第一最佳實(shí)施例的壓電諧振器；圖2A和2B為示意圖，顯示了本發(fā)明第一最佳實(shí)施例的壓電諧振器的共振特征圖以及一個(gè)比較的例子；圖3是一個(gè)平面圖，顯示根據(jù)本發(fā)明第一最佳實(shí)施例的壓電諧振器的一個(gè)改型例子；
圖4是一個(gè)平面圖，顯示根據(jù)本發(fā)明的第一最佳實(shí)施例的壓電諧振器的另一個(gè)改型例子；圖5是一個(gè)平面圖，顯示根據(jù)本發(fā)明的第一最佳實(shí)施例的壓電諧振器的又一個(gè)改型例子；圖6是一個(gè)平面圖，顯示根據(jù)本發(fā)明的第一最佳實(shí)施例的壓電諧振器的一個(gè)進(jìn)一步改型例子的；圖7是一個(gè)平面圖，顯示根據(jù)本發(fā)明的第一最佳實(shí)施例的壓電諧振器的另一個(gè)改型例子；圖8是一個(gè)示意圖，顯示從外部激勵(lì)電極的外圍邊緣到電極擴(kuò)展部分的內(nèi)部邊緣的法線距離C和所需的振動(dòng)的共振電阻之間的關(guān)系；圖9是一個(gè)平面圖，顯示根據(jù)本發(fā)明第二最佳實(shí)施例的壓電諧振器；圖10是一個(gè)平面圖，顯示根據(jù)本發(fā)明第二最佳實(shí)施例的壓電諧振器的一個(gè)改變的例子；圖11是一個(gè)示意性透視圖，顯示利用根據(jù)本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施例的壓電諧振器的一個(gè)具有導(dǎo)線的壓電共振部件；圖12是一個(gè)縱向截面圖，顯示在圖11所示的具有導(dǎo)線的壓電共振部件；圖13是一個(gè)示意性透視圖，解釋一個(gè)常規(guī)壓電諧振器例子。
在圖1中，顯示了一種根據(jù)本發(fā)明的第一最佳實(shí)施例的能量收集器型壓電諧振器。壓電諧振器1是一個(gè)利用厚度垂直振動(dòng)三次諧波的壓電諧振器，并且具有大體上是矩形板狀的壓電基片2。壓電基片2最好是由如鉛-鈦酸鹽-鋯酸鹽的陶器之類的壓電陶瓷或者比如石英之類的壓電單晶體構(gòu)造而成的。在本最佳實(shí)施例中，壓電基片2是由壓電陶瓷構(gòu)造的，并且在厚度方向上偏振。
在壓電基片2a上表面的大約中央部分，提供一個(gè)大體為圓狀的激勵(lì)電極3。導(dǎo)出電極4連接到激勵(lì)電極3。終端電極5連接到導(dǎo)出電極4的外部的末端部分。終端電極5在壓電基片2的上表面2a上被提供并且沿著由末端表面2c和上表面限定的邊緣擴(kuò)展，覆蓋了壓電基片2的整個(gè)寬度?？邕^壓電基片2側(cè)表面2d和2e的方向被限定為寬度方向。
此外，終端電極5不僅配置為覆蓋壓電基片2的整個(gè)寬度，而且也在長度方向上擴(kuò)展到末端表面2b一側(cè)。就是說，在跨過末端表面2b和2c的方向上，沿著由側(cè)表面2d和上表面2a形成的邊緣。
向末端表面2b側(cè)擴(kuò)展的該部分在下文中稱為“電極擴(kuò)展部分5a”。
當(dāng)激勵(lì)電極3向側(cè)表面2d方向擴(kuò)展時(shí)，電極擴(kuò)展部分5a被設(shè)置為擴(kuò)展至鏡像區(qū)域(該區(qū)域在圖中用A顯示)。
同樣在壓電基片2的下表面，經(jīng)過壓電基片2在激勵(lì)電極3對面放置另一激勵(lì)電極。導(dǎo)出電極6連接到下表面上提供的激勵(lì)電極上。終端電極7連接到導(dǎo)出電極6外部的末端部分。終端電極7最好是和終端電極5按照相同的方式構(gòu)成。終端電極7沿著由下表面和壓電基片2末端表面2b限定的邊緣的長度提供。終端電極7同樣包括電極擴(kuò)展部分7a，它沿著由下表面和壓電基片2的側(cè)表面2a限定的邊緣擴(kuò)展，被設(shè)置為擴(kuò)展至上述鏡像區(qū)域A。
本最佳實(shí)施例的壓電諧振器1的最佳實(shí)施例的新穎功能就是電極擴(kuò)展部分5a和7a被擴(kuò)展至鏡像區(qū)域A。
換言之，如此設(shè)置了電極擴(kuò)展部分5a，從而使終端電極5的電極擴(kuò)展部分5a的末端和與提供終端電極5一側(cè)相對的側(cè)表面2b之間的距離X小于激勵(lì)電極3的末端部分和末端表面2b之間的距離Y，末端部分毗連著終端電極5。
在本最佳實(shí)施例中，由于電極擴(kuò)展部分5a被設(shè)置擴(kuò)展至鏡像區(qū)域A，不必要的振動(dòng)被有效地減弱了。這在下面對應(yīng)的具體實(shí)驗(yàn)性例子中將被描述。
如壓電基片2，壓電基片要由含鉑陶器構(gòu)成并且尺寸大約為2.35mm(寬度)*3.6mm(長度)*0.47mm(厚度)。在壓電基片2的兩個(gè)主表面上，一個(gè)直徑d大約為1.4mm的激勵(lì)電極3，如圖1所示的導(dǎo)出電極4和6以及終端電極5和7被提供。在這種情況下，各個(gè)終端電極5和7的電極擴(kuò)展部分5a和7a的尺寸規(guī)格大約為0.15mm(寬度)*0.9mm(長度)，它們被如此設(shè)置設(shè)置，以使每一個(gè)電極擴(kuò)展部分5a和7a的一個(gè)部分?jǐn)U展至鏡像區(qū)域A。
作為比較，一個(gè)壓電諧振器是與前述的壓電諧振器以相同的方式構(gòu)造的，不過該壓電諧振器沒有配備上述的電極擴(kuò)展部分。
上述最佳實(shí)施例的阻抗頻率特征和比較的例子被測定。這些結(jié)果如圖2A和2B所示。在圖2A中，實(shí)線代表本發(fā)明最佳實(shí)施例的壓電諧振器的阻抗-頻率特征，虛線代表其相位-頻率特征，每個(gè)都作為本發(fā)明的最佳實(shí)施例。圖2B展現(xiàn)相比較的例子的壓電諧振器的阻抗-頻率特征(實(shí)線)和相位-頻率特征(虛線)。正如能從圖2A和2B看到的，電極擴(kuò)展部分5a和7a獨(dú)特的排放對于出現(xiàn)在比較例子中的壓電諧振器的寬度偽反應(yīng)產(chǎn)生了非常有效的抑制作用。
在當(dāng)前最佳實(shí)施例的壓電諧振器中，如上所述，通過設(shè)置電極擴(kuò)展部分5a和7a作為終端電極，不必要的振動(dòng)被減弱。在這種情況下，正如在終端電極5和7中一樣，以相同的方式，電極擴(kuò)展部分5a和7a作為終端電極5和7的一部分被分別地提供，因此，不需要額外的方法來提供阻尼材料。此外，電極材料可以用屏幕打印、光刻、或者其它合適的方法在壓電基片上高精度的提供。這使得電極擴(kuò)展部分5a和7a被精確地提供，從而使減弱不必要的振動(dòng)得到保證。
同時(shí)，在本最佳實(shí)施例中，通過使用三次諧波的厚度垂直振動(dòng)模式，寬度偽反應(yīng)得到了抑制，但是根據(jù)本發(fā)明在壓電諧振器中使用的震動(dòng)方式，并沒有特別地局限于此模式。另一種震動(dòng)方式比如厚度滑行的模式也可以被利用。同時(shí)，不僅三次諧波，其它的諧波也可以被使用，甚至基本波也可以被使用。
在第一最佳實(shí)施例的壓電諧振器1中，盡管電極擴(kuò)展部分5a和7a被提供，但是電極擴(kuò)展部分可以單獨(dú)位于至少一個(gè)主表面上。同樣，如圖3到7所示，終端電極5和7的形狀可以廣泛地變化。
在圖3所示的壓電諧振器8中，終端電極7沒有裝備電極擴(kuò)展部分。另一方面，在終端電極5中，電極擴(kuò)展部分5a沿著側(cè)表面2d被提供，正如第一最佳實(shí)施例的壓電諧振器1的情況一樣。另外，第二電極擴(kuò)展部分5b沿著由側(cè)表面2e和上表面2a形成的邊緣被提供。第二電極擴(kuò)展部分5b被同樣設(shè)置以符合前述的尺寸條件Y＞X。
在如圖4所示的壓電諧振器9中，為終端電極5提供了電極擴(kuò)展部分5a和5c，為終端電極7提供了電極擴(kuò)展部分7b和7c。電極擴(kuò)展部分5c最好是與電極擴(kuò)展部分5a以相同的方式設(shè)置，并沿著側(cè)表面2e和上表面2a限定的邊緣提供。電極擴(kuò)展部分7b被設(shè)置成通過壓電基片2，從而其最末端與電極擴(kuò)展部分5a重疊。電極擴(kuò)展部分7c最好是按照與電極擴(kuò)展部分5c相同的方式提供。
在如圖5所示的壓電諧振器10中，終端電極7沒有裝備電極擴(kuò)展部分。在終端電極5中，電極擴(kuò)展部分5d被提供。這里，終端電極5沒有設(shè)置為向由側(cè)表面2d和上表面2a限定的邊緣擴(kuò)展。就是說，在終端電極5和由側(cè)表面2d和上表面2a形成的邊緣之間有一個(gè)側(cè)間隙2g。電極擴(kuò)展部分5d被設(shè)置以限定側(cè)間隙2g，即，電極擴(kuò)展部分5d與側(cè)表面2d有間隔。
在如圖6所示的壓電諧振器11中，為終端電極5提供了電極擴(kuò)展部分5e。
電極擴(kuò)展部分5e沿著由側(cè)表面2e和上表面2a限定的邊緣擴(kuò)展，電極擴(kuò)展部分5e的內(nèi)部邊緣成弧狀。
在如圖7所示的壓電諧振器12中，電極5f和5g被提供。電極擴(kuò)展部分5f沿著由側(cè)表面2d和上表面2a限定的邊緣擴(kuò)展，電極擴(kuò)展部分5f的內(nèi)部邊緣形成了一個(gè)環(huán)繞著激勵(lì)電極3的弧形。電極擴(kuò)展部分5g沿著由側(cè)表面2e和上表面2a限定的邊緣擴(kuò)展，電極擴(kuò)展部分5g的內(nèi)部邊緣呈不規(guī)則的形狀。
如圖3到7所示，只要滿足上述的尺寸條件Y＞X，電極擴(kuò)展部分的形狀可以適當(dāng)?shù)馗淖儭?br> 接下來，將要描述的是在根據(jù)第一最佳實(shí)施例的壓電諧振器中。當(dāng)從激勵(lì)電極3的外部邊緣到電極擴(kuò)展部分內(nèi)部邊緣的法線距離不小于大約1.2d時(shí)，其中d是激勵(lì)電極的直徑，則有可能有效地利用設(shè)定的三次諧波并有效地抑制寬度偽反應(yīng)。
對于如圖6所示的壓電諧振器11，激勵(lì)電極和導(dǎo)出電極最好是以與上述的實(shí)驗(yàn)范例相同的方式提供，使用與上述的實(shí)驗(yàn)范例相同的壓電基片。然而，終端電極7沒有電極擴(kuò)展部分。終端電極5提供有電極擴(kuò)展部分5e。在這種情況下，通過改變從激勵(lì)電極3的外部外圍邊緣到電極擴(kuò)展部分5e的內(nèi)部邊緣5el的法線距離C，可以制造出不同的壓電諧振器。對于壓電諧振器，其厚度方向垂直震動(dòng)方式的三次諧波的共振阻抗是已測定的。
在圖8中，上述法線間距和三次諧波的共振阻抗之間的關(guān)系被顯示出來。在圖8中，標(biāo)明”沒有電極擴(kuò)展部分”的壓電諧振器的共振阻抗表示壓電諧振器的三次諧波共振阻抗沒有任何電極擴(kuò)展部分。這里，沒有任何電極擴(kuò)展部分的壓電諧振器的三次諧波共振阻抗值大約為1，其它的壓電諧振器的共振阻抗值由相應(yīng)的值顯示。
圖8說明，當(dāng)法線距離C至少大約為0.3mm時(shí)，也就是說，相當(dāng)于至少大約為1.2d時(shí)，三次諧波沒有被減弱，正如沒有提供電極擴(kuò)展部分時(shí)一樣。從而，通過把從激勵(lì)電極的外部外圍邊緣到電極擴(kuò)展部分內(nèi)部邊緣的法線距離設(shè)置為大約1.2d，不必要的振動(dòng)被減弱而不必減弱所需的振動(dòng)。
在圖9中，顯示了根據(jù)本發(fā)明的第二最佳實(shí)施例的壓電諧振器。在壓電諧振器21中，在終端電極5的電極擴(kuò)展部分5h上提供了焊接層22。終端電極7沒有提供電極擴(kuò)展部分。壓電諧振器21最好按照與第一最佳實(shí)施例的壓電諧振器1相同的方式構(gòu)造，除非壓電諧振器21提供有焊接層22并且它的終端電極7沒有提供電極擴(kuò)展部分。
在第二最佳實(shí)施例中，因?yàn)樵陔姌O擴(kuò)展部分5h上提供了焊接層22，焊劑附加質(zhì)量的作用使得不必要的振動(dòng)能被更有效地減弱。
在圖10中，顯示了一個(gè)根據(jù)第二最佳實(shí)施例的壓電諧振器21的改變實(shí)例在這里，在終端電極5的電極擴(kuò)展部分5h的整個(gè)區(qū)域上提供有焊接層23，并且焊接層23不僅提供于電極擴(kuò)展部分5h上，而且提供到終端電極5本身。從而，焊接層23不一定僅被安放在電極擴(kuò)展部分的某一部分，而且焊接層23可以安放在整個(gè)電極擴(kuò)展部分的表面，更進(jìn)一步地可以擴(kuò)展安放至終端電極。而且，雖然沒有在圖中特別地顯示，焊接層可以安放在終端電極的整個(gè)表面。在圖11中，圖示了一個(gè)根據(jù)本發(fā)明最佳實(shí)施例的具有導(dǎo)線的壓電共振元件的實(shí)例。
壓電共振元件31最好是包括如圖1所示的第一最佳實(shí)施例的壓電諧振器1以及電容器32。導(dǎo)線電極33和34被連到壓電諧振器1的終端電極5和沒有在圖中顯示的終端電極的一側(cè)。
電容器32包括位于電介質(zhì)基片32a一端的電容器電極32b。在沒有在圖中顯示的另外一端，提供有一對電容器電極，并與電容器電極32b重疊。這對電容器電極分別連接到導(dǎo)線端子33和34。而且，導(dǎo)線端子35連接到電容器電極32b。
這里，除了導(dǎo)出部分的由導(dǎo)線端子33到35組成的部分被涂上一層樹脂包，如圖中雙點(diǎn)劃線D所示。
因此，如圖11所示，含導(dǎo)線的壓電共振元件31能被作為組合有壓電諧振器的負(fù)載電容器使用。
另外，根據(jù)本發(fā)明的不同的最佳實(shí)施例的壓電諧振器可以通過結(jié)合適當(dāng)?shù)陌b材料，應(yīng)用到芯片型壓電共振部件中。
如上所述，在根據(jù)本發(fā)明的最佳實(shí)施例的壓電諧振器中，第一和第二終端電極中的至少一個(gè)提供有上述電極擴(kuò)展部分，因此不必要的振動(dòng)而不是所需的振動(dòng)方式被有效地抑制，并且基于所需振動(dòng)的諧振特性被有效地利用。另外，因?yàn)殡姌O擴(kuò)展部分與根據(jù)一種電極形成方法形成的終端電極以相同的方法形成，電極擴(kuò)展部分被精確地形成。而且，因?yàn)殡姌O擴(kuò)展部分沒有使用如樹脂之類的阻尼材料，不僅形成它的準(zhǔn)確度極高，而且解壓電諧振器的厚度并沒有增加。這使壓電諧振器的尺寸得以更進(jìn)一步的減少。
更進(jìn)一步，因?yàn)殡姌O材料和電極擴(kuò)展部分使用的材料相同，當(dāng)電極擴(kuò)展部分形成時(shí)以及在其后的加工過程中不會(huì)產(chǎn)生裂縫。
這就使壓電諧振器的生產(chǎn)變得更容易，而且造價(jià)更低。
正如可以從上述的實(shí)驗(yàn)的例子看到的那樣，如果從激勵(lì)電極的外部外圍邊緣到電極擴(kuò)展部分內(nèi)部邊緣的平均法線距離是至少大約1.2d,d是激勵(lì)電極的直徑，所需的振動(dòng)的不必要的減弱就被可靠地抑制，并且所需的振動(dòng)的諧振特性被有效地發(fā)揮。
如果在電極擴(kuò)展部分進(jìn)行焊接，焊劑增加的質(zhì)量甚至可以更有效地減弱不必要的振動(dòng)。特別地，如果在終端電極的整個(gè)上表面進(jìn)行焊接，不僅不必要的振動(dòng)可以有效地減弱，而且外部的電連接可以容易且可靠地執(zhí)行。
根據(jù)本發(fā)明，如果第一和第二導(dǎo)線端子也被分別焊接到各自的第一和第二終端電極，則有可能有效地抑制不必要的振動(dòng)，并且提供一個(gè)能夠有效地利用所需振動(dòng)的諧振特性的含導(dǎo)線的壓電共振元件。
應(yīng)該理解，上面的描述僅僅是本發(fā)明的示例性解說。在不偏離本發(fā)明前提下，由該技術(shù)領(lǐng)域中的專業(yè)人員可以做出不同的選擇和修改。本發(fā)明包含在后附的權(quán)利要求范圍之內(nèi)的所有這種選擇、修改和變化。
權(quán)利要求
1．一種壓電諧振器，包括具有第一和第二主表面的壓電基片；在所述壓電基片的所述第一和第二主表面上部分地分別提供第一和第二激勵(lì)電極，所述第一和第二激勵(lì)電極彼此相對，壓電基片位于它們之間；第一和第二導(dǎo)出電極分別電連接到所述第一和第二激勵(lì)電極，所述第一和第二導(dǎo)出電極分別提供在所述壓電基片的第一和第二主表面上；以及第一和第二終端電極被設(shè)置以實(shí)現(xiàn)外部連接，所述第一和第二終端電極分別地提供在所述第一和第二導(dǎo)出電極的末端部分，所述末端部分相對于所述各個(gè)第一和第二激勵(lì)電極連接處的末端部分；其中所述第一和第二終端電極中的至少一個(gè)包括擴(kuò)展至鏡像區(qū)域的電極擴(kuò)展部分，在這個(gè)區(qū)域所述的第一和第二激勵(lì)電極擴(kuò)展到所述壓電基片側(cè)邊緣中的至少一個(gè)。
2．根據(jù)權(quán)利要求1中的壓電諧振器，其中，從所述激勵(lì)電極的外部外圍邊緣到所述電極擴(kuò)展部分的內(nèi)部邊緣的平均法線距離至少是大約1.2d,d是所述激勵(lì)電極的直徑。
3．根據(jù)權(quán)利要求1中的壓電諧振器，其中，焊接層被提供在所述電極擴(kuò)展部分。
4．根據(jù)權(quán)利要求3中的壓電諧振器，其中，所述焊接層也設(shè)置在所述第一和第二終端電極的整個(gè)上表面上。
5．根據(jù)權(quán)利要求1中的壓電諧振器，其中，更進(jìn)一步包括連接到所述各個(gè)第一和第二終端電極的第一和第二導(dǎo)線端子。
6．根據(jù)權(quán)利要求3中的壓電諧振器，其中，所述焊接層也設(shè)置在所述第一和第二終端電極的某一個(gè)部分上。
7．根據(jù)權(quán)利要求1中的壓電諧振器，其中，所述電極擴(kuò)展部分與所述壓電基片的側(cè)邊緣中的至少一個(gè)之間有距離。
8．根據(jù)權(quán)利要求1中的壓電諧振器，其中，所述電極擴(kuò)展部分是沿著所述壓電基片的側(cè)邊緣中的至少一個(gè)的側(cè)邊放置的。
9．根據(jù)權(quán)利要求1中的壓電諧振器，其中，所述第一和第二終端中的至少一個(gè)包括另一個(gè)擴(kuò)展至鏡像區(qū)域的電極擴(kuò)展部分，在這個(gè)區(qū)域所述第一和第二激勵(lì)電極擴(kuò)展到所述壓電基片的側(cè)邊緣的至少一個(gè)。
10．根據(jù)權(quán)利要求1中的壓電諧振器，其中，所述電極擴(kuò)展部分包括圍繞著激勵(lì)電極的弧形邊緣。
11．根據(jù)權(quán)利要求9中的壓電諧振器，其中，所述另一電極擴(kuò)展部分包括內(nèi)部為不規(guī)則形狀的邊緣。
12．一種壓電諧振器，包括具有第一和第二主表面的壓電基片；在所述壓電基片的所述第一和第二主表面上部分地分別提供第一和第二激勵(lì)電極，所述第一和第二激勵(lì)電極彼此相對，壓電基片在它們之間。第一和第二導(dǎo)出電極分別電連接到所述第一和第二激勵(lì)電極，所述第一和第二導(dǎo)出電極分別提供在所述壓電基片的第一和第二主表面上；以及第一和第二終端電極連接到所述第一和第二導(dǎo)出電極；其中，所述第一和第二終端電極中的至少一個(gè)包括擴(kuò)展到所述第一和第二終端電極的電極擴(kuò)展部分。
13．根據(jù)權(quán)利要求1中的壓電諧振器，其中，從所述激勵(lì)電極的外部外圍邊緣到所述電極擴(kuò)展部分的內(nèi)部邊緣的平均法線距離至少是大約12.2d,d是所述激勵(lì)電極的直徑。
14．根據(jù)權(quán)利要求12中的壓電諧振器，其中，焊接層設(shè)置在所述電極擴(kuò)展部分。
15．根據(jù)權(quán)利要求14中的壓電諧振器，其中，所述焊接層也設(shè)置在所述第一和第二終端電極的整個(gè)上表面上。
16．根據(jù)權(quán)利要求12中的壓電諧振器，其中，進(jìn)一步包括連接到所述各自第一和第二終端電極的第一和第二導(dǎo)線端子。
17．根據(jù)權(quán)利要求14中的壓電諧振器，其中，所述焊接層也設(shè)置在所述第一和第二終端電極的某一個(gè)部分上。
18．根據(jù)權(quán)利要求12中的壓電諧振器，其中，所述電極擴(kuò)展部分與壓電基片的一個(gè)側(cè)邊緣之間有距離。
19．根據(jù)權(quán)利要求12中的壓電諧振器，其中，所述電極擴(kuò)展部分是沿著壓電基片的一個(gè)側(cè)邊緣放置的。
20．根據(jù)權(quán)利要求12中的壓電諧振器，其中，所述第一和第二終端中的至少一個(gè)包括另一個(gè)擴(kuò)展到所述第一和第二終端電極的電極擴(kuò)展部分。
全文摘要
一種小型且易生產(chǎn)的壓電諧振器,能有效地減弱不需要的振動(dòng)并且利用需要的振動(dòng),包括在壓電基片的兩個(gè)主要表面上提供的激勵(lì)電極;第一和第二導(dǎo)出電極分別電連接到該激勵(lì)電極的第一和第二終端電極。終端電極中的至少一個(gè)包括擴(kuò)展到鏡像區(qū)域的電極擴(kuò)展部分,在該區(qū)域中第一和第二激勵(lì)電極擴(kuò)展到壓電基片側(cè)邊緣中的至少一個(gè)。
文檔編號(hào)H03H9/05GK1301084SQ0013749
公開日2001年6月27日 申請日期2000年11月15日 優(yōu)先權(quán)日1999年11月15日
發(fā)明者小谷謙一, 吉尾雅一 申請人:株式會(huì)社村田制作所