專利名稱：表面聲波濾波器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在移動(dòng)通訊設(shè)備中用作高頻裝置的表面聲波濾波器(SAW濾波器)。


圖1為作為其中一種SAW濾波器的縱向連接的雙模式共振器濾波器結(jié)構(gòu)，在該縱向連接的雙模式共振器濾波器1中，三個(gè)用于激發(fā)和接收表面聲波的中間數(shù)字傳感器4、3、4(IDTs)沿著表面聲波的傳播方向設(shè)置在壓電基板10上，兩個(gè)用于反射表面聲波的反射器5沿著表面聲波的傳播方向設(shè)置在上述三個(gè)中間數(shù)字傳感器4、3、4的兩側(cè)。
在每一個(gè)中間數(shù)字傳感器3或4中，具有多個(gè)(圖1中未示出)電極指針12的兩個(gè)IDT電極彼此相對(duì)排列，以使得它們的電極指針12彼此間具有相同的間隔；在三個(gè)中間數(shù)字傳感器4、3、4中，中心的中間數(shù)字傳感器3一側(cè)的ITD電極具有縱向連接的雙模式共振器濾波器1的輸入端IN，而中心的中間數(shù)字傳感器3另一側(cè)的IDT電極接地；兩端的每一個(gè)中間數(shù)字傳感器4一側(cè)的IDT電極都接地，而兩端的中間數(shù)字傳感器4另一側(cè)的IDT電極連接在一起，并具有縱向連接的雙模式共振器濾波器1的輸出端OUT。
在每一個(gè)反射器5中，與中間數(shù)字傳感器3和4中的電極指針12相似的多個(gè)(圖1中未示出)電極指針以階梯形式排列，其間隔與中間數(shù)字傳感器3和4中的間隔基本相同；三個(gè)中間數(shù)字傳感器4、3、4和反射器5基本上具有相同的開口長(zhǎng)度W，該長(zhǎng)度是在垂直于表面聲波傳播方向上的長(zhǎng)度。
在具有這樣一種結(jié)構(gòu)的縱向連接的雙模式共振器濾波器1中，當(dāng)交流電壓施加到輸入端IN時(shí)，壓電效果使得壓電基板10在相鄰電極指針12間產(chǎn)生變形，從而激發(fā)出表面聲波，當(dāng)表面聲波的波長(zhǎng)與電極指針12的間隔彼此相等的時(shí)候，其激發(fā)出的表面聲波最強(qiáng)，由于被激發(fā)出的表面聲波受到兩個(gè)反射器5的反射，振動(dòng)能量被封閉在兩個(gè)反射器5之間，從而產(chǎn)生駐波以共振，該共振輸出可從輸出端OUT獲得。該駐波具有雙重模式，其中存在具有如圖2A所示變位分布的第一模式波和具有如圖2B所示變位分布的第三模式波。
在上述縱向連接的雙模式共振器濾波器1中，濾波器的各種特性可以通過設(shè)置設(shè)計(jì)參數(shù)而獲得。然而在通常情況下，關(guān)于通帶特性，在其高頻側(cè)的截止頻率附近的銳度(如圖3A所示)不令人滿意，因此，它所存在的問題是不能獲得充分的衰減。
此外，輸入端和輸出端之間電極結(jié)構(gòu)上的不同導(dǎo)致了輸入和輸出阻抗匹配較差的問題。在圖3B中，反射特性曲線通過由電壓駐波比(VSWR)表示S11和S22中的每一個(gè)示出，其中，S11是來自輸入端(IN)的入射波與從濾波器返回到輸入端的反射波之間的關(guān)系，S22是來自輸出端(OUT)的入射波與從濾波器返回到輸出端的反射波之間的關(guān)系。電壓駐波比(VSWR)是當(dāng)傳播路徑上所產(chǎn)生的駐波用電壓顯示時(shí)，其最大電壓和最小電壓的比率。當(dāng)其值接近1時(shí)，匹配狀態(tài)改善。如圖3B所示，特性曲線S11示出在通帶內(nèi)基本為2或更小的數(shù)值，這是令人滿意的，而特性曲線S22不如特性曲線S11。
為了結(jié)合現(xiàn)有技術(shù)以解決上述問題，如圖4所示，將上述縱向連接的雙模式共振器濾波器1在壓電基板11上垂直連接成兩級(jí)的形式。其結(jié)果是高頻側(cè)的截止頻率附近受到抑制。然而這種結(jié)構(gòu)帶來了大量的插入損失(當(dāng)濾波器是插入時(shí)的衰減和其不是插入時(shí)的衰減之間的差別)。
關(guān)于解決類似問題而使用縱向連接的雙模式共振器濾波器技術(shù)的例子，如在日本公開專利說明書No.8-191229(1996)中公開了一種“縱向連接的雙模式共振器SAW濾波器”。在該“縱向連接的雙模式共振器SAW濾波器”中，中心IDT和兩側(cè)IDT最里面的面對(duì)的電極指針的中間間隔不同。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了解決上述問題，并且本發(fā)明的目的是提供一種表面聲波濾波器，其在通帶高頻側(cè)的截止頻率附近具有良好的銳度，并且能夠獲得充分的衰減，以及具有良好的輸入輸出匹配狀態(tài)。
根據(jù)本發(fā)明的表面聲波濾波器包括縱向連接的雙模式共振器濾波器，其中用于激發(fā)和接收表面聲波的多個(gè)中間數(shù)字傳感器沿著表面聲波的傳播方向彼此相鄰排列，及共振器，其具有一個(gè)或多個(gè)用于激發(fā)和接收表面聲波的中間數(shù)字傳感器?？v向連接的雙模式共振器濾波器與共振器串聯(lián)連接?？v向連接的雙模式共振器濾波器在通帶高頻側(cè)的截止頻率與共振器的反共振頻率基本相等。
兩個(gè)用于反射表面聲波的反射器沿傳播方向設(shè)置在布置在縱向連接的雙模式共振器濾波器內(nèi)的多個(gè)中間數(shù)字傳感器的兩側(cè)，表面聲波的振動(dòng)能量可以被封閉在兩反射器之間。
共振器是單端口共振器，兩個(gè)用于反射表面聲波的反射器沿著表面聲波的傳播方向設(shè)置在共振器的兩側(cè)。
在本發(fā)明的表面聲波濾波器中，縱向連接的雙模式共振器濾波器和反射器安裝在單個(gè)壓電基板上。從而可以實(shí)現(xiàn)具有較小尺寸的表面聲波濾波器。
圖5所示為使用了表面聲波的單端口共振器的結(jié)構(gòu)，在該單端口共振器中，兩個(gè)用于反射表面聲波的反射器7安裝在壓電基板9上，并沿表面聲波的傳播方向設(shè)置在用于激發(fā)和接收表面聲波的中間數(shù)字傳感器6(IDT)的兩側(cè)。
在中間數(shù)字傳感器6中，具有多個(gè)(圖5中未示出)電極指針13的兩個(gè)IDT電極彼此相對(duì)排列，以使得它們的電極指針13彼此間具有相同的間隔。中間數(shù)字傳感器6一側(cè)的IDT電極具有單端口共振器2的輸入端IN，而另一側(cè)的IDT電極具有輸出端OUT。
在每一個(gè)反射器7中，與中間數(shù)字傳感器6的電極指針13相似的多個(gè)(圖5中未示出)電極指針以階梯形式設(shè)置，其間隔與中間數(shù)字傳感器6中的間隔基本相同。
在具有這樣結(jié)構(gòu)的單端口共振器2中，當(dāng)交流電壓施加穿過輸入端IN和輸出端OUT時(shí)，壓電效果使得壓電基板9在相鄰電極指針13間產(chǎn)生變形，并激發(fā)出表面聲波。當(dāng)表面聲波的波長(zhǎng)與電極指針13的間隔彼此相等時(shí)，激發(fā)出的表面聲波最強(qiáng)。由于激發(fā)出的表面聲波受到兩個(gè)反射器7的反射，振動(dòng)能量被封閉在兩個(gè)反射器7之間，從而產(chǎn)生駐波以共振。
例如，單端口共振器2具有如圖6所示的頻率特性，并具有反共振頻率f1。在本發(fā)明中，縱向連接的雙模式共振器濾波器1和單端口共振器2串聯(lián)連接，縱向連接的雙模式共振器濾波器1在通帶高頻側(cè)的截止頻率與單端口共振器2的反共振頻率f1基本相等。從而通帶的特性曲線在高頻側(cè)的截止頻率附近顯示了更高的銳度，并獲得充分的衰減。
在本發(fā)明的表面聲波濾波器中，共振器的中間數(shù)字傳感器內(nèi)電極指針的間距比縱向連接的雙模式共振器濾波器的中間數(shù)字傳感器內(nèi)電極指針的間距要大。由于中間數(shù)字傳感器的反共振頻率通過調(diào)整其波長(zhǎng)調(diào)整，因此，在本發(fā)明中將共振器的中間數(shù)字傳感器的反共振頻率調(diào)整到縱向連接的雙模式共振器濾波器的截止頻率高頻側(cè)的一個(gè)頻率。
另外，在本發(fā)明的表面聲波濾波器中，縱向連接的雙模式共振器濾波器設(shè)置有三個(gè)中間數(shù)字傳感器，因?yàn)闉榱说玫奖?5MHz(具有4.1-4.3％的分?jǐn)?shù)帶寬)高的通帶，兩個(gè)以上的中間數(shù)字傳感器是必不可少的。由于縱向連接的雙模式共振器濾波器僅包括三個(gè)中間數(shù)字傳感器，其滿足了最低要求，因此為濾波器設(shè)定的參數(shù)數(shù)量能夠減少。
本發(fā)明的上述及其他目的和特征，在下面結(jié)合附圖的詳細(xì)說明中將更明顯。
圖6是單端口共振器的頻率特性曲線圖；圖7是本發(fā)明表面聲波濾波器(SAW濾波器)實(shí)施例的實(shí)質(zhì)部分的結(jié)構(gòu)示意圖；圖8A和8B是根據(jù)試驗(yàn)1的本發(fā)明表面聲波濾波器(SAW濾波器)的特性曲線圖；圖9A和9B是未經(jīng)很好調(diào)節(jié)的表面聲波濾波器(SAW濾波器)的特性曲線圖；圖10A和10B是根據(jù)試驗(yàn)2的本發(fā)明表面聲波濾波器(SAW濾波器)的特性曲線圖。
圖7是本發(fā)明表面聲波濾波器(SAW濾波器)實(shí)施例的實(shí)質(zhì)部分的結(jié)構(gòu)示意圖，該SAW濾波器是通過將縱向連接的雙模式共振器濾波器1和單端口共振器2串聯(lián)連接在壓電基板8上構(gòu)成的。
在所述縱向連接的雙模式共振器濾波器1中，三個(gè)用于激發(fā)和接收表面聲波的中間數(shù)字傳感器4、3、4(IDTs)沿著表面聲波的傳播方向設(shè)置。兩個(gè)用于反射表面聲波的反射器5設(shè)置在上述三個(gè)中間數(shù)字傳感器4、3、4的兩側(cè)，并沿著表面聲波的傳播方向排列。
在每一個(gè)中間數(shù)字傳感器3或4中，具有多個(gè)(圖7中未示出)電極指針12的兩個(gè)IDT電極彼此相對(duì)排列，以使得它們的電極指針12彼此間具有相同的間隔；通過調(diào)節(jié)中間數(shù)字傳感器3和4中相鄰電極指針12間的距離(所謂的連接長(zhǎng)度)可以調(diào)節(jié)濾波器的特性。
在每一個(gè)反射器5中，與中間數(shù)字傳感器3和4中電極指針12相似的多個(gè)(圖7中未示出)電極指針以階梯形式設(shè)置，其間隔與中間數(shù)字傳感器3和4中的間隔基本相同；三個(gè)中間數(shù)字傳感器4、3、4和反射器5基本上具有相同的開口長(zhǎng)度W1，該長(zhǎng)度也就是在垂直于表面聲波傳播方向上的長(zhǎng)度；然而它們的開口長(zhǎng)度W1不必是相等的。
在單端口共振器2中，兩個(gè)用于反射表面聲波的反射器7沿表面聲波的傳播方向設(shè)置在用于激發(fā)和接收表面聲波的中間數(shù)字傳感器6的兩側(cè)。
在中間數(shù)字傳感器6中，具有多個(gè)(圖7中未示出)電極指針13的兩個(gè)IDT電極彼此相對(duì)排列，以使它們的電極指針13彼此間具有相同的間隔。
在每一個(gè)反射器7中，與中間數(shù)字傳感器6中的電極指針13相似的多個(gè)(圖7中未示出)電極指針以階梯形式設(shè)置，其間隔與中間數(shù)字傳感器6中的間隔基本相同；中間數(shù)字傳感器6和反射器7基本上具有相同的開口長(zhǎng)度W2，該長(zhǎng)度即是在垂直于表面聲波傳播方向上的長(zhǎng)度；然而它們的開口長(zhǎng)度W2不必是相等的。
在縱向連接的雙模式共振器濾波器1的三個(gè)中間數(shù)字傳感器4、3、4中，中心的中間數(shù)字傳感器3一側(cè)的IDT電極具有該SAW濾波器的輸入端IN，該中心的中間數(shù)字傳感器3另一側(cè)的IDT電極接地；兩端的每一個(gè)中間數(shù)字傳感器4一側(cè)的IDT電極均接地，而兩端的中間數(shù)字傳感器4另一側(cè)的IDT電極連接在一起，并與單端口共振器2的端點(diǎn)相連。
縱向連接的雙模式共振器濾波器1中的中間數(shù)字傳感器4另一側(cè)的IDT電極與單端口共振器2中的中間數(shù)字傳感器6一側(cè)的IDT電極之間具有一共用連接。中間數(shù)字傳感器6另一側(cè)的IDT電極具有該SAW濾波器的輸出端OUT。
在具有這樣結(jié)構(gòu)的SAW濾波器中，當(dāng)交流電壓施加到輸入端IN上時(shí)，縱向連接的雙模式共振器濾波器1的壓電效果使得壓電基板8在相鄰電極指針12間產(chǎn)生變形，從而激發(fā)出表面聲波，當(dāng)表面聲波的波長(zhǎng)與電極指針12的間隔彼此相等時(shí)，激發(fā)出的表面聲波最強(qiáng)。由于激發(fā)出的表面聲波受到兩個(gè)反射器5的反射，振動(dòng)能量被封閉在兩個(gè)反射器5之間，從而產(chǎn)生駐波以共振，該共振輸出供給到單端口共振器2上。
在單端口共振器2內(nèi)，根據(jù)縱向連接的雙模式共振器濾波器1輸出的供給，壓電效果使得壓電基板8在相鄰電極指針13間產(chǎn)生變形，從而激發(fā)出表面聲波，當(dāng)表面聲波的波長(zhǎng)與電極指針13的間隔彼此相等的時(shí)候，激發(fā)出的表面聲波最強(qiáng)，由于激發(fā)出的表面聲波受到兩個(gè)反射器7的反射，振動(dòng)能量被封閉在兩個(gè)反射器7之間，從而產(chǎn)生駐波以共振，該共振輸出從SAW濾波器的輸出端OUT輸出。
單端口共振器2的頻率特性如圖6所示，其中具有反共振頻率f1，該反共振頻率f1與縱向連接的雙模式共振器濾波器1在通帶高頻側(cè)的截止頻率基本相同，因此該SAW濾波器的全部通帶特性在高頻側(cè)的截止頻率附近具有非常高的銳度，從而獲得充分的衰減。
對(duì)于壓電基板8來說，可以使用42°Y(切斷)-X(傳播)LiTaO3、36°Y-XLiTaO3、64°Y-XLiNbO3、41°Y-XLiNbO3或128°Y-XLiNbO3，它也可以使用X-cut LiTaO3或X-cut LiNbO3，而其它壓電體也可以用于壓電基板8，例如晶體和langasite，此外它不但可以使用單晶體，還可以使用薄膜壓電體，例如AlN(氮化鋁)、ZnO、PbTiO3和BaTiO3等。
中間數(shù)字傳感器(IDT)和反射器所用的材料是Al或Al-Cu(1％)，為了得到1.7-2.0GHz的通帶，中間數(shù)字傳感器覆蓋層的厚度例如為80～220nm，而考慮到帶通特性(在截止頻率附近的帶通長(zhǎng)度和銳度)優(yōu)選為140～180nm，此外，連接長(zhǎng)度被制成一有效長(zhǎng)度。
雖然反射器5包含于上述縱向連接的雙模式共振器濾波器1的結(jié)構(gòu)中，但反射器5不是必須的，一種沒有反射器5的結(jié)構(gòu)可以依靠一定數(shù)量的中間數(shù)字傳感器3、4和其定位方法而實(shí)現(xiàn)，使用晶體端面反射等。此外，在單端口共振器2中，也可以使用沒有反射器7的中間數(shù)字傳感器6。
此外，縱向連接的雙模式共振器濾波器表面聲波的傳播方向與共振器表面聲波的傳播方向可以制成是不同方向的，例如，中間數(shù)字傳感器有時(shí)定位成彼此垂直交叉的形式。
此外，這里只介紹了使用單端口共振器2的結(jié)構(gòu)，而共振器不僅限于單端口，雙端口共振器結(jié)構(gòu)也可以使用。
上述SAW濾波器的設(shè)計(jì)過程如下。首先，縱向連接的雙模式共振器濾波器1一段的參數(shù)設(shè)計(jì)成在通帶的低頻側(cè)獲得較好的抑制特性和銳度。
其次，通帶在高頻側(cè)的抑制特性和銳度設(shè)計(jì)成從而單端口共振器2的反共振頻率與通帶在高頻側(cè)的截止頻率基本相同。為此，在單端口共振器2中，波長(zhǎng)(電極指針間隔的兩倍)、間隔長(zhǎng)度和電極指針的數(shù)量可以調(diào)節(jié)；尤其是，在單端口共振器2中，通過調(diào)節(jié)影響濾波器波形的間隔長(zhǎng)度、電極指針13的數(shù)量和反射器7中電極指針的數(shù)量，從而調(diào)節(jié)濾波器通帶的波形。
再次，最適合的調(diào)節(jié)方法是單端口共振器的參數(shù)調(diào)節(jié)成使上述特性S11和S22在通帶附近是相似的。在設(shè)置好單端口共振器2的參數(shù)之后，進(jìn)一步調(diào)節(jié)縱向連接的雙模式共振器濾波器1的參數(shù)，從而調(diào)節(jié)通帶的長(zhǎng)度和通帶中的電壓駐波比(VSWR)。
實(shí)驗(yàn)1上述SAW濾波器的實(shí)驗(yàn)是在如下設(shè)定設(shè)計(jì)參數(shù)完成的。
對(duì)于縱向連接的雙模式共振器濾波器1來說，中間數(shù)字傳感器3中電極指針的數(shù)量為27，中間數(shù)字傳感器4中電極指針的數(shù)量為19，中間數(shù)字傳感器3和4的波長(zhǎng)(電極指針間隔的兩倍)為2.13μm，中間數(shù)字傳感器3和4中電極指針的金屬化比為65，反射器5的波長(zhǎng)(電極指針間隔的兩倍)為2.19μm，反射器5的金屬化比為65，間隔長(zhǎng)度為170μm。
對(duì)于單端口共振器2來說，中間數(shù)字傳感器6中電極指針的數(shù)量為251，中間數(shù)字傳感器6的波長(zhǎng)(電極指針間隔的兩倍)為2.14μm，中間數(shù)字傳感器6的金屬化比為50，反射器7的波長(zhǎng)(電極指針間隔的兩倍)為2.14μm，反射器7的金屬化比為50，間隔長(zhǎng)度為50μm。
圖8A中示出了根據(jù)實(shí)驗(yàn)1的表面聲波濾波器的通帶特性曲線。在圖8B中，通過電壓駐波比(VSWR)顯示S11和S22中的每個(gè)從而示出了反射特性，其中，S11是來自輸入端(IN)的入射波與濾波器中返回到輸入端的反射波之間的關(guān)系，S22是來自輸出端(OUT)的入射波與濾波器中返回到輸出端的反射波之間的關(guān)系。從這兩個(gè)特性曲線S11和S22中可以看出，它們的數(shù)值在通帶內(nèi)基本為2或更小并且匹配。
對(duì)于上述參數(shù)，通帶為1805～1880MHz。為了獲得1710～1785MHz的通帶，首要調(diào)節(jié)波長(zhǎng)，而其它參數(shù)基本不變。
此外，圖9A中示出了在與上述SAW濾波器類似結(jié)構(gòu)(圖7)中，當(dāng)單端口共振器的反共振頻率變位到較高頻率側(cè)時(shí)的通帶特性曲線。由于特性曲線S11和S22的電壓駐波比特性不相匹配，如圖9B所示，它們的銳度(圖9A)和電壓駐波比特性(圖9B)不如圖8A和8B所示的銳度和電壓駐波比特性。
實(shí)驗(yàn)2上述SAW濾波器的實(shí)驗(yàn)是如下設(shè)定設(shè)計(jì)參數(shù)完成的。
對(duì)于縱向連接的雙模式共振器濾波器1來說，中間數(shù)字傳感器3中電極指針的數(shù)量為37，中間數(shù)字傳感器4中電極指針的數(shù)量為25，中間數(shù)字傳感器3和4的波長(zhǎng)(電極指針間隔的兩倍)為2.035μm，中間數(shù)字傳感器3和4中電極指針的金屬化比為60，反射器5的波長(zhǎng)(電極指針間隔的兩倍)為2.081μm，反射器5的金屬化比為60，間隔長(zhǎng)度為90μm。
對(duì)于單端口共振器2來說，中間數(shù)字傳感器6中電極指針的數(shù)量為251，中間數(shù)字傳感器6的波長(zhǎng)(電極指針間隔的兩倍)為2.050μm，中間數(shù)字傳感器6的金屬化比為50，反射器7的波長(zhǎng)(電極指針間隔的兩倍)為2.050μm，反射器7的金屬化比為50，間隔長(zhǎng)度為50μm。
圖10A中示出了根據(jù)實(shí)驗(yàn)2的表面聲波濾波器的通帶特性曲線。在圖10B中通過電壓駐波比(VSWR)顯示S11和S22從而示出了反射特性曲線，其中，S11是來自輸入端(IN)的入射波與從濾波器中返回到輸入端的反射波之間的關(guān)系，S22是來自輸出端(OUT)的入射波與從濾波器中返回到輸出端的反射波之間的關(guān)系。如圖所示，根據(jù)本發(fā)明的SAW濾波器可以在1.8～1.9GHz之間的頻段應(yīng)用。
實(shí)驗(yàn)1示出了本發(fā)明關(guān)于頻段在1700～1800MHz的情況，而實(shí)驗(yàn)2示出了本發(fā)明關(guān)于頻段在1.9～2.0GHz的情況。然而，本發(fā)明也可以應(yīng)用于移動(dòng)通信的RF和IF頻段，尤其是在300～500MHz頻段、800～900MHz頻段、1500MHz頻段、1.9～2.0GHz頻段和2.4～2.5GHz頻段。
權(quán)利要求
1.一種表面聲波濾波器，它包括縱向連接的雙模式共振器濾波器，其中多個(gè)用于激發(fā)和接收表面聲波的中間數(shù)字傳感器沿著表面聲波的傳播方向彼此相鄰排列；和共振器，其具有一個(gè)或多個(gè)用于激發(fā)和接收一表面聲波的中間數(shù)字傳感器，該共振器與所述的縱向連接的雙模式共振器濾波器串聯(lián)連接，其特征在于，所述縱向連接的雙模式共振器濾波器的通帶高頻側(cè)的截止頻率與所述共振器的反共振頻率基本相等。
2.如權(quán)利要求1所述的表面聲波濾波器，其特征在于，兩個(gè)用于反射表面聲波的反射器沿傳播方向設(shè)置在所述縱向連接的雙模式共振器濾波器內(nèi)排列的多個(gè)中間數(shù)字傳感器的兩側(cè)，用以將表面聲波的振動(dòng)能量封閉在所述兩反射器間。
3.如權(quán)利要求1所述的表面聲波濾波器，其特征在于，所述共振器是單端口共振器。
4.如權(quán)利要求1所述的表面聲波濾波器，其特征在于，兩個(gè)用于反射表面聲波的反射器沿著表面聲波的傳播方向設(shè)置在所述共振器的兩側(cè)。
5.如權(quán)利要求1所述的表面聲波濾波器，其特征在于，所述縱向連接的雙模式共振器濾波器和所述共振器安裝在單個(gè)壓電基板上。
6.如權(quán)利要求1所述的表面聲波濾波器，其特征在于，所述縱向連接的雙模式共振器濾波器設(shè)置有三個(gè)中間數(shù)字傳感器。
7.一種表面聲波濾波器，它包括縱向連接的雙模式共振器濾波器，其中多個(gè)用于激發(fā)和接收表面聲波的中間數(shù)字傳感器沿著表面聲波的傳播方向彼此相鄰排列；和共振器，其具有一個(gè)或多個(gè)用于激發(fā)和接收一表面聲波的中間數(shù)字傳感器，該共振器與所述的縱向連接的雙模式共振器濾波器串聯(lián)連接，其特征在于，所述共振器中的中間數(shù)字傳感器的電極指針之間的間隔比所述縱向連接的雙模式共振器濾波器中的中間數(shù)字傳感器的電極指針之間的間隔大。
8.如權(quán)利要求7所述的表面聲波濾波器，其特征在于，兩 個(gè)用于反射表面聲波的反射器沿其傳播方向設(shè)置在所述縱連接的雙模式共振器濾波器內(nèi)排列的多個(gè)中間數(shù)字傳感器的兩側(cè)，用以將表面聲波的振動(dòng)能量封閉在所述兩反射器間。
9.如權(quán)利要求7所述的表面聲波濾波器，其特征在于，所述共振器為單端口共振器。
10.如權(quán)利要求7所述的表面聲波濾波器，其特征在于，兩個(gè)用于反射表面聲波的反射器沿著表面聲波的傳播方向設(shè)置在所述共振器的兩側(cè)。
11.如權(quán)利要求7所述的表面聲波濾波器，其特征在于，所述縱向連接的雙模式共振器濾波器和所述共振器安裝在單個(gè)壓電基板上。
12.如權(quán)利要求7所述的表面聲波濾波器，其特征在于，所述縱向連接的雙模式共振器濾波器設(shè)置有三個(gè)中間數(shù)字傳感器。
全文摘要
一種表面聲波濾波器,在該表面聲波濾波器內(nèi),縱向連接的雙模式共振器濾波器與共振器串聯(lián)連接,縱向連接的雙模式共振器濾波器是將多個(gè)用于激發(fā)和接收表面聲波的中間數(shù)字傳感器沿著表面聲波的傳播方向彼此相鄰排列構(gòu)成的而共振器具有一個(gè)或多個(gè)用于激發(fā)和接收表面聲波的中間數(shù)字傳感器?？v向連接的雙模式共振器濾波器的通帶高頻側(cè)的截止頻率與共振器的反共振頻率基本相等。在表面聲波濾波器內(nèi),通帶高頻側(cè)截止頻率附近的銳度很高,能夠得到充分的衰減,并且輸入和輸出阻抗匹配的很好。
文檔編號(hào)H03H9/00GK1360395SQ0114430
公開日2002年7月24日 申請(qǐng)日期2001年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2000年12月15日
發(fā)明者田中直樹, 臼杵辰朗 申請(qǐng)人:三洋電機(jī)株式會(huì)社