專利名稱：電氣耦合機(jī)械帶通濾波器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是屬于帶通濾波器領(lǐng)域。更具體而言，本發(fā)明涉及應(yīng)用于存儲器陣列中多元尋址系統(tǒng)的電氣耦合機(jī)械帶通濾波器。
對于檔案存儲，數(shù)據(jù)只需要向存儲器中寫一次。優(yōu)選地存儲器應(yīng)該具有較短的毫秒級的存取時間和中等的傳輸速度，例如每秒2MB。優(yōu)選地，存儲器應(yīng)該能夠和很多種工業(yè)級平臺和模塊接口。
滿足這一需要的應(yīng)用涉及使用一次寫入式交叉點存儲器。在交叉點存儲器陣列中，形成一個存儲元件矩陣，每個存儲元件包括一個熔絲或反熔絲和一個串聯(lián)二極管。存儲元件由布置在正交的導(dǎo)線或電極之間的多個半導(dǎo)體和絕緣層組成。
在2001年6月5日提交的題為“一次寫入存儲器”的未決的美國專利申請No.09/875,356中描述了一種利用一次寫入交叉點存儲器陣列提供便攜設(shè)備中高密度檔案存儲器的應(yīng)用，該申請的內(nèi)容在此引作參考。其中披露的存儲系統(tǒng)稱為便攜式廉價耐用存儲器(PIRM)，為檔案存儲器提供了高容量低價位的一次寫入存儲器。通過取消硅基片，簡化加工復(fù)雜性和降低面密度，部分達(dá)到了這一目標(biāo)。存儲系統(tǒng)包括一個存儲模塊，該存儲模塊由構(gòu)造在薄膜塑料基片上的集成電路層疊加而成。每一層包括一個交叉點二極管存儲陣列，讀取陣列中存儲的數(shù)據(jù)由遠(yuǎn)離存儲模塊的獨立的集成電路來實現(xiàn)。
因為PIRM存儲器相對比較便宜，用戶可能會擁有大量存儲不同內(nèi)容的PIRM模塊。重要的是能夠以一種直接和相對便宜的工藝制造和裝配存儲模塊，這一過程可以最小化對精度的要求，最大化信息存儲密度和簡化尋址以及讀寫功能。
PIRM存儲系統(tǒng)可能的最便宜的實現(xiàn)方法是這樣的，其中，控制器和其它可重復(fù)使用的電子元件是嵌入用戶的產(chǎn)品或者位于插入存儲卡插槽的適配器上。PIRM存儲模塊通過專有的接口和控制器連接。該系統(tǒng)的主要問題構(gòu)成控制器和存儲模塊之間連接的設(shè)備可能包括大量連接，約120種或更多，這對壓縮的高密度存儲設(shè)備是難以克服的挑戰(zhàn)。因此需要多元尋址方法來減少存儲陣列的外部連接，例如時分多路和頻分多路尋址方法。
在未決的美國專利申請(HP概略數(shù)為10007561)“減少與PIRM存儲模塊連接的方法”中描述了一種用頻分多路方法充分減少存儲設(shè)備間的連接的系統(tǒng)，該申請題的內(nèi)容在此引作參考。在該系統(tǒng)中，存儲元件的地址分散在預(yù)定頻譜中從而在單個輸入/輸出線上快速傳遞多重存儲器尋址。為了使用這一系統(tǒng)，多重地址必須根據(jù)分配的頻率通過把地址分離才能訪問。
因此，需要一種帶通濾波系統(tǒng)才能夠根據(jù)PIRM存儲設(shè)備地址的不同頻率來訪問其不同地址。該帶通濾波器必須非常靈敏，才能確定頻率的微小變化，從而在一個相對小的頻譜內(nèi)包括大量地址。而且，該帶通濾波器必須很小(微米范圍)，很容易在薄膜狀或卷進(jìn)卷出(roll-to-roll)塑料基片上構(gòu)造并能夠和基片上其它小型PIRM類裝置相互作用。
在PIRM環(huán)境中，簡單的RC帶通濾波器由于其不可接受的高功耗是不適用的。這類濾波器還具有20db每十倍的衰減率，這對于提供用來尋址PIRM陣列所需的在給定頻譜上的必需的信號數(shù)來說太低了。使用晶體管元件的有源濾波器一般太貴。LCR濾波器可以設(shè)計用于PIRM，但是制作便宜且緊湊的電感很難，看起來也不可行。
以上問題的一種解決方法可以是采用機(jī)械驅(qū)動的帶通濾波器。在美國專利No.3,803,521(Hetzel)中示出了一個電控機(jī)械帶通濾波器的實例，其中用電磁轉(zhuǎn)換器把電能轉(zhuǎn)變成機(jī)械能或者相反，從而濾出所需的頻率。在美國專利No.3,686,593(Zakaria)中示出另一種使用靜電電控機(jī)械諧振器的應(yīng)用，其中一個振動簧片被它本身和輸出電極之間的靜電力驅(qū)動，輸出由簧片和輸出電極之間的電容變化來表示。Hetzel和Zarkaria系統(tǒng)設(shè)計于70年代，由于現(xiàn)代科技例如PIRM的發(fā)展而變得過時了。而且，Zakarian電路利用電容之間氣隙的變化產(chǎn)生輸出信號。這種方法導(dǎo)致力和位移之間的非線性關(guān)系，使得很難穩(wěn)定運行。
本發(fā)明的優(yōu)選實施方案中，在基片上制作的電耦合機(jī)械帶通濾波器包括第一塊(mass)和第二塊，每一塊優(yōu)選地至少在相對于基片和另一塊的方向上可獨立移動。第一彈簧元件有一端連接在基片上，另一端連接在第一塊上。
第二彈簧元件有一端連接在第一塊上，另一端連接在第二塊上。提供一個輸入轉(zhuǎn)換器來接收輸入頻率并向第一塊施加一個輸入力，輸入力在第一塊運動的方向上有一個分量，輸入力受輸入頻率影響。一個輸出轉(zhuǎn)換器與第一和第二塊相連來提供輸出頻率，該頻率受第一塊和第二塊之間的相對運動影響。
本發(fā)明的另一個實施方案包括帶通濾波基片上的振蕩器頻率的方法，該基片通常具有第一和第二塊以及第一和第二彈簧元件，每一塊至少可沿著一個方向獨立移動。第一彈簧元件的一端和第一塊相連，另一端和基片相連。第二彈簧元件的一端和第一塊相連，另一端和第二塊相連。輸入力加在第一塊上，輸入力在第一塊運動的方向上有一個分量。輸入力受輸入轉(zhuǎn)換器提供的輸入頻率的影響。輸出頻率通過與第一和第二塊相連的輸出轉(zhuǎn)換器產(chǎn)生并受第一和第二塊之間相對運動的影響。
下面的詳細(xì)描述將結(jié)合附圖，通過舉例來闡明本發(fā)明的其他方面以及優(yōu)點。
附圖簡述

圖1是一個概要的草圖，說明依照本發(fā)明優(yōu)選實施方案的電控機(jī)械帶通濾波器元件之間的關(guān)系；圖2是一個簡化的電路圖，描述圖1中概要示出的本發(fā)明優(yōu)選實施方案；圖3是圖1中概要示出的本發(fā)明另一個優(yōu)選實施方案的簡化示意圖；圖4是一個依照本發(fā)明優(yōu)選實施方案的帶通濾波器響應(yīng)的圖形表示；圖5是一個依照本發(fā)明優(yōu)選實施方案的帶通濾波器響應(yīng)的圖形表示；圖6是一個依照本發(fā)明優(yōu)選實施方案的帶通濾波器響應(yīng)的圖形表示；發(fā)明詳述參考圖1，簡略說明本發(fā)明優(yōu)選實施方案的電控機(jī)械帶通濾波器10的元件之間的關(guān)系。
帶通濾波器由一個二階機(jī)械系統(tǒng)實現(xiàn)，包括第一塊14，如圖所示通過第一彈簧元件16和基片12連接起來。第二塊18通過第二彈簧元件20和第一塊14連接起來。塊14和18可以自由地沿著至少一個共同的方向21相對于基片12運動。
機(jī)械濾波器系統(tǒng)10的輸入是沿著共同的方向21施加到第一塊14上的周期的力22。力22優(yōu)選地通過一個傳統(tǒng)的靜電轉(zhuǎn)換器(沒有示出)來施加，轉(zhuǎn)換器接收一個變化的輸入頻率并把它轉(zhuǎn)換成對應(yīng)于輸入頻率的變化的輸出力22。
機(jī)械式濾波器系統(tǒng)10的輸出基于塊14和塊18之間的距離26的變化。這個輸出被一個傳統(tǒng)的靜電轉(zhuǎn)換器(沒有示出)感知并把距離的變化x轉(zhuǎn)換成電子輸出信號。
在運行中，在很低的頻率，塊14在x方向上緩慢運動。塊18與塊14一致運動，使塊之間的距離26不變，輸出信號為零。在頻譜的另一端，頻率很高時，塊14的慣性超過了力22，塊14不會運動，塊18也不運動。因而在高頻時輸出信號也是零。在中間的頻率，塊18有滯后于塊14的趨勢，導(dǎo)致了塊之間的相對運動，這樣距離26就改變了。因此就產(chǎn)生了輸出信號。在其中產(chǎn)生顯著輸出信號的范圍就定義了通頻帶，在通頻帶兩側(cè)輸出信號衰減的程度被不同因素控制，這里將討論這些因素并定義通頻帶頻率窗口的形狀。
在一個優(yōu)選實施方案中，電信號靜電耦合到通頻帶系統(tǒng)。有很多種可能的電極配置提供必要的耦合。輸入通過導(dǎo)體和絕緣體任意裝置耦合到系統(tǒng)，這種裝置在第一塊運動時能導(dǎo)致電容變化而機(jī)械帶通濾波器系統(tǒng)的其他運動不會引起電容變化。相似地，輸出信號通過絕緣體和導(dǎo)體裝置提供，這種裝置只響應(yīng)兩塊之間的相對運動而使電容發(fā)生變化。
可選地，除了靜電耦合，其他電子耦合機(jī)制也可以在本發(fā)明范圍內(nèi)實現(xiàn)。例如，壓電轉(zhuǎn)換器可以用在輸入或輸出或者輸入輸出都用，這樣在輸入施加一個信號和/或在輸出產(chǎn)生一個信號，所述信號與加在壓電轉(zhuǎn)換器上的壓力成比例。另一個可選的實施方案可以使用駐極體作為轉(zhuǎn)換器，從而當(dāng)電場加在駐極體時，電荷被限制在影響輸入輸出信號的材料上。
圖2表示依照本發(fā)明的帶通濾波器30的元件的示意方案。如上所述，塊32通過彈簧33耦合到基片36，并至少在x方向上有運動范圍。塊38通過彈簧39和塊32連接起來，也至少在x方向上有運動的范圍。塊32和38是由具有具體磁導(dǎo)率(ε)的絕緣材料制成的。輸入信號Vi由振蕩器40產(chǎn)生，從而施加一個可以克服塊32和彈簧33的慣性的力，導(dǎo)致32沿著x方向的運動，振蕩器40通過電極板42和塊32的內(nèi)在電容耦合。單元44(C1)代表系統(tǒng)加在塊32上的阻尼。
塊32的運動通過彈簧39傳遞到塊38，導(dǎo)致塊38沿著x方向運動。輸出裝置47包括和塊38的電容相互作用的電極板48。塊38相對于輸出裝置47的運動導(dǎo)致了電池49產(chǎn)生的電池電壓VB的變化，從而產(chǎn)生在電極板48上周期性輸出電壓V0。塊32通過機(jī)械連接34和輸出裝置47固定在一起，這樣塊32的運動導(dǎo)致輸出裝置47的可比運動。單元44(C2)代表系統(tǒng)加在塊38上的阻尼。
因此，輸出信號VB只有在塊38相對于塊32運動，從而相對于輸出裝置47運動時才會變化。
圖2中所示的系統(tǒng)運動的機(jī)械系統(tǒng)公式如下(1)...M1X..1=-K1X1-K2(X1-X2)-C1X.1-C2(X.1-X.2)+F1]]>(2)...M2X..2=-K2X2-C2(X.1-X.2)+F2+K2X1]]>然后作用在塊32(M1)上的力F1可以從簡單的靜電理論導(dǎo)出如下F1dU1dx≈ddx(1/2CVi2)]]>(3)......F1≈Vi22(ϵ-ϵ0d)w]]>其中ε是間隙中的材料的磁導(dǎo)率，ε0是自由空間的磁導(dǎo)率，w是電極板的寬度，d是電極板42和48之間的間隙。
F2和V0的計算通過電極板48的電容結(jié)合在一起。
對于守恒系統(tǒng)dU＝Vdq-fdξ(4)ξ＝X2-X1(塊的相對位移)假設(shè)V有很小的變化，把等式表示成時間的函數(shù)V2/2dc/dξdξ/dt＝Vdq/qt-fdξ/dtV2/2dc/dξ2dξ2/dt＝Vdq/qt-fdξ2/dtdc/dξ2＝(ε-ε0)w2/d2dq/dt＝-iF2≌V2/2(ε-ε0)w2/d2Vi＝V2(ε-ε0)w2/d2dξ/dti＝V(ε-ε0)w2/d2dξ/dt由于V＝V0-VB以及V0＝iR，所以(5)V0＝-VB(R(ε-ε0)w2/d2dξ/dt)/(1-R(ε-ε0)w2/d2dξ/dt)(6)F2≌VB2(ε-ε0)w2/2d2(1-R(ε-ε0)w2/d2dξ/dt)等式(1)，(2)，(3)，和(6)表示的電控機(jī)械系統(tǒng)可以結(jié)合起來提供系統(tǒng)運動，作為關(guān)于外加輸入電壓Vi和穩(wěn)定的電池電壓VB的時間函數(shù)。
那么，輸出電壓V0可以通過將ξ＝X2-X1(等式4)代入等式5得出。
如等式(3)所示加到塊32上的力F1和加到輸入電容44上的電壓Vi的平方對應(yīng)。這樣塊38就以兩倍于振蕩器輸入頻率的頻率被驅(qū)動。如上所述，電壓輸出V0和塊32和38之間的相對速度成比例，因此輸出電壓也以兩倍于輸入頻率的頻率響應(yīng)。這會向帶通濾波器提供一個倍乘因子，影響通頻帶的形狀，下文將討論此點。
濾波器的通頻帶決定于系統(tǒng)的機(jī)械諧振。對于一個系統(tǒng)，其中塊32和38相等，彈簧元件33和39的倔強(qiáng)系數(shù)相同，阻尼作用很小，通帶由下式?jīng)Q定(7)...F0=3±52km]]>其中F0是輸出頻率，單位為周每秒，K是第一和第二彈簧的倔強(qiáng)系數(shù)，單位牛頓每米，m是第一和第二塊的質(zhì)量，單位千克。
可以理解塊和彈簧系數(shù)是可以改變的，兩塊可以有不同的質(zhì)量，兩個彈簧可以有不同的倔強(qiáng)系數(shù)，這取決于濾波器的規(guī)格要求。而且，通過增加其他靜電元件來響應(yīng)外加電壓改變元件的倔強(qiáng)系數(shù)或質(zhì)量，可以使帶通濾波器電可編程。當(dāng)兩塊質(zhì)量和兩個彈簧不同時，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以導(dǎo)出更一般化的等式來確定輸出頻率。
一種選擇可以向定向(beam)彈簧施加張力，使倔強(qiáng)系數(shù)隨著張力負(fù)荷的立方而增加。另一種選擇是提供一個具有有效長度的懸臂彈簧，有效長度隨著靜電壓力而改變。這種情況下，彈簧的倔強(qiáng)系數(shù)和有效長度的立方成比例。通頻帶的平滑度決定于系統(tǒng)固有頻率的間隔和機(jī)械系統(tǒng)的阻尼。典型地，水平振蕩器的靜電諧振Q大約是30。
在圖2所示系統(tǒng)中塊32和38假設(shè)是用絕緣材料制成的。在這種情況下，等式3表明產(chǎn)生的力是下列各量的函數(shù)塊的磁導(dǎo)率(ε)，空氣的磁導(dǎo)率(ε0)，電容器極板的寬度(w)，電極板之間的距離(d)。換句話說，忽略因數(shù)(Vi2/2)(8).....FX≈(ϵ-ϵ0)wd]]>作為可選，如果塊是導(dǎo)體，臨界氣隙變成了電極板32或48(d)之間的空間，只有空氣的導(dǎo)磁率被考慮。這樣產(chǎn)生的力的等式變成(9)......FX≈ϵ0wd]]>現(xiàn)在看圖3，示出本發(fā)明帶通濾波器的另一個優(yōu)選實施系統(tǒng)50。系統(tǒng)50有一個輸入級52和一個輸出級54。在輸入級，塊56(M1)被彈簧元件60(K1)固定在基片58上。一個表面驅(qū)動振蕩器62通過電容極板53向輸入級52提供輸入頻率，電容極板在塊56兩側(cè)各一塊，圖中只示出一塊。輸出級54包括齒狀驅(qū)動64，64由塊56和塊66(M2)的交錯的齒構(gòu)成。塊66通過彈簧元件68(K2)和塊56連接。優(yōu)選地，彈簧元件60和68是彈簧片，和塊56和66在同一個制作過程中一起制成。
在這個系統(tǒng)中，塊56和66假設(shè)是導(dǎo)體，因此公式(9)適用，其中輸入力的關(guān)鍵間隙(d)是輸入電極之間的空間。對于利用公式(9)計算輸出力來說，關(guān)鍵間隙(d)是齒狀驅(qū)動64的齒間氣隙或交錯的齒間間隙乘以交錯的齒數(shù)，w是各交錯的齒寬度。
輸出電壓V0取自和一個電池電壓VB串聯(lián)連接在塊56和66之間的電阻72上。齒狀驅(qū)動64作為塊56和66之間的可變電容，在兩塊沿著70方向相對運動時改變電容。齒狀驅(qū)動64電容的改變使電阻72上的輸出電壓V0改變。這樣，就產(chǎn)生了具有在期望的頻率帶寬范圍內(nèi)的頻率的輸出電壓。
如上所述，輸出電壓V0的頻率和輸入頻率的兩倍成比例。從而，選擇合適的輸入頻率以使輸入頻率的兩倍是所需的輸出頻率。
現(xiàn)在參看圖4，通頻帶以外的衰減對于兩塊的相對位置來說漸進(jìn)達(dá)到每十倍40db。系統(tǒng)的電氣輸出和兩塊的相對速度成比例。因此，如圖中所示，從輸入電壓到輸出電壓的傳遞函數(shù)在進(jìn)入側(cè)80以60db每十倍的斜率進(jìn)入通頻帶，而在離開側(cè)82以20db每十倍的斜率離開通頻帶。類似地，從輸入電流到輸出電流的傳遞函數(shù)以20db每十倍的斜率進(jìn)入通頻帶，以60db每十倍的斜率離開通頻帶。因此，通頻帶圖形是不對稱的，而一些應(yīng)用中需要對稱的圖形。
有幾種方法改善傳遞函數(shù)的對稱性。一種方法是在濾波器前增加一個在通頻帶內(nèi)具有截止頻率的無源RC低通或高通濾波器。因為輸入電壓作為機(jī)械式振蕩器的輸入時被平方，這種方法可以用來提供對稱通頻帶的濾波器，在通頻帶的進(jìn)入側(cè)84和離開側(cè)86兩側(cè)都以60db每十倍離開，如圖5所示。雖然這種通帶圖形很理想，但是增加的RC濾波器給系統(tǒng)增加了不允許的功耗。
在本申請中，濾波器用來從信號被混合的公用線上提取信號。因為信號是已知的可控制輸入信號，它們的振幅可以調(diào)節(jié)使得輸出信號具有期望的形狀。如果輸入振幅用頻率的平方根調(diào)整，假設(shè)公用線上沒有其他干擾源，信號就可以對稱地被辨別出來，這樣濾波器就有了對稱的40db每十倍的衰減，在通頻帶輸入90處上升，在通頻帶輸出92處下降。在這種情況下，任何白噪聲會不對稱地被過濾。但是，功耗比增加無源濾波器要小得多。
下文解釋為什么根據(jù)輸入頻率的平方根 調(diào)節(jié)輸入使有效的帶通頻率響應(yīng)對稱。沒有調(diào)整的濾波器的傳遞函數(shù)以+60dB/dec的斜率進(jìn)入通頻帶，以-20dB/dec的斜率離開通頻帶。如果傳遞函數(shù)乘以1/ω，它將在整個頻譜范圍內(nèi)把振幅減少20dB/dec，因而使得帶通濾波器響應(yīng)以+40dB/dec的斜率進(jìn)入通頻帶，以-40dB/dec的頻率離開通頻帶。這正是所需的使得通帶圖形對稱的頻率響應(yīng)。因為輸入信號是已知的和可控制的，它們的振幅可以根據(jù)和 成比例的因數(shù)調(diào)節(jié)來達(dá)到所需效果。如前文所述，輸出電壓的振幅依賴于輸入電壓振幅的平方，也就是V0∝Vi2F(ω)，其中V0是輸出振幅，Vi是輸入振幅，F(xiàn)(ω)是傳遞函數(shù)中依賴于頻率的部分。用 調(diào)整輸入具有將輸入函數(shù)除以因數(shù)ω同樣的效果V0∝(Viω)2F(ω)=ViF(ω)ω]]>圖6示出上述系統(tǒng)的仿真頻率響應(yīng)。假設(shè)沒有增加無源元件以形成輸入預(yù)-濾波器，輸入阻抗將由用來使機(jī)械系統(tǒng)更精確的齒狀或表面驅(qū)動結(jié)構(gòu)的電容決定。這些結(jié)構(gòu)將具有一個皮法或更少的電容。
本發(fā)明的帶通濾波器的另一個有用的特點是它能提供輸入和輸出電路之間完全的電絕緣。輸入和輸出電路是完全分離的。濾波器的實際實現(xiàn)可能如圖3所示，當(dāng)用共同的導(dǎo)體基片構(gòu)成輸入和輸出電容器的一部分時，輸入和輸出就電氣耦合在一起了。但是，這是一種設(shè)計選擇而不是本發(fā)明概念的限制。
雖然以上實施方案代表本發(fā)明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，根據(jù)本說明書和所附權(quán)利要求或者本發(fā)明公開實施方案的實踐，其他實施方案也是顯然的。該說明書和實施方案目的只在于舉例說明，本發(fā)明將由權(quán)利要求及其等效方案確定。
權(quán)利要求
1.一個構(gòu)造在基片上的電耦合的機(jī)械帶通濾波器，包括第一和第二塊(32，38)，每一塊在一個方向上可獨立地相對于基片和另一塊運動；第一彈簧元件(33)，一端連接在基片(36)上，另一端連接在第一塊(32)上；第二彈簧元件(36)，一端連接在第一塊(32)上，另一端連接在第二塊(38)上；輸入轉(zhuǎn)換器(40，42)，用來接收輸入頻率和把輸入力施加到第一塊(32)上，輸入力在第一塊(32)運動的方向上有一個分力，輸入力受輸入頻率的影響；輸出轉(zhuǎn)換器(48，49)和第一和第二塊(32，38)相連來提供受第一和第二塊相對運動影響的輸出頻率。
2.權(quán)利要求1的帶通濾波器，其中第一和第二塊(56，66)包括一個帶有互相交錯的齒的齒狀驅(qū)動(64)，其中第一和第二塊之間的相互運動由齒狀驅(qū)動(64)的電容的變化決定。
3.權(quán)利要求1的帶通濾波器，其中輸入轉(zhuǎn)換器(40，42)包括一個振蕩器(40)來產(chǎn)生輸入頻率，振蕩器(40)和第一塊(32)容性耦合來對應(yīng)于輸入頻率移動第一塊(32)。
4.權(quán)利要求3的帶通濾波器，其中輸出轉(zhuǎn)換器(48，49)包括一個電氣輸出元件(42)和第一塊機(jī)械連接在一起，并且和第二塊(38)容性耦合在一起來產(chǎn)生輸出頻率。
5.權(quán)利要求1的帶通濾波器，其中輸入轉(zhuǎn)換器(40，42)和輸出轉(zhuǎn)換器(48，49)電絕緣。
6.權(quán)利要求1的帶通濾波器，其中輸入頻率的振幅用輸入頻率的平方根進(jìn)行調(diào)整。
7.過濾基片(36)上的振蕩器(40)的頻率的方法，基片(36)通常具有第一和第二塊，每一塊都獨立地在至少一個方向上可移動，還包括第一和第二彈簧元件(33，39)包括第一彈簧元件(33)的一端連接到第一塊(32)上，第一彈簧元件(33)的另一端連接到基片(36)上；第二彈簧元件(39)的一端連接到第一塊(32)上，第二彈簧元件(39)的另一端連接到第二塊(38)上；向第一塊(32)施加一個受輸入轉(zhuǎn)換器(40，42)提供的輸入頻率影響的力，這個輸入的力在第一塊(32)運動的方向上有一個分力；通過和第一和第二塊(32，38)有關(guān)的輸出轉(zhuǎn)換器(48，49)產(chǎn)生一個受第一和第二塊相對運動影響的輸出頻率。
8.權(quán)利要求7的方法，其中輸入頻率由一個輸入振蕩器(40)產(chǎn)生，并且包括振蕩器(40)和第一塊(32)的容性耦合來相對于輸入頻率移動第一塊(32)。
9.權(quán)利要求7的方法，還包括輸出轉(zhuǎn)換器(48，49)和第一塊(32)的機(jī)械連接以及輸出轉(zhuǎn)換器(48，49)和第二塊(38)的容性耦合來產(chǎn)生輸出頻率。
10.權(quán)利要求7的方法，還包括根據(jù)輸入頻率的平方根來調(diào)整輸入頻率的振幅。
全文摘要
本發(fā)明提供了用在PIRM存儲器陣列中的電控機(jī)械帶通濾波器，利用靜電耦合的微諧振器作為濾波器，實現(xiàn)微電控機(jī)械系統(tǒng)技術(shù)，其中大量的微小的微動子構(gòu)造在單個基片上。本發(fā)明的系統(tǒng)提供了一種窄帶濾波器，具有急劇衰減的頻率，典型地每十倍頻衰減40db，還有高阻抗，可以用簡單、低溫、不包括集成電路的便宜的工藝實現(xiàn)。
文檔編號H03H5/12GK1395366SQ02125150
公開日2003年2月5日 申請日期2002年6月28日 優(yōu)先權(quán)日2001年6月29日
發(fā)明者C·P·陶斯格 申請人:惠普公司