專利名稱:一種新型精密調(diào)諧升降基臺的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種新型精密調(diào)諧升降基臺，精密調(diào)諧升降基臺與反應(yīng)腔體構(gòu)成微波等離子反應(yīng)腔，所述反應(yīng)腔體底部固定在主基臺上，位于所述主基臺上套設(shè)有同軸間隙配合的大調(diào)諧基臺和小調(diào)諧基臺，其中所述小調(diào)諧基臺位于反應(yīng)腔體的中軸線上，所述大調(diào)諧基臺與主基臺間隙配合，本實用新型的一種新型精密調(diào)諧升降基臺，帶有兩個調(diào)諧基臺，并作密封處理，其次能夠?qū)ξ⒉ǖ入x子體反應(yīng)腔進(jìn)行精密調(diào)諧，使腔體內(nèi)獲得穩(wěn)定的微波等離子放電，為微波等離子體反應(yīng)腔內(nèi)穩(wěn)定的物理化學(xué)反應(yīng)提供保障，最后不僅可以精密且快速地完成微波等離子體反應(yīng)腔的調(diào)諧，從而獲得能夠穩(wěn)定工作的微波等離子體，且結(jié)構(gòu)簡單，操作簡便。
【專利說明】一種新型精密調(diào)諧升降基臺

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及微波等離子體反應(yīng)腔內(nèi)的諧振裝置，尤其涉及一種新型精密調(diào)諧升降基臺。

【背景技術(shù)】
[0002]微波等離子體反應(yīng)腔通過升降基臺進(jìn)行調(diào)諧，反應(yīng)腔內(nèi)的微波等離子體依靠諧振電磁場的激發(fā)進(jìn)行工作。如果微波等離子體反應(yīng)腔缺少精密的調(diào)諧，整個微波系統(tǒng)中的能量將失諧，不僅會使微波功率不能有效饋入微波等離子體反應(yīng)腔，而且會造成微波等離子體放電不穩(wěn)定，甚至熄滅。目前，公知的升降基臺僅有一個調(diào)諧基臺，或者升降基臺沒有調(diào)諧作用。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是解決上述提出的問題，提供一種能夠快速完成等離子體反應(yīng)腔調(diào)諧的一種新型精密調(diào)諧升降基臺。
[0004]本發(fā)明的目的是以如下方式實現(xiàn)的:一種新型精密調(diào)諧升降基臺，精密調(diào)諧升降基臺與反應(yīng)腔體構(gòu)成微波等離子反應(yīng)腔，所述反應(yīng)腔體底部固定在主基臺上，位于所述主基臺上套設(shè)有同軸間隙配合的大調(diào)諧基臺和小調(diào)諧基臺，其中所述小調(diào)諧基臺位于反應(yīng)腔體的中軸線上，所述大調(diào)諧基臺與主基臺間隙配合。
[0005]更進(jìn)一步的優(yōu)化方案是，上述的一種新型精密調(diào)諧升降基臺，所述大調(diào)諧基臺底端通過法蘭盤與大波紋管和小波紋管密封連接。
[0006]更進(jìn)一步的優(yōu)化方案是，上述的一種新型精密調(diào)諧升降基臺，所述小調(diào)諧基臺底端與小波紋管一端通過法蘭盤密封連接。
[0007]更進(jìn)一步的優(yōu)化方案是，上述的一種新型精密調(diào)諧升降基臺，所述小調(diào)諧基臺的直徑尺寸要求范圍在30-75毫米，所述大調(diào)諧基臺的直徑尺寸要求范圍在80-120毫米。
[0008]更進(jìn)一步的優(yōu)化方案是，上述的一種新型精密調(diào)諧升降基臺，所述大調(diào)諧基臺和小調(diào)諧基臺的調(diào)諧長度范圍分別是90毫米和155毫米。
[0009]更進(jìn)一步的優(yōu)化方案是，上述的一種新型精密調(diào)諧升降基臺，所述主基臺與反應(yīng)腔體焊接。
[0010]更進(jìn)一步的優(yōu)化方案是，上述的一種新型精密調(diào)諧升降基臺，所述反應(yīng)腔體端部連接將微波傳送到反應(yīng)腔體內(nèi)的模式轉(zhuǎn)換器，所述模式轉(zhuǎn)換器橫向開口一端連接短路活塞，其橫向開口另一端連接銷釘調(diào)節(jié)器。
[0011]本發(fā)明的優(yōu)點:本發(fā)明的一種新型精密調(diào)諧升降基臺，帶有兩個調(diào)諧基臺，并作密封處理。其次能夠?qū)ξ⒉ǖ入x子體反應(yīng)腔進(jìn)行精密調(diào)諧，使腔體內(nèi)獲得穩(wěn)定的微波等離子放電，為微波等離子體反應(yīng)腔內(nèi)穩(wěn)定的物理化學(xué)反應(yīng)提供保障。最后不僅可以精密且快速地完成微波等離子體反應(yīng)腔的調(diào)諧，從而獲得能夠穩(wěn)定工作的微波等離子體，且結(jié)構(gòu)簡單，操作簡便。

【附圖說明】

[0012]為了使本發(fā)明的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實施例并結(jié)合附圖，對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明，其中
[0013]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
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[0014]見圖1所示，一種新型精密調(diào)諧升降基臺，精密調(diào)諧升降基臺與反應(yīng)腔體I構(gòu)成微波等離子反應(yīng)腔，所述反應(yīng)腔體I底部固定在主基臺2上，位于所述主基臺2上套設(shè)有同軸間隙配合的大調(diào)諧基臺3和小調(diào)諧基臺4，其中所述小調(diào)諧基臺4位于反應(yīng)腔體I的中軸線上，所述大調(diào)諧基臺3與主基臺2間隙配合。所述大調(diào)諧基臺3底端通過法蘭盤與大波紋管6和小波紋管5密封連接。所述小調(diào)諧基臺4底端與小波紋管5 —端通過法蘭盤密封連接。所述小調(diào)諧基臺4的直徑尺寸要求范圍在30-75毫米，所述大調(diào)諧基臺3的直徑尺寸要求范圍在80-120毫米。所述大調(diào)諧基臺3和小調(diào)諧基臺4的調(diào)諧長度范圍分別是90毫米和155毫米。所述主基臺2與反應(yīng)腔體I焊接。所述反應(yīng)腔體I端部連接將微波傳送到反應(yīng)腔體I內(nèi)的模式轉(zhuǎn)換器7，所述模式轉(zhuǎn)換器7橫向開口一端連接短路活塞8，其橫向開口另一端連接銷釘調(diào)節(jié)器9。
[0015]在圖1所示實施例中，反應(yīng)腔體I與箱體11通過螺栓固定連接，基片10位于小調(diào)諧基臺4上，大調(diào)諧基臺3與主基臺2之間大部分采用間隙配合，大調(diào)諧基臺3和小調(diào)諧基臺4之間采用間隙配合，同時大調(diào)諧基臺3的一端、小波紋管5的一端和大波紋管6 —端通過法蘭盤密封連接，小調(diào)諧基臺4的一端與小波紋管5的另一端通過法蘭盤密封連接。主基臺2與反應(yīng)腔體I之間焊接連接。工作時，主基臺2的一端與大波紋管6的另一端通過法蘭盤密封連接。在大波紋管6和小波紋管5的伸縮緩沖作用下升降基臺可以平穩(wěn)地進(jìn)行升降，實現(xiàn)對微波等離子體反應(yīng)腔的精密調(diào)諧。
[0016]反應(yīng)腔體I直徑180暈米，尚220暈米，材質(zhì)是304不鎊鋼；大調(diào)諧基臺3和小調(diào)諧基臺4的直徑分別為100毫米和50毫米，高度分別為350毫米和510毫米，大調(diào)諧基臺3材質(zhì)是304不銹鋼，小調(diào)諧基臺4材質(zhì)是304不銹鋼；主基臺2內(nèi)徑是100毫米，高度為48毫米，材質(zhì)是304不銹鋼；大波紋管6壁厚0.25毫米，型號是IS080FXC180，材質(zhì)是304不銹鋼；小波紋管5壁厚0.2毫米，型號是KF40FXC100，材質(zhì)是304不銹鋼。
[0017]以上所述的具體實施例，對本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種新型精密調(diào)諧升降基臺，其特征在于:精密調(diào)諧升降基臺與反應(yīng)腔體(I)構(gòu)成微波等離子反應(yīng)腔，其中所述反應(yīng)腔體(I)底部固定在主基臺(2)上，位于所述主基臺(2)上套設(shè)有同軸間隙配合的大調(diào)諧基臺⑶和小調(diào)諧基臺(4)，其中所述小調(diào)諧基臺(4)位于反應(yīng)腔體(I)的中軸線上，所述大調(diào)諧基臺(3)與主基臺(2)間隙配合。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型精密調(diào)諧升降基臺，其特征在于:所述大調(diào)諧基臺(3)底端通過法蘭盤與大波紋管(6)和小波紋管(5)密封連接。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種新型精密調(diào)諧升降基臺，其特征在于:所述小調(diào)諧基臺(4)底端與小波紋管(5)—端通過法蘭盤密封連接。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種新型精密調(diào)諧升降基臺，其特征在于:所述小調(diào)諧基臺(4)的直徑尺寸要求范圍在30-75毫米，所述大調(diào)諧基臺(3)的直徑尺寸要求范圍在80~120 暈米。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種新型精密調(diào)諧升降基臺，其特征在于:所述大調(diào)諧基臺(3)和小調(diào)諧基臺(4)的調(diào)諧長度范圍分別是90毫米和155毫米。6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種新型精密調(diào)諧升降基臺，其特征在于:所述主基臺(2)與反應(yīng)腔體(I)焊接。7.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的一種新型精密調(diào)諧升降基臺，其特征在于:所述反應(yīng)腔體(I)端部連接將微波傳送到反應(yīng)腔體(I)內(nèi)的模式轉(zhuǎn)換器(7)，所述模式轉(zhuǎn)換器(7)橫向開口一端連接短路活塞(8)，其橫向開口另一端連接銷釘調(diào)節(jié)器(9)。
【文檔編號】H05H1-46GK204291551SQ201420743431
【發(fā)明者】劉小利, 周學(xué)芹, 史玉芬, 趙海棟 [申請人]劉小利