專利名稱：縱耦合共振子型彈性波濾波器裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及作為例如移動電話的帶通濾波器使用的彈性波濾波器裝 置，更具體而言，涉及縱耦合共振子型的彈性波濾波器裝置。
背景技術：
以往，作為移動電話的帶通濾波器，使用各種彈性表面波濾波器裝置。 例如，在以下的專利文獻1中描述這種用途中使用的彈性表面波濾波器裝 置，即具有平衡一不平衡變換功能的彈性表面波濾波器裝置。在專利文獻
1中，通過使用圖19所示的IDT電極1001，改善一對平衡端子間的平衡 度。
在壓電基板1000上形成所述IDT電極1001。 IDT電極1001在彈性 表面波傳播方向一方一側(cè)的端部附近具有迸行交叉寬度加權的電極指 1002、 1003。電極指1002是連接在接地電位的電極指，電極指1003是連 接在高壓一側(cè)的電位上的電極指。電極指1002、 1003的長度比連接在接 地電位的剩下的電極指1004和高壓一側(cè)的剩下的電極指1005還短。
而在設置電極指1002、 1003的部分，設置虛設電極1006，進行串聯(lián) 加權。虛設電極1006具有第一虛設電極指部1006a和第二虛設電極指部 1006b、連接第一、第二虛設電極指部1006a和1006b的連接部1006c。
第一虛碌電極指部1006a與電極指1002的頂端隔開間隔，并且位于 電極指1002的長度方向延長線上，在彈性表面波傳播方向，與電極指1003 重疊地配置。同樣，第二虛設電極指部1006b與電極指1003的頂端隔開， 在電極指1003的長度方向延長線上延伸，設置為與電極指1002在彈性表 面波傳播方向重疊，即交叉。連接部1006c在電極指1002的頂端和電極 指1003的頂端之間的區(qū)域中，在彈性表面波傳播方向延伸，連接電極指 部1006a的內(nèi)側(cè)端和電極指部1006b的內(nèi)側(cè)端。
通過設置虛設電極1006，設置虛設電極1006的部分的彈性表面波的
激勵減弱。通過在一對平衡端子中彈性表面波的激勵強的一方的平衡端子 上連接的IDT設置虛設電極1006，能把一對平衡端子之間的激勵強度接 近。據(jù)此，改善平衡度。
專利文獻1:專利第3520420號公報

發(fā)明內(nèi)容
如上所述，通過對IDT電極進行串聯(lián)加權，在具有平衡一不平衡變換 功能的縱耦合共振子型彈性表面波濾波器裝置中，能改善平衡度。
可是，在縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器裝置中，使用進行所述串 聯(lián)加權的IDT時，在通過帶域上出現(xiàn)大的波動。
本發(fā)明的目的在于，提供解決上述的以往技術的缺點，具有進行串聯(lián) 連接加權的IDT的縱耦合共振子型彈性波濾波器裝置，即能抑制通過帶域 的波動，據(jù)此能取得良好的濾波器特性的縱耦合共振子型彈性波濾波器裝
根據(jù)本發(fā)明，提供一種縱耦合共振子型彈性波濾波器裝置，其中，具 有壓電基板、在所述壓電基板上沿著彈性波傳播方向配置的至少2個IDT， 在所述2個IDT彼此相鄰的部分，在相鄰的2個IDT的至少一方，位于最 接近對方IDT的最外側(cè)的第一電極指和與第一電極指相鄰的第二電極指 的長度，與剩下的電極指的長度不同，據(jù)此，進行交叉寬度加權；并且還 具有在所述第一、第二電極指之間配置的虛設電極；虛設電極具有第一 虛設電極指部，其與第一電極指的頂端隔開，在第一電極指的長度方向延 長線上配置，與第二電極指平行延伸；第二虛設電極指部，其與所述第二 電極指的頂端隔開，并且在第二電極指的長度方向延長線上配置，與第一 電極指平行延伸；連接部，其連接第一、第二虛設電極指部，該連接部位 于第一電極指的頂端和第二電極指的頂端之間，通過設置所述虛設電極， 進行串聯(lián)加權。所述縱耦合共振子型彈性表面波濾波器裝置的彈性波傳播 的部分，具有第一聲道、在與第一聲道的彈性波傳播方向相垂直的方向分 別配置在兩側(cè)的第二聲道、配置在與各第二聲道的彈性波傳播方向相垂直 的方向外側(cè)的第三聲道，第一聲道是通過所述虛設電極的連接部的聲道， 所述第二聲道是包含第一或第二電極指的頂端與所述虛設電極的連接部
之間的間隔的聲道，所述第三聲道是包含所述第一或第二電極指的聲道； 在進行所述串聯(lián)加權的部分，還具有增大所述第二聲道的金屬化比的金屬 化比增大部件、與減小所述第一聲道的金屬化比的金屬化比減少部件中的 至少一方，據(jù)此，第一聲道的金屬化比和第二聲道的金屬化比的差被減小。
在本發(fā)明的縱耦合共振子型彈性波濾波器裝置中，優(yōu)選為所述金屬化 比增大部件是如下突出部中的至少一個突出部即在所述第二聲道，在第 一和/或第二虛設電極指部，向相鄰的第二電極指或第一電極指一側(cè)突出的 突出部；以從與所述第二電極指的內(nèi)側(cè)相鄰的電極指向第二電極指一側(cè)突 出的方式設置的突出部；以及以從所述第一和/或第二電極指的頂端向所述 第二聲道突出的方式設置的突出部。這樣設置突出部，構成金屬化比增大 部件時，在形成虛設電極或電極指時的構圖時，只通過變更圖案，就能容 易形成金屬化比增大部件。因此，不增加制造步驟，設置金屬化比增大部 件，能改善濾波器特性。
在本發(fā)明的縱耦合共振子型彈性波濾波器裝置中，優(yōu)選為，所述金屬 化比減少部件，是以所述虛設電極的所述連接部占第一聲道的面積減小的 方式設置在所述連接部的電極切口部。在以金屬化比減少部件是虛設電極 的連接部占第一聲道的面積被減小的方式在該連接部設置電極切口部部 的結構中，只通過變更形成電極時的構圖，就能減小第一聲道的金屬化比。 因此，不增大制造步驟，就能改善濾波器特性。
在本發(fā)明中，優(yōu)選為，所述IDT由金屬膜構成，該金屬膜包含從Au、 Pt、 Pd、 Ag、 Cu、 W和以它們?yōu)橹黧w的合金構成的群選擇的一種金屬層。 這時，IDT包含由所述比較重的金屬構成的金屬層，所以彈性波的音速下 降量增大，所以根據(jù)本發(fā)明，減小第一聲道的金屬化比和第二聲道的金屬 化比的差引起的效果大。
本發(fā)明的縱耦合共振子型彈性波濾波器裝置具有不平衡端子、第一、 第二平衡端子，具有平衡一不平衡變換功能地構成。因此，按照本發(fā)明， 能提供能省略平衡一不平衡變換功能的平衡一不平衡轉(zhuǎn)換器的濾波器裝 置。
實現(xiàn)所述平衡一不平衡變換功能的結構未特別限定，但是在本發(fā)明的 某特定局面，通過形成在所述壓電基板上的至少2個IDT，形成第一濾波
器元件和第二濾波器元件；所述第一濾波器元件，是具有沿著彈性波傳播 方向配置的多個IDT的縱耦合共振子型的彈性波濾波器元件，并且具有輸 入端和輸出端；所述第二濾波器元件，是具有沿著彈性波傳播方向配置的 多個IDT的縱耦合共振子型的濾波器元件，并且具有輸入端和輸出端；第 二濾波器元件的輸出信號相對于輸入信號的相位，相對于第一濾波器元件 的輸出信號相對于輸入信號的相位，相差180度；所述第一、第二濾波器 元件的各輸入端連接在所述不平衡端子上，第一濾波器元件的輸出端連接 在第一平衡端子上，第二濾波器元件的輸出端連接在第二平衡端子上。
此外，本發(fā)明的彈性波濾波器裝置的其他特定局面中，具有所述平衡 一不平衡變換功能的結構是如下結構即所述第一濾波器元件具有第一、 第二縱耦合共振子型彈性波濾波器部，所述第一、第二縱耦合共振子型彈 性波濾波器部具有沿著彈性波傳播方向配置的多個IDT，該第一、第二縱
耦合共振子型彈性波濾波器部級聯(lián)連接；所述第二濾波器元件具有第三、
第四縱耦合共振子型彈性波濾波器部，所述第三、第四縱耦合共振子型彈
性波濾波器部具有沿著彈性波傳播方向按順序配置的多個IDT，第三、第 四縱耦合共振子型彈性波濾波器部級聯(lián)連接。
此外，實現(xiàn)所述平衡一不平衡變換功能的結構也可以是如下結構作
為形成在所述壓電基板上的至少2個IDT，具有在彈性波傳播方向按順序 配置的第四、第二、第一、第三和第五IDT，還具有在設置有所述第一^^ 第五IDT的部分的兩側(cè)設置的第一、第二反射器；所述第二 IDT的相位相 對于第三IDT的相位，相差180度；所述第二、第三IDT連接在所述不平 衡端子上；所述第一 IDT具有在彈性波傳播方向分割而設置的第一分割 IDT部和第二分割IDT部，第一分割IDT部和所述第四IDT連接在所述 第一平衡端子上，所述第二分割IDT部和所述第五IDT連接在所述第二平 衡端子上。此外，具有所述平衡一不平衡變換功能的結構也可以是作為 所述至少2個IDT，具有在彈性波傳播方向按順序配置的第四、第二、第 一、第三和第五IDT，還具有在設置有所述第一 第五IDT的部分的兩側(cè) 設置的第一、第二反射器；所述第二 IDT的相位相對于所述第三IDT的相 位，相差180度；所述第一、第四、第五IDT的各一端連接在不平衡端子 上，第二IDT連接在第一平衡端子上，第三IDT連接在所述第二平衡端子 本發(fā)明的縱耦合共振子型彈性波濾波器裝置中，作為彈性波，使用彈 性表面波，這時，按照本發(fā)明，能提供濾波器特性良好的彈性表面波濾波
器裝置。
此外，在本發(fā)明中，作為所述彈性波，也可以使用彈性邊界波，這時， 在壓電基板上還層疊介質(zhì)層。而且，按照本發(fā)明，能提供濾波器特性良好 的彈性邊界波濾波器裝置。 (發(fā)明的效果)
根據(jù)本發(fā)明的縱耦合共振子型彈性波濾波器裝置，在第一、第二IDT 彼此間相鄰的部分和/或第一、第三IDT彼此間相鄰的部分，對相鄰的2 個IDT的至少一方迸行串聯(lián)加權，在進行所述串聯(lián)加權的部分具有所述金 屬化比增大部件和所述金屬化比減少部件中的至少一方，所以第一聲道的 金屬化比和第二聲道的金屬化比的差減小。因此，能有效降低通過帶域中 的波動。
如后所述，根據(jù)本申請發(fā)明者，在以往的進行串聯(lián)加權的縱耦合共振 子型彈性邊界波濾波器裝置中在通過帶域中產(chǎn)生波動時發(fā)現(xiàn)相鄰的聲道 之間的金屬化比的不連續(xù)性增大，據(jù)此，在相鄰的聲道之間，彈性波的音 速變得不連續(xù)。
而根據(jù)本發(fā)明，第一、第二聲道的金屬化比的差減小，所以第一、第 二聲道之間的彈性波的音素的連續(xù)性提高，據(jù)此，能有效降低通過帶域內(nèi) 的波動。
因此，根據(jù)本發(fā)明，在具有進行串聯(lián)加權的IDT的縱耦合共振子型彈 性波濾波器裝置中，能減少通過帶域內(nèi)的波動，能取得良好的濾波器特性。


圖1是表示本發(fā)明的一個實施方式的彈性邊界波裝置的電極構造的示 意性俯視圖。
圖2 (a)和(b)是表示圖1所示的實施方式的彈性邊界波濾波器裝 置的電極構造的要部的示意性放大俯視圖和用于說明設置在該電極構造 中的金屬化比增大部件的示意性局部切口部俯視圖。
圖3是用于說明本發(fā)明的實施方式的彈性邊界波裝置的示意性的正面 剖視圖。
圖4是表示在本發(fā)明的實施方式的彈性邊界波裝置中，在第二縱耦合 共振子型彈性邊界波濾波器部中，第一、第二IDT相鄰的部分的局部切口
部放大俯視圖。
圖5是表示在本發(fā)明的實施方式的彈性邊界波裝置中，在第二縱耦合 共振子型彈性邊界波濾波器部中，第一、第三IDT相鄰的部分的局部切口 部放大俯視圖。
圖6是用于說明不具有金屬化比增大部件和金屬化比減少部件的以往 的彈性邊界波濾波器裝置的電極構造的局部切口部放大俯視圖。
圖7是表示本發(fā)明的實施方式的縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器裝 置和作為比較例準備的彈性邊界波濾波器裝置的濾波器特性的圖。
圖8是用于說明本發(fā)明的實施方式的彈性邊界波濾波器裝置和作為比 較例準備的彈性邊界波濾波器裝置的第一 第三聲道的金屬化比的示意 性圖。
圖9是用于說明本發(fā)明的實施方式的彈性邊界波濾波器裝置和作為比 較例準備的以往的彈性邊界波濾波器裝置的第一 第三聲道的金屬化比 的示意性俯視圖。
圖10 (a) (d)是用于說明設置金屬化比增大部件的構造的變形例
的各局部切口部俯視圖。
圖11 (a) (c)是用于說鑰設置金屬化比增大部件的構造的變形例
的各局部切口部俯視圖。
圖12 (a) (c)是用于說明本發(fā)明中使用的金屬化比減少部件的例
子的局部切口部俯視圖。
圖13是表示本發(fā)明的變形例的彈性邊界波濾波器裝置的電極構造的 示意性的俯視圖。
圖14是表示本發(fā)明的其他變形例的彈性邊界波濾波器裝置的電極構
造的示意性的俯視圖。
圖15是表示本發(fā)明的其他變形例的彈性邊界波濾波器裝置的電極構
造的示意性的俯視圖。
圖16是表示本發(fā)明的其他變形例的彈性邊界波濾波器裝置的電極構 造的示意性的俯視圖。
圖7是表示本發(fā)明的其他變形例的彈性邊界波濾波器裝置的電極構 造的示意性的俯視圖。
圖18是表示本發(fā)明的其他變形例的彈性邊界波濾波器裝置的電極構造的示意性的俯視圖。
圖19是用于說明以往的彈性表面波濾波器裝置的IDT的示意性俯視圖。
圖中
100—彈性邊界波裝置；101—不平衡端子；102、 103—平衡端子；104
一壓電基板；105—SiOj莫；105a、 105b—開口部；106—電極圖案；107、 108—電極圖案；109a、 109b—外部電極；110、 120—第一、第二縱耦合 共振子型彈性邊界波濾波器部；111、 115—反射器；112、 114一第二、第 三IDT; 113—第一IDT; U3a、 H3b—第一、第二電極指；U3c—電極指; 114A—IDT; 116—虛設電極;116a、 116b—第一、第二虛設電極指部；116c 一連接部；117a—117h—突出部；118—虛設電極；118c—連接部；119a 一119h—突出部；121、 125—反射器；122、 124—第二、第三IDT; 123 一第一IDT; 126、 127—虛設電極；130、 140、 150、 160—彈性邊界波共 振子；200—彈性邊界波裝置；201a 201e—突出部；202a 202e—突出部； 211a 211d—突出部;212a 212d—突出部;300—彈性邊界波濾波器裝置； 301a、 301b—電極切口部部;302a、 302b—電極切口部部;321a、 321b— 電極切口部部；322a、 322b—電極切口部部；400—縱耦合共振子彈性邊 界波濾波器裝置；410、 420—第一、第二縱耦合共振子型彈性邊界波濾波 器部；412、 414一第二、第三IDT; 413—第一IDT; 422、 424—第二、第 三IDT; 423—第一IDT; 430、 440—第三、第四縱耦合共振子彈性邊界波 濾波器部；432、 434—第二、第三IDT; 433—第一 IDT; 442、 444一第二、 第三IDT; 443—第一IDT; 500—彈性邊界波濾波器裝置；510—縱耦合共 振子彈性邊界波濾波器部；5H—第四IDT; 512、 514—第二、第三IDT; 513—第一IDT; 513a、 513b—分割IDT部；515—第五IDT; 516、 517— 反射器；521—彈性邊界波共振子；522—彈性邊界波共振子；523—彈性
邊界波共振子；600—彈性邊界波裝置；610—縱耦合共振子彈性邊界波濾
波器部；611、 615—第四、第五IDT; 612—第二 IDT; 613—第一 IDT; 614—第三IDT; 618—虛設電極；619—虛設電極；621—彈性邊界波共振 子；622—彈性邊界波共振子。
具體實施例方式
下面，參照附圖，說明本發(fā)明的具體實施方式
，從而本發(fā)明變得清楚。 圖1是表示本發(fā)明的實施方式1的彈性邊界波裝置的電極構造的示意 性俯視圖，圖2 (a)和(b)是表示IDT的要部的局部切口部示意性圖和 局部切口部放大俯視圖，圖3是本實施方式的彈性邊界波裝置的正面剖視圖。
如圖1所示，彈性邊界波裝置100具有不平衡端子101、第一、第二 平衡端子102、 103，具有平滑一不平衡變換功能。更具體而言，在不平衡 端子IOI，通過彈性邊界波共振子130、 140，連接第一、第二縱耦合共振 子型彈性邊界波濾波器部110、 120。此外，在第一、第二縱耦合共振子型 彈性邊界波濾波器部110、 120的后級分別連接一端子對彈性邊界波共振 子150、 160。第一、第二縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器部110、 120 通過彈性邊界波共振子150、 160分別與所述第一、第二平衡端子102、 103 電連接。
如圖3所示，在彈性邊界波裝置100中，在壓電基板104上，作為介 質(zhì)層，層疊SiOj莫105。在本實施方式中，所述壓電基板104是歐拉角(0 °、 105°、 ±10°、 0°)的LiNb03基板。在壓電基板104和SiOj莫105的 界面形成電極圖案106。該電極圖案106相當于圖1所示的電極構造。
在Si02膜105設置多個開口部105a、 105b。在開口部105a、 105b， 電極圖案106的一部分露出。而且，與在開口部105b露出的電極圖案106 電連接地形成導電圖案107、 108。導電圖案107、 108從開口部105a、 105b 到開口 105a、 105b外，與外部電極109a、 109b電連接。外部電極109a、 109b相當于把彈性邊界波濾波器裝置100與外部電連接的部分，例如相當 于所述不平衡端子101或平衡端子中的任意端子、或者連接在接地電位的 端子。
回到圖1，彈性邊界波共振子130、 140分別具有IDT、設置在IDT
的彈性邊界波傳播方向兩側(cè)的反射器。同樣，1端口型彈性邊界波共振子
150、 160也具有IDT、設置在IDT的彈性邊界波傳播方向兩側(cè)的反射器。 而第一縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器部110是具有第一 IDT113、
配置在第一 IDT113的彈性邊界波傳播方向兩側(cè)的第二、第三IDT112、 114
的3IDT型的縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器。在設置IDT112 114的
部分的彈性邊界波傳播方向兩側(cè)配置反射器111、 115。
同樣，在第二縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器部120，在中央配置
第一IDT123，在第一IDT123的彈性邊界波傳播方向兩側(cè)配置第二、第三
IDT122、 124。此外，在設置IDT122 124的區(qū)域的兩側(cè)配置反射器121、
125。
另外，在圖1中，為了使圖示變得容易，IDT的電極指的個數(shù)或反射 器的格子的個數(shù)比實際描繪得少很多。IDT的兩端的電極指的極性如圖1 所示。
在第一縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器110中，第一 IDT113的一 端通過彈性邊界波共振子130連接在不平衡端子101，另一端連接在接地 電位。此外，第二、第三IDTU2、 114的一端連接在接地電位，各另一端 公共連接，通過彈性邊界波共振子150連接在平衡端子102上。
同樣，在第二縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器部120，第一IDT123 的一端通過彈性邊界波共振子140連接在不平衡端子101，另一端連接在 接地電位。
第二、第三IDT122、 124的各一端連接在接地電位，各另一端公共連 接，通過彈性邊界波共振子160電連接在第二平衡端子103上。
另外，對于第一縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器部uo的第一 IDT113的極性，第二縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器部120的第一 IDT123的極性顛倒。因此，從不平衡端子101輸入信號時，相對于從第 一平衡端子102取出的信號的相位，從第二平衡端子103取出的信號的相 位偏移180度，據(jù)此，實現(xiàn)平衡一不平衡變換功能。
除了第一IDT113的極性相對于第一IDT123的極性顛倒，第二縱耦合 共振子型彈性邊界波濾波器部120的設計參數(shù)與第一縱耦合共振子型彈性
邊界波濾波器部110的設計參數(shù)同樣。
另外，縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器部110、 120的彈性邊界波
傳播方向為歐拉角的4>=20°，在彈性邊界波共振子130、 140，彈性邊界波 傳播方向為4>=10°，在彈性邊界波共振子150、 160，彈性邊界波傳播方向 為4)二30。。即對于第一、第二縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器部110、 120的彈性邊界波傳播方向，相對于彈性邊界波共振子130、 140的彈性邊 界波傳播方向和彈性邊界波共振子150、 160的彈性邊界波傳播方向不同。 據(jù)此，把彈性邊界波共振子和縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器部的機電 耦合系數(shù)設定為適當?shù)闹?，能取得良好的特性?br> 本實施方式的彈性邊界波濾波器裝置100的特征在于，在第一縱耦合 共振子型彈性邊界波濾波器部110和第二縱耦合共振子型彈性邊界波濾波 器部120中，在IDT彼此間相鄰的部分的至少1處，在相鄰的IDT的至少 一方進行串聯(lián)加權(直列重^付rt)，不僅改善平衡度，在進行串聯(lián)加權 的部分設置后面描述的金屬化(^夕，^X)比增大部件，從而減少通過 帶域內(nèi)的波動。更具體地說明它。
如圖1所示，在IDT113和IDT114相鄰的部分，對IDT113和IDT114 分別進行串聯(lián)加權。即在IDT113的IDT114—側(cè)端部，位于最外側(cè)的第一 電極指113a和與第一電極指113a相鄰的第二電極指113b的長度比剩下 的電極指113c短，進行交叉寬度加權。而且，在第一、第二電極指113a、 113b之間設置虛設電極指部116b。
如圖2 (a)放大所示，虛設電極116具有第一虛設電極指部116a、第 二虛設電極指部U6b、連接第一、第二虛設電極指部U6a、 116b的連接 部116c。
第-一、第二虛設電極指部116a、 116b的寬度方向尺寸即與虛設電極 延伸的方向正交的方向的尺寸與第一、第二電極指U3a、 113b同等。在 設置后面描述的突出部的部分中，電極指的寬度方向尺寸增大。
第一虛設電極指部116a與第一電極指113a的頂端(先端)隔開，在
第一電極指113a的長度方向延長線上延伸為直線狀。此外，第一虛設電 極指部116a在彈性邊界波傳播方向，與相鄰的第二電極指113b重疊，即交叉。
第二虛設電極指部116b與第二電極指113b的頂端隔開，并且在第二
電極指113b的長度方向延長線上延伸為直線狀，在與第一電極指113a在
彈性邊界波傳播方向重疊的位置即交叉的位置設置。
第一、第二虛設電極指部116a、 116b的頂端即內(nèi)側(cè)端由連接部U6c 連接。該連接部116c在彈性邊界波傳播方向延伸。
通過設置所述虛設電極116，進行串聯(lián)加權，如專利文獻l所述，在 具有平衡一不平衡變換功能的彈性邊界波濾波器裝置100中，能改善振幅 平衡度和相位平衡度。
本實施方式的特征如圖2 (b)所示，在迸行串聯(lián)加權的部分，在 IDT113，作為串聯(lián)加權增大部件，設置突出部117a 117f。突出部117a、 117e是設置在第一、第二電極指l3a、13b的頂端的梯形部分，即在不 設置突出部117a、 117e的第一、第二電極指的頂端，以伴隨著向頂端延伸 而變窄的方式付與錐度的梯形部分。
而突出部117b、 117d是以與突出部117a、 117e相面對的方式從連接 部116c突出的梯形部分。突出部117a、 117b、 117d、 117e都提高位于通 過連接部116c的后面描述的第一聲道的兩側(cè)的第二聲道的金屬化比地起 作用。
同樣，突出部117c是虛設電極116的第一虛設電極指116a的在第二 聲道配置的部分在彈性邊界波傳播方向突出的梯形部分。突出部U7f是與 第二電極指U3b相鄰的電極指H3c的在第二聲道配置的部分向彈性邊界 波傳播方向突出的梯形部分。突出部117c或117f使所述第二聲道的金屬 化比增大。
因此，在IDT113，第二聲道的金屬化比提高，據(jù)此，通過連接部116c
的第一聲道的金屬化比和第二聲道的金屬化比的差減小。
同樣，在與IDT113相鄰的IDT114,設置虛設電極118，而進行串聯(lián) 加權，但是這里，通過設置突出部119a 119f，第二聲道的金屬化比相對
提高，第一、第二聲道之間的金JS化比的差減小。
在圖1所示的IDT122、 123相鄰的部分，如圖4所示，在IDT123 — 側(cè)設置虛設電極126，與IDT113、 114相鄰的部分的IDT114同樣設置使 第二聲道的金屬化比增大的部件，第一、第二聲道的金屬化比的差減小。
在IDT122、 123相鄰的部分，只在IDT123 —側(cè)設置金屬化比增大的部件。 同樣，如圖5所示，在IDT123、 124相鄰的部分，在IDT124—側(cè)設 置虛設電極127，在設置虛設電極127的進行串聯(lián)加權的部分，同樣設置 提高第二聲道的金屬化比的金屬化比增大的部件，第一、第二聲道之間的 金屬化比的差減小。
在本實施方式的縱耦^合共振子型彈性邊界波濾波器裝置中，如上所 述，對IDT113、 114、 123和124進行串聯(lián)加權，在進行該串聯(lián)加權的部 分設置增大第二聲道的金屬化比的金屬化比增大的部件，所以能減小通過 帶域內(nèi)的波動。參照圖6和圖7，說明它。
圖7是表示按照本實施方式，作為PCS移動電話的接收一側(cè)帶通濾波 器使用時的濾波器特性的圖。實線表示本實施方式的結果。在該帶通濾波 器中，1930 1990MHz是接收頻帶。另外，圖7的虛線表示除了不設置所 述金屬化比增大的部件，與所述實施方式同樣構成的比較例的彈性邊界波 濾波器裝置的濾波器特性。即圖7中用虛線表示具有與所述圖2對比表示 的圖6所示的串聯(lián)加權構造的以往的彈性邊界波濾波器裝置1100的濾波 器特性。
從圖7可知，在比較例的彈性邊界波濾波器裝置中，19卯MHz附近的 波動非常大，而根據(jù)本實施方式，該波動改善0.5dB左右。此外，關于通 過帶域內(nèi)插入損失，在比較例中是2.8dB，而根據(jù)本實施方式，改善到 2.3dB。
如上所述，在本實施方式中，能減小通過帶域內(nèi)的波動是根據(jù)以下的理由。
如圖9的右圖所示，在比較例的彈性邊界波濾波器裝置1100中，在 進行串聯(lián)加權的部分，在交叉寬度方向存在IDT的能率不連續(xù)的部分，在 彈性邊界波的音速中存在分布。即第一聲道的彈性邊界波的音速和第二聲 道的彈性邊界波的音速不同，所以產(chǎn)生彈性邊界波的不連續(xù)部分。因此， 彈性邊界波散亂，認為發(fā)生所述波動。
相對于此，如圖9的左圖所示，在本實施方式的彈性邊界波濾波器裝
置100中，設置使所述第二聲道的金屬化比增大的金屬化比增大部件，所 以第一聲道的金屬化比和第二聲道的金屬化比的差減小。因此，第一聲道 的彈性邊界波的音速和第二聲道的彈性邊界波的音速的差減小，彈t生邊界 波的音速的不連續(xù)性被緩和，所述波動減小。
另外，所謂第一 第三聲道是根據(jù)所述電極構造，劃分彈性邊界波在 彈性邊界波濾波器裝置傳播的區(qū)域的表現(xiàn)。第一 第三聲道是在彈性邊界 波傳播方向延伸的區(qū)域，第一聲道是包含所述虛設電極的連接部的區(qū)域， 第二聲道分別位于與第一聲道的彈性邊界波傳播方向垂直的方向兩側(cè)、通 過所述第一、第二電極指和所述連接部之間的部分的聲道，第三聲道是位 于第二聲道的外側(cè)的聲道，是第一或第二電極指所在的部分。
圖8是表示在第一縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器裝置100中，設
置所述IDT113的部分的第一 第三聲道的金屬化比的分布、所述比較例 的彈性邊界波濾波器裝置1100的相應部分的金屬化比的分布的圖。另外，
金屬化比是指彈性波濾波器裝置的壓電基板上的區(qū)域的電極即金屬占的
面積比例。從圖8可知，在比較例的彈性邊界波濾波器裝置中，在第一聲
道和第二聲道，金屬化比大不相同。即在比較例的彈性邊界波濾波器裝置
中，在第一聲道和第二聲道的邊界，金屬化比從0.65變化為0.25。即在第 一聲道和第二聲道的邊界，金屬化比的差為0.4。在第二聲道和第三聲道 的邊界，金屬化比從0.25變化為0.40。而在本實施方式中，通過設置所述 突出部117a 117f，第二聲道的與第一聲道相鄰的部分的金屬化比提高， 第一聲道的金屬化比和第二聲道的金屬化比的差顯著減小。即在第一聲道 和第二聲道的邊界，金屬化比的差為0.2，與比較例相比，減半。
因此，在所述實施方式中，第一、第二聲道之間的金屬化比的差減小， 緩和彈性邊界波的音速的不連續(xù)性，如上所述，能減少波動。
另夕卜，在所述實施方式中，如圖2、圖4和圖5所示，通過在IDT113、 1M或IDT123、 124設置突出部，第二聲道的金屬化比增大，但是這樣的 突出部的方式并不局限于圖2、圖4和圖5所示的方式。圖10 (a) (d) 和圖11 (a) (c)表示突出部的變形例。另外，圖10 (a) (d)和圖 11 (a) (c)是圖2 (a)、 (b)所示的部分，即與IDT113、 114相鄰的 部分相當?shù)牟糠帧?br> 如圖10(a)所示，在ID丁113、 114A設置突出部201a 201e和202a 202e。這里，不設置圖2 (b)所示的突出部117c。此外，IDT114A與圖2
(a)所示的IDT114極性顛倒。此外，不設置相當于圖2 (b)所示的突出 部119a的突出部。關于其他點，與圖2 (b)所示的構造同樣。
在圖10 (b)，在IDT113 —側(cè)設置圖2 (b)所示的突出部117a 117f， 還設置突出部117g、 117h。突出部117g、 117h是從第一、第二虛設電極 指部116a、 116b向彈性邊界波傳播方向突起的梯形部分。
在圖10 (c)所示的構造中，除去圖2 (b)所示的突出部117f、 117c、 119a、 U9f。
在圖10 (d)所示的構造中，只有圖2 (b)所示的突出部117c、7f、 119a、 119e作為金屬化比增大部件使用。
另外，只使用突出部117c、 117f、 119a、 119e中的任意一個，也能增
大金屬化比。
在圖ll (a)所示的構造中，作為金屬化比增大部件，加上圖2 (b) 所示的突出部117c、 117f、 U9a、 119f，還設置2個角型的突出部211a、 211b、 211c、 211d、 212a、 212b、 212c、 212d。
如圖11 (b)和(c)所示，把圖10 (b)禾t1 (c)所示的突出部的梯 形的突出部置換為同樣由2個角狀部分構成的突出部221、 231。
從圖10和圖ll可知，用于增大第二聲道的金屬化比的突出部的形狀 和形成位置只要能提高第二聲道的金屬化比，就能適宜變更。
另外，從所述實施方式可知，如果減小第一、第二聲道的金屬化比的 差，就能降低所述波動。因此，代替增大第二聲道的金屬化比，通過減少 第一聲道的金屬化比，也能降低所述波動。即在本發(fā)明中，也可以設置減 少第一聲道的金屬化比的金屬化比減少部件。
圖12 (a) (c)是表示設置減少第一聲道的金屬化比的金屬化比減
少部件的構造的局部切口部俯視圖。這里，示意性地表示在所述實施方式 的彈性邊界波濾波器裝置的IDT113、 114相鄰的部分，設置金屬化比減少 部件的構造。即圖12 (a) (c)所示的部分是與圖2 (a)、 (b)所示的 部分相當?shù)牟糠帧?br> 如圖12 (a)所示，在IDT113—側(cè)，在虛設電極116的連接部116cd 設置電極切口部部301a、 301b，連接部116c的面積比所述實施方式的連 接部116c更小。據(jù)此，第一聲道的金屬化比減小。同樣，在IDTU4—側(cè)，
在虛設電極118的連接部設置電極切口部部302a、 302b,連接部的面積減 小。因此，第一聲道的金屬化比減小，所以第一、第二聲道的金屬化比的 差減小，與所述實施方式同樣能降低波動。
如圖12 (b)所示，如上所述，除了設置減少第一聲道的金屬化比的 金屬化比減少部件，還可以設置作為提高第二聲道的金屬化比的金屬化比 增大部件的矩形的突出部311a 311d。即在本發(fā)明中，可以并用金屬化比 減少部件和金屬化比增大部件。
如圖12 (c)所示，連接部116c、 118c不是與彈性邊界波傳播方向平 行的方向，為在斜方向交叉的方向，在連接部設置電極切口部部，據(jù)此， 減少金屬化比。換言之，在圖12 (c)中，在沿著彈性邊界波傳播方向的 連接部，以具有與彈性邊界波傳播方向斜方向交叉的端緣的方式形成電極 切口部部321a、 321b、 322a、 322b，在連接部116c、 118c設置電極切口 部部，第一聲道的金屬化比減小。
如上所述，關于用于減小第一聲道的金屬化比的電極切口部部的形 狀，并未特別限定。
另外，在上述的實施方式和變形例中，作為壓電基板，使用LiNb03 單晶基板，但是在LiNb03以外，還可以使用UTa03或水晶等其他壓電單晶。 或者也可以通過壓電陶瓷，構成壓電基板。此外，關于介質(zhì)體層，除了 Si02 以外，還能使用其他氧化硅膜、氮化硅膜等各種介質(zhì)材料。
優(yōu)選為，IDT包含從Au、 Pt、 Pd、 Ag、 Cu、 W和以它們?yōu)橹黧w的合 金構成的群選擇的一種金屬層。該金屬層重，所以不設置金屬化比增大部 件和/或金屬化比減少部件時，第一、第二聲道之間的彈性波的音速的差常 常變大，通過帶域內(nèi)的波動常常變大。而根據(jù)本發(fā)明，具有由這樣的重的 金屬構成的金屬層時，第一、第二聲道之間的彈性波的音速的差減小，能 有效減小通過帶域內(nèi)波動，本發(fā)明特別有效。在本發(fā)明中，構成IDT的金 屬材料并未特別限定。
此外，本發(fā)明并不局限于具有圖l所示的電極構造的彈性邊界波裝置。 參照圖13 圖15，說明實施方式1的彈性邊界波裝置的變形例。
在圖13所示的變形例的彈性邊界波裝置200中，在第一縱耦合共振 子型彈性邊界波濾波器部110的第一、第三IDT113、 114相鄰的部分對第 三IDT114不進行加權，并且在第二縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器部
120對第三IDT124不進行加權，除此之外與實施方式1同樣。
在圖14所示的彈性邊界波濾波器裝置300中，在第一縱耦合共振子 型彈性邊界波濾波器部110不進行加權，在第二縱耦合共振子型彈性邊界 波濾波器對第三IDT124不進行加權，在第一、第三IDT123、 124相鄰的 部分，對第一、DT123的彈性邊界波傳播方向兩側(cè)端部進行串聯(lián)加權，除 此之外與實施方式1同樣構成。
在實施方式15所示的變形例中，與實施方式1不同點在于，在第一 縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器部110不進行加權，在第二縱耦合共振 子型彈性邊界波濾波器，在第一、第二IDT123、 122相鄰的部分，對第二 IDT122—側(cè)進行加權。
此外，與實施方式l不同點在于，相對于第一縱耦合共振子型彈性邊 界波濾波器部110的第二、第三IDT112、 114的極性，第二縱耦合共振子 型彈性邊界波濾波器部120的第二、第三IDT122、 124的極性顛倒。
在圖13 15所示的變形例中，在對IDT進行串聯(lián)加權的部分的至少 1處，與先前的實施方式同樣，為了減小第一聲道和第二聲道的金屬化比 的差，設置減少第一聲道的金屬化比的金屬化比減少部件和/或增大第二聲 道的金屬化比的金屬化比增大部件，能減少通過帶域內(nèi)的波動。
圖16是表示應用本發(fā)明的彈性波裝置的其他變形例的縱耦合共振子 型彈性邊界波濾波器裝置400的示意性俯視圖。這里，在不平衡端子101 分別連接第一、第二縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器部410、 420。而且， 在第一、第二縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器部410、 420的后級連接 第三、第四縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器部430、 440。彈性邊界波濾 波器部410 440都是3IDT型的縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器部。
第一、第三縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器部410、 430的第二、 第三IDT412、 414的一端、第二、第三IDT432、 434的一端彼此電連接， IDT412、 414、 432、 434的各另一端連接在接地電位。在中央配置的第一 IDT的一端與不平衡端子101連接，另一端連接在接地電位，在中央配置 的IDT的一端連接在接地電位，另一端連接在第一平衡端子102。
同樣，第二縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器部420的第二、第三
IDT422、 424的一端與第四縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器部440的第 二、第三IDT442、 444的一端電連接，這些IDT422、 424、 442、 444的各 另一端連接在接地電位。第一IDT423的一端與不平衡端子101連接，另 一端連接在接地電位。第一 IDT443的一端連接在接地電位，另一端連接 在第二平衡端子103。
這里，相對于IDT413的極性，IDT423的極性顛倒，對第二 IDT的彈 性邊界波傳播方向兩側(cè)端部進行串聯(lián)加權，除此之外，第二、第四縱耦合 共振子型彈性邊界波濾波器部420、 440與第一、第三縱耦合共振子型彈 性邊界波濾波器部410、 430同樣構成。
而且，在IDT423和IDT422相鄰的部分、以及IDT423和IDT424相 鄰的部分，對所述IDT423如所述那樣進行串聯(lián)加權。
在本變形例中，在進行串聯(lián)加權的部分，設置金屬化比減少部件和/ 或金屬化比增大部件，能減少波動。
圖17和圖18是用于說明應用本發(fā)明的彈性波濾波器裝置的電極構造 的其他變形例的各示意性俯視圖。
在圖17所示的彈性邊界波濾波器裝置500中，在不平衡端子101連 接縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器部510。縱耦合共振子型彈性邊界波 濾波器部510在配置于中央的第一 IDT513的兩側(cè)配置第二、第三IDT512、 514，在第二IDT512的外側(cè)配置第四IDT511，在第三IDT514的外側(cè)配置 第五IDT515。即彈性邊界波濾波器部是5IDT型的縱耦合共振子型彈性邊
界波濾波器部。
在設置IDT511 515的部分的兩側(cè)設置反射器516、 517。
這里，第二、第三IDT512、 514的各一端公共連接，連接在不平衡端
子101上。此外，不平衡端子101通過彈性邊界波共振子521連接在接地電位。
IDT512、 514的另一端連接在接地電位。中央的第一 IDT513把一端 與接地電位連接，帶電(爾7卜hot) —側(cè)在彈性邊界波傳播方向分割為 二，具有分割IDT部513a、 513b。分割IDT部513a和第四IDT511的另 一端公共連接，通過彈性邊界波共振子522與第一平衡端子102連接。第 四IDT511的一端連接在接地電位。此外，分割IDT部513b和第五IDT515
的另一端公共連接，通過彈性邊界波共振子523連接在第二平衡端子103。
IDT515的一端連接在接地電位。
在本變形例中，對于第二 IDT512的極性，第三IDT514的極性顛倒。 因此，實現(xiàn)平衡一不平衡變換功能。
而且，在IDT513和IDT514相鄰的部分、IDT514和IDT515相鄰的 部分，在IDT514—側(cè)設置虛設電極531、 532，并進行串聯(lián)加權。
在本變形例中，通過所述串聯(lián)加權，能改善相位平衡度和振幅平衡度。 而且，在進行所述串聯(lián)加權的部分，與先前的實施方式的情況同樣，通過 設置金屬化比增大部件和/或金屬化比減少部件，能抑制通過帶域內(nèi)的波 動。
在圖18所示的彈性邊界波裝置600中，與彈性邊界波裝置500同樣 設置5EDT型的縱耦合共振子型彈性邊界波濾波器部610。這里，中央的 第一IDT613的一端、位于最外側(cè)的第四、第五IDT611、 615的一端公共 連接，通過彈性邊界波共振子621連接在不平衡端子101上。IDT611、613、 615的各另一端連接在接地電位。第二 IDT612的一端連接在接地電位， 另一端連接在第一平衡端子102上。此外，在第三IDT614的一端連接在 接地電位。而且，在第一平衡端子102和第二平衡端子103之間連接彈性 邊界波共振子622。
這里，相對于第二IDT612的極性，第三IDT614的極性顛倒，據(jù)此， 實現(xiàn)平衡一不平衡變換功能。此外，在第三IDT614與第一 IDT613相鄰的 部分，在IDT614—側(cè)設置虛設電極618，在IDT614和IDT615相鄰的部 分，在IDT614 —側(cè)設置虛設電極619，分別進行串聯(lián)加權。在本變形例 中，在進行串聯(lián)加權的部分，通過設置金屬化比減少部件和/或金屬化比增 大部件，能抑制通過帶域內(nèi)的波動。
另外，在上述的實施方式和變形例中，說明彈性邊界波裝置，但是本 發(fā)明也能在利用彈性表面波的縱耦合共振子型彈性表面波濾波器裝置中 應用。
權利要求
1.一種縱耦合共振子型彈性波濾波器裝置，其中，具有壓電基板、在所述壓電基板上沿著彈性波傳播方向配置的至少2個IDT，在所述2個IDT彼此相鄰的部分，在相鄰的2個IDT的至少一方，位于最接近對方IDT的最外側(cè)的第一電極指和與第一電極指相鄰的第二電極指的長度，與剩下的電極指的長度不同，據(jù)此，進行交叉寬度加權；并且還具有在所述第一、第二電極指之間配置的虛設電極；虛設電極具有第一虛設電極指部，其與第一電極指的頂端隔開，在第一電極指的長度方向延長線上配置，與第二電極指平行延伸；第二虛設電極指部，其與所述第二電極指的頂端隔開，并且在第二電極指的長度方向延長線上配置，與第一電極指平行延伸；連接部，其連接第一、第二虛設電極指部，該連接部位于第一電極指的頂端和第二電極指的頂端之間，通過設置所述虛設電極，進行串聯(lián)加權；所述縱耦合共振子型彈性表面波濾波器裝置的彈性波傳播的部分，具有第一聲道、在與第一聲道的彈性波傳播方向相垂直的方向分別配置在兩側(cè)的第二聲道、配置在與各第二聲道的彈性波傳播方向相垂直的方向外側(cè)的第三聲道，第一聲道是通過所述虛設電極的連接部的聲道，所述第二聲道是包含第一或第二電極指的頂端與所述虛設電極的連接部之間的間隔的聲道，所述第三聲道是包含所述第一或第二電極指的聲道；在進行所述串聯(lián)加權的部分，還具有增大所述第二聲道的金屬化比的金屬化比增大部件、與減小所述第一聲道的金屬化比的金屬化比減少部件中的至少一方，據(jù)此，第一聲道的金屬化比和第二聲道的金屬化比的差被減小。
2. 根據(jù)權利要求1所述的縱耦合共振子型彈性波濾波器裝置，其特 征在于，所述金屬化比增大部件是如下突出部中的至少一個突出部即在所述 第二聲道，在第一和/或第二虛設電極指部，向相鄰的第二電極指或第一電 極指一側(cè)突出的突出部；以從與所述第二電極指的內(nèi)側(cè)相鄰的電極指向第 二電極指一側(cè)突出的方式設置的突出部；以及以從所述第一和/或第二電極 指的頂端向所述第二聲道突出的方式設置的突出部。
3. 根據(jù)權利要求1所述的縱耦合共振子型彈性波濾波器裝置，其特 征在于，所述金屬化比減少部件，是以所述虛設電極的所述連接部占第一聲道 的面積減小的方式設置在所述連接部的電極切口部部。
4. 根據(jù)權利要求1 3中的任意一項所述的縱耦合共振子型彈性波濾 波器裝置，其特征在于，所述IDT由金屬膜構成，該金屬膜包含從Au、 Pt、 Pd、 Ag、 Cu、 W以及以它們?yōu)橹黧w的合金構成的組選擇的一種金屬層。
5. 根據(jù)權利要求1 4中的任意一項所述的縱耦合共振子型彈性波濾 波器裝置，其特征在于，被構成為，備有不平衡端子，第一、第二平衡端子，并具有平衡一不 平衡變換功能。
6. 根據(jù)權利要求5所述的縱耦合共振子型彈性波濾波器裝置，其特 征在于，通過形成在所述壓電基板上的至少2個IDT，形成第一濾波器元件和 第二濾波器元件；所述第一濾波器元件，是具有沿著彈性波傳播方向配置的多個IDT的 縱耦合共振子型的彈性波濾波器元件，并且具有輸入端和輸出端；所述第二濾波器元件，是具有沿著彈性波傳播方向配置的多個IDT的 縱耦合共振子型的濾波器元件，并且具有輸入端和輸出端；第二濾波器元件的輸出信號相對于輸入信號的相位，相對于第一濾波 器元件的輸出信號相對于輸入信號的相位，相差180度；所述第一、第二濾波器元件的各輸入端連接在所述不平衡端子上，第 一濾波器元件的輸出端連接在第一平衡端子上，第二濾波器元件的輸出端 連接在第二平衡端子上。
7. 根據(jù)權利要求6所述的縱耦合共振子型彈性波濾波器裝置，其特征在于，所述第一濾波器元件具有第一、第二縱耦合共振子型彈性波濾波器 部，所述第一、第二縱耦合共振子型彈性波濾波器部具有沿著彈性波傳播 方向配置的多個IDT，該第一、第二縱耦合共振子型彈性波濾波器部級聯(lián) 連接；所述第二濾波器元件具有第三、第四縱耦合共振子型彈性波濾波器 部，所述第三、第四縱耦合共振子型彈性波濾波器部具有沿著彈性波傳播方向按順序配置的多個IDT，第三、第四縱耦合共振子型彈性波濾波器部 級聯(lián)連接。
8. 根據(jù)權利要求5所述的縱耦合共振子型彈性波濾波器裝置，其特 征在于，作為形成在所述壓電基板上的至少2個IDT，具有在彈性波傳播方向 按順序配置的第四、第二、第一、第三和第五IDT，還具有在設置有所述 第一 第五IDT的部分的兩側(cè)設置的第一、第二反射器；所述第二 IDT的相位相對于第三IDT的相位，相差180度;所述第二、 第三IDT連接在所述不平衡端子上；所述第一IDT具有在彈性波傳播方向分割而設置的第一分割IDT部和 第二分割IDT部，第一分割IDT部和所述第四IDT連接在所述第一平衡 端子上，所述第二分割IDT部和所述第五IDT連接在所述第二平衡端子上。
9. 根據(jù)權利要求5所述的縱耦合共振子型彈性波濾波器裝置，其特 征在于，作為所述至少2個IDT，具有在彈性波傳播方向按順序配置的第四、 第二、第一、第三和第五IDT，還具有在設置有所述第一 第五IDT的部分的兩側(cè)設置的第一、第二反射器；所述第二 IDT的相位相對于所述第三IDT的相位，相差180度； 所述第一、第四、第五IDT的各一端連接在不平衡端子上，第二IDT連接在第一平衡端子上，第三IDT連接在所述第二平衡端子上。
10. 根據(jù)權利要求1 9中的任意一項所述的縱耦合共振子型彈性波 濾波器裝置，其特征在于，作為所述彈性波，使用彈性表面波，據(jù)此，構成彈性表面波濾波器裝置。
11. 根據(jù)權利要求1 9中的任意一項所述的縱耦合共振子型彈性波 濾波器裝置，其特征在于還具有在所述壓電基板上層疊的電介質(zhì)層，作為所述彈性波，使用彈 性邊界波，據(jù)此，構成彈性邊界波濾波器裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種縱耦合共振子型彈性波濾波器裝置，在IDT113、114彼此相鄰的部分的至少1處，在至少一方的IDT113、114，設置虛設電極，進行串聯(lián)加權，在進行該的串聯(lián)加權的部分的至少1處，減小通過虛設電極116的連接部116c的第一聲道的金屬化比和位于第一聲道的彈性波傳播方向兩側(cè)的第二、第三聲道的金屬化比的差的方式設置在第一聲道設置的金屬化比減少部件、在第二聲道設置的金屬化比增大部件的至少一方。在具有進行串聯(lián)加權的IDT的縱耦合共振子型彈性波濾波器裝置中，提供減少通過帶域內(nèi)的波動的構造。
文檔編號H03H9/145GK101371436SQ20078000262
公開日2009年2月18日 申請日期2007年8月21日 優(yōu)先權日2006年9月22日
發(fā)明者矢田優(yōu) 申請人:株式會社村田制作所