專利名稱：聲波濾波裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種具有平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能的聲波濾波裝置，更詳細(xì)而言，涉及 一種在縱耦合諧振器型聲波濾波部上連接有單端口型聲波諧振器的聲波濾波裝置。
背景技術(shù)：
在便攜式電話等RF段，要求具有平衡_不平衡轉(zhuǎn)換功能的帶通濾波器。作為這種 帶通濾波器，以往使用了具有平衡_不平衡轉(zhuǎn)換功能的聲表面波濾波裝置。例如，在下述的專利文獻(xiàn)1中，公開了具有圖13所示的電極結(jié)構(gòu)的聲表面波濾波 裝置。在聲表面波濾波裝置1001中，不平衡端子1002與第一、第二平衡端子1003、1004之 間連接有圖示的電極結(jié)構(gòu)。不平衡端子1002上連接有單端口型聲表面波諧振器1005。聲 表面波諧振器1005的另一端上連接有第一、第二縱耦合諧振器型聲表面波濾波器1006、 1007。聲表面波濾波器1006、1007都是3IDT電極型縱耦合諧振器型聲表面波濾波器。位于聲表面波濾波器1006、1007的中央處的IDT電極分別連接在一起，并連接在 上述聲表面波諧振器1005上。另一方面，位于聲表面波濾波器1006的中央的IDT電極兩 側(cè)的IDT電極連接在一起，并通過單端口型聲表面波諧振器1008連接在第一平衡端子1003 上。同樣，聲表面波濾波器1007的兩側(cè)的IDT電極的各一端連接在一起，并通過單端口型 SAW諧振器1009連接在第二平衡端子1004上。這里，按照在連接聲表面波濾波器1006與 第一平衡端子1003的第一信號線1010、連接聲表面波濾波器1007與第二平衡端子1004的 第二信號線1011中所傳送的信號的相位相差180度的方式，構(gòu)成了聲表面波濾波器1006、 1007。另外，第一、第二信號線1010、1011之間連接有聲表面波諧振器1012。S卩，單端口 型聲表面波諧振器1012的一個匯流條連接在第一信號線1010上，第一匯流條相反側(cè)的第 二匯流條連接在第二信號線1011上。上述單端口型聲表面波諧振器1012的諧振頻率位于聲表面波濾波器1006、1007 的通頻帶的低頻側(cè)，由此擴(kuò)大了通頻帶外衰減量。另外，在專利文獻(xiàn)1中，由于聲表面波諧 振器1012連接了第一、第二信號線1010、1011，因此對平衡端子1003和1004的影響大致相 等，所以能夠抑制平衡度的惡化。另一方面，下述的專利文獻(xiàn)2中，在具有平衡_不平衡轉(zhuǎn)換功能的聲表面波濾波裝 置的第一、第二平衡端子內(nèi)，向一方的平衡端子附加了電抗成分。通過電抗成分的附加，可 改善相位平衡度。在專利文獻(xiàn)2的圖19中，作為附加上述電抗成分的結(jié)構(gòu)，使用了梳型電 極。即，根據(jù)梳型電極的電容，向一方的平衡端子附加了上述電抗成分。專利文獻(xiàn)1 日本特開2001-308672號公報專利文獻(xiàn)2 日本特開2004-96244號公報在專利文獻(xiàn)1所記載的上述聲表面波濾波裝置1001中，通過聲表面波諧振器1012 的連接擴(kuò)大了通頻帶外衰減量。但是，聲表面波諧振器1012的對置的第一、第二匯流條中 的一個匯流條連接在第一信號線1010上，第二匯流條連接在第二信號線1011上。S卩，由于從對置的第一、第二匯流條分別引出了布線，因此壓電基板上的布線結(jié)構(gòu)容易變得復(fù)雜。因此，很難做到小型化。另外，如上所述，由于聲表面波諧振器1012的連接對平衡端子1003、 1004的影響大致相等，因此平衡度基本不會被惡化，但是該結(jié)構(gòu)并不能積極改善平衡度。因 此，在專利文獻(xiàn)1所記載的構(gòu)成中，不能充分提高第一、第二平衡端子1003、1004間的信號 的平衡度。另一方面，在專利文獻(xiàn)2所記載的構(gòu)成中，通過上述梳型電極向一方的平衡端子 附加了電抗成分。由此，改善了相位平衡度。但是，雖然改善了平衡度，卻因電抗成分的附 加而導(dǎo)致寄生電容增加，存在插入損耗會增加的問題。另外，為了附加上述電抗成分，會增 大壓電基板上的電極面積，不得不擴(kuò)大聲表面波濾波芯片。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于消除上述的現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種具有平衡_不平衡轉(zhuǎn)換 功能且不僅能夠?qū)崿F(xiàn)通頻帶外的衰減量的擴(kuò)大還能夠提高第一、第二平衡端子間的信號的 平衡度的聲波濾波裝置。根據(jù)本發(fā)明，聲波濾波裝置為縱耦合諧振器型，具備具有不平衡端子和第一、第二 平衡端子的平衡_不平衡轉(zhuǎn)換功能，該聲波濾波裝置的特征在于，包括壓電基板；縱耦合 諧振器型聲波濾波部，其形成在所述壓電基板上，具有與所述不平衡端子連接的不平衡端、 和作為輸出的信號的相位相差180°的電極端部的第一、第二平衡端；聲波諧振器，其形成 在所述壓電基板上，具備具有對置的第一、第二匯流條的IDT電極、配置在所述IDT電極的 聲波傳播方向兩側(cè)的一對反射器；和第一、第二信號線，一端分別連接在所述聲波濾波部的 所述第一、第二平衡端上，另一端連接在第一、第二平衡端子上；所述聲波諧振器具有通過 將該聲波諧振器的IDT電極的第一匯流條在聲波傳播方向上分成兩個而設(shè)置的第一、第二 分割電極部，該第一、第二分割電極部在聲波傳播方向上通過所述第二匯流條而串聯(lián)連接， 所述第一分割電極部的與所述第二匯流條相反一側(cè)的端部與所述第一信號線連接，所述第 二分割電極部的與所述第二匯流條相反一側(cè)的端部與所述第二信號線電連接，連接所述第 一分割電極部與第一平衡端的線路的距離等于連接所述第二分割電極部與第二平衡端的 線路的距離，并且所述第一分割電極部不同于所述第二分割電極部。在本發(fā)明的聲波濾波裝置中，能夠?qū)ι鲜隹v耦合諧振器型聲波濾波部進(jìn)行適當(dāng)變 形。在本發(fā)明的一個特定情況下，所述縱耦合諧振器型聲波濾波部在所述壓電基板上具有 沿著聲波傳播方向配置的3以上的奇數(shù)個IDT電極，該奇數(shù)個IDT電極中在聲波傳播方向 上位于中央的IDT電極具有在聲波傳播方向上分成兩個而設(shè)置的第一、第二分割I(lǐng)DT部，該 第一、第二分割I(lǐng)DT部具有所述第一、第二平衡端，與位于中央的IDT電極的聲波傳播方向 兩側(cè)相鄰的兩個IDT電極具有連接在所述不平衡端子上的不平衡端。另外，在本發(fā)明的另一特定的情況下，所述縱耦合諧振器型聲波濾波部在所述壓 電基板上具有沿著聲波傳播方向配置的3以上的奇數(shù)個IDT電極，該奇數(shù)個IDT電極中在 聲波傳播方向上位于中央的IDT電極連接在所述不平衡端子上，該位于中央的IDT電極的 兩側(cè)的IDT電極分別連接在第一、第二平衡端子上。另外，在本發(fā)明的另一特定的情況下，所述縱耦合諧振器型聲波濾波部具有縱耦 合諧振器型第一聲波濾波單元，其在所述壓電基板上具有沿著聲波傳播方向配置的3以上的奇數(shù)個IDT電極；和縱耦合諧振器型第二聲波濾波單元，其在所述壓電基板上具有沿著 聲波傳播方向配置的3以上的奇數(shù)個IDT電極；所述第一聲波濾波單元的奇數(shù)個IDT電極 中，位于中央的IDT電極的一端是所述不平衡端或第一平衡端，所述位于中央的IDT電極的 兩側(cè)的兩個IDT電極的各一端是所述第一平衡端或所述不平衡端，所述第二聲波濾波部的 奇數(shù)個IDT電極中，在聲波傳播方向上位于中央的IDT電極的一端是所述不平衡端或第二 平衡端，配置在該IDT電極的聲波傳播方向兩側(cè)的兩個IDT電極的各一端是所述第二平衡 端或所述不平衡端。另外，在本發(fā)明的另一特定的情況下，所述縱耦合諧振器型聲波濾波部具有第一 縱耦合諧振器型聲波濾波單元，其在所述壓電基板上具有沿著聲波傳播方向配置的3以上 的奇數(shù)個IDT電極；和縱耦合諧振器型第二聲波濾 波單元，其在所述壓電基板上具有沿著 聲波傳播方向配置的3以上的奇數(shù)個IDT電極；所述第一聲波濾波單元和所述第二聲波濾 波單元排列配置在與各聲波濾波單元的聲波傳播方向正交的方向上，并被兩級級聯(lián)連接， 將第一、第二聲波濾波單元的中央的IDT電極的聲波傳播方向上的兩側(cè)作為第一側(cè)和第二 側(cè)時，與第一聲波濾波單元的中央的IDT電極的第一側(cè)相鄰的IDT的一端、和與所述第二聲 波濾波單元的中央的IDT電極的聲波傳播方向的第一側(cè)相鄰的IDT的一端，通過所述第一 信號線連接，與所述第一聲波濾波單元的中央的IDT電極的所述第二側(cè)相鄰的IDT的一端、 和與所述第二聲波濾波單元的位于中央的IDT電極的所述第二側(cè)相鄰的IDT的一端，通過 所述第二信號線連接，所述第一信號線中傳送的電信號與所述第二信號線中傳送的電信號 為相反相位，第一聲波濾波單元的中央的IDT電極的一端是所述不平衡端，與該IDT電極的 聲波傳播方向兩側(cè)相鄰的各IDT的各一端是所述第一、第二平衡端，所述第一、第二平衡端 與所述第一、第二平衡端子分別經(jīng)由所述第二聲波濾波單元并通過所述第一、第二信號線 連接。此時，所述聲波諧振器也可以在所述第二聲波濾波單元的后級與所述第一、第二 信號線連接。另外，所述聲波諧振器也可以在所述第二聲波濾波單元的前級即在第一、第二 聲波濾波單元間的級間與所述第一、第二信號線連接。另外，在本發(fā)明的聲波濾波裝置中，上述聲波諧振器的第一分割電極部不同于第 二分割電極部，但是針對不同構(gòu)成的方式并沒有特別的限定。即，可以是第一分割電極部的 電極指的根數(shù)不同于第二分割電極部的電極指的根數(shù)。此時，只要將電極指的根數(shù)設(shè)置得 不同，就可以輕易使第一、第二分割電極部不同，從而能夠改善平衡度。另外，在所述縱耦合諧振器型聲波濾波部中，將在聲波傳播方向上位于中央的IDT 電極的聲波傳播方向兩側(cè)作為第一、第二側(cè)時，在位于中央的IDT電極和與該IDT電極在第 一側(cè)相鄰的IDT電極兩者所相鄰的部分，在第一側(cè)相鄰的該IDT電極的最外側(cè)電極指即位 于中央的IDT電極側(cè)的最外電極指被作為與高電位(hot potential)連接的電極指，所述 第一分割電極部的電極指的根數(shù)比所述第二分割電極部的電極指的根數(shù)多。該情況下也能 改善平衡度。或者，在所述縱耦合諧振器型聲波濾波部中，將在聲波傳播方向上位于中央的IDT 電極的聲波傳播方向兩側(cè)作為第一、第二側(cè)時，在位于中央的IDT電極和與該IDT電極在第 一側(cè)相鄰的IDT電極兩者所相鄰的部分，在第一側(cè)相鄰的IDT電極的最外側(cè)電極指即位于 中央的IDT電極側(cè)的最外電極指被作為與接地電位連接的電極指，所述第一分割電極部的電極指的根數(shù)比所述第二分割電極部的電極指的根數(shù)少。另外，也可以使上述第一分割電極部的金屬化率不同于第二分割電極部的金屬化率，此時，只要在形成電極時使金屬化率不同，則能夠根據(jù)本發(fā)明而改善平衡度。而且，也可以使所述第一分割電極部的電極指間距不同于所述第二分割電極部的 電極指間距。這種情況下，只要使電極指間距不同，也能夠輕易改善平衡度。另外，在本發(fā)明的聲波濾波裝置中，也可以將所述聲波諧振器的所述第二匯流條 連接在接地電位上。此時，也能夠改善平衡度。另外，優(yōu)選所述聲波諧振器的諧振頻率_反諧振頻率間的頻帶包括所述縱耦合諧 振器型聲波濾波部的通頻帶。在聲表面波諧振器的諧振_反諧振頻帶中，由于聲表面波諧 振器呈感應(yīng)性，因此在上述縱耦合諧振器型聲波濾波部的通頻帶內(nèi)，聲波諧振器不會呈容 性，能夠抑制插入損耗的劣化。本發(fā)明的聲波濾波裝置也可以使用聲表面波，此時，根據(jù)本發(fā)明，能夠得到縱耦合 諧振器型聲表面波濾波裝置，另外，也可以使用聲界面波，此時，根據(jù)本發(fā)明，能夠得到縱耦 合諧振器型聲界面波濾波裝置。(發(fā)明效果)在本發(fā)明的聲波濾波裝置中，由于連接上述聲波諧振器的第一分割電極部與第一 平衡端的線路的距離等于連接所述第二分割電極部與第二平衡端的線路的距離，因此，從 第一、第二信號線傳送給聲波諧振器的信號的相位偏移量大致相同。因此，能夠改善第一、 第二平衡端子間的相位平衡度和振幅平衡度。除此之外，由于上述聲波諧振器的第一分割電極部不同于第二分割電極部，因此 通過調(diào)整使其不同的方式，能夠更精細(xì)地調(diào)整第一、第二平衡端子間的信號的振幅平衡度 和相位平衡度，由此能夠進(jìn)一步改善平衡度。


圖1是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的聲波濾波裝置的示意俯視圖。圖2是表示第1實(shí)施方式和比較例的聲波濾波裝置的振幅平衡度_頻率特性的 圖。圖3是表示第1實(shí)施方式和比較例的聲波濾波裝置的相位平衡度_頻率特性的 圖。圖4是用于說明具有第一、第二分割電極部的聲表面波諧振器中的第一、第二分 割電極部的相位關(guān)系的示意俯視圖。圖5是本發(fā)明的第2實(shí)施方式的聲波濾波裝置的示意俯視圖。圖6是本發(fā)明的第3實(shí)施方式的聲波濾波裝置的示意俯視圖。圖7是本發(fā)明的第4實(shí)施方式的聲波濾波裝置的示意俯視圖。圖8是本發(fā)明的第5實(shí)施方式的聲波濾波裝置的示意俯視圖。圖9是本發(fā)明的第6實(shí)施方式的聲波濾波裝置的示意俯視圖。圖10是本發(fā)明的第7實(shí)施方式的聲波濾波裝置的示意俯視圖。圖11是表示本發(fā)明中所使用的聲表面波諧振器的變形例的示意俯視圖。圖12是表示本發(fā)明中所使用的聲表面波諧振器的另一變形例的示意俯視圖。
圖13是用于說明以往的聲表面波濾波裝置的示意俯視圖。圖中1-聲波濾波裝置；2-壓電基板；3-不平衡端子；4、5_第一、第二平衡端子；6_聲波濾波部；11 13-IDT電極；14、15_反射器；16、17_第一、第二信號線；18-聲波諧 振器；19-IDT電極；20a、20b-反射器；21-聲波濾波裝置；22a、22b_分割匯流條；23-公 共匯流條；24a、24b-連接布線；25a、26b-連接點(diǎn)；27、28_聲波濾波器；30-IDT電極；30a、 30b-第一、第二分割電極部；31-聲波濾波裝置；41-聲波濾波裝置；51-聲波濾波裝置； 61-聲波濾波裝置；71-聲波濾波裝置。
具體實(shí)施例方式下面，通過參照附圖具體說明本發(fā)明的實(shí)施方式來明確本發(fā)明。圖1是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的聲波濾波裝置的電極結(jié)構(gòu)的示意俯視圖。本 實(shí)施方式的聲波濾波裝置1是利用了聲表面波的聲表面波濾波裝置。壓電基板2上形成有圖示的示意電極結(jié)構(gòu)。在本實(shí)施方式中，壓電基板2由LiTaO3 基板構(gòu)成。更具體而言，使用表面波傳播方向其晶軸是X軸方向，切角為Y軸旋轉(zhuǎn)角度 40士5°的LiTaO3單晶基板。但是，也可以使用其它晶體方位的LiTaO3或其它壓電單晶體 來形成壓電基板2。而且，壓電基板2也可以由壓電陶瓷構(gòu)成。在壓電基板2上通過層疊IOnm厚的Ti膜和317nm的Al膜而構(gòu)成的層疊膜形成 圖示的電極結(jié)構(gòu)。聲波濾波裝置1在不平衡端子3與第一、第二平衡端子4、5之間連接了縱耦合諧 振器型聲波濾波部6?？v耦合諧振器型聲波濾波部6具有配置于中央處的第一 IDT電極11、 配置于第一 IDT電極11的聲表面波傳播方向兩側(cè)的第二、第三IDT電極12、13。在設(shè)有IDT 電極11 13的區(qū)域的聲表面波傳播方向兩側(cè)配置有反射器14、15。即，聲波濾波部6是縱 耦合諧振器型的3IDT電極型聲表面波濾波器。第二、第三IDT電極12、13的各一端連接在一起并電連接在上述不平衡端子3上， IDT電極12、13的另一端與接地電位連接。第一 IDT電極11具有在聲波傳播方向上IDT電 極被分成兩個而設(shè)置的第一、第二分割I(lǐng)DT電極部lla、llb。S卩，通過將IDT電極的一個匯 流條分成兩個來形成第一、第二分割I(lǐng)DT電極部lla、llb。沒有被分割的一側(cè)的匯流條被作 為公共匯流條，由此，第一、第二分割I(lǐng)DT電極部IlaUlb串聯(lián)連接。第一分割I(lǐng)DT電極部 Ila經(jīng)第一信號線16連接在第一平衡端子4上，第二分割I(lǐng)DT電極部lib經(jīng)第二信號線17 連接在第二平衡端子5上。這里，按照從第二信號線17向第二平衡端子5傳送的信號的相位相對于從第一信 號線16向第一平衡端子4傳送的信號的相位相差180°的方式，相對于IDT電極12的極性 反轉(zhuǎn)IDT電極13的極性。由此，實(shí)現(xiàn)平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能。IDT電極12、13的各一端是不平衡端，IDT電極11的分割I(lǐng)DT電極部IlaUlb的各 一端是第一、第二平衡端。在本發(fā)明中，第一、第二平衡端是指輸出的信號的相位相差180° 的電極端部。因此，在本實(shí)施方式中，第一分割I(lǐng)DT電極部Ila的一端即分割匯流條的端部 和第二分割I(lǐng)DT電極部lib的分割匯流條的端部分別是第一、第二平衡端。本實(shí)施方式的特征在于，在上述第一信號線16與第二信號線17之間連接了聲波 諧振器18。聲波諧振器18具有IDT電極19和配置于IDT電極19的聲表面波傳播方向兩側(cè)的反射器20a、20b。IDT電極19具有通過在表面波傳播方向上分割互相對置的一對匯流 條內(nèi)的一個匯流條而設(shè)置的第一分割匯流條22a和第二分割匯流條22b，由此形成了第一、 第二分割電極部19a、19b。與第一、第二分割匯流條22a、22b對置的相反側(cè)的匯流條被作為 公共匯流條23。第一分割匯流條22a經(jīng)連接布線24a在連接點(diǎn)25a處與第一信號線16連接。另外，第二分割匯流條22b經(jīng)連接布線24b在連接點(diǎn)25b處與第一信號線17連接。另外，雖然沒有特別的限定，但是第一、第二分割匯流條22a、22b配置于聲波濾波 部6 —側(cè)，公共匯流條23配置于離聲波濾波部6遠(yuǎn)的一側(cè)。因此，能夠縮短用于電連接第 一分割匯流條22a與第一信號線16的連接布線24a、和用于連接第二分割匯流條22b與第 二信號線17的連接布線24b的長度。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)聲波濾波裝置1的小型化。另外，由于第一信號線16和第二信號線17所傳送的信號的相位被反轉(zhuǎn)，且第一、 第二信號線16、17之間連接有上述聲波諧振器18，因此能夠提高濾波特性的陡峭性，且能 夠擴(kuò)大通頻帶寬。即，與上述的專利文獻(xiàn)1所記載的聲波濾波裝置同樣，反轉(zhuǎn)了在第一信號 線中傳送的信號的相位和在第二信號線17中傳送的信號的相位。而且，由于在上述第一、 第二信號線16、17之間連接有聲波諧振器18，因此可相互抵消從第一信號線16傳送給聲波 諧振器18的信號與從第二信號線17傳送給聲波諧振器18的信號。因此，能夠提高濾波特 性的陡峭性。除此之外，優(yōu)選使上述聲波諧振器18的諧振頻率位于比上述縱耦合諧振器型聲 波濾波部6的通頻帶低的頻域側(cè)，由此能夠?qū)崿F(xiàn)通頻帶低頻側(cè)的衰減量的擴(kuò)大。更期望使上述聲波諧振器的諧振頻率_反諧振頻率包括上述聲波濾波部6的通頻 帶。此時，由于在聲波濾波部6的通頻帶中，聲波諧振器18呈感應(yīng)性，而非容性，因此能夠 抑制由電抗引起的插入損耗的劣化。本實(shí)施方式的聲波濾波裝置1的特征在于，上述第一分割電極部19a與聲波濾波 部6的第一平衡端即第一分割I(lǐng)DT電極部Ila之間的線路的距離、和連接第二分割電極部 19b與聲波濾波部6的第二平衡端即第二分割I(lǐng)DT電極部lib之間的線路的距離相等，以及 第一分割電極部19a不同于第二分割電極部19b。S卩，由于第一分割電極部19a與上述第 一平衡端之間的布線距離、和第二分割電極部1%與上述第二平衡端之間的布線距離大致 相等，因此從第一、第二信號線16、17傳送給聲波諧振器18的信號的相位偏移量大致相同。 因此，能夠有效改善第一、第二平衡端子4、5間的信號的平衡度。除此之外，通過使第一分割電極部19a與第二分割電極部19b不同，能夠更加確實(shí) 地改善第一、第二平衡端子4、5間的信號的平衡度?；谝韵碌木唧w實(shí)驗(yàn)例來明確此結(jié)論。通過在壓電基板上按照以下的規(guī)格形成各電極來制造上述聲波濾波裝置1。聲波濾波部6的電極指交叉寬度90 μ m反射器14、15的電極指根數(shù)各80根反射器14、15的電極指間距2· 136 μ m反射器 14、15 的金屬化率(metallization ratio) :0· 66IDT電極12、13的電極指對數(shù)分別11. 5對，電極指根數(shù)24根IDT電極12、13的電極指間距2. 115 μ m
其中，在IDT電極12的電極指內(nèi)靠近IDT電極11側(cè)的四根電極指、IDT電極13的 位于IDT電極11側(cè)的四根電極指中，將電極指間距設(shè)為1.998μπι。S卩，在IDT電極12、13 中分別設(shè)置具有上述電極指間距的窄間距電極指部。IDT電極12、13的金屬化率0. 65，其中，在窄間距電極指部中為0. 63。IDT電極11的電極指的對數(shù)9. 5對，電極指的根數(shù)為20根IDT電極11的電極指間距2· 12 μ m
其中，在IDT電極11中，在兩端分別設(shè)置窄間距電極指部。窄間距電極指部由電 極指間距為1. 968 μ m的6根電極指構(gòu)成。IDT電極11的金屬化率0. 65，其中，在窄間距電極指部中為0. 63。IDT電極11與IDT電極12間的間隔以及IDT電極12與IDT電極13間的間隔 相鄰的IDT電極的相鄰電極指中心間距離為0. 72 μ mIDT電極-反射器間的間隔相鄰的電極指的中心間的距離為0. 57 μ m聲波諧振器18的電極指交叉寬度80 μ m聲波諧振器18的反射器20a、20b的電極指的根數(shù)各30根反射器20a、20b以及IDT電極19的電極指間距2. 160 μ m反射器20a、20b的金屬化率0· 50第一分割電極部19a的電極指根數(shù)28根第二分割電極部19b的電極指根數(shù)24根測定如上所述那樣設(shè)計(jì)的本實(shí)施方式的聲波濾波裝置1的特性。為了進(jìn)行比較， 測定了除了與專利文獻(xiàn)1同樣地在第一、第二信號線間連接有聲表面波諧振器之外，按照 與上述實(shí)施方式同樣的方式設(shè)計(jì)的聲波濾波裝置的特性。另外，在比較例中，聲波諧振器的 反射器的構(gòu)成與上述實(shí)施方式相同，位于中央的IDT電極的電極指的根數(shù)為52根，電極指 間距和金屬化率與上述實(shí)施方式的聲波諧振器相同。圖2和圖3表示上述實(shí)施方式和比較例的各聲波濾波裝置的振幅平衡度頻率特性 和相位平衡度頻率特性。在圖2和圖3中，實(shí)線表示上述實(shí)施方式的結(jié)果，虛線表示比較例 的結(jié)果。圖2的相位平衡度-頻率特性中，在通頻帶的925-960MHZ中，根據(jù)上述實(shí)施方式， 相位平衡度在OdB附近，與比較例相比可知，有效提高了相位平衡度。另外，從圖3可知，在相同的925-960MHZ中，根據(jù)上述實(shí)施方式，相位平衡度在 180°附近，與在176°附近的比較例相比可知，有效改善了相位平衡度。這是因?yàn)槿缟鲜瞿菢?，通過使第一分割電極部19a與第一平衡端子間的線路的距 離、和第二分割電極部1%與第二平衡端子間的線路的距離大致相等，從而使從第一、第二 信號線16、17傳送給聲波諧振器18的信號的相位偏移量大致相等，以及第一分割電極部 19a和第二分割電極部19b的電極指的根數(shù)不同。S卩，如圖4所示那樣，在聲波諧振器中，設(shè)IDT電極30具有電極指的根數(shù)不同的第 一分割電極部30a和第二分割電極部30b。此時，如圖4的下方所示，設(shè)在第一分割電極部 30a中相位為+90°、在第二分割電極部30b中相位為-90°，則在兩者間的中間點(diǎn)的中性點(diǎn) 處相位為0°。而且，由于相對于該中間點(diǎn)非對稱地構(gòu)成了 IDT電極30，因此可通過使上述 第一、第二分割電極部30a、30b的電極指的根數(shù)不同來調(diào)整相對第一、第二平衡端子的電 抗量。即，能夠通過使上述分割電極部30a、30b的電極指的根數(shù)不同，來調(diào)整從第一平衡端和第二平衡端輸出的信號的強(qiáng)度差所引起的平衡度的劣化。在本實(shí)施方式中，使第一、第二分割電極部19a、19b的電極指的根數(shù)不同，使得從 第一平衡端和第二平衡端輸出的信號的強(qiáng)度差所引起的平衡度的劣化相抵消。 圖5是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的聲波濾波裝置21的示意俯視圖。這里，使用 兩級級聯(lián)連接結(jié)構(gòu)的聲波濾波部6A代替了第1實(shí)施方式的聲波濾波裝置1的聲波濾波部 6，除此之外，其構(gòu)成與第1實(shí)施方式相同。因此，僅說明縱耦合諧振器型聲波濾波部6A，其 它部分的說明將援引第1實(shí)施方式的說明?？v耦合諧振器型聲波濾波部6A通過級聯(lián)連接第一縱耦合諧振器型聲波濾波器27 和第二縱耦合諧振器型聲波濾波器28而形成。各聲波濾波器27、28分別具有第一 IDT電 極27a、28a ；和配置于第一 IDT電極27a、28a的聲表面波傳播方向兩側(cè)的第二、第三IDT電 極27b、27c、28b、28c。另外，在設(shè)有IDT電極27a 27c的區(qū)域的聲表面波傳播方向兩側(cè)， 配置有反射器27d、27e，同樣，在設(shè)有IDT電極28a 28c的區(qū)域的表面波傳播方向兩側(cè)，配 置有反射器28d、28e。第一 IDT電極27a的一端與不平衡端子3連接，另一端與接地電位連接。第二、第 三IDT電極27b、27c的一端連接在接地電位上，IDT電極27b、27c的各另一端分別連接在第 二聲波濾波器28的第二、第三IDT電極28b、28c的一端上。IDT電極28b、28c的各另一端 連接在接地電位上。IDT電極28a其構(gòu)成與第1實(shí)施方式的聲波濾波部6的第一 IDT電極 11相同。即，IDT電極28a具有第一、第二分割I(lǐng)DT電極部。因此，與第1實(shí)施方式的情況 同樣對該第一、第二分割I(lǐng)DT電極部附加參照序號lla、llb，并援引第1實(shí)施方式的說明。在第2實(shí)施方式中，上述第一、第二信號線16、17也連接第一、第二平衡端與第一、 第二平衡端子4、5，且與第1實(shí)施方式同樣連接有聲波諧振器18。即，聲波諧振器的第一分 割電極部19a與第一平衡端之間的距離、和第二分割電極部19b與第二平衡端之間的距離 大致相等，且第一分割電極部19a的電極指根數(shù)不同于第二分割電極部19b的電極指根數(shù)。 因此，與第1實(shí)施方式相同，能夠有效改善第一、第二平衡端子間的信號的平衡度。圖6是表示本發(fā)明的第3實(shí)施方式的聲波濾波裝置的示意俯視圖。在第3實(shí)施方 式的聲波濾波裝置31中，使用與不平衡端子3并聯(lián)連接的第一、第二縱耦合諧振器型聲波 濾波部33、34代替了圖1的聲波濾波部6，除此之外其構(gòu)成與第1、第2實(shí)施方式相同。因 此，通過附加相同的參照序號來省略其說明。這里，第一聲波濾波部33具有第一 IDT電極33a ；配置于第一 IDT電極33a的 聲表面波傳播方向兩側(cè)的第二、第三IDT電極33b、33c ；和設(shè)有IDT電極33a 33c的區(qū)域 的表面波傳播方向兩側(cè)的反射器33d、33e。第二聲波濾波部34也具有同樣的構(gòu)成，具有第 一 第三IDT電極34a 34c、反射器34d、34e。不平衡端子3上連接有第一聲波濾波部33的第一 IDT電極33a的一端，IDT電極 33a的另一端連接在接地電位上。第二、第三IDT電極33b、33c的各一端連接在接地電位 上，各另一端連接在一起，并連接在第一平衡端子4上。第二聲波濾波部34的第一 IDT電極34a的一端連接在不平衡端子3上，另一端連 接在接地電位上。第二、第三IDT電極34b、34c的各一端連接在接地電位上，各另一端連接 在一起，并連接在第二平衡端子5上。這里，IDT電極33a、34a的各一端是不平衡端，IDT電極33b、33c的各另一端是第一平衡端，IDT電極34b、34c的各另一端是第二平衡端。連接上述第二平衡端與第二平衡端子5的第二信號線17所傳送的信號的相位，相對于連接上述第一平衡端與第一平衡端子4的第一信號線16所傳送的信號的相位相差 180°。而且，在本實(shí)施方式中，由于在第一、第二信號線間也與第1實(shí)施方式同樣地連接有 聲波諧振器18，因此與第1實(shí)施方式相同，能夠有效改善第一、第二平衡端子4、5間的信號 的平衡度。圖7是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式的聲波濾波裝置的示意俯視圖。第4實(shí)施方式 的聲波濾波裝置41相當(dāng)于第3實(shí)施方式的聲波濾波裝置31的變形例。不同點(diǎn)在于，位于 第一 IDT電極33a的兩側(cè)的第二、第三IDT電極33b、33c的各一端連接在一起并連接在不 平衡端子3上，各另一端連接在接地電位上，其中，第一 IDT電極33a位于聲波濾波部33的 中央，同樣，第二、第三IDT電極34b、34c的各一端連接在一起并連接在不平衡端子3上，且 位于中央的第一 IDT電極33a、34a的各一端連接在第一、第二平衡端子4、5上。其他結(jié)構(gòu) 與第3實(shí)施方式同樣。因此，在第4實(shí)施方式的聲波濾波裝置41中，也能夠有效改善第一、 第二平衡端子4、5間的信號的平衡度。圖8是表示本發(fā)明的第5實(shí)施方式的聲波濾波裝置的示意俯視圖。第5實(shí)施方式 的聲波濾波裝置51中，使用設(shè)有5IDT電極型縱耦合諧振器型聲波濾波部52代替了第1實(shí) 施方式的聲波濾波裝置1的縱耦合諧振器型聲波濾波部6，除此之外其構(gòu)成與第1實(shí)施方式 相同。聲波濾波部52具有位于中央的第一 IDT電極52a ；配置于IDT電極52a的聲波傳 播方向兩側(cè)的第二、第三IDT電極52b、52c ；和配置于設(shè)有第一 第三IDT電極52a 52c 的區(qū)域的表面波傳播方向兩側(cè)的第四、第五IDT電極52d、52e。在設(shè)有IDT電極52a 52e 的區(qū)域的表面波傳播方向兩側(cè)，設(shè)有反射器52f、52g。這里，第一 IDT電極52a和第四、第 五IDT電極52d、52e的各一端是不平衡端，連接在一起并連接在不平衡端子3上。IDT電極 52a、52d、52e的各另一端連接在接地電位上。相對于第二 IDT電極52b反轉(zhuǎn)了第三IDT電極52c的極性。而且，第二 IDT電極 52d的一端連接在接地電位上，另一端連接在第一平衡端子4上。同樣，第三IDT電極52c 的一端連接在接地電位上，另一端連接在第二平衡端子5上。這里，IDT電極52b的上述另 一端構(gòu)成第一平衡端，IDT電極52c的另一端構(gòu)成第二平衡端。在第5實(shí)施方式中，也與第1實(shí)施方式同樣，由于聲波諧振器18連接在第一、第二 信號線之間，因此同樣能夠有效改善第一、第二平衡端子4、5間的信號的平衡度。圖9是表示本發(fā)明的第6實(shí)施方式的聲波濾波裝置的示意俯視圖。聲波濾波裝置 61相當(dāng)于第5實(shí)施方式的聲波濾波裝置51的變形例。不同點(diǎn)在于，在5IDT電極型縱耦合 諧振器型聲波濾波裝置部52中，第二、第三IDT電極52b、52c的各一端是不平衡端，這些連 接在一起并連接在不平衡端子3上，第一、第四以及第五IDT電極52A、52d、52e連接在平衡 端子側(cè)。這里，中央的第一 IDT電極52A具有在表面波傳播方向上分開兩個而設(shè)置的第一、 第二分割I(lǐng)DT電極52A1、52A2。第一平衡端子4上連接有第四IDT電極52d的一端和上述第一分割I(lǐng)DT電極部 52A1的一端。這里，第一平衡端是第四IDT電極52d與第一分割I(lǐng)DT電極部52A1的各一端，這些端在連接點(diǎn)62處連接在一起。IDT電極52d的另一端連接在接地電位上。另外，第二分割I(lǐng)DT電極部52A2的一端與第五IDT電極52e的一端是第二平衡端， 這些端在連接點(diǎn)63處連接在一起。該連接點(diǎn)63經(jīng)由第二信號線17連接在第二平衡端子 5上。第五IDT電極52e的另一端連接在接地電位上。在第6實(shí)施方式中，由于也與第1實(shí)施方式同樣在第一、第二信號線之間連接有聲 波諧振器18，因此能夠有效改善第一、第二平衡端子4、5間的信號的平衡度。圖10是表示本發(fā)明的第7實(shí)施方式的聲波濾波裝置的示意俯視圖。第7實(shí)施方 式的聲波濾波裝置71，與圖5所示的第2實(shí)施方式的聲波濾波裝置21同樣具有兩級級聯(lián) 連接的第一、第二縱耦合諧振器型聲波濾波器27、28。因此，在相同部分附加相同的參照序 號，并省略其說明。其中，在圖5中，聲波諧振器18連接在第二聲波濾波器28的輸出側(cè)，且 物理結(jié)構(gòu)上聲波諧振器18隔著第二聲波濾波器28配置在第一聲波濾波器27的相反側(cè)。相對于此，在第7實(shí)施方式的聲波濾波裝置71中，聲波諧振器18在第一聲波濾波 器27與第二聲波濾波器28之間的級間連接在第一、第二信號線上。另外，在物理布局中， 聲波諧振器18也配置在第一聲波濾波器27與第二聲波濾波器28之間的區(qū)域中。這樣，使 用多級結(jié)構(gòu)的聲波濾波部時，也可以在級間配置聲表面波諧振器。在這里僅說明與第2實(shí)施方式不同的部分，對相同部分援引圖5所示的聲波濾波 裝置21的說明因而省略。第一聲波濾波器27的第二、第三IDT電極27b、27c的各一端連接在接地電位上， 各另一端不僅分別連接在第二聲波濾波器28的第二、第三IDT電極28b、28c的各一端上， 而且還分別電連接在第一、第二分割電極部19a、19b上。更具體而言，IDT電極27b的另一端經(jīng)第一信號線連接在IDT電極28b上。另外， 這里，第一平衡端是指連接在IDT電極27b的接地電位的一側(cè)的相反側(cè)的匯流條的端部，第 二平衡端是指連接在IDT電極27c的接地電位的一側(cè)的相反側(cè)的匯流條端。這與第2實(shí)施 方式同樣是為了使從IDT電極27b、27c輸出的信號的相位相差180°。即，第一、第二平衡 端是指，在縱耦合諧振器型聲波濾波部中一方的傳送信號的相位與另一方的傳送信號的相 位相差180°的部分的輸出側(cè)端部。因此，在圖10中，第一信號線是指連接上述第一平衡端與第一平衡端子4的部分， 更具體而言，包括連接IDT電極27b的端部與IDT電極28b的布線部分16a、連接第一分割 IDT電極部Ila與第一平衡端子4的布線部分16b這兩者。同樣，第二信號線17除了包括 連接IDT電極27c的端部與IDT電極28c的布線部分17a外，還包括連接第二分割I(lǐng)DT電 極部lib與第二平衡端子5的布線部分17b。而且，在第一、第二信號線16、17之間與第2 實(shí)施方式同樣地連接有聲波諧振器18。更具體而言，連接點(diǎn)26上連接有聲波諧振器18的 第一分割電極部19a，第二連接點(diǎn)35上連接有第二分割電極部19b。由于在本實(shí)施方式中也與第1實(shí)施方式同樣地在第一、第二信號線間連接了聲表 面波諧振器，更具體而言，由于第一平衡端與第一連接點(diǎn)26之間的距離、和平衡端與第二 連接點(diǎn)35之間的距離大致相等，且第一、第二分割電極部19a、19b的電極指的根數(shù)不同，因 此能夠有效改善第一、第二平衡端子4、5間的信號的平衡度。另外，在圖1所示的實(shí)施方式中，IDT電極19中公共匯流條被浮置，但是也可以像 圖11所示那樣將IDT電極19的公共匯流條連接在接地電位上，由此將中心點(diǎn)連接在接地電位上。 另外，在上述的實(shí)施方式和變形例中，第一分割電極部19a的電極指的根數(shù)不同于第二分割電極部1%的電極指的根數(shù)，但是也可以使電極指的根數(shù)以外的要素不同來使 第一、第二分割電極部的結(jié)構(gòu)不同。例如，如圖12所示，可以使第一分割電極部29A的電極 指間距不同于第二分割電極部29B的電極指間距?；蛘咭部梢允沟谝环指铍姌O部的金屬化 率不同于第二分割電極部的金屬化率。
權(quán)利要求
一種聲波濾波裝置，其為縱耦合諧振器型，具備具有不平衡端子和第一、第二平衡端子的平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能，該聲波濾波裝置的特征在于，包括壓電基板；縱耦合諧振器型聲波濾波部，其形成在所述壓電基板上，具有與所述不平衡端子連接的不平衡端、和作為輸出的信號的相位相差180°的電極端部的第一、第二平衡端；聲波諧振器，其形成在所述壓電基板上，具備具有對置的第一、第二匯流條的IDT電極、配置在所述IDT電極的聲波傳播方向兩側(cè)的一對反射器；和第一、第二信號線，一端分別連接在所述聲波濾波部的所述第一、第二平衡端上，另一端連接在第一、第二平衡端子上；所述聲波諧振器具有通過將該聲波諧振器的IDT電極的第一匯流條在聲波傳播方向上分成兩個而設(shè)置的第一、第二分割電極部，該第一、第二分割電極部在聲波傳播方向上通過所述第二匯流條而串聯(lián)連接，所述第一分割電極部的與所述第二匯流條相反一側(cè)的端部與所述第一信號線連接，所述第二分割電極部的與所述第二匯流條相反一側(cè)的端部與所述第二信號線電連接，連接所述第一分割電極部與第一平衡端的線路的距離等于連接所述第二分割電極部與第二平衡端的線路的距離，并且所述第一分割電極部不同于所述第二分割電極部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲波濾波裝置，其特征在于，所述縱耦合諧振器型聲波濾波部在所述壓電基板上具有沿著聲波傳播方向配置的3 以上的奇數(shù)個IDT電極，該奇數(shù)個IDT電極中在聲波傳播方向上位于中央的IDT電極具有 在聲波傳播方向上分成兩個而設(shè)置的第一、第二分割I(lǐng)DT部，該第一、第二分割I(lǐng)DT部具有 所述第一、第二平衡端，與位于中央的IDT電極的聲波傳播方向兩側(cè)相鄰的兩個IDT電極具 有連接在所述不平衡端子上的不平衡端。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲波濾波裝置，其特征在于，所述縱耦合諧振器型聲波濾波部在所述壓電基板上具有沿著聲波傳播方向配置的3 以上的奇數(shù)個IDT電極，該奇數(shù)個IDT電極中在聲波傳播方向上位于中央的IDT電極連接 在所述不平衡端子上，該位于中央的IDT電極的兩側(cè)的IDT電極分別連接在第一、第二平衡 端子上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲波濾波裝置，其特征在于， 所述縱耦合諧振器型聲波濾波部具有縱耦合諧振器型第一聲波濾波單元，其在所述壓電基板上具有沿著聲波傳播方向配置 的3以上的奇數(shù)個IDT電極；和縱耦合諧振器型第二聲波濾波單元，其在所述壓電基板上具有沿著聲波傳播方向配置 的3以上的奇數(shù)個IDT電極；所述第一聲波濾波單元的奇數(shù)個IDT電極中，位于中央的IDT電極的一端是所述不平 衡端或第一平衡端，所述位于中央的IDT電極的兩側(cè)的兩個IDT電極的各一端是所述第一 平衡端或所述不平衡端，所述第二聲波濾波部的奇數(shù)個IDT電極中，在聲波傳播方向上位于中央的IDT電極的 一端是所述不平衡端或第二平衡端，配置在該IDT電極的聲波傳播方向兩側(cè)的兩個IDT電 極的各一端是所述第二平衡端或所述不平衡端。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲波濾波裝置，其特征在于， 所述縱耦合諧振器型聲波濾波部具有第一縱耦合諧振器型聲波濾波單元，其在所述壓電基板上具有沿著聲波傳播方向配置 的3以上的奇數(shù)個IDT電極；和縱耦合諧振器型第二聲波濾波單元，其在所述壓電基板上具有沿著聲波傳播方向配置 的3以上的奇數(shù)個IDT電極；所述第一聲波濾波單元和所述第二聲波濾波單元排列配置在與各聲波濾波單元的聲 波傳播方向正交的方向上，并被兩級級聯(lián)連接，將第一、第二聲波濾波單元的中央的IDT電極的聲波傳播方向上的兩側(cè)作為第一側(cè)和 第二側(cè)時，與第一聲波濾波單元的中央的IDT電極的第一側(cè)相鄰的IDT的一端、和與所述第 二聲波濾波單元的中央的IDT電極的聲波傳播方向的第一側(cè)相鄰的IDT的一端，通過所述 第一信號線連接，與所述第一聲波濾波單元的中央的IDT電極的所述第二側(cè)相鄰的IDT的 一端、和與所述第二聲波濾波單元的位于中央的IDT電極的所述第二側(cè)相鄰的IDT的一端， 通過所述第二信號線連接，所述第一信號線中傳送的電信號與所述第二信號線中傳送的電信號為相反相位， 第一聲波濾波單元的中央的IDT電極的一端是所述不平衡端，與該IDT電極的聲波傳 播方向兩側(cè)相鄰的各IDT的各一端是所述第一、第二平衡端，所述第一、第二平衡端與所述 第一、第二平衡端子分別經(jīng)由所述第二聲波濾波單元并通過所述第一、第二信號線連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的聲波濾波裝置，其特征在于，所述聲波諧振器在所述第二聲波濾波單元的后級與所述第一、第二信號線連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的聲波濾波裝置，其特征在于，所述聲波諧振器在所述第二聲波濾波單元的前級即在第一、第二聲波濾波單元間的級 間與所述第一、第二信號線連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1 7的任一項(xiàng)所述的聲波濾波裝置，其特征在于，所述第一分割電極部的電極指的根數(shù)不同于所述第二分割電極部的電極指的根數(shù)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1 8的任一項(xiàng)所述的聲波濾波裝置，其特征在于，在所述縱耦合諧振器型聲波濾波部中，將在聲波傳播方向上位于中央的IDT電極的聲 波傳播方向兩側(cè)作為第一、第二側(cè)時，在位于中央的IDT電極和與該IDT電極在第一側(cè)相鄰 的IDT電極兩者所相鄰的部分，在第一側(cè)相鄰的該IDT電極的最外側(cè)電極指即位于中央的 IDT電極側(cè)的最外電極指被作為與高電位連接的電極指，所述第一分割電極部的電極指的 根數(shù)比所述第二分割電極部的電極指的根數(shù)多。
10.根據(jù)權(quán)利要求1 8的任一項(xiàng)所述的聲波濾波裝置，其特征在于，在所述縱耦合諧振器型聲波濾波部中，將在聲波傳播方向上位于中央的IDT電極的聲 波傳播方向兩側(cè)作為第一、第二側(cè)時，在位于中央的IDT電極和與該IDT電極在第一側(cè)相鄰 的IDT電極兩者所相鄰的部分，在第一側(cè)相鄰的IDT電極的最外側(cè)電極指即位于中央的IDT 電極側(cè)的最外電極指被作為與接地電位連接的電極指，所述第一分割電極部的電極指的根 數(shù)比所述第二分割電極部的電極指的根數(shù)少。
11.根據(jù)權(quán)利要求1 10的任一項(xiàng)所述的聲波濾波裝置，其特征在于， 所述第一分割電極部的金屬化率不同于所述第二分割電極部的金屬化率。
12.根據(jù)權(quán)利要求1 11的任一項(xiàng)所述的聲波濾波裝置，其特征在于，所述第一分割電極部的電極指間距不同于所述第二分割電極部的電極指間距。
13.根據(jù)權(quán)利要求1 12的任一項(xiàng)所述的聲波濾波裝置，其特征在于， 所述聲波諧振器的所述第二匯流條連接在接地電位上。
14.根據(jù)權(quán)利要求1 13的任一項(xiàng)所述的聲波濾波裝置，其特征在于，所述聲波諧振器的諧振頻率_反諧振頻率間的頻帶包括所述縱耦合諧振器型聲波濾 波部的通頻帶。
15.根據(jù)權(quán)利要求1 14的任一項(xiàng)所述的聲波濾波裝置，其特征在于， 所述聲波是聲表面波，所述聲波濾波裝置是聲表面波濾波裝置。
16.根據(jù)權(quán)利要求1 14的任一項(xiàng)所述的聲波濾波裝置，其特征在于， 所述聲波是聲界面波，所述聲波濾波裝置構(gòu)成了聲界面波濾波裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種具有平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能且能夠改善第一、第二平衡端子間的信號的平衡度的聲波濾波裝置。該聲波濾波裝置具有具有不平衡端和第一、第二平衡端的縱耦合諧振器型聲波濾波部(6)；和聲波諧振器(18)；在聲波濾波部(6)的第一、第二平衡端上連接的第一、第二信號線(16、17)上，分別連接有IDT(19)的第一、第二分割電極部(19a、19b)，連接第一分割電極部(19a)與第一平衡端的線路的距離大致等于連接第二分割電極部(19b)與第二平衡端的線路的距離，第一分割電極部(19a)不同于第二分割電極部(19b)。
文檔編號H03H9/145GK101809866SQ20088010845
公開日2010年8月18日 申請日期2008年8月5日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月1日
發(fā)明者高原誠一 申請人:株式會社村田制作所