專利名稱：壓電振動器、振蕩器、電子設(shè)備、電波鐘以及壓電振動器的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在接合的兩個基板之間所形成的空腔內(nèi)密封了壓電振動片的表面安裝型(SMD)的壓電振動器、制造該壓電振動器的壓電振動器的制造方法、具有壓電振動器的振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘。
背景技術(shù)：
近年來，在便攜電話或便攜信息終端設(shè)備上，采用利用了水晶等作為時刻源或控制信號等的定時源、參考信號源等的壓電振動器。已知各式各樣的這種壓電振動器，但作為其中之一，眾所周知表面安裝型壓電振動器。作為這種壓電振動器，已知一般以由基底基板和蓋基板上下夾持形成有壓電振動片的壓電基板的方式進(jìn)行接合的3層構(gòu)造型。這時，壓電振動片被收容于在基底基板和蓋基板之間所形成的空腔(密閉室)內(nèi)。此外，在近年，不僅開發(fā)了上述的3層構(gòu)造型，而且還開發(fā)了 2層構(gòu)造型。這種類型的壓電振動器由于基底基板和蓋基板直接接合而成為2層構(gòu)造，在兩基板之間形成的空腔內(nèi)收容有壓電振動片。該2層構(gòu)造型的壓電振動器與3層構(gòu)造的壓電振動器相比在可實現(xiàn)薄型化等的方面優(yōu)越，因而適于使用?？墒牵谥圃靿弘娬駝悠鲿r，需要提高空腔內(nèi)的真空度，并使串聯(lián)諧振電阻值(Rl) 跟入既定范圍內(nèi)的工序?？涨粌?nèi)的真空度，是會影響壓電振動片的頻率(諧振頻率)的一個因素，因此該工序為非常重要的工序之一。通常，該工序是在微調(diào)工序(對頻率進(jìn)行精密調(diào)整而使壓電振動片最終在標(biāo)稱頻率的范圍內(nèi)振動的工序)之前進(jìn)行的，在進(jìn)行微調(diào)工序的時刻，需要使串聯(lián)諧振電阻值 (Rl)落在已經(jīng)適宜的既定范圍內(nèi)。在此，作為調(diào)整串聯(lián)諧振電阻值(Rl)的方法，利用設(shè)于空腔內(nèi)的鋁等的金屬膜的吸氣材料(吸氣部件)的方法被廣為人知(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。該方法首先用激光等來加熱吸氣材料使之蒸發(fā)并被激活。這樣，被激活的吸氣材料，一邊蒸發(fā)一邊通過化學(xué)反應(yīng)吸收空腔內(nèi)的主要由氧構(gòu)成的氣體。其結(jié)果，能夠提高空腔內(nèi)的真空度，并能調(diào)整串聯(lián)諧振電阻值(Rl)。此外，將利用吸氣材料來調(diào)整串聯(lián)諧振電阻值 (Rl)的方法稱為吸氣法。專利文獻(xiàn)1 日本特開2003-142976號公報

發(fā)明內(nèi)容
但是，在現(xiàn)有的吸氣法中，還存在以下的課題。首先，在吸氣材料形成在壓電振動片的情況下，用激光等來加熱吸氣材料之際壓電振動片也一起被加熱。因此，壓電振動片有可能受加熱造成的影響。另一方面，在吸氣材料形成在壓電振動片的周邊的基板的情況下，用激光等來加熱吸氣材料時，蒸發(fā)而飛散的吸氣材料的一部分會附著到壓電振動片的可能性高。特別是，
4越靠近照射激光的位置就越容易附著蒸發(fā)的吸氣材料?？墒?，如果吸氣材料附著到壓電振動片，壓電振動片的頻率就會發(fā)生變化，因此并不理想。該頻率的變化因吸氣材料附著的位置不同而異，特別是附著到振動腕部的前端側(cè)時就有頻率降低的傾向，而附著到振動腕部的基端側(cè)時就有頻率升高的傾向。此外，已知附著的量越多，變化量就越大。如此，因為附著吸氣材料，所以在吸氣的前后壓電振動片的頻率發(fā)生變化的可能性高。通常，壓電振動片在吸氣之前進(jìn)行粗調(diào)工序，頻率被調(diào)整為落在比目標(biāo)的標(biāo)稱頻率稍大的范圍。而且，通過吸氣調(diào)整串聯(lián)諧振電阻值(Rl)之后，進(jìn)行微調(diào)工序，使頻率最終跟進(jìn)標(biāo)稱頻率的范圍。因此，在吸氣的前后如果頻率發(fā)生變化，則在粗調(diào)工序中已跟進(jìn)到一定程度的頻率會發(fā)生變化。因而，不僅微調(diào)工序變得非常困難，也有可能無法得到穩(wěn)定的振動特性。本發(fā)明考慮這種狀況構(gòu)思而成，其目的在于提供對于壓電振動片不給予加熱造成的負(fù)荷而不出現(xiàn)頻率變化的情況下能進(jìn)行吸氣的壓電振動器。而且，提供具有該壓電振動器的振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘和制造壓電振動器的制造方法。本發(fā)明為了解決上述課題并達(dá)成相關(guān)目的而提供以下方案。(1)本發(fā)明的壓電振動器的制造方法，制造這樣的壓電振動器，其包括基底基板及蓋基板，它們互相接合并且在它們之間形成有空腔；壓電振動片，具有平行延伸的一對振動腕部，并在空腔內(nèi)裝配于基底基板上；以及金屬膜的吸氣材料，通過加熱提高所述空腔內(nèi)的真空度，所述制造方法的特征在于，包括吸氣材料形成工序，將所述吸氣材料以配置到所述空腔內(nèi)的方式形成在所述基底基板上或所述蓋基板上；限制部形成工序，將限制部以配置到所述空腔內(nèi)的方式形成在所述基底基板或所述蓋基板，該限制部限制因加熱而蒸發(fā)的所述吸氣材料的飛散方向，抑制向所述振動腕部飛散的飛散量；以及接合工序，在結(jié)束所述吸氣材料形成工序及所述限制部形成工序之后，將所述壓電振動片裝配在所述基底基板上，其后，以使壓電振動片、所述吸氣材料及所述限制部分別收容到所述空腔內(nèi)的方式互相接合所述基底基板和所述蓋基板。依據(jù)上述制造方法，首先，進(jìn)行在基底基板上或蓋基板上形成吸氣材料的吸氣材料形成工序。這時，以配置到在后面形成的空腔內(nèi)的方式形成吸氣材料。此外，與該工序同時或在該工序前后的定時，進(jìn)行在基底基板或蓋基板形成限制因加熱而飛散的吸氣材料的飛散方向而抑制向振動腕部飛散的飛散量的限制部的限制部形成工序。這時，依然以配置到在后面形成的空腔內(nèi)的方式形成限制部。然后，在結(jié)束上述兩個工序之后，進(jìn)行接合工序。作為該工序，首先，將壓電振動片裝配在基底基板上。由此，壓電振動片以機(jī)械及電的方式與基底基板接合。而且，在裝配壓電振動片之后，以使壓電振動片、吸氣材料及限制部分別收容到空腔內(nèi)的方式互相接合基底基板與蓋基板。由此，能夠得到在蓋基板及蓋基板之間所形成的空腔內(nèi)收容有壓電振動片的壓電振動器。特別是，依據(jù)該壓電振動器，不會出現(xiàn)頻率變化而能夠進(jìn)行吸氣。即，若用激光等來加熱吸氣材料，則吸氣材料的一部分蒸發(fā)而在周圍飛散，但是因為在空腔內(nèi)形成有限制部，所以飛散方向被限制。具體而言，利用限制部，能夠抑制向壓電振動片的振動腕部飛散的吸氣材料的飛散量。因此，能夠抑制在吸氣時吸氣材料附著到壓電振動片，特別是附著到
5振動腕部的情況。因而，能夠很難出現(xiàn)起因于吸氣材料的附著的頻率變化。因而，能夠極力防止在吸氣前后的頻率變化，不僅后面進(jìn)行的微調(diào)工序變得容易， 而且能夠得到穩(wěn)定的振動特性。此外，吸氣材料不形成在壓電振動片而形成在基底基板或蓋基板的任一個基板上。因而，在進(jìn)行吸氣之際，即便用激光等來加熱吸氣材料，對壓電振動片也不會給予任何加熱的影響(負(fù)荷)。因此，對壓電振動器的質(zhì)量或特性不會產(chǎn)生任何影響，所以能謀求壓電振動器的高質(zhì)量化。(2)也可以采用以下構(gòu)成在進(jìn)行所述限制部形成工序之際，在一個基板側(cè)以壁狀地形成所述限制部，以從所述基底基板和所述蓋基板中的一個基板向另一基板突出，且， 從所述空腔的側(cè)壁分離的狀態(tài)沿著所述振動腕部延伸，在進(jìn)行所述吸氣材料形成工序之際，在所述一個基板形成所述吸氣材料，以比所述限制部短的長度配置在限制部與所述側(cè)壁之間。這時，以從一個基板(例如蓋基板)向另一基板(例如基底基板)突出的方式在一個基板側(cè)以壁狀形成限制部。而且這時，形成為以從空腔的側(cè)壁分離的狀態(tài)沿著振動腕部延伸。即，將限制部形成為使振動腕部與空腔的側(cè)壁之間的空間猶如被隔開為兩個空間。然后，以在該限制部與空腔的側(cè)壁之間配置的方式，在一個基板側(cè)形成吸氣材料。 這時，以比限制部的長度短的長度形成吸氣材料。因而，能夠使限制部一定存在于吸氣材料的旁邊。因此，在進(jìn)行吸氣之際，能夠利用限制部來限制吸氣材料直接向振動腕部飛散的情況。即，飛散的吸氣材料只要不在限制部曼延就不能到達(dá)振動腕部。因此，能夠抑制到達(dá)振動腕部的吸氣材料的飛散量。因而，能夠使吸氣材料很難附著到振動腕部，并且很難產(chǎn)生
頻率變化。(3)也可以采用以構(gòu)成在進(jìn)行所述限制部形成工序之際，在一個基板側(cè)形成所述限制部，以從所述基底基板和所述蓋基板中的一個基板向另一基板突出，且，沿著所述振動腕部延伸，在進(jìn)行所述吸氣材料形成工序之際，在限制部上或另一基板上形成所述吸氣材料，以收容于互相對置的所述限制部和所述另一基板的間隙。這時，以從一個基板(例如蓋基板)向另一基板(例如基底基板)突出的方式在一個基板側(cè)形成限制部。而且這時，形成為沿著振動腕部延伸。然后，以收容于互相對置的限制部與另一基板的間隙的方式，在限制部上或另一基板上形成吸氣材料。即，以收納于在限制部與另一基板之間形成的微小的間隙的方式形成吸氣材料。由此，能夠使限制部或另一基板以接近吸氣材料的狀態(tài)對置。因此，在進(jìn)行吸氣之際，因加熱而飛散的吸氣材料，大部分筆直地飛散而附著到限制部或另一基板。另一方面，剩下的一部分以大致水平擴(kuò)散的方式飛散?？墒?，吸氣材料的大部分筆直地飛散而附著到對置的限制部或另一基板，因此以大致水平擴(kuò)散的飛散量極少。因此，能夠抑制到達(dá)振動腕部的吸氣材料的飛散量。因而，能夠使吸氣材料很難附著到振動腕部，并且難以出現(xiàn)頻率變化。(4)此外，本發(fā)明的壓電振動器，其中包括基底基板及蓋基板，它們互相接合并且在它們之間形成有空腔；壓電振動片，具有平行延伸的一對振動腕部，并在所述空腔內(nèi)裝配于所述基底基板上；以及金屬膜的吸氣材料，以配置到所述空腔內(nèi)的方式形成在所述基
6底基板上或所述蓋基板上，通過加熱提高空腔內(nèi)的真空度，在所述基底基板或所述蓋基板形成有限制部，該限制部配置在所述空腔內(nèi)，并且限制因加熱而蒸發(fā)的所述吸氣材料的飛散方向，從而抑制向所述振動腕部飛散的飛散量。這時，能夠發(fā)揮與上述(1)所記載的壓電振動器的制造方法同樣的作用效果。(5)也可以采用以下構(gòu)成在一個基板側(cè)以壁狀形成所述限制部，以從所述基底基板和所述蓋基板中的一個基板向另一基板突出，且，以從所述空腔的側(cè)壁分離的狀態(tài)沿著所述振動腕部延伸，在所述一個基板側(cè)形成所述吸氣材料，以比所述限制部短的長度配置在限制部與所述側(cè)壁之間。這時，能夠發(fā)揮與上述(2)所記載的壓電振動器的制造方法同樣的作用效果。(6)也可以采用以下構(gòu)成在一個基板側(cè)形成所述限制部，以從所述基底基板和所述蓋基板中的一個基板向另一基板突出，且，沿著所述振動腕部延伸，所述吸氣材料以收容于互相對置的所述限制部與所述另一基板的間隙的狀態(tài)形成在限制部上或另一基板上。這時，能夠發(fā)揮與上述(3)所記載的壓電振動器的制造方法同樣的作用效果。(7)此外，本發(fā)明的振蕩器，使上述⑷ (6)中任一項所記載的壓電振動器，作為振子與集成電路電連接。(8)此外，本發(fā)明的電子設(shè)備，使上述⑷ (6)中任一項所記載的壓電振動器，與計時部電連接。(9)此外，本發(fā)明的電波鐘，使上述⑷ (6)中任一項所記載的壓電振動器，與濾波部電連接。依據(jù)上述振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘，由于具備不會對壓電振動片給予加熱造成的負(fù)荷且不會出現(xiàn)頻率變化而能進(jìn)行吸氣的高質(zhì)量的壓電振動器，所以同樣能謀求高質(zhì)量化。(發(fā)明效果)依據(jù)本發(fā)明的壓電振動器，不僅不會對壓電振動片給予加熱造成的負(fù)荷，而且不會出現(xiàn)頻率變化而能進(jìn)行吸氣。因而，能謀求高質(zhì)量化。此外，依據(jù)本發(fā)明的壓電振動器的制造方法，能可靠地制造上述壓電振動器。此外，依據(jù)本發(fā)明的振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘，由于具備上述壓電振動器，所以同樣能謀求高質(zhì)量化。


圖1是表示本發(fā)明的一實施形熊的圖，并且是壓電振動器的外觀斜視圖。圖2是圖1所示的壓電振動器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖，并且是拆下蓋基板的狀態(tài)下俯視壓電振動片的圖。圖3是沿著圖2所示的A-A線的壓電振動器的剖視圖。圖4是沿著圖2所示的B-B線的壓電振動器的剖視圖。圖5是圖1所示的壓電振動器的分解斜視圖。圖6是構(gòu)成圖1所示的壓電振動器的壓電振動片的俯視圖。圖7是圖5所示的壓電振動片的仰視圖。圖8是圖6所示的剖面向視C-C圖。
圖9是表示制造圖1所示的壓電振動器時的流程的流程圖。圖10是表示沿著圖9所示的流程圖制造壓電振動器時的一個工序，并且是表示在成為蓋基板的本原的蓋基板用圓片形成凹部、限制部及吸氣材料的狀態(tài)的圖。圖11是在沿著圖9所示的流程圖制造壓電振動器時的一個工序的圖，并且是表示在成為基底基板的本原的基底基板用圓片形成一對貫通孔的狀態(tài)的圖。圖12是表示在圖11所示的狀態(tài)的后，向一對貫通孔內(nèi)形成貫通電極，并且在基底基板用圓片的上表面上對接合膜及迂回電極進(jìn)行構(gòu)圖的狀態(tài)的圖。圖13是圖12所示的狀態(tài)的基底基板用圓片的整體圖。圖14是表示沿著圖9所示的流程圖制造壓電振動器時的一個工序的圖，并且是以在空腔內(nèi)收容壓電振動片的狀態(tài)陽極接合基底基板用圓片和蓋基板用圓片的圓片體的分解斜視圖。圖15是表示本發(fā)明的一實施方式的圖，并且是振蕩器的結(jié)構(gòu)圖。圖16是表示本發(fā)明的一實施方式的圖，并且是電子設(shè)備的結(jié)構(gòu)圖。圖17是表示本發(fā)明的一實施方式的圖，并且是電波鐘的結(jié)構(gòu)圖。圖18是表示本發(fā)明的壓電振動器的變形例的剖視圖。圖19是圖18所示的壓電振動器的分解斜視圖。圖20是表示本發(fā)明的壓電振動器的另一變形例的剖視圖。圖21是圖20所示的壓電振動器的分解斜視圖。附圖標(biāo)記說明C空腔；1壓電振動器；2基底基板；3蓋基板；4壓電振動片；10、11振動腕部；20 吸氣材料；21限制部；101振蕩器的集成電路；100振蕩器；113電子設(shè)備的計時部；110便攜信息設(shè)備(電子設(shè)備)；131電波鐘的濾波部；130電波鐘。
具體實施例方式以下，參照圖1至圖15，對本發(fā)明的一實施方式進(jìn)行說明。如圖1至圖5所示，本實施方式的壓電振動器1，形成為由基底基板2和蓋基板3 層疊為2層的箱狀，是在內(nèi)部的空腔C內(nèi)收納了壓電振動片4的表面安裝型的壓電振動器。此外，圖2中一并示出形成在蓋基板3側(cè)的限制部21及吸氣材料20。此外，圖5 中為了方便圖示而省略了后述的激振電極13、引出電極16、裝配電極14及重錘金屬膜17 的圖示。如圖6至圖8所示，壓電振動片4是由水晶、鉭酸鋰或鈮酸鋰等的壓電材料形成的音叉型振動片，在被施加既定電壓時振動。該壓電振動片4包括平行配置的一對振動腕部10、11 ；將該一對振動腕部10、11 的基端側(cè)固定成一體的基部12 ；形成在一對振動腕部10、11的外表面上并使一對振動腕部 IOUl振動的激振電極13 ；以及與該激振電極13電連接的裝配電極14。此外，本實施方式的壓電振動片4具備在一對振動腕部10、11的兩主表面上沿著該振動腕部10、11的長度方向分別形成的溝部15。該溝部15從振動腕部10、11的基端側(cè)形成至大致中間附近。上述激振電極13是使一對振動腕部10、11以既定的諧振頻率沿互相接近或分離的方向振動的電極，在一對振動腕部10、11的外表面以分別電性切斷的狀態(tài)構(gòu)圖而形成。 具體而言，如圖8所示，一個激振電極13主要形成在一個振動腕部10的溝部15上和另一振動腕部11的兩側(cè)面上，另一激振電極13主要形成在一個振動腕部10的兩側(cè)面上和另一振動腕部11的溝部15上。此外，如圖6及圖7所示，激振電極13在基部12的兩主表面上，分別經(jīng)由引出電極16而與裝配電極14電連接。然后壓電振動片4成為經(jīng)由該裝配電極14被施加電壓。此外，上述的激振電極13、裝配電極14及引出電極16，通過覆蓋例如鉻(Cr)、鎳 (Ni)、鋁(Al)或鈦(Ti)等的導(dǎo)電膜來形成。此外，在一對振動腕部10、11的前端部，覆蓋有用于進(jìn)行調(diào)整(頻率調(diào)整)的重錘金屬膜17，以使自身的振動狀態(tài)在既定頻率的范圍內(nèi)振動。此外，該重錘金屬膜17被分為對頻率進(jìn)行粗調(diào)時使用的粗調(diào)膜17a和進(jìn)行微調(diào)時使用的微調(diào)膜17b。通過利用這些粗調(diào)膜17a及微調(diào)膜17b進(jìn)行頻率調(diào)整，從而能夠使一對振動腕部10、11的頻率落在器件的標(biāo)稱頻率的范圍內(nèi)。這樣構(gòu)成的壓電振動片4如圖2、圖3及圖5所示，利用金等的凸點(bump)B，凸點接合至基底基板2的上表面。更具體地說，在后述的迂回電極28上所形成的2個凸點B上， 以使一對裝配電極14分別接觸的狀態(tài)進(jìn)行凸點接合。由此，壓電振動片4以從基底基板2 的上表面浮起狀態(tài)被支撐，并且成為分別電連接裝配電極14和迂回電極28的狀態(tài)。上述蓋基板3是用玻璃材料例如堿石灰玻璃構(gòu)成的透明絕緣基板，如圖1、圖3、圖 4及圖5 所示，形成為板狀。而且，在蓋基板3的下表面?zhèn)?接合基底基板2的接合面?zhèn)?， 形成有收納壓電振動片4的矩形狀的凹部3a。該凹部3a是在疊合了兩基板2、3時，成為收容壓電振動片4的空腔C的空腔用的凹部。然后，蓋基板3以使該凹部3a與基底基板2側(cè)對置的狀態(tài)與基底基板2陽極接合。此外，在蓋基板3的下表面?zhèn)?，形成有通過加熱提高空腔C內(nèi)的真空度的金屬膜的吸氣材料20、和限制因加熱而蒸發(fā)的吸氣材料20的飛散方向從而抑制向一對振動腕部10、 11飛散的飛散量的限制部21。限制部21以壁狀形成兩個，以從蓋基板3向基底基板2突出，且，以從空腔C的側(cè)壁Cl (凹部3a的側(cè)壁)分離的狀態(tài)沿著一對振動腕部10、11延伸。即，該限制部21形成為使振動腕部10、11與空腔C的側(cè)壁Cl的間的空間猶如被隔開為兩個空間。 此外，在本實施方式中，限制部21僅以與振動腕部10、11大致相同的長度延伸，成為與振動腕部10、11相鄰的狀態(tài)。此外，限制部21以靠近基底基板2的方式突出，成為與基底基板2之間形成一些間隙的狀態(tài)。吸氣材料20是用例如鋁構(gòu)成的金屬膜，并且形成為以比限制部21短的長度，配置在該限制部21與空腔C的側(cè)壁Cl之間。特別是，由于吸氣材料20的長度短于限制部21， 所以在吸氣材料20的附近一定存在限制部21。上述基底基板2與蓋基板3同樣是用玻璃材料例如堿石灰玻璃構(gòu)成的透明絕緣基板，如圖1至圖5所示，形成為能對蓋基板3疊合的大小形成為板狀。在該基底基板2，形成有貫通該基底基板2的一對貫通孔25。這時，一對貫通孔25 形成為收納于空腔C內(nèi)。更詳細(xì)地說，形成為使一個貫通孔25位于所裝配的壓電振動片4 的基部12 —側(cè)，并使另一貫通孔25位于振動腕部10、11的前端側(cè)。
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此外，在本實施方式中，舉例說明了筆直地貫通基底基板2的貫通孔25，但并不限于該情況，例如形成為隨著靠近基底基板2的下表面而直徑逐漸縮小或擴(kuò)大的錐狀也可。 不管怎樣，貫通基底基板2即可。然后，在這些一對貫通孔25中，形成以埋入該貫通孔25的方式形成的一對貫通電極26。該貫通電極26完全堵塞貫通孔25而維持空腔C內(nèi)的氣密，并且承擔(dān)使后述的外部電極29和迂回電極28導(dǎo)通的作用。在基底基板2的上表面?zhèn)?接合蓋基板3的接合面?zhèn)?，利用導(dǎo)電材料(例如， 鋁)，構(gòu)圖有陽極接合用的接合膜27和一對迂回電極28。其中接合膜27以包圍形成在蓋基板3的凹部3a周圍的方式沿著基底基板2的周邊而形成。此外，一對迂回電極28構(gòu)圖成為使一對貫通電極26中的一個貫通電極26與壓電振動片4的一個裝配電極14電連接，并且使另一貫通電極26與壓電振動片4的另一裝配電極14電連接。更詳細(xì)地說，如圖2及圖5所示，一個迂回電極28形成在一個貫通電極26 的正上方，以位于壓電振動片4的基部12的正下方。此外，另一迂回電極28形成為從鄰接于一個迂回電極28的位置沿著振動腕部11迂回到前端側(cè)后，位于另一貫通電極26的正上方。然后，在這些一對迂回電極28上形成有凸點B，利用該凸點B裝配壓電振動片4。 由此，壓電振動片4的一個裝配電極14成為經(jīng)由一個迂回電極28而與一個貫通電極26導(dǎo)通，而另一裝配電極14經(jīng)由另一迂回電極28而與另一貫通電極26導(dǎo)通。此外，如圖1、圖3及圖5所示，在基底基板2的下表面，形成有與一對貫通電極26 分別電連接的外部電極29。即，一個外部電極29經(jīng)由一個貫通電極26及一個迂回電極28 而與壓電振動片4的一個激振電極13電連接。此外，另一外部電極29經(jīng)由另一貫通電極 26及另一迂回電極28而與壓電振動片4的另一激振電極13電連接。在使這樣構(gòu)成的壓電振動器1動作時，對形成在基底基板2的外部電極29，施加既定的驅(qū)動電壓。從而，電流在壓電振動片4的激振電極13中流過，能夠使一對振動腕部 IOUl以既定頻率沿著接近/分離的方向振動。然后，利用該一對振動腕部10、11的振動， 作為時刻源、控制信號的定時源或參考信號源等加以利用。接著，參照圖9的流程圖，下面對利用基底基板用圓片40和蓋基板用圓片50來一次性制造多個上述壓電振動器1的制造方法進(jìn)行說明。最先，進(jìn)行壓電振動片制作工序，制作圖6至圖8所示的壓電振動片4(S10)。具體而言，首先將未加工的朗伯(Lambert)水晶以既定角度切片而做成一定厚度的圓片。接著， 研磨該圓片而進(jìn)行粗加工后，利用蝕刻來除去加工變質(zhì)層，其后進(jìn)行拋光(polish)等的鏡面研磨加工，做成既定厚度的圓片。接著，對圓片進(jìn)行清洗等的適當(dāng)?shù)奶幚砗?，利用光刻技術(shù)，以壓電振動片4的外形形狀對該圓片進(jìn)行構(gòu)圖，并且進(jìn)行金屬膜的成膜及構(gòu)圖，形成激振電極13、引出電極16、裝配電極14及重錘金屬膜17。由此，能夠制作出多個壓電振動片 4。此外，在制作出壓電振動片4后，進(jìn)行諧振頻率的粗調(diào)。這是通過對重錘金屬膜17 的粗調(diào)膜17a照射激光使一部分蒸發(fā)，從而改變重量來進(jìn)行的。由此，能夠使頻率落在比目標(biāo)的標(biāo)稱頻率稍寬的范圍內(nèi)。此外，更加高精度地調(diào)整諧振頻率而使頻率最終跟進(jìn)標(biāo)稱頻率的范圍內(nèi)的微調(diào)，在裝配后進(jìn)行。對此，將在后面進(jìn)行說明。
接著，進(jìn)行將在后面成為蓋基板3的蓋基板用圓片50制作到剛要進(jìn)行陽極接合之前的狀態(tài)的第一圓片制作工序(S20)。首先，將堿石灰玻璃研磨加工至既定厚度并加以清洗后，如圖10所示，利用蝕刻等來除去了最表面的加工變質(zhì)層，從而形成圓板狀的蓋基板用圓片50(S21)。接著，進(jìn)行在蓋基板用圓片50的接合面沿行列方向形成多個空腔C用的凹部3a的凹部形成工序(S22)，并且進(jìn)行在各凹部3a內(nèi)分別形成兩個限制部21的限制部形成工序(S23)。這時，通過蝕刻加工蓋基板用圓片50，同時形成凹部3a和限制部21也可。此夕卜， 利用夾具，將蓋基板用圓片50邊加熱邊從上下擠壓，從而同時形成凹部3a和限制部21也可。而且，通過向蓋基板用圓片50上的所需部位網(wǎng)版印刷玻璃膏，同時形成凹部3a和限制部21也可。不管是哪種方法都可以。此外，在形成限制部21之際，如上述那樣形成為向基底基板2突出，并以從空腔C 的側(cè)壁Cl分離的狀態(tài)沿著振動腕部10、11延伸。接著，進(jìn)行在形成在蓋基板用圓片50的接合面的多個凹部3a內(nèi)成膜金屬膜而形成吸氣材料20的吸氣材料形成工序(S23)。這時，以比形成在凹部3a內(nèi)的限制部21短的長度，并且配置在該限制部21與空腔C的側(cè)壁Cl之間的方式形成吸氣材料20。在該時刻，結(jié)束第一圓片制作工序。接著，與上述工序同時或者在上述工序前后的定時，進(jìn)行將在后面成為基底基板2 的基底基板用圓片40制作到剛要進(jìn)行陽極接合之前的狀態(tài)的第二圓片制作工序(S30)。首先，將堿石灰玻璃研磨加工至既定厚度并加以清洗后，利用蝕刻等來除去了最表面的加工變質(zhì)層，從而形成圓板狀的基底基板用圓片40(S31)。接著，如圖11所示，進(jìn)行形成多個貫通基底基板用圓片40的一對貫通電極25的貫通孔形成工序(S32)。此外，圖11所示的虛線M示出在后面進(jìn)行的切斷工序中切斷的切斷線。這時，形成多個一對貫通孔25，以在后面疊合了兩圓片40、50時，被收納于形成在蓋基板用圓片50的凹部3a內(nèi)。而且，形成為使一個貫通孔25位于后面所裝配的壓電振動片4的基部12 —側(cè)，并使另一貫通孔25位于振動腕部11的前端側(cè)。此外，在形成貫通孔25時，利用噴射法或利用夾具的壓力加工等方法來形成即可。接著，進(jìn)行用未圖示的導(dǎo)電體埋入多個一對貫通孔25而形成一對貫通電極26的貫通電極形成工序(S33)。接著，進(jìn)行在基底基板用圓片40的上表面對導(dǎo)電材料進(jìn)行構(gòu)圖， 如圖12及圖13所示，形成接合膜27的接合膜形成工序(S34)，并且進(jìn)行形成多個與一對貫通電極26分別電連接的迂回電極28的迂回電極形成工序(S35)。此外，圖12及圖13所示的虛線M示出在后面進(jìn)行的切斷工序中切斷的切斷線。此外，圖13中省略了接合膜27的圖示。通過進(jìn)行該工序成為使一個貫通電極26與一個迂回電極28導(dǎo)通，并使另一貫通電極26與另一迂回電極28導(dǎo)通的狀態(tài)。在該時刻結(jié)束第二圓片制作工序?？墒?，圖9中工序順序為在進(jìn)行接合膜形成工序(S34)之后，進(jìn)行迂回電極形成工序(S35)，但與之相反地，在進(jìn)行迂回電極形成工序(S35)之后，進(jìn)行接合膜形成工序(S34) 也可，并且也可以將兩工序同時進(jìn)行。不管是何種工序順序，都能起到相同的作用效果。因而，根據(jù)需要適宜變更工序順序也可。
接著，進(jìn)行將制作的多個壓電振動片4分別通過迂回電極28凸點接合到基底基板用圓片40的上表面的裝配工序(S40)。首先，在一對迂回電極28上分別形成金等的凸點 (bump)B。然后，將壓電振動片4的基部12承載于凸點B上后，一邊將凸點B加熱到既定溫度，一邊使壓電振動片4壓上凸點B。由此，壓電振動片4被機(jī)械支撐于凸點B上并且成為電連接裝配電極14和迂回電極28的狀態(tài)。因而，在該時刻壓電振動片4的一對激振電極 13成為與一對貫通電極26分別導(dǎo)通的狀態(tài)。特別是，壓電振動片4被凸點接合，因此以從基底基板用圓片40的上表面浮起的狀態(tài)被支撐。在結(jié)束壓電振動片4的裝配之后，進(jìn)行對基底基板用圓片40疊合蓋基板用圓片50 的疊合工序(S50)。具體而言，以未圖示的基準(zhǔn)標(biāo)記等為標(biāo)志，將兩圓片40、50對準(zhǔn)到正確的位置。由此，被裝配的壓電振動片4、限制部21及吸氣材料20成為被收容于由形成在基底基板用圓片40的凹部3a和兩圓片40、50圍住的空腔C內(nèi)的狀態(tài)。在疊合工序后，進(jìn)行接合工序(S60)，S卩，將已疊合的兩個圓片40、50置于未圖示的陽極接合裝置，在既定的溫度氣氛下施加既定電壓而進(jìn)行陽極接合。具體而言，在接合膜 27與蓋基板用圓片50之間施加既定電壓。這樣，在接合膜27與蓋基板用圓片50的界面產(chǎn)生電化學(xué)反應(yīng)，使兩者分別牢固地密合而被陽極接合。由此，能夠?qū)弘娬駝悠?密封于空腔C內(nèi)，并能得到接合了基底基板用圓片40與蓋基板用圓片50的圖14所示的圓片體60。此外，在圖14中為了方便觀看附圖，示出分解圓片體60的狀態(tài)，并且從基底基板用圓片40省略了接合膜27的圖示。此外，圖14所示的虛線M示出在后面進(jìn)行的切斷工序中切斷的切斷線。然而，在進(jìn)行陽極接合之際，形成在基底基板用圓片40的貫通孔25被貫通電極26 完全堵塞，因此空腔C內(nèi)的氣密不會通過貫通孔25而損耗。然后，在結(jié)束上述陽極接合后，進(jìn)行外部電極形成工序(S70)，即，在基底基板用圓片40的下表面對導(dǎo)電材料進(jìn)行構(gòu)圖，形成多個與一對貫通電極26分別電連接的一對外部電極29。通過該工序，能夠利用外部電極29來使密封于空腔C內(nèi)的壓電振動片4動作。接著，進(jìn)行加熱被收容于圓片體60的各空腔C內(nèi)的吸氣材料20來調(diào)整空腔C內(nèi)的真空度的吸氣工序(S80)。具體而言，從基底基板用圓片40側(cè)多次照射激光，使吸氣材料20加熱。這樣，因加熱而蒸發(fā)的吸氣材料20吸收空腔C內(nèi)的氣體，因此提高真空度。由此，能夠調(diào)整壓電振動片4的串聯(lián)諧振電阻值(Rl)。然而，在本實施方式中，進(jìn)行吸氣之際，能夠不出現(xiàn)壓電振動片4的頻率變化地進(jìn)行吸氣。對這一點進(jìn)行詳細(xì)說明，則用激光來加熱吸氣材料20時，吸氣材料20的一部分蒸發(fā)而在周圍飛散，但因為空腔C內(nèi)形成有限制部21，所以飛散方向受到限制。S卩，能夠利用限制部21來限制吸氣材料20直接向振動腕部10、11飛散的情況。即，只要在限制部21不曼延，飛散的吸氣材料20就不能到達(dá)振動腕部10、11。因此，能夠抑制向振動腕部10、11飛散的吸氣材料20的飛散量，并能減少到達(dá)振動腕部10、11的量。因而，在吸氣時，能夠抑制吸氣材料20附著到壓電振動片4，特別是抑制附著到振動腕部10、11。因而，能夠很難出現(xiàn)起因于吸氣材料20的附著的頻率變化。接著，進(jìn)行在圓片體60的狀態(tài)下微調(diào)密封于空腔C內(nèi)的各個壓電振動器1的頻率，使之落在既定范圍內(nèi)的微調(diào)工序(S90)。具體地說，對外部電極29施加電壓而使壓電振動片4振動。然后，一邊測量頻率，一邊穿過蓋基板用圓片50而從外部照射激光，使重錘金屬膜17的微調(diào)膜17b蒸發(fā)。由此，一對振動腕部10、11的前端側(cè)的重量發(fā)生變化，所以能夠微調(diào)壓電振動片4的頻率，使之落在標(biāo)稱頻率的既定范圍內(nèi)。在結(jié)束頻率的微調(diào)之后，進(jìn)行沿著圖14所示的切斷線M切斷已接合的圓片體60 而小片化的切斷工序(S100)。其結(jié)果，能夠一次性制造多個在互相陽極接合的基底基板2 與蓋基板3之間所形成的空腔C內(nèi)密封有壓電振動片4的、圖1所示的表面安裝型的壓電振動器1。此外，在進(jìn)行切斷工序(S100)而小片化為各個壓電振動器1后，進(jìn)行微調(diào)工序 (S90)的工序順序也可。但是，如上所述，通過先進(jìn)行微調(diào)工序(S90)，能夠在圓片體60的狀態(tài)下進(jìn)行微調(diào)，因此能夠更加有效率地微調(diào)多個壓電振動器1。因而，能夠謀求提高生產(chǎn)率，所以更加理想。其后，進(jìn)行內(nèi)部的電特性檢查(SllO)。即，測定壓電振動片4的諧振頻率、諧振電阻值、驅(qū)動電平特性(諧振頻率及諧振電阻值的激振電力依賴性)等并加以核對。此外，將絕緣電阻特性等一并核對。并且，最后進(jìn)行壓電振動器1的外觀檢查，對尺寸或質(zhì)量等進(jìn)行最終核對。由此結(jié)束壓電振動器1的制造。特別是，依據(jù)本實施方式的壓電振動器1，如上述那樣在吸氣時，很難出現(xiàn)起因于吸氣材料20的附著的頻率變化，因此能夠極力防止在吸氣前后頻率發(fā)生變化。因而，能夠防止在粗調(diào)工序中已跟進(jìn)到一定程度的頻率在吸氣時會變化的情況。其結(jié)果，能夠利用微調(diào)工序來迅速且可靠地使頻率跟進(jìn)標(biāo)稱頻率，能夠得到穩(wěn)定的振動特性。因而，能夠謀求高質(zhì)量化。而且，吸氣材料20不形成在壓電振動片4而形成在蓋基板3上。因而，在進(jìn)行吸氣之際，即便加熱吸氣材料20，也不會對壓電振動片4給予任何加熱的影響(負(fù)荷)。因此， 對壓電振動器1的質(zhì)量或特性不會產(chǎn)生任何影響，所以在這一點上也能謀求高質(zhì)量化。接著，參照圖15，對本發(fā)明的振蕩器的一個實施方式進(jìn)行說明。本實施方式的振蕩器100如圖15所示，構(gòu)成為將壓電振動器1電連接至集成電路 101的振子。該振蕩器100具備安裝了電容器等的電子部件102的基板103。在基板103 安裝有振蕩器用的上述集成電路101，在該集成電路101的附近安裝有壓電振動器1的壓電振動片4。這些電子部件102、集成電路101及壓電振動器1通過未圖示的布線圖案分別電連接。此外，各構(gòu)成部件通過未圖示的樹脂來模制(mould)。在這樣構(gòu)成的振蕩器100中，對壓電振動器1施加電壓時，該壓電振動器1內(nèi)的壓電振動片4振動。通過壓電振動片4所具有的壓電特性，將該振動轉(zhuǎn)換為電信號，以電信號方式輸入至集成電路101。通過集成電路101對輸入的電信號進(jìn)行各種處理，以頻率信號的方式輸出。從而，壓電振動器1作為振子起作用。此外，根據(jù)需求有選擇地設(shè)定集成電路101的結(jié)構(gòu)，例如RTC(實時時鐘)模塊等， 能夠附加鐘表用單功能振蕩器等的功能之外，還能附加控制該設(shè)備或外部設(shè)備的工作日期或時刻，或者提供時刻或日歷等的功能。如上所述，依據(jù)本實施方式的振蕩器100，由于具備高質(zhì)量化的壓電振動器1，振蕩器100本身也同樣能高質(zhì)量化。而且除此以外，能夠長期得到穩(wěn)定的高精度的頻率信號。接著，參照圖16，就本發(fā)明的電子設(shè)備的一個實施方式進(jìn)行說明。此外作為電子設(shè)備，舉例說明了具有上述壓電振動器1的便攜信息設(shè)備110。最初本實施方式的便攜信
13息設(shè)備110為例如以便攜電話為首的，發(fā)展并改良了現(xiàn)有技術(shù)中的手表的設(shè)備。是這樣的設(shè)備外觀類似于手表，在相當(dāng)于文字盤的部分配置液晶顯示器，能夠在該畫面上顯示當(dāng)前的時刻等。此外，在用作通信機(jī)時，從手腕取下，通過內(nèi)置于帶的內(nèi)側(cè)部分的揚(yáng)聲器及麥克風(fēng)，可進(jìn)行與現(xiàn)有技術(shù)的便攜電話同樣的通信。但是，與現(xiàn)有的便攜電話相比，明顯小型且輕量。下面，對本實施方式的便攜信息設(shè)備110的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。如圖16所示，該便攜信息設(shè)備110具備壓電振動器1和供電用的電源部111。電源部111例如由鋰二次電池構(gòu)成。該電源部111上并聯(lián)連接有進(jìn)行各種控制的控制部112、進(jìn)行時刻等的計數(shù)的計時部 113、與外部進(jìn)行通信的通信部114、顯示各種信息的顯示部115、和檢測各功能部的電壓的電壓檢測部116。而且，通過電源部111來對各功能部供電?？刂撇?12控制各功能部，進(jìn)行聲音數(shù)據(jù)的發(fā)送及接收、當(dāng)前時刻的測量或顯示等的整個系統(tǒng)的動作控制。此外，控制部112具備預(yù)先寫入程序的ROM、讀取寫入到該ROM 的程序并執(zhí)行的CPU、和作為該CPU的工作區(qū)使用的RAM等。計時部113具備內(nèi)置了振蕩電路、寄存器電路、計數(shù)器電路及接口電路等的集成電路和壓電振動器1。對壓電振動器1施加電壓時壓電振動片4振動，通過水晶(石英)所具有的壓電特性，該振動轉(zhuǎn)換為電信號，以電信號的方式輸入到振蕩電路。振蕩電路的輸出被二值化，通過寄存器電路和計數(shù)器電路來計數(shù)。然后，通過接口電路，與控制部112進(jìn)行信號的發(fā)送與接收，在顯示部115顯示當(dāng)前時刻或當(dāng)前日期或者日歷信息等。通信部114具有與現(xiàn)有的便攜電話相同的功能，具備無線電部117、聲音處理部 118、切換部119、放大部120、聲音輸入/輸出部121、電話號碼輸入部122、來電音發(fā)生部 123及呼叫控制存儲器部124。通過天線125，無線電部117與基站進(jìn)行收發(fā)信息的聲音數(shù)據(jù)等各種數(shù)據(jù)的交換。 聲音處理部118對從無線電部117或放大部120輸入的聲音信號進(jìn)行編碼及解碼。放大部 120將從聲音處理部118或聲音輸入/輸出部121輸入的信號放大到既定電平。聲音輸入 /輸出部121由揚(yáng)聲器或麥克風(fēng)等構(gòu)成，擴(kuò)大來電音或受話聲音，或者將聲音集音。此外，來電音發(fā)生部123響應(yīng)來自基站的呼叫而生成來電音。切換部119僅在來電時，通過將連接在聲音處理部118的放大部120切換到來電音發(fā)生部123，在來電音發(fā)生部123中生成的來電音經(jīng)由放大部120輸出至聲音輸入/輸出部121。此外，呼叫控制存儲器部1 存放與通信的呼叫及來電控制相關(guān)的程序。此外，電話號碼輸入部122具備例如0至9的號碼鍵及其它鍵，通過按壓這些號碼鍵等，輸入通話目的地的電話號碼等。電壓檢測部116在通過電源部111對控制部112等的各功能部施加的電壓小于既定值時，檢測其電壓降后通知控制部112。這時的既定電壓值是作為使通信部114穩(wěn)定動作所需的最低限的電壓而預(yù)先設(shè)定的值，例如，3V左右。從電壓檢測部116收到電壓降的通知的控制部112禁止無線電部117、聲音處理部118、切換部119及來電音發(fā)生部123的動作。 特別是，停止耗電較大的無線電部117的動作是必需的。而且，顯示部115顯示通信部114 由于電池余量的不足而不能使用的提示。S卩，通過電壓檢測部116和控制部112，能夠禁止通信部114的動作，并在顯示部 115做提示。該提示可為文字消息，但作為更加直接的提示，在顯示部115的顯示畫面的頂部顯示的電話圖像上打“ X (叉)”標(biāo)記也可。此外，通過具備能夠有選擇地截斷與通信部114的功能相關(guān)的部分的電源的電源截斷部126，能夠更加可靠地停止通信部114的功能。如上所述，依據(jù)本實施方式的便攜信息設(shè)備110，由于具備高質(zhì)量化的壓電振動器 1，便攜信息設(shè)備本身也同樣能高質(zhì)量化。而且除此以外，能夠長期顯示穩(wěn)定的高精度的時
鐘信息。接著，參照圖17，就本發(fā)明的電波鐘的一個實施方式進(jìn)行說明。如圖17所示，本實施方式的電波鐘130具備電連接到濾波部131的壓電振動器 1，是接收包含時鐘信息的標(biāo)準(zhǔn)電波，并具有自動修正為正確的時刻并加以顯示的功能的鐘表。在日本國內(nèi)，在福島縣(40kHz)和佐賀縣(60kHz)有發(fā)送標(biāo)準(zhǔn)電波的發(fā)送站(發(fā)送局)，分別發(fā)送標(biāo)準(zhǔn)電波。40kHz或60kHz這樣的長波兼有沿地表傳播的性質(zhì)和在電離層和地表邊反射邊傳播的性質(zhì)，因此其傳播范圍寬，且由上述的兩個發(fā)送站覆蓋整個日本國內(nèi)。以下，對電波鐘130的功能性結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說明。天線132接收40kHz或60kHz長波的標(biāo)準(zhǔn)電波。長波的標(biāo)準(zhǔn)電波是將稱為定時碼的時刻信息AM調(diào)制為40kHz或60kHz的載波的電波。接收的長波的標(biāo)準(zhǔn)電波通過放大器 133放大，通過具有多個壓電振動器1的濾波部131來濾波并調(diào)諧。本實施方式中的壓電振動器1分別具備與上述載波頻率相同的40kHz及60kHz的諧振頻率的水晶振動器部138、139。而且，濾波后的既定頻率的信號通過檢波、整流電路134來檢波并解調(diào)。接著，經(jīng)由波形整形電路135而抽出定時碼，由CPU136計數(shù)。在CPU136中，讀取當(dāng)前的年、累積日、 星期、時刻等的信息。被讀取的信息反映于RTC137，顯示出正確的時刻信息。載波為40kHz或60kHz，因此水晶振動器部138、139優(yōu)選具有上述的音叉型結(jié)構(gòu)的振動器。再者，以上以日本國內(nèi)為例進(jìn)行了說明，但長波的標(biāo)準(zhǔn)電波的頻率在海外是不同的。例如，在德國使用77. 5KHz的標(biāo)準(zhǔn)電波。因而，在便攜設(shè)備組裝也可以應(yīng)對海外的電波鐘130的情況下，還需要不同于日本的頻率的壓電振動器1。如上所述，依據(jù)本實施方式的電波鐘130，由于具備高質(zhì)量化的壓電振動器1，電波鐘本身也同樣能高質(zhì)量化。而且除此以外，能夠長期穩(wěn)定地高精度計數(shù)時刻。此外，本發(fā)明的技術(shù)范圍并不局限于上述實施的方式，在不超出本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)可進(jìn)行各種變更。例如，在上述實施方式中，構(gòu)成為將限制部21及吸氣材料20都形成在蓋基板3，但形成在基底基板2 —側(cè)也可。在該情況下，也能發(fā)揮同樣的作用效果。此外，作為限制部21的一個例子，舉例說明了以從空腔C的側(cè)壁Cl分離的狀態(tài)沿著振動腕部10、11延伸的壁狀的限制部21，但并不限于該情況。例如，如圖18及圖19所示，將限制部21，以向基底基板2突出且沿著振動腕部10、11延伸的方式形成在蓋基板3也可。在該情況下，將吸氣材料20，以收容于在互相對置的限制部21與基底基板2之間所形成的間隙的方式形成在基底基板2上即可。由此，能夠使限制部21以靠近吸氣材料20的狀態(tài)對置。在這樣構(gòu)成的情況下，吸氣之際，因加熱而飛散的吸氣材料20，大部分筆直地飛散而附著到限制部21。另一方面，剩下的一部分，以大致水平擴(kuò)散的方式飛散?？墒?，由于吸氣材料20的大部分筆直地飛散而附著到限制部21，所以以大致水平擴(kuò)散的方式飛散的飛散量只是一點點。因此，依然能抑制到達(dá)振動腕部10、11的吸氣材料20的飛散量。因而， 在該情況下，也能使吸氣材料20很難附著到振動腕部10、11，并且能夠在吸氣前后也同樣很難出現(xiàn)頻率變化。此外，在該情況下，在限制部21側(cè)形成吸氣材料20也可。在該情況下，也能發(fā)揮同樣的作用效果。此外，如圖20及圖21所示，將限制部21形成在基底基板2 —側(cè)，而不是蓋基板3 一側(cè)，并且在限制部21上形成吸氣材料20也可。在該情況下，也能發(fā)揮同樣的作用效果。 此外，在該情況下，將吸氣材料20形成在蓋基板3 —側(cè)也可。此外，在上述實施方式中，作為壓電振動片4的一個例子，舉例說明了在振動腕部 IOUl的兩面形成溝部15的帶溝的壓電振動片4，但沒有溝部15的類型的壓電振動片也可。但是，通過形成溝部15，能夠在對一對激振電極13施加既定電壓時，提高一對激振電極13間的電場效率，因此能夠進(jìn)一步抑制振動損耗而進(jìn)一步改善振動特性。即，能夠進(jìn)一步降低CI值(Crystal Impedance)，并能將壓電振動片4進(jìn)一步高性能化。在這一點上，優(yōu)選形成溝部15。此外，在上述實施方式中，通過接合膜27陽極接合基底基板2和蓋基板3，但并不限于陽極接合。但是，通過進(jìn)行陽極接合，能夠牢固地接合兩基板2、3，因此是優(yōu)選的。此外，在上述實施方式中，將壓電振動片4凸點接合，但并不限于凸點接合。例如， 也可以用導(dǎo)電粘接劑來接合壓電振動片4。但是，通過進(jìn)行凸點接合，能夠使壓電振動片4 從基底基板2的上表面浮起，并能自然確保振動所需的最低限的振動間隙。因而，優(yōu)選凸點接合。
權(quán)利要求
1.一種壓電振動器的制造方法，制造這樣的壓電振動器，其包括基底基板及蓋基板， 它們互相接合并且在它們之間形成有空腔；壓電振動片，具有平行延伸的一對振動腕部，并在空腔內(nèi)裝配于基底基板上；以及金屬膜的吸氣材料，通過加熱提高所述空腔內(nèi)的真空度， 所述制造方法的特征在于，包括吸氣材料形成工序，將所述吸氣材料以配置到所述空腔內(nèi)的方式形成在所述基底基板上或所述蓋基板上；限制部形成工序，將限制部以配置到所述空腔內(nèi)的方式形成在所述基底基板或所述蓋基板，該限制部限制因加熱而蒸發(fā)的所述吸氣材料的飛散方向，抑制向所述振動腕部飛散的飛散量；以及接合工序，在結(jié)束所述吸氣材料形成工序及所述限制部形成工序之后，將所述壓電振動片裝配在所述基底基板上，其后，以使壓電振動片、所述吸氣材料及所述限制部分別收容到所述空腔內(nèi)的方式互相接合所述基底基板和所述蓋基板。
2.如權(quán)利要求1所述的壓電振動器的制造方法，其中，在進(jìn)行所述限制部形成工序之際，在一個基板側(cè)以壁狀地形成所述限制部，以從所述基底基板和所述蓋基板中的一個基板向另一基板突出，且，從所述空腔的側(cè)壁分離的狀態(tài)沿著所述振動腕部延伸，在進(jìn)行所述吸氣材料形成工序之際，在所述一個基板形成所述吸氣材料，以比所述限制部短的長度配置在限制部與所述側(cè)壁之間。
3.如權(quán)利要求1所述的壓電振動器的制造方法，其中，在進(jìn)行所述限制部形成工序之際，在一個基板側(cè)形成所述限制部，以從所述基底基板和所述蓋基板中的一個基板向另一基板突出，且，沿著所述振動腕部延伸，在進(jìn)行所述吸氣材料形成工序之際，在限制部上或另一基板上形成所述吸氣材料，以收容于互相對置的所述限制部和所述另一基板的間隙。
4.一種壓電振動器，其中包括基底基板及蓋基板，它們互相接合并且在它們之間形成有空腔；壓電振動片，具有平行延伸的一對振動腕部，并在所述空腔內(nèi)裝配于所述基底基板上；以及金屬膜的吸氣材料，以配置到所述空腔內(nèi)的方式形成在所述基底基板上或所述蓋基板上，通過加熱提高空腔內(nèi)的真空度，在所述基底基板或所述蓋基板形成有限制部，該限制部配置在所述空腔內(nèi)，并且限制因加熱而蒸發(fā)的所述吸氣材料的飛散方向，從而抑制向所述振動腕部飛散的飛散量。
5.如權(quán)利要求4所述的壓電振動器，其中，在一個基板側(cè)以壁狀形成所述限制部，以從所述基底基板和所述蓋基板中的一個基板向另一基板突出，且，以從所述空腔的側(cè)壁分離的狀態(tài)沿著所述振動腕部延伸，在所述一個基板側(cè)形成所述吸氣材料，以比所述限制部短的長度配置在限制部與所述側(cè)壁之間。
6.如權(quán)利要求4所述的壓電振動器，其中，在一個基板側(cè)形成所述限制部，以從所述基底基板和所述蓋基板中的一個基板向另一基板突出，且，沿著所述振動腕部延伸，所述吸氣材料以收容于互相對置的所述限制部與所述另一基板的間隙的狀態(tài)形成在限制部上或另一基板上。
7.一種振蕩器，其特征在于，使權(quán)利要求4至6中任一項所述的壓電振動器，作為振子與集成電路電連接。
8.一種電子設(shè)備，其特征在于，使權(quán)利要求4至6中任一項所述的壓電振動器，與計時部電連接。
9.一種電波鐘，其特征在于，使權(quán)利要求4至6中任一項所述的壓電振動器，與濾波部電連接。
全文摘要
本發(fā)明的壓電振動器，其中包括基底基板及蓋基板，它們互相接合并且在它們之間形成有空腔；壓電振動片，具有平行延伸的一對振動腕部，并在所述空腔內(nèi)裝配于所述基底基板上；以及金屬膜的吸氣材料，以配置到所述空腔內(nèi)的方式形成在所述基底基板上或所述蓋基板上，通過加熱提高空腔內(nèi)的真空度。在所述基底基板或所述蓋基板形成有限制部，該限制部配置在所述空腔內(nèi)，并且限制因加熱而蒸發(fā)的所述吸氣材料的飛散方向，從而抑制向所述振動腕部飛散的飛散量。
文檔編號H03H9/21GK102204088SQ20088013191
公開日2011年9月28日 申請日期2008年8月27日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月27日
發(fā)明者福田純也, 須釜一義, 鬼塚修 申請人:精工電子有限公司