專利名稱：壓電振動(dòng)器、振蕩器、電子設(shè)備、電波鐘以及壓電振動(dòng)器的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在接合的兩個(gè)基板之間所形成的空腔內(nèi)收容了壓電振動(dòng)片的表面安裝型(SMD)的壓電振動(dòng)器、具有該壓電振動(dòng)器的振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘、以及制造該壓電振動(dòng)器的壓電振動(dòng)器的制造方法。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，在便攜電話或便攜信息終端設(shè)備上，采用利用了水晶等作為時(shí)刻源或控制信號(hào)等的定時(shí)源、參考信號(hào)源等的壓電振動(dòng)器。提供有各式各樣的這種壓電振動(dòng)器，但作為其中之一，眾所周知表面安裝型的壓電振動(dòng)器。作為這種壓電振動(dòng)器，已知一般以由基底基板和蓋基板上下夾持形成有壓電振動(dòng)片的壓電基板的方式進(jìn)行接合的3層構(gòu)造型。這時(shí)，壓電振動(dòng)片被收容于在基底基板和蓋基板之間所形成的空腔(密閉室)內(nèi)。此外，在近年，不僅開發(fā)了上述的3層構(gòu)造型，而且還開發(fā)了 2層構(gòu)造型。這種類型的壓電振動(dòng)器由于基底基板和蓋基板直接接合而成為2層構(gòu)造，在兩基板之間形成的空腔內(nèi)收容有壓電振動(dòng)片。該2層構(gòu)造型的壓電振動(dòng)器與3層構(gòu)造的壓電振動(dòng)器相比在可實(shí)現(xiàn)薄型化等的方面優(yōu)越，因而適于使用?？墒?，壓電振動(dòng)器一般要求抑制等效電阻值(有效電阻值，Re)為低值。等效電阻值低的壓電振動(dòng)器可以用低電力來(lái)使壓電振動(dòng)片振動(dòng)，因此成為能量效率良好的壓電振動(dòng)器。作為抑制等效電阻值的一般的方法之一，眾所周知使空腔內(nèi)接近真空的方法。而且，作為使空腔內(nèi)接近真空的方法，已知在空腔C內(nèi)收容金屬膜的吸氣材料，并從外部照射激光等而加熱該吸氣材料(吸氣部件)并加以激活的方法(吸氣法)(例如，參照專利文獻(xiàn) 1)。依據(jù)該方法，利用成為激活狀態(tài)的吸氣材料，通過(guò)化學(xué)反應(yīng)能夠吸收主要由氧構(gòu)成的空腔內(nèi)的氣體，因此能夠使空腔內(nèi)接近真空。此外，該吸氣材料由鋁、鈦、鋯或它們的合金構(gòu)成，但在被加熱時(shí)更加吸收空腔內(nèi)的氣體，并能有效地提高真空度，在這一點(diǎn)(吸氣效果高這一點(diǎn))上，特別適合使用鋁。專利文獻(xiàn)1 日本特開2003-142976號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
但是，在使用鋁作為吸氣材料的情況下，有可能招致壓電振動(dòng)器的質(zhì)量降低及特性變化。即，鋁具有因水分等的介質(zhì)而容易化學(xué)腐蝕的特性。因此，當(dāng)壓電振動(dòng)器被置于高濕度的環(huán)境下，因濕氣而吸氣材料有可能會(huì)被腐蝕。若發(fā)生腐蝕，則吸氣材料的表面會(huì)顯著被蝕刻，或者在表面出現(xiàn)腐蝕生成物。因此，不僅招致質(zhì)量降低，而且會(huì)影響壓電振動(dòng)片的振動(dòng)動(dòng)作，有可能招致特性變化。本發(fā)明考慮這些狀況構(gòu)思而成，其目的在于提供一種壓電振動(dòng)器，依然能發(fā)揮較高的吸氣效果，而且很難因濕度的影響而招致質(zhì)量降低或特性變化。此外，提供制造該壓電振動(dòng)器的壓電振動(dòng)器的制造方法、具有該壓電振動(dòng)器的振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘。本發(fā)明為了解決上述課題并達(dá)成相關(guān)目的而提供以下方案。(1)本發(fā)明的壓電振動(dòng)器的制造方法，制造這樣的壓電振動(dòng)器，其包括互相接合并在其間形成有空腔的基底基板及蓋基板；形成在所述基底基板的下表面的外部電極；以收容于所述空腔內(nèi)的方式形成在所述基底基板的上表面的內(nèi)部電極；以貫通所述基底基板的方式形成并電連接所述外部電極與所述內(nèi)部電極的貫通電極；以與所述內(nèi)部電極電連接的狀態(tài)被收容于所述空腔內(nèi)的壓電振動(dòng)片；以及形成在所述空腔內(nèi)的吸氣材料，其中，所述吸氣材料由鉻或以鉻為主要成分的金屬材料形成。依據(jù)上述壓電振動(dòng)器的制造方法，由于吸氣材料由鉻或以鉻為主要成分的金屬材料形成，所以能發(fā)揮出較高的耐蝕性。即，鉻比鋁在耐蝕性方面更加優(yōu)良，因此與用鋁形成的以往情況相比，能夠進(jìn)一步提高吸氣材料的耐蝕性。因此，即便在高濕度的環(huán)境下使用該壓電振動(dòng)器，吸氣材料也難以腐蝕。因而，難以造成起因于腐蝕的質(zhì)量降低或特性變化。而且，鉻不僅耐蝕性優(yōu)良，而且容易與氧結(jié)合，因此在吸氣之際，當(dāng)吸氣材料被加熱而蒸發(fā)時(shí)容易吸收主要由氧構(gòu)成的空腔內(nèi)的氣體，吸氣效果較高。即，能夠期待與用鋁形成的現(xiàn)有的吸氣材料同等或其以上的吸氣效果。因此，依然能在短時(shí)間內(nèi)提高空腔內(nèi)的真空度，所以能夠有效率地制造壓電振動(dòng)器。(2)此外，也可以在所述基底基板的上表面形成所述吸氣材料。這時(shí)，吸氣材料不在壓電振動(dòng)片形成，而在基底基板或蓋基板的任何一個(gè)基板形成。因而，在吸氣之際，即便用激光等來(lái)加熱吸氣材料，也不會(huì)對(duì)壓電振動(dòng)片產(chǎn)生任何加熱的影響。因而，不會(huì)對(duì)壓電振動(dòng)片提供加熱產(chǎn)生的負(fù)荷。因此，不會(huì)對(duì)壓電振動(dòng)器的質(zhì)量或特性產(chǎn)生任何影響，所以能謀求壓電振動(dòng)器的高質(zhì)量化。(3)此外，也可以用與所述吸氣材料相同的材料，與所述吸氣材料同時(shí)形成所述內(nèi)部電極。這時(shí)，由于與吸氣材料同時(shí)形成內(nèi)部電極，所以能更加有效率地制造壓電振動(dòng)器。(4)此外，本發(fā)明的壓電振動(dòng)器，其中包括互相接合并且在其間形成有空腔的基底基板及蓋基板；形成在所述基底基板的下表面的外部電極；以收容于所述空腔內(nèi)的方式形成在所述基底基板的上表面的內(nèi)部電極；以貫通所述基底基板的方式形成并且電連接所述外部電極和所述內(nèi)部電極的貫通電極；以與所述內(nèi)部電極電連接的狀態(tài)被收容于所述空腔內(nèi)的壓電振動(dòng)片；以及用鉻或以鉻為主要成分的金屬材料形成在所述空腔內(nèi)的吸氣材料。這時(shí)，能夠發(fā)揮與上述(1)所記載的壓電振動(dòng)器的制造方法同樣的作用效果。(5)此外，也可以在所述基底基板的上表面形成所述吸氣材料。這時(shí)，能夠發(fā)揮與上述( 所記載的壓電振動(dòng)器的制造方法同樣的作用效果。(6)也可以用與所述吸氣材料相同的材料，與所述吸氣材料同時(shí)形成所述內(nèi)部電極。這時(shí)，能夠發(fā)揮與上述C3)所記載的壓電振動(dòng)器的制造方法同樣的作用效果。(7)此外，本發(fā)明的振蕩器，使上述⑷ (6)中任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)器，作為振子與集成電路電連接。
(8)此外，本發(fā)明的電子設(shè)備，使上述⑷ (6)中任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)器，電連接到計(jì)時(shí)部。(9)此外，本發(fā)明的電波鐘，使上述⑷ (6)中任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)器，電連接到濾波部。依據(jù)上述振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘，由于具備即便在濕度高的狀況下使用也很難招致質(zhì)量降低或特性變化的高質(zhì)量且可靠性高的壓電振動(dòng)器，因此同樣提高動(dòng)作的可靠性而能謀求高質(zhì)量化。(發(fā)明效果)依據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)器，不僅依然能發(fā)揮較高的吸氣效果，而且能夠很難因濕度的影響而招致質(zhì)量降低或特性變化。因而，能夠提高動(dòng)作的可靠性。此外，依據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)器的制造方法，能夠切實(shí)地制造上述壓電振動(dòng)器。此外，依據(jù)本發(fā)明的振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘，由于具備上述壓電振動(dòng)器，同樣提高動(dòng)作的可靠性而能謀求高質(zhì)量化。


圖1是表示本發(fā)明的壓電振動(dòng)器的一實(shí)施方式的外觀斜視圖。圖2是圖1所示的壓電振動(dòng)器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖，并且是在拆下蓋基板的狀態(tài)下俯視壓電振動(dòng)片的圖。圖3是沿著圖2所示的A-A線的壓電振動(dòng)器的剖視圖。圖4是沿著圖2所示的B-B線的壓電振動(dòng)器的剖視圖。圖5是圖1所示的壓電振動(dòng)器的分解斜視圖。圖6是構(gòu)成圖1所示的壓電振動(dòng)器的壓電振動(dòng)片的俯視圖。圖7是圖6所示的壓電振動(dòng)片的仰視圖。圖8是圖6所示的剖面向視C-C圖。圖9是表示制造圖1所示的壓電振動(dòng)器時(shí)的流程的流程圖。圖10是表示沿著圖9所示的流程圖制造壓電振動(dòng)器時(shí)的一個(gè)工序的圖，并且是表示在成為蓋基板的本原的蓋基板用圓片(wafer)形成多個(gè)凹部的狀態(tài)的圖。圖11是表示沿著圖9所示的流程圖制造壓電振動(dòng)器時(shí)的一個(gè)工序的圖，并且是表示在成為基底基板的本原的基底基板用圓片的上表面對(duì)吸氣材料、接合膜及迂回電極進(jìn)行構(gòu)圖的狀態(tài)的圖。圖12是圖11所示的狀態(tài)的基底基板用圓片的整體圖。圖13是表示沿著圖9所示的流程圖制造壓電振動(dòng)器時(shí)的一個(gè)工序的圖，并且是以在空腔內(nèi)收容壓電振動(dòng)片的狀態(tài)陽(yáng)極接合基底基板用圓片和蓋基板用圓片的圓片體的分解斜視圖。圖14是表示本發(fā)明的振蕩器的一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)圖。圖15是表示本發(fā)明的電子設(shè)備的一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)圖。圖16是表示本發(fā)明的電波鐘的一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)圖。圖17是表示使用本發(fā)明的壓電振動(dòng)器的實(shí)施例的結(jié)果的表。附圖標(biāo)記說(shuō)明
C 空腔；1壓電振動(dòng)器；2基底基板；3蓋基板；4壓電振動(dòng)片；34吸氣材料；32、 33貫通電極；36、37迂回電極(內(nèi)部電極)；38、39外部電極；40基底基板用圓片(基底基板)；50蓋基板用圓片(蓋基板)；100振蕩器；101振蕩器的集成電路；110便攜信息設(shè)備 (電子設(shè)備)；113電子設(shè)備的計(jì)時(shí)部；130電波鐘；131電波鐘的濾波部。
具體實(shí)施例方式以下，參照?qǐng)D1至圖13，對(duì)本發(fā)明的壓電振動(dòng)器的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。如圖1至圖5所示，本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)器1，形成為由基底基板2和蓋基板3 層疊為2層的箱狀，是在內(nèi)部的空腔C內(nèi)收容了壓電振動(dòng)片4的表面安裝型的壓電振動(dòng)器。此外，在圖5中為了方便圖示而省略了后面描述的激振電極15、引出電極19、20、 裝配電極16、17及重錘金屬膜21的圖示。如圖6至圖8所示，壓電振動(dòng)片4是由水晶、鉭酸鋰或鈮酸鋰等的壓電材料形成的音叉型振動(dòng)片，在被施加既定電壓時(shí)振動(dòng)。該壓電振動(dòng)片4具有平行配置的一對(duì)振動(dòng)腕部10、11 ；將該一對(duì)振動(dòng)腕部10、11 的基端側(cè)固定成一體的基部12 ；形成在一對(duì)振動(dòng)腕部10、11的外表面上并使一對(duì)振動(dòng)腕部 IOUl振動(dòng)的由第一激振電極13和第二激振電極14構(gòu)成的激振電極15 ；以及與第一激振電極13及第二激振電極14電連接的裝配電極16、17。此外，本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片4具備在一對(duì)振動(dòng)腕部10、11的兩主表面上沿著該振動(dòng)腕部10、11的長(zhǎng)邊方向分別形成的溝部18。該溝部18從振動(dòng)腕部10、11的基端一側(cè)形成至大致中間附近。由第一激振電極13和第二激振電極14構(gòu)成的激振電極15是使一對(duì)振動(dòng)腕部10、 11以既定的諧振頻率在彼此接近或分離的方向上振動(dòng)的電極，在一對(duì)振動(dòng)腕部10、11的外表面，以分別電性切斷的狀態(tài)構(gòu)圖而形成。具體而言，如圖8所示，第一激振電極13主要形成在一個(gè)振動(dòng)腕部10的溝部18上和另一振動(dòng)腕部11的兩側(cè)面上，第二激振電極14主要形成在一個(gè)振動(dòng)腕部10的兩側(cè)面上和另一振動(dòng)腕部11的溝部18上。此外，第一激振電極13及第二激振電極14，如圖6及圖7所示，在基部12的兩主表面上，分別經(jīng)由引出電極19、20電連接至裝配電極16、17。再者壓電振動(dòng)片4成為經(jīng)由該裝配電極16、17被施加電壓。此外，上述的激振電極15、裝配電極16、17及引出電極19、20，通過(guò)例如鉻(Cr)、鎳 (Ni)、鋁(Al)或鈦(Ti)等的導(dǎo)電膜的覆蓋膜來(lái)形成。此外，在一對(duì)振動(dòng)腕部10、11的前端覆蓋了用于進(jìn)行調(diào)整(頻率調(diào)整)的重錘金屬膜21，以使本身的振動(dòng)狀態(tài)在既定頻率的范圍內(nèi)振動(dòng)。再者，該重錘金屬膜21被分為在粗調(diào)頻率時(shí)使用的粗調(diào)膜21a和在微調(diào)時(shí)使用的微調(diào)膜21b。利用這些粗調(diào)膜21a及微調(diào)膜21b進(jìn)行頻率調(diào)整，從而能夠使一對(duì)振動(dòng)腕部10、11的頻率落在器件的標(biāo)稱頻率范圍內(nèi)。這樣構(gòu)成的壓電振動(dòng)片4，如圖3及圖5所示，利用金等的凸點(diǎn)(bump)B，凸點(diǎn)接合至基底基板2的上表面。更具體地說(shuō)，以在基底基板2的上表面構(gòu)圖的后面描述的迂回電極(內(nèi)部電極)36、37上分別形成的凸點(diǎn)B上分別接觸的狀態(tài)凸點(diǎn)接合一對(duì)裝配電極16、 17。由此，壓電振動(dòng)片4以從基底基板2的上表面浮起的狀態(tài)被支撐，并且成為分別電連接裝配電極16、17和迂回電極36、37的狀態(tài)。
上述蓋基板3是用玻璃材料例如堿石灰玻璃構(gòu)成的透明絕緣基板，如圖1、圖3及圖5所示，形成為板狀。并且，在接合基底基板2的接合面一側(cè)，形成有收容壓電振動(dòng)片4 的矩形狀的凹部3a。該凹部3a是疊合兩基板2、3時(shí)成為收容壓電振動(dòng)片4的空腔C的空腔用的凹部。而且，蓋基板3以使該凹部3a與基底基板2 —側(cè)對(duì)置的狀態(tài)對(duì)該基底基板2 陽(yáng)極接合。上述基底基板2是用與蓋基板3相同的玻璃材料例如堿石灰玻璃構(gòu)成的透明絕緣基板，如圖1至圖3及圖5所示，以能對(duì)蓋基板3疊合的大小形成為板狀。在基底基板2形成有以沿上下方向貫通該基底基板2的方式形成的一對(duì)貫通電極 32,33,它們被形成為各自的一端被收納于空腔C內(nèi)。該貫通電極32、33以無(wú)間隙地形成在與基底基板2之間，維持空腔C內(nèi)的氣密，并且使后述的外部電極38、39與迂回電極36、37導(dǎo)通。在基底基板2的上表面?zhèn)?接合蓋基板3的接合面?zhèn)?，如圖1至圖5所示，構(gòu)圖有形成在空腔C內(nèi)且通過(guò)加熱而提高空腔C內(nèi)的真空度的由金屬材料構(gòu)成的吸氣材料34、 陽(yáng)極接合用的接合膜35、和一對(duì)迂回電極36、37。其中接合膜35由例如鋁等的導(dǎo)電材料構(gòu)成，以圍住形成在蓋基板3的凹部3a周圍的方式沿著基底基板2的周邊而形成。吸氣材料34由鉻或以鉻為主要成分的金屬材料形成。在本實(shí)施方式中，如圖4所示，吸氣材料34包括成膜在基底基板2上的由鉻構(gòu)成的基底層34a、和層疊在基底層3 的由金構(gòu)成的精裝層34b。此外，如圖2所示，平面圖中以?shī)A著壓電振動(dòng)片4而在兩側(cè)對(duì)向配置的方式形成兩個(gè)。此外，各吸氣材料34對(duì)于振動(dòng)腕部10、11而言，形成為平面圖中鄰接并且平行延伸。一對(duì)迂回電極36、37用與吸氣材料34相同的材料，與吸氣材料34同時(shí)形成。在本實(shí)施方式中，如圖4所示，各迂回電極36、37具備成膜在基底基板2上的由鉻構(gòu)成的基底層37a、和層疊在基底層37a的由金構(gòu)成的精裝層37b。此外，一對(duì)迂回電極36、37構(gòu)圖成為使一個(gè)迂回電極36與一個(gè)貫通電極32和壓電振動(dòng)片4的一個(gè)裝配電極16電連接，并且使另一迂回電極37與另一貫通電極33、壓電振動(dòng)片4的另一裝配電極17電連接。此外，在基底基板2的下表面，如圖1、圖3及圖5所示，形成有與一對(duì)貫通電極32、 33分別電連接的外部電極38、39。即，一個(gè)外部電極38經(jīng)由一個(gè)貫通電極32及一個(gè)迂回電極36而與壓電振動(dòng)片4的第一激振電極13電連接。此外，另一外部電極39經(jīng)由另一貫通電極33及另一迂回電極37而與壓電振動(dòng)片4的第二激振電極14電連接。該結(jié)果，一對(duì)激振電極15成為各自能與空腔C的外部電連接的狀態(tài)。在使這樣構(gòu)成的壓電振動(dòng)器1動(dòng)作時(shí)，對(duì)形成在基底基板2的外部電極38、39施加既定的驅(qū)動(dòng)電壓。由此，能夠使電流在壓電振動(dòng)片4的由第一激振電極13及第二激振電極14構(gòu)成的一對(duì)激振電極15中流過(guò)，并能使一對(duì)振動(dòng)腕部10、11以既定頻率沿著接近/ 分離的方向振動(dòng)。再者，利用該一對(duì)振動(dòng)腕部10、11的振動(dòng)，能夠用作時(shí)刻源、控制信號(hào)的定時(shí)源或參考信號(hào)源等。接著，參照?qǐng)D9所示的流程圖，下面對(duì)利用基底基板用圓片(基底基板)40和蓋基板用圓片(蓋基板)50來(lái)一次性制造多個(gè)上述壓電振動(dòng)器1的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。此外， 在本實(shí)施方式中，利用圓片狀的基板來(lái)一次性制造多個(gè)壓電振動(dòng)器1，但并不限于此，預(yù)先加工出尺寸與基底基板2及蓋基板3的外形一致的圓片，一次僅制造一個(gè)等也可。
最先，進(jìn)行壓電振動(dòng)片制作工序，制作圖6至圖8所示的壓電振動(dòng)片4(S10)。具體而言，首先將來(lái)加工的朗伯(Lambert)水晶以既定角度切片而做成一定厚度的圓片。接著， 研磨該圓片而進(jìn)行粗加工后，利用蝕刻來(lái)除去加工變質(zhì)層，其后進(jìn)行拋光(polish)等的鏡面研磨加工，做成既定厚度的圓片。接著，對(duì)圓片進(jìn)行清洗等的適當(dāng)?shù)奶幚砗螅霉饪碳夹g(shù)，以壓電振動(dòng)片4的外形形狀對(duì)該圓片進(jìn)行構(gòu)圖，并且進(jìn)行金屬膜的成膜及構(gòu)圖，形成激振電極15、引出電極19、20、裝配電極16、17及重錘金屬膜21。由此，能夠制作出多個(gè)壓電振動(dòng)片4。此外，在制作出壓電振動(dòng)片4后，進(jìn)行諧振頻率的粗調(diào)。這是通過(guò)對(duì)重錘金屬膜21 的粗調(diào)膜21a照射激光使一部分蒸發(fā)，從而改變重量來(lái)進(jìn)行的。此外，更加高精度地調(diào)整諧振頻率的微調(diào)是在裝配后進(jìn)行的。對(duì)此，將在后面進(jìn)行說(shuō)明。接著，在與壓電振動(dòng)片制作工序同時(shí)或前后的定時(shí)，作為第一圓片制作工序，進(jìn)行將在后面成為蓋基板3的蓋基板用圓片50制作到剛要進(jìn)行陽(yáng)極接合之前的狀態(tài)(S20)。首先，將堿石灰玻璃研磨加工至既定厚度并加以清洗后，利用蝕刻等來(lái)除去最表面的加工變質(zhì)層，從而形成圓板狀的蓋基板用圓片50 (S21)。接著，作為凹部形成工序，如圖10所示，利用蝕刻等來(lái)在蓋基板用圓片50的接合面沿行列方向形成多個(gè)空腔用的凹部3a (S2》。在該時(shí)刻，結(jié)束第一圓片制作工序。接著，在與第一圓片制作工序同時(shí)或前后的定時(shí)，作為第二圓片制作工序，將在后面成為基底基板2的基底基板用圓片40制作到剛要進(jìn)行陽(yáng)極接合之前的狀態(tài)(S30)。首先， 與蓋基板用圓片50同樣，將堿石灰玻璃研磨加工至既定厚度并加以清洗后，利用蝕刻等來(lái)除去最表面的加工變質(zhì)層，從而形成圓板狀的由堿石灰玻璃構(gòu)成基底基板用圓片40(S31)。接著，作為貫通電極形成工序，在基底基板用圓片40形成多個(gè)一對(duì)貫通電極32、 33(S32)。這時(shí)，例如，用噴射法或壓力加工等方法來(lái)形成多個(gè)沿上下方向貫通基底基板用圓片40的一對(duì)貫通孔之后，在這些多個(gè)貫通孔內(nèi)形成一對(duì)貫通電極32、33。利用該一對(duì)貫通電極32、33，確保基底基板用圓片40的上表面?zhèn)扰c下表面?zhèn)鹊膶?dǎo)電性。接著，作為吸氣材料形成工序，在形成吸氣材料34 (S33)的同時(shí)，作為迂回電極形成工序，形成迂回電極36、37 (S34)。這時(shí)，例如，首先構(gòu)圖由鉻構(gòu)成的基底層34a、37a之后， 構(gòu)圖成為在該基底層34a、37a之上層疊由金構(gòu)成的精裝層34b、37b。此外，在構(gòu)圖基底層 3 之際，在后面壓電振動(dòng)片4裝配到基底基板用圓片40時(shí)，以在平面圖中夾著壓電振動(dòng)片 4而在兩側(cè)對(duì)置配置的方式形成兩個(gè)，并且將各吸氣材料34形成為對(duì)振動(dòng)腕部10、11而言在平面圖中鄰接并且平行延伸。特別是，與吸氣材料34同時(shí)形成迂回電極36、37，因此能夠更加有效率地制造壓電振動(dòng)器1。而且，作為迂回電極36、37的精裝層37b采用金，因此能夠穩(wěn)定地確保迂回電極36、37的導(dǎo)電性，并能謀求壓電振動(dòng)器1的高質(zhì)量化。接著，作為接合膜形成工序，在基底基板用圓片40的上表面對(duì)導(dǎo)電材料進(jìn)行構(gòu)圖，如圖11及圖12所示，形成接合膜35 (S35)。此外，圖11及圖12所示的虛線M，示出在后面進(jìn)行的切斷工序中切斷的切斷線。此外，圖12中為了方便觀看附圖，省略了接合膜35 的圖示。在該時(shí)刻結(jié)束第二圓片制作工序。接著，作為裝配工序，將所制作的多個(gè)壓電振動(dòng)片4分別通過(guò)迂回電極36、37而接合到基底基板用圓片40的上表面(S40)。這時(shí)，首先在一對(duì)迂回電極36、37上分別形成金等的凸點(diǎn)B。然后，在凸點(diǎn)B上承載壓電振動(dòng)片4的基部12之后，一邊將凸點(diǎn)B加熱到既定溫度(例如300°C) —邊使壓電振動(dòng)片4壓上凸點(diǎn)B。由此，壓電振動(dòng)片4被機(jī)械支撐于凸點(diǎn)B上，并且成為電連接裝配電極16、17與迂回電極36、37的狀態(tài)。因而，在該時(shí)刻壓電振動(dòng)片4的一對(duì)激振電極15成為與一對(duì)貫通電極32、33分別導(dǎo)通的狀態(tài)。在結(jié)束壓電振動(dòng)片4的裝配之后，作為疊合工序，對(duì)基底基板用圓片40疊合蓋基板用圓片50(S50)。具體而言，以未圖示的基準(zhǔn)標(biāo)記等為標(biāo)志，將兩圓片40、50對(duì)準(zhǔn)到正確的位置。由此，成為使壓電振動(dòng)片4、吸氣材料34及迂回電極36、37收容于被形成在基底基板用圓片40的凹部3a和兩圓片40、50圍住的空腔C內(nèi)的狀態(tài)。在疊合工序后，作為接合工序，將已疊合的兩個(gè)圓片40、50置于未圖示的陽(yáng)極接合裝置，并在既定溫度氣氛下施加既定電壓而進(jìn)行陽(yáng)極接合(S60)。具體而言，對(duì)接合膜35 和蓋基板用圓片50之間施加既定電壓。這樣，在接合膜35與蓋基板用圓片50的界面發(fā)生電化學(xué)反應(yīng)，使兩者分別牢固密合而陽(yáng)極接合。從而，能夠?qū)弘娬駝?dòng)片4密封于空腔C 內(nèi)，并能得到基底基板用圓片40和蓋基板用圓片50接合的圖13所示的圓片體60。再者， 圖13中，為了方便觀看圖面，圖示了分解圓片體60的狀態(tài)，并從基底基板用圓片40省略了接合膜35的圖示。此外，圖13所示的虛線M示出在后面進(jìn)行的切斷工序中切斷的切斷線。接著，作為外部電極形成工序，在基底基板用圓片40的下表面對(duì)導(dǎo)電材料進(jìn)行構(gòu)圖，形成多個(gè)與一對(duì)貫通電極32、33分別電連接的一對(duì)外部電極38、39 (S70)。通過(guò)該工序， 利用外部電極38、39能夠使收容于空腔C內(nèi)的壓電振動(dòng)片4動(dòng)作。接著，作為吸氣工序，加熱收容在圓片體60的各空腔C內(nèi)的吸氣材料34而調(diào)整空腔C內(nèi)的真空度(S80)。具體而言，將圓片體60置于未圖示的吸氣調(diào)整機(jī)，在吸氣調(diào)整機(jī)內(nèi)對(duì)外部電極38、39施加既定電壓，使壓電振動(dòng)片4振動(dòng)，測(cè)定與等效電阻值成比例關(guān)系的串聯(lián)振動(dòng)電阻值。根據(jù)該串聯(lián)振動(dòng)電阻值，例如從基底基板用圓片40側(cè)照射激光，從而加熱吸氣材料34，按適宜次數(shù)進(jìn)行吸氣。此外，作為吸氣的適宜次數(shù)的判斷方法，例如，可以采用預(yù)先按壓電振動(dòng)器的每個(gè)種類設(shè)定串聯(lián)振動(dòng)電阻值的閾值，在小于該閾值時(shí)判斷為適宜的方法。此外，存儲(chǔ)剛要吸氣前的串聯(lián)振動(dòng)電阻值后進(jìn)行吸氣，算出剛吸氣之后的與串聯(lián)振動(dòng)電阻值的變化比例，通過(guò)比較該變化比例與預(yù)先設(shè)定的值進(jìn)行判斷也可。接著，在圓片體60的狀態(tài)下，作為微調(diào)工序，對(duì)收容于空腔C內(nèi)的各個(gè)壓電振動(dòng)片 4的頻率進(jìn)行微調(diào)，使之落在既定的范圍內(nèi)(S90)。具體說(shuō)明，則對(duì)形成在基底基板用圓片 40的下表面的一對(duì)外部電極38、39施加電壓而使壓電振動(dòng)片4振動(dòng)。然后，一邊測(cè)量頻率一邊通過(guò)基底基板用圓片40而從外部照射激光，使重錘金屬膜21的微調(diào)膜21b蒸發(fā)。由此，一對(duì)振動(dòng)腕部10、11的前端側(cè)的重量發(fā)生變化，因此能夠?qū)弘娬駝?dòng)片4的頻率微調(diào)為落在標(biāo)稱頻率的既定范圍內(nèi)。在結(jié)束頻率的微調(diào)后，作為切斷工序，沿著圖13所示的切斷線M切斷已接合的圓片體60而進(jìn)行小片化(S100)。其結(jié)果是，能夠一次性制造多個(gè)在互相接合的基底基板2與蓋基板3之間所形成的空腔C內(nèi)收容了壓電振動(dòng)片4的圖1所示的2層構(gòu)造式表面安裝型的壓電振動(dòng)器1。再者，在進(jìn)行切斷工序(S100)而小片化為各個(gè)壓電振動(dòng)器1后，進(jìn)行微調(diào)工序(S90)的工序順序也可。但是，如上所述，通過(guò)先進(jìn)行微調(diào)工序(S90)，能在圓片體60的狀態(tài)下進(jìn)行微調(diào)，因此能更加有效率地微調(diào)多個(gè)壓電振動(dòng)器1。因而，能夠提高生產(chǎn)率，因此是優(yōu)選的。其后，進(jìn)行內(nèi)部的電特性檢查(SllO)。即，測(cè)定壓電振動(dòng)片4的諧振頻率、諧振電阻值、驅(qū)動(dòng)電平特性(諧振頻率及諧振電阻值的激振電力依賴性)等并加以核對(duì)。此外，將絕緣電阻特性等一并核對(duì)。并且，最后進(jìn)行壓電振動(dòng)器1的外觀檢查，對(duì)尺寸或質(zhì)量等進(jìn)行最終核對(duì)。由此結(jié)束壓電振動(dòng)器1的制造。特別是，由于具備吸氣材料34由鉻構(gòu)成的基底層34a，能夠發(fā)揮較高的耐蝕性。 即，在耐蝕性方面鉻比鋁更加優(yōu)良，因此與用鋁形成的以往情況相比，能夠進(jìn)一步提高吸氣材料34的耐蝕性。因此，即便在高濕度的環(huán)境下使用該壓電振動(dòng)器1，吸氣材料34也難以腐蝕。因而，很難招致腐蝕引起的質(zhì)量降低或特性變化。因此，能夠提高動(dòng)作的可靠性。而且，鉻不僅耐蝕性優(yōu)良，而且容易與氧結(jié)合，因此在進(jìn)行吸氣工序之際，吸氣材料34被加熱而蒸發(fā)時(shí)容易吸收主要由氧構(gòu)成的空腔C內(nèi)的氣體，吸氣效果較高。即，能夠期待與用鋁形成的以往的吸氣材料同等或其以上的吸氣效果。因此，依然能在短時(shí)間內(nèi)提高空腔C內(nèi)的真空度，因此能夠有效率地制造壓電振動(dòng)器1。此外，吸氣材料34不形成在壓電振動(dòng)片4，而形成在基底基板用圓片40 (基底基板 2)。因而，在進(jìn)行吸氣工序之際，用激光等加熱吸氣材料34，也不會(huì)對(duì)壓電振動(dòng)片4產(chǎn)生加熱導(dǎo)致的影響。因而，不會(huì)對(duì)壓電振動(dòng)片4提供加熱導(dǎo)致的負(fù)荷。因此，不會(huì)對(duì)壓電振動(dòng)器 1的質(zhì)量或特性產(chǎn)生任何影響，所以能夠謀求壓電振動(dòng)器1的高質(zhì)量化。接著，參照?qǐng)D14，對(duì)本發(fā)明的振蕩器的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式的振蕩器100如圖14所示，構(gòu)成為將壓電振動(dòng)器1電連接至集成電路 101的振子。該振蕩器100具備安裝了電容器等的電子部件102的基板103。在基板103 安裝有振蕩器用的上述集成電路101，在該集成電路101的附近安裝有壓電振動(dòng)器1。這些電子部件102、集成電路101及壓電振動(dòng)器1通過(guò)未圖示的布線圖案分別電連接。此外，各構(gòu)成部件通過(guò)未圖示的樹脂來(lái)模制(mould)。在這樣構(gòu)成的振蕩器100中，對(duì)壓電振動(dòng)器1施加電壓時(shí)，該壓電振動(dòng)器1內(nèi)的壓電振動(dòng)片4振動(dòng)。通過(guò)壓電振動(dòng)片4所具有的壓電特性，將該振動(dòng)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，以電信號(hào)方式輸入至集成電路101。通過(guò)集成電路101對(duì)輸入的電信號(hào)進(jìn)行各種處理，以頻率信號(hào)的方式輸出。從而，壓電振動(dòng)器1作為振子起作用。此外，根據(jù)需求有選擇地設(shè)定集成電路101的結(jié)構(gòu)，例如RTC(實(shí)時(shí)時(shí)鐘)模塊等， 能夠附加鐘表用單功能振蕩器等的功能之外，還能附加控制該設(shè)備或外部設(shè)備的工作日期或時(shí)刻，或者提供時(shí)刻或日歷等的功能。如上所述，依據(jù)本實(shí)施方式的振蕩器100，由于具備提高了動(dòng)作的可靠性且高質(zhì)量的壓電振動(dòng)器1，所以振蕩器100本身也同樣提高動(dòng)作的可靠性而能謀求高質(zhì)量化。而且除此以外，能夠長(zhǎng)期得到穩(wěn)定的高精度的頻率信號(hào)。接著，參照?qǐng)D15，就本發(fā)明的電子設(shè)備的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。此外作為電子設(shè)備，舉例說(shuō)明了具有上述壓電振動(dòng)器1的便攜信息設(shè)備110。最初本實(shí)施方式的便攜信息設(shè)備110為例如以便攜電話為首的，發(fā)展并改良了現(xiàn)有技術(shù)中的手表的設(shè)備。是這樣的設(shè)備外觀類似于手表，在相當(dāng)于文字盤的部分配置液晶顯示器，能夠在該畫面上顯示當(dāng)前的時(shí)刻等。此外，在用作通信機(jī)時(shí)，從手腕取下，通過(guò)內(nèi)置于帶的內(nèi)側(cè)部分的揚(yáng)聲器及麥克風(fēng)，可進(jìn)行與現(xiàn)有技術(shù)的便攜電話同樣的通信。但是，與現(xiàn)有的便攜電話相比，明顯小型且輕量。下面，對(duì)本實(shí)施方式的便攜信息設(shè)備110的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。如圖15所示，該便攜信息設(shè)備110具備壓電振動(dòng)器1和供電用的電源部111。電源部111例如由鋰二次電池構(gòu)成。該電源部111上并聯(lián)連接有進(jìn)行各種控制的控制部112、進(jìn)行時(shí)刻等的計(jì)數(shù)的計(jì)時(shí)部 113、與外部進(jìn)行通信的通信部114、顯示各種信息的顯示部115、和檢測(cè)各功能部的電壓的電壓檢測(cè)部116。而且，通過(guò)電源部111來(lái)對(duì)各功能部供電?？刂撇?12控制各功能部，進(jìn)行聲音數(shù)據(jù)的發(fā)送及接收、當(dāng)前時(shí)刻的測(cè)量或顯示等的整個(gè)系統(tǒng)的動(dòng)作控制。此外，控制部112具備預(yù)先寫入程序的ROM、讀取寫入到該ROM 的程序并執(zhí)行的CPU、和作為該CPU的工作區(qū)使用的RAM等。計(jì)時(shí)部113具備內(nèi)置了振蕩電路、寄存器電路、計(jì)數(shù)器電路及接口電路等的集成電路和壓電振動(dòng)器1。對(duì)壓電振動(dòng)器1施加電壓時(shí)壓電振動(dòng)片4振動(dòng)，通過(guò)水晶所具有的壓電特性，該振動(dòng)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，以電信號(hào)的方式輸入到振蕩電路。振蕩電路的輸出被二值化，通過(guò)寄存器電路和計(jì)數(shù)器電路來(lái)計(jì)數(shù)。然后，通過(guò)接口電路，與控制部112進(jìn)行信號(hào)的發(fā)送與接收，在顯示部115顯示當(dāng)前時(shí)刻或當(dāng)前日期或者日歷信息等。通信部114具有與現(xiàn)有的便攜電話相同的功能，具備無(wú)線電部117、聲音處理部 118、切換部119、放大部120、聲音輸入/輸出部121、電話號(hào)碼輸入部122、來(lái)電音發(fā)生部 123及呼叫控制存儲(chǔ)器部124。通過(guò)天線125，無(wú)線電部117與基站進(jìn)行收發(fā)信息的聲音數(shù)據(jù)等各種數(shù)據(jù)的交換。 聲音處理部118對(duì)從無(wú)線電部117或放大部120輸入的聲音信號(hào)進(jìn)行編碼及解碼。放大部 120將從聲音處理部118或聲音輸入/輸出部121輸入的信號(hào)放大到既定電平。聲音輸入 /輸出部121由揚(yáng)聲器或麥克風(fēng)等構(gòu)成，擴(kuò)大來(lái)電音或受話聲音，或者將聲音集音。此外，來(lái)電音發(fā)生部123響應(yīng)來(lái)自基站的呼叫而生成來(lái)電音。切換部119僅在來(lái)電時(shí)，通過(guò)將連接在聲音處理部118的放大部120切換到來(lái)電音發(fā)生部123，在來(lái)電音發(fā)生部123中生成的來(lái)電音經(jīng)由放大部120輸出至聲音輸入/輸出部121。此外，呼叫控制存儲(chǔ)器部IM存放與通信的呼叫及來(lái)電控制相關(guān)的程序。此外，電話號(hào)碼輸入部122具備例如0至9的號(hào)碼鍵及其它鍵，通過(guò)按壓這些號(hào)碼鍵等，輸入通話目的地的電話號(hào)碼等。電壓檢測(cè)部116在通過(guò)電源部111對(duì)控制部112等的各功能部施加的電壓小于既定值時(shí)，檢測(cè)其電壓降后通知控制部112。這時(shí)的既定電壓值是作為使通信部114穩(wěn)定動(dòng)作所需的最低限的電壓而預(yù)先設(shè)定的值，例如，3V左右。從電壓檢測(cè)部116收到電壓降的通知的控制部112禁止無(wú)線電部117、聲音處理部118、切換部119及來(lái)電音發(fā)生部123的動(dòng)作。 特別是，停止耗電較大的無(wú)線電部117的動(dòng)作是必需的。而且，顯示部115顯示通信部114 由于電池余量的不足而不能使用的提示。S卩，通過(guò)電壓檢測(cè)部116和控制部112，能夠禁止通信部114的動(dòng)作，并在顯示部 115做提示。該提示可為文字消息，但作為更加直接的提示，在顯示部115的顯示畫面的頂部顯示的電話圖像上打“ X (叉)”標(biāo)記也可。此外，通過(guò)具備能夠有選擇地截?cái)嗯c通信部114的功能相關(guān)的部分的電源的電源截?cái)嗖?26，能夠更加可靠地停止通信部114的功能。如上所述，依據(jù)本實(shí)施方式的便攜信息設(shè)備110，由于具備提高了動(dòng)作的可靠性且高質(zhì)量的壓電振動(dòng)器1，所以便攜信息設(shè)備本身也同樣提高動(dòng)作的可靠性而能謀求高質(zhì)量化。而且除此以外，能夠長(zhǎng)期顯示穩(wěn)定的高精度的時(shí)鐘信息。接著，參照?qǐng)D16，就本發(fā)明的電波鐘的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。如圖16所示，本實(shí)施方式的電波鐘130具備電連接到濾波部131的壓電振動(dòng)器 1，是接收包含時(shí)鐘信息的標(biāo)準(zhǔn)電波，并具有自動(dòng)修正為正確的時(shí)刻并加以顯示的功能的鐘表。在日本國(guó)內(nèi)，在福島縣(40kHz)和佐賀縣(60kHz)有發(fā)送標(biāo)準(zhǔn)電波的發(fā)送站(發(fā)送局)，分別發(fā)送標(biāo)準(zhǔn)電波。40kHz或60kHz這樣的長(zhǎng)波兼有沿地表傳播的性質(zhì)和在電離層和地表邊反射邊傳播的性質(zhì)，因此其傳播范圍寬，且由上述的兩個(gè)發(fā)送站覆蓋整個(gè)日本國(guó)內(nèi)。以下，對(duì)電波鐘130的功能性結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。天線132接收40kHz或60kHz長(zhǎng)波的標(biāo)準(zhǔn)電波。長(zhǎng)波的標(biāo)準(zhǔn)電波是將稱為定時(shí)碼的時(shí)刻信息AM調(diào)制為40kHz或60kHz的載波的電波。接收的長(zhǎng)波的標(biāo)準(zhǔn)電波通過(guò)放大器 133放大，通過(guò)具有多個(gè)壓電振動(dòng)器1的濾波部131來(lái)濾波并調(diào)諧。本實(shí)施方式中的壓電振動(dòng)器1分別具備與上述載波頻率相同的40kHz及60kHz的諧振頻率的水晶振動(dòng)器部138、139。而且，濾波后的既定頻率的信號(hào)通過(guò)檢波、整流電路134來(lái)檢波并解調(diào)。接著，經(jīng)由波形整形電路135而抽出定時(shí)碼，由CPU136計(jì)數(shù)。在CPU136中，讀取當(dāng)前的年、累積日、 星期、時(shí)刻等的信息。被讀取的信息反映于RTC137，顯示出正確的時(shí)刻信息。載波為40kHz或60kHz，因此水晶振動(dòng)器部138、139優(yōu)選具有上述的音叉型結(jié)構(gòu)的振動(dòng)器。再者，以上以日本國(guó)內(nèi)為例進(jìn)行了說(shuō)明，但長(zhǎng)波的標(biāo)準(zhǔn)電波的頻率在海外是不同的。例如，在德國(guó)使用77. 5KHz的標(biāo)準(zhǔn)電波。因而，在便攜設(shè)備組裝也可以應(yīng)對(duì)海外的電波鐘130的情況下，還需要不同于日本的頻率的壓電振動(dòng)器1。如上所述，依據(jù)本實(shí)施方式的電波鐘130，由于具備提高了動(dòng)作的可靠性且高質(zhì)量的壓電振動(dòng)器1，所以電波鐘本身也同樣提高動(dòng)作的可靠性而能謀求高質(zhì)量化。而且除此以外，能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定地高精度計(jì)數(shù)時(shí)刻。此外，本發(fā)明的技術(shù)范圍并不局限于上述實(shí)施的方式，在不超出本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)可進(jìn)行各種變更。例如，在上述實(shí)施方式中，吸氣材料34形成在基底基板2 (基底基板用圓片40) 上，但是只要形成在空腔C內(nèi)，例如形成在蓋基板3 (蓋基板用圓片50)上即可，也可以形成在壓電振動(dòng)片4的表面。此外，在上述實(shí)施方式中，吸氣材料34以在平面圖中夾著壓電振動(dòng)片4而在兩側(cè)對(duì)置配置的方式形成兩個(gè)，但是，例如在平面圖中僅與壓電振動(dòng)片4的外側(cè)一方鄰接地形成也可。此外，在上述實(shí)施方式中，吸氣材料34具備基底層3 和精裝層34b，但是，例如僅用鉻的基底層3 形成也可。此外，作為吸氣材料34，也可以使用以鉻為主要成分的合金。
此外，在上述實(shí)施方式中，同時(shí)進(jìn)行吸氣材料形成工序與迂回電極形成工序，但是也可以在分別不同的定時(shí)進(jìn)行。此外，在上述實(shí)施方式中，作為壓電振動(dòng)片4的一個(gè)例子舉例說(shuō)明了在振動(dòng)腕部 IOUl的兩面形成有溝部18的帶溝的壓電振動(dòng)片4，但也可以是沒有溝部18的類型的壓電振動(dòng)片。但是，通過(guò)形成溝部18，能夠在對(duì)一對(duì)激振電極15施加既定電壓時(shí)，提高一對(duì)激振電極15間的電場(chǎng)效率，因此能夠進(jìn)一步抑制振動(dòng)損耗而進(jìn)一步提高振動(dòng)特性。即，能夠進(jìn)一步降低CI值(Crystal Impedance)，并能將壓電振動(dòng)片4進(jìn)一步高性能化。在這一點(diǎn)上，優(yōu)選形成溝部18。此外，在上述實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了音叉型壓電振動(dòng)片4，但并不限于音叉型。例如，間隙滑移型振動(dòng)片也可。此外，在上述實(shí)施方式中，通過(guò)接合膜35來(lái)陽(yáng)極接合了基底基板2與蓋基板3，但并不限于陽(yáng)極接合。但是，通過(guò)進(jìn)行陽(yáng)極接合，能夠?qū)苫?、3牢固地接合，因此是優(yōu)選的。此外，在上述實(shí)施方式中，凸點(diǎn)接合了壓電振動(dòng)片4，但并不限于凸點(diǎn)接合。例如， 用導(dǎo)電粘合劑來(lái)接合壓電振動(dòng)片4也可。但是，通過(guò)凸點(diǎn)接合，能夠使壓電振動(dòng)片4從基底基板2的上表面浮起，并能自然確保振動(dòng)所需的最低限的振動(dòng)間隙。因而，優(yōu)選凸點(diǎn)接合。此外，在不超出本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)，可以用眾所周知的構(gòu)成要素適當(dāng)?shù)靥鎿Q上述實(shí)施方式中的構(gòu)成要素，此外，也可以適當(dāng)組合上述的變形例。實(shí)施例接著，下面示出對(duì)本發(fā)明的壓電振動(dòng)器及現(xiàn)有的壓電振動(dòng)器分別施加既定電壓使之振動(dòng)，并測(cè)量與等效電阻值Re成比例關(guān)系的串聯(lián)諧振電阻值Rl (以下，簡(jiǎn)稱為Rl值)的結(jié)果。此外，如上所述，等效電阻值Re與空腔內(nèi)的真空度為反比例關(guān)系，因此Rl值也與空腔內(nèi)的真空度成反比例關(guān)系，Rl值越低，空腔內(nèi)的真空度就越高。在此，在進(jìn)行測(cè)量之際，作為本發(fā)明的壓電振動(dòng)器，采用吸氣材料只用鉻形成，且該吸氣材料的厚度為600人的部件。此外，作為現(xiàn)有的壓電振動(dòng)器，采用吸氣材料只用鋁形成，且該吸氣材料的厚度為1100人的部件。即，本發(fā)明的壓電振動(dòng)器的吸氣材料，采用厚度薄于現(xiàn)有的壓電振動(dòng)器的吸氣材料的部件。然后，對(duì)于本發(fā)明的壓電振動(dòng)器及現(xiàn)有的壓電振動(dòng)器，在該吸氣材料的結(jié)構(gòu)以外的方面上使條件一致，使各個(gè)壓電振動(dòng)器只吸氣相同的次數(shù)，比較吸氣前后的Rl值。在圖17的表中示出比較的結(jié)果。圖17的表是針對(duì)現(xiàn)有的壓電振動(dòng)器(Al (1100人
)及本發(fā)明的壓電振動(dòng)器(Cr( 600人))的各個(gè)壓電振動(dòng)器，示出吸氣前后的Rl值(吸氣前(ΚΩ) :A、吸氣后(ΚΩ) :B)，以及吸氣前后的Rl值的減少量(減少量(ΚΩ) :A_B)的表。依據(jù)該結(jié)果，確認(rèn)在本發(fā)明的壓電振動(dòng)器中，盡管吸氣材料的厚度薄于現(xiàn)有的壓電振動(dòng)器的吸氣材料的厚度，但吸氣前后的Rl值的減少量比以往大。即，確認(rèn)了通過(guò)用鉻形成吸氣材料，得到用鋁形成的以往情況以上的吸氣效果。
權(quán)利要求
1.一種壓電振動(dòng)器的制造方法，制造這樣的壓電振動(dòng)器，其包括互相接合并在其間形成有空腔的基底基板及蓋基板；形成在所述基底基板的下表面的外部電極；以收容于所述空腔內(nèi)的方式形成在所述基底基板的上表面的內(nèi)部電極；以貫通所述基底基板的方式形成并電連接所述外部電極與所述內(nèi)部電極的貫通電極；以與所述內(nèi)部電極電連接的狀態(tài)被收容于所述空腔內(nèi)的壓電振動(dòng)片；以及形成在所述空腔內(nèi)的吸氣材料，所述制造方法的特征在于，所述吸氣材料由鉻或以鉻為主要成分的金屬材料形成。
2.如權(quán)利要求1所述的壓電振動(dòng)器的制造方法，其中在所述基底基板的上表面形成所述吸氣材料。
3.如權(quán)利要求2所述的壓電振動(dòng)器的制造方法，其中用與所述吸氣材料相同的材料， 與所述吸氣材料同時(shí)形成所述內(nèi)部電極。
4.一種壓電振動(dòng)器，其中包括互相接合并且在其間形成有空腔的基底基板及蓋基板； 形成在所述基底基板的下表面的外部電極；以收容于所述空腔內(nèi)的方式形成在所述基底基板的上表面的內(nèi)部電極；以貫通所述基底基板的方式形成并且電連接所述外部電極和所述內(nèi)部電極的貫通電極；以與所述內(nèi)部電極電連接的狀態(tài)被收容于所述空腔內(nèi)的壓電振動(dòng)片；以及用鉻或以鉻為主要成分的金屬材料形成在所述空腔內(nèi)的吸氣材料。
5.如權(quán)利要求4所述的壓電振動(dòng)器，其中所述吸氣材料形成在所述基底基板的上表
6.如權(quán)利要求5所述的壓電振動(dòng)器，其中用與所述吸氣材料相同的材料，與所述吸氣材料同時(shí)形成所述內(nèi)部電極。
7.一種振蕩器，其特征在于使權(quán)利要求4至6中任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)器，作為振子與集成電路電連接。
8.一種電子設(shè)備，其特征在于使權(quán)利要求4至6中任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)器，與計(jì)時(shí)部電連接。
9.一種電波鐘，其特征在于使權(quán)利要求4至6中任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)器，與濾波部電連接。
全文摘要
本發(fā)明的壓電振動(dòng)器，其中包括互相接合并在其間形成有空腔的基底基板及蓋基板；形成在基底基板的下表面的外部電極；以收容于空腔內(nèi)的方式形成在基底基板的上表面的內(nèi)部電極；以貫通基底基板的方式形成并電連接外部電極和內(nèi)部電極的貫通電極；以與內(nèi)部電極電連接的狀態(tài)被收容于空腔內(nèi)的壓電振動(dòng)片；以及用鉻或以鉻為主要成分的金屬材料形成在空腔內(nèi)的吸氣材料。
文檔編號(hào)H03H9/215GK102204090SQ20088013192
公開日2011年9月28日 申請(qǐng)日期2008年8月27日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月27日
發(fā)明者福田純也 申請(qǐng)人:精工電子有限公司