專(zhuān)利名稱(chēng)：壓電振動(dòng)片以及制造壓電振動(dòng)片的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及由石英、鉭酸鋰或類(lèi)似的壓電材料制成的壓電振動(dòng) 片、具有壓電振動(dòng)片的壓電振動(dòng)器、振蕩器、電子裝置和具有壓電振 動(dòng)器的無(wú)線電波計(jì)時(shí)器以及制造壓電振動(dòng)片的方法。
背景技術(shù)：
最近幾年中，手提電話或手提信息設(shè)備使用利用石英或其類(lèi)似的 壓電振動(dòng)器作為時(shí)間源、控制信號(hào)的定時(shí)源或基準(zhǔn)信號(hào)源或類(lèi)似的。 提供了各種不同的作為這種壓電振動(dòng)器，已知將壓電振動(dòng)片密封在圓 柱形狀的殼體內(nèi)的圓柱封裝類(lèi)型的壓電振動(dòng)器作為其中 一種。
如圖40所示，壓電振動(dòng)器200包括音叉類(lèi)型的壓電振動(dòng)片201、 其內(nèi)包含壓電振動(dòng)片201的圓柱形底面形狀的殼體202，以及將壓電 振動(dòng)片201密封在殼體202內(nèi)部的氣密端子203。
壓電振動(dòng)片201是由各種不同壓電材料形成的音叉類(lèi)型的振動(dòng) 片，并且包括壓電板212和在壓電板212的外表面上形成的、沒(méi)有示 出的電極，壓電板212由成對(duì)的平行^沒(méi)置的振動(dòng)臂部分210和一體式 固定在該對(duì)振動(dòng)臂部分210的基端側(cè)的基部211構(gòu)成。
此外，該電極由在該對(duì)振動(dòng)臂部分210的外表面上形成的用于橫_ 該對(duì)振動(dòng)臂部分210振動(dòng)的激發(fā)電極，和在基部211的外表面上形成 的通過(guò)引出電極與激發(fā)電極電連接的裝配電極構(gòu)成。
氣密端子203是由金屬材料形成的環(huán)狀的芯柱215、兩片設(shè)置成 穿過(guò)芯柱215的引出端子216,以及將引出端子216和芯柱215 —體 式固定使其處于隔絕狀態(tài)用于密封殼體202內(nèi)部的填充部分217構(gòu) 成。2件引出端子216的伸入殼體202的內(nèi)部、支撐壓電板212并且 與裝配電極連接的部分是用于構(gòu)成內(nèi)部引線216a，以及其伸出殼體 202的外部的部分是用于構(gòu)成外引線216b。此外，外部引線216b是 用于起外部連接端子的作用。
此外，殼體202被壓合以適合固定在芯柱215的外壁。殼體202 在真空氣氛中壓合，因此，殼體202內(nèi)部壓電振動(dòng)片201周?chē)目臻g 是密封保持在真空中的狀態(tài)。
根據(jù)這樣構(gòu)成的壓電振動(dòng)器200,當(dāng)分別施加驅(qū)動(dòng)電壓到2件引 出端子216的外引線216b上時(shí)，產(chǎn)生從內(nèi)部引出端子216a通過(guò)裝配 電極流向壓電振動(dòng)片201的電流。因而，壓電振動(dòng)片201以預(yù)定的頻 率振蕩。
同時(shí)，在最近幾年中，如以手提電話或類(lèi)似的為代表，包括壓電 振動(dòng)器的各種不同電子裝置的結(jié)構(gòu)小型化取得進(jìn)展。因此，同樣關(guān)于 壓電振動(dòng)器，要求進(jìn)一步小型化的結(jié)構(gòu)。
特別地，在基板與蓋板之間含有壓電振動(dòng)片的封裝類(lèi)型(玻璃封 裝、陶瓷封裝或類(lèi)似的)的表面裝配類(lèi)型的壓電振動(dòng)器中、或在模塑 類(lèi)型(上述圓柱封裝型的壓電振動(dòng)器由樹(shù)脂模塑成型)的表面裝配類(lèi) 型(認(rèn)為其裝配面積大于該類(lèi)型壓電振動(dòng)器裝配面積)的壓電振動(dòng)器 中，使得能夠有效縮短總長(zhǎng)度以實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)小型化。這是因?yàn)橥ㄟ^(guò)縮短 總長(zhǎng)度，可以減小裝配面積，其可以相對(duì)容易地總的達(dá)到小型化的結(jié) 構(gòu)。
因此，同樣關(guān)于音叉類(lèi)型的壓電振動(dòng)片，要求通過(guò)縮短總長(zhǎng)度實(shí) 現(xiàn)結(jié)構(gòu)小型化。
同時(shí)，為了縮短音叉類(lèi)型壓電振動(dòng)片的總長(zhǎng)度，縮短振動(dòng)臂部分 或基部的長(zhǎng)度是有效的。然而，當(dāng)振動(dòng)臂部分的長(zhǎng)度標(biāo)為L(zhǎng)并且振動(dòng) 臂部分的寬度標(biāo)為W，音叉類(lèi)型的壓電振動(dòng)片的頻率F與W/l/成比 例。因此，當(dāng)振動(dòng)臂部分的長(zhǎng)度縮短時(shí)，為了保持相同的頻率F,振 動(dòng)臂部分的寬度的減小必須要大于振動(dòng)臂部分的長(zhǎng)度的減小。因此，必然存在加工的限制，并且存在通過(guò)振動(dòng)臂部分的長(zhǎng)度實(shí)現(xiàn)壓電振動(dòng) 片結(jié)構(gòu)小型化的限制。
此外，作為通過(guò)減小CI值(晶體阻抗)來(lái)抑制振動(dòng)損耗的設(shè)備， 已知通過(guò)在振動(dòng)臂部分的兩面上形成凹槽部分構(gòu)成H型截面的振動(dòng) 臂部分。根據(jù)這個(gè)方法，盡管與不形成凹槽部分的情況相比振動(dòng)臂部 分的寬度減小的比率可以減小，但是這個(gè)方法不是作為總體達(dá)到進(jìn)一 步結(jié)構(gòu)小型化的壓電振動(dòng)片的有效方法。
在另一方面，盡管音叉類(lèi)型的壓電振動(dòng)片的總長(zhǎng)度可以通過(guò)縮短 基部的長(zhǎng)度來(lái)縮短，但是會(huì)引起下文說(shuō)明的缺點(diǎn)。
即，當(dāng)基部的長(zhǎng)度縮短時(shí)，振動(dòng)臂部分的振動(dòng)容易不穩(wěn)定并且要
考慮引起通過(guò)基部的(振動(dòng)能量耗散)振動(dòng)耗散，以及CI值變得不 穩(wěn)定。
因此，作為減小振動(dòng)耗散的措施，提出在基部形成切口部分(參 考專(zhuān)利參考1 )
專(zhuān)利參考l: JP-A-2002-261575
然而，當(dāng)切口部分在基部形成時(shí)，盡管與沒(méi)有形成切口部分的情 況相比可以減小振動(dòng)耗散，但與基部的寬度是長(zhǎng)的情況相比引起的振 動(dòng)耗散還是相當(dāng)大的。因此，不認(rèn)為它能實(shí)際上有效縮短基部的長(zhǎng)度。
發(fā)明內(nèi)容
考慮到這樣的情況實(shí)施了本發(fā)明，并且其目標(biāo)是提供在確保基部 的長(zhǎng)度能夠充分減小振動(dòng)耗散后能夠通過(guò)縮短總長(zhǎng)度實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)小型 化的壓電振動(dòng)片，以及制造此壓電振動(dòng)片的制造壓電振動(dòng)片的方法。
電振動(dòng)器的振蕩器、電子裝置和無(wú)線電波計(jì)時(shí)器。 本發(fā)明為了解決所述問(wèn)題提供下列方法。
根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)片包括壓電板、激發(fā)電極以及裝配電^L 對(duì)。該壓電板包括成對(duì)的、相互平行設(shè)置的、處于從基端到前端的方向上延伸的狀態(tài)的振動(dòng)臂部分，和具有在基端到前端的中間位置處分 別與該對(duì)振動(dòng)臂部分連接的連接部分并且通過(guò)該連4秦部分一體式支 撐該對(duì)振動(dòng)臂部分的基部。激發(fā)電極分別在該對(duì)振動(dòng)臂部分的外表面 上形成以用于當(dāng)向其施加驅(qū)動(dòng)電壓時(shí)使該對(duì)振動(dòng)臂部分振動(dòng)。該裝配 電極對(duì)在基部的外表面上形成并且分別與激發(fā)電極對(duì)電連接，其中基 部設(shè)置成其在至少一部分處位于振動(dòng)臂部分對(duì)之間。
的晶圓 一次制造多個(gè)壓電振動(dòng)片的方法，這種方法包括在晶圓處通過(guò) 使用光刻技術(shù)刻蝕晶圓來(lái)形成多個(gè)壓電板的外部形狀的外部形狀形 成步驟、通過(guò)圖案化多個(gè)壓電板的外表面上的電極薄膜在多個(gè)壓電板 的外表面上形成激發(fā)電極和在基部的外表面上形成分別與激發(fā)電極 對(duì)電連接的裝配電極對(duì)的電極形成步驟，以及切割以將多個(gè)壓電板從 晶圓上分離成片的切割步驟，其中在外部形狀的形成步驟，形成壓電 板的外部形狀使基部的至少一部分位于振動(dòng)臂部分對(duì)之間。每個(gè)壓電 板具有成對(duì)的、相互平行設(shè)置、處于在從其基端到前端的方向上延伸 的狀態(tài)的振動(dòng)臂部分和通過(guò)分別在基端到前端的中間位置處與振動(dòng) 臂部分對(duì)連接的連接部分來(lái)一體式支撐振動(dòng)臂部分對(duì)的基部。激發(fā)電 極用于當(dāng)向其施加驅(qū)動(dòng)電壓時(shí)使振動(dòng)臂部分對(duì)振動(dòng)。
在根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)片和制造壓電振動(dòng)片的方法中，首先， 通過(guò)使用光刻技術(shù)蝕刻石英或類(lèi)似的壓電材料做成的晶圓實(shí)施在晶
圓形成多個(gè)壓電板的外部形狀的外部形狀形成步驟。在這個(gè)時(shí)候，形 成外部形狀以由相互平行設(shè)置的振動(dòng)臂部分對(duì)以及通過(guò)分別在基端
到前端的中間位置處與振動(dòng)臂部分對(duì)連接的連接部分來(lái)一體式支撐 振動(dòng)臂部分對(duì)的基部來(lái)構(gòu)成壓電板。特別地，形成外部形狀使基部的 至少一部分位于振動(dòng)臂部分對(duì)之間。
接著，通過(guò)圖案化多個(gè)壓電板的外表面上的電極薄膜實(shí)施形成激 發(fā)電極對(duì)和裝配電極對(duì)的電極形成步驟。在這個(gè)時(shí)候，實(shí)施形成圖案 使激發(fā)電極對(duì)在振動(dòng)臂部分對(duì)的外表面上形成并且裝配電極對(duì)在基部的外表面上形成。
此外，實(shí)施切割以將多個(gè)壓電板從晶圓上分離成片的切割步驟。 從而，多個(gè)音叉類(lèi)型的壓電振動(dòng)片可以從單片晶圓 一次制造出。
特別地，與支撐振動(dòng)臂部分基端側(cè)的背景技術(shù)不同，支撐振動(dòng)臂 部分對(duì)的基部通過(guò)連接部分支撐振動(dòng)臂部分的中間位置。此外，基部 被設(shè)置成使至少該部分位于振動(dòng)臂部分對(duì)之間。因此，總長(zhǎng)度可以縮 短基部位于振動(dòng)臂部分對(duì)之間的長(zhǎng)度的量。
即，在背景技術(shù)中，基部支撐振動(dòng)臂部分對(duì)的基端側(cè)，因此，總 長(zhǎng)度由振動(dòng)臂部分的長(zhǎng)度和基部的長(zhǎng)度相加構(gòu)成。然而，如上文說(shuō)明 的，由于基部的至少一部分被設(shè)置成位于振動(dòng)臂部分對(duì)之間，因此， 即使當(dāng)這個(gè)基部的長(zhǎng)度與背景技術(shù)的相同，總長(zhǎng)度也可以縮短。
因此，結(jié)構(gòu)小型化可以通過(guò)縮短壓電振動(dòng)片的總長(zhǎng)度實(shí)現(xiàn)。此外， 縮短基部的長(zhǎng)度不是必需的，因此，可以保持振動(dòng)耗散充分減小的狀 態(tài)。
這樣，結(jié)構(gòu)小型化可以在確?；康拈L(zhǎng)度能夠充分減小振動(dòng)耗散 后通過(guò)縮短總長(zhǎng)度實(shí)現(xiàn)。
此外，根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)片，在上文說(shuō)明的本發(fā)明的壓電振 動(dòng)片中，連接部分連接到振動(dòng)臂部分長(zhǎng)度方向上的重心位置。
此外，根據(jù)本發(fā)明制造壓電振動(dòng)片的方法，在外部形狀形成步驟 中，形成壓電板的外部形狀使連接部分連接到振動(dòng)臂部分的長(zhǎng)度方向 上的重心位置。
在根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)片和制造壓電片的方法中，基部通過(guò)連 接部分支撐振動(dòng)臂部分長(zhǎng)度方向上的重心位置，因此，當(dāng)使振動(dòng)臂部 分對(duì)振動(dòng)時(shí)，在以連接部分為中心的基端側(cè)和前端側(cè)的搖擺變得一 致，并且振動(dòng)臂部分可以穩(wěn)定振動(dòng)而不偏轉(zhuǎn)。因此，可以持續(xù)保持振 動(dòng)狀態(tài)在長(zhǎng)時(shí)間段內(nèi)穩(wěn)定并且可以實(shí)現(xiàn)高性能的結(jié)構(gòu)。
此外，根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)片，在上文說(shuō)明的本發(fā)明的壓電振 動(dòng)片中，形成激發(fā)電極對(duì)的圖案使得其在振動(dòng)臂部分的以連接部分構(gòu)成分界線的基端側(cè)和前端側(cè)處的極性相反。
此外，根據(jù)本發(fā)明制造壓電振動(dòng)片的方法，在上文說(shuō)明的本發(fā)明 制造壓電振動(dòng)片的方法中，在電極形成步驟，形成激發(fā)電極對(duì)使得其 在振動(dòng)臂部分的以連接部分構(gòu)成分界線的基端側(cè)和前端側(cè)處的極性 相反。
在根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)片和制造壓電振動(dòng)片的方法中，形成激 發(fā)電極對(duì)使得其在振動(dòng)臂部分的以連接部分構(gòu)成分界線的基端側(cè)和 前端側(cè)處的極性相反，因此，當(dāng)向其施加驅(qū)動(dòng)電壓時(shí)，使振動(dòng)臂部分 l展動(dòng)同時(shí)在相反方向彎曲前端側(cè)和基端側(cè)。即，通過(guò)以連接部分構(gòu)成 分界線的相反彎曲方向的振動(dòng)模式使振動(dòng)臂部分振動(dòng)。因此，可以分 別使振動(dòng)臂部分對(duì)振動(dòng)來(lái)以連接部分構(gòu)成基點(diǎn)來(lái)轉(zhuǎn)動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)片，在上文說(shuō)明的本發(fā)明的壓電振動(dòng)片 中，振動(dòng)臂部分對(duì)分別形成有在其兩個(gè)面的沿長(zhǎng)度方向凹槽部分。
此外，根據(jù)本發(fā)明制造壓電振動(dòng)片的方法，在上文說(shuō)明的本發(fā)明 制造壓電振動(dòng)片的方法中，在外部形狀形成步驟中，振動(dòng)臂部分對(duì)的 兩個(gè)面分別形成有沿長(zhǎng)度方向的凹槽部分。
在根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)片和制造壓電振動(dòng)片的方法中，凹槽部 分分別在振動(dòng)臂部分對(duì)的兩個(gè)面上形成，因此，當(dāng)施加驅(qū)動(dòng)電壓時(shí)， 可以增加激發(fā)電極對(duì)之間的場(chǎng)效率。因此，振動(dòng)耗散可以受到抑制并
且振動(dòng)特性可以得到提升。因此，可以減小CI值(晶體阻抗)和諧
振頻率并且可以實(shí)現(xiàn)形成高性能的壓電振動(dòng)片。
此外，根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)片，在上文說(shuō)明的本發(fā)明的壓電振 動(dòng)片中，振動(dòng)臂部分對(duì)形成有沿長(zhǎng)度方向的穿過(guò)其兩個(gè)面的通孔。
此外，根據(jù)本發(fā)明制造壓電振動(dòng)片的方法，在上文說(shuō)明的制造壓 電振動(dòng)片的方法中，在外部形狀形成步驟中，振動(dòng)臂部分對(duì)形成有沿 長(zhǎng)度方向的穿過(guò)其兩個(gè)面的通孔。
在根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)片和制造壓電振動(dòng)片的方法中，振動(dòng)臂 部分對(duì)分別形成有通孔，因此，當(dāng)向其施加驅(qū)動(dòng)電壓時(shí)，可以最大限度地增加激發(fā)電極對(duì)之間的場(chǎng)效率。因此，振動(dòng)耗散可以有效地受到 抑制并且使得振動(dòng)特性可以非常好。因此，可以充分地使CI值(晶 體阻抗)和諧振頻率降低并且可以實(shí)現(xiàn)形成進(jìn)一步高性能的壓電振動(dòng) 片。
此外，根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)片，在上文說(shuō)明的本發(fā)明的壓電振
部分的寬度方向凸出的增強(qiáng)部分。
此外，根據(jù)本發(fā)明制造壓電振動(dòng)片的方法，在上文說(shuō)明的本發(fā)明 制造壓電振動(dòng)片的方法中，在外部形狀形成步驟中，振動(dòng)臂部分的側(cè) 面在至少形成通孔的區(qū)域上形成有在振動(dòng)臂部分的寬度方向凸出的 增強(qiáng)部分。
在根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)片和制造壓電振動(dòng)片的方法中，振動(dòng)臂 部分的側(cè)面形成有在振動(dòng)臂部分的寬度方向凸出的增強(qiáng)部分，因此， 即使當(dāng)在振動(dòng)臂部分形成通孔時(shí)，可以補(bǔ)償由通孔降低的剛度。特別 地，增強(qiáng)部分在至少形成通孔的區(qū)域上形成，因此，其寬度被通孔變 窄的部分可以得到增強(qiáng)。因此，可以使振動(dòng)臂部分對(duì)振動(dòng)而不會(huì)引起 彎曲、變形或類(lèi)似的。
此外，根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)器包括本發(fā)明的壓電振動(dòng)片。
在根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)器中，提供上文說(shuō)明的壓電振動(dòng)片，因 此，結(jié)構(gòu)小型化可以通過(guò)超過(guò)背景技術(shù)地縮短總長(zhǎng)度實(shí)現(xiàn)并且可以解 決結(jié)構(gòu)小型化的需要。此外，構(gòu)成振動(dòng)耗散充分減小的壓電振動(dòng)片， 因此，可以構(gòu)成提升可靠性的高質(zhì)量壓電振動(dòng)器。
此外，根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)器還包括其上表面裝配壓電振動(dòng)片 的基板、與基板接合并處于將裝配的壓電振動(dòng)片包含在腔體內(nèi)的狀態(tài)
壓電振動(dòng)器中裝配的壓電振動(dòng)片的裝配電極對(duì)電連接的外部電極對(duì)。
在本發(fā)明的壓電振動(dòng)器中，壓電振動(dòng)片包含在相互接合的基板和 蓋板之間形成的腔體的內(nèi)部。在這個(gè)時(shí)候，壓電振動(dòng)片裝配基板的上表面上處于與外部電極對(duì)電連接的狀態(tài)。從而，通過(guò)向外部電極對(duì)施 加驅(qū)動(dòng)電壓，電壓可以;故施加在裝配電極對(duì)上，因此，可以使振動(dòng)臂 部分對(duì)振動(dòng)。
特別地，可以構(gòu)成將壓電振動(dòng)片密封在腔體內(nèi)的表面裝配類(lèi)型的 封裝類(lèi)型的壓電振動(dòng)器，因此，可以使壓電振動(dòng)片振動(dòng)而不被灰塵和 塵土或類(lèi)似的東西影響，壓電振動(dòng)片可以振動(dòng)得更精確。另外，由于 表面裝配類(lèi)型，裝配可以很容易實(shí)施并且裝配后的穩(wěn)定性非常好。
此外，根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)器還包括殼體，其內(nèi)部包含壓電振
動(dòng)片；以及
氣密端子，包括以環(huán)狀形成并且被壓合固定在殼體內(nèi)的芯柱、設(shè) 置成處于穿過(guò)芯柱的狀態(tài)的兩件引出端子，以及固定引出端子和芯柱
過(guò)使芯柱介于其間，該兩件引出端子的一端側(cè)構(gòu)成分別與裝配電極對(duì) 電連接的內(nèi)部引線，而其另一端側(cè)構(gòu)成分別與外部電連接的外部引線。
在根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)器中，壓電片包含在由氣密端子密封的 殼體的內(nèi)部。在這個(gè)時(shí)候，根據(jù)該壓電振動(dòng)片，裝配電極對(duì)裝配到引
2件引出端子的外部引線施加驅(qū)動(dòng)電壓，電壓可以施加到裝配電;^及對(duì) 上，因此，可以使振動(dòng)臂部分對(duì)振動(dòng)。
特別地，可以構(gòu)成將壓電振動(dòng)片密封在腔體內(nèi)的圓柱狀封裝類(lèi)型 的壓電振動(dòng)器，因此，可以使壓電振動(dòng)片振動(dòng)而不被灰塵和塵土或類(lèi) 似的東西影響，并且壓電振動(dòng)片可以振動(dòng)得更精確。
此外，根據(jù)本發(fā)明的振蕩器，壓電振動(dòng)器作為振蕩片與集成電路 電連接。
此外，根據(jù)本發(fā)明的電子裝置，壓電振動(dòng)器與計(jì)時(shí)部分電連接。 此外，根據(jù)本發(fā)明的無(wú)線電波計(jì)時(shí)器，壓電振動(dòng)器與濾波器部分 電連接。在根據(jù)本發(fā)明的振蕩器、電子裝置和無(wú)線電波計(jì)時(shí)器中，提供上 文說(shuō)明的壓電振動(dòng)器，因此，同樣可以實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)小型化并且可以實(shí)現(xiàn) 可靠性的提升和高質(zhì)量的結(jié)構(gòu)。
根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)片和制造壓電振動(dòng)片的方法，結(jié)構(gòu)小型化 可以在確保基部的長(zhǎng)度能夠充分減小振動(dòng)耗散后通過(guò)縮短總長(zhǎng)度實(shí) 現(xiàn)。
此外，根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)器、振蕩器、電子計(jì)時(shí)器以及無(wú)線 電波計(jì)時(shí)器，提供上文說(shuō)明的壓電振動(dòng)片，因此，同樣可以實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu) 小型化并且可以實(shí)現(xiàn)可靠性的提升和高質(zhì)量的結(jié)構(gòu)。
圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)器的實(shí)施例的外觀視圖； 圖2是圖1中示出的壓電振動(dòng)器的內(nèi)部部分的構(gòu)成圖并且是去除 蓋板從上面查看壓電振動(dòng)片的圖3是沿圖2中示出的線A-A截取的壓電振動(dòng)器的截面圖4是圖1中示出的壓電振動(dòng)器的分解透視圖5是從上表面查看圖1中示出的壓電振動(dòng)器的壓電振動(dòng)片的
圖6是從下表面查看圖5中示出的壓電振動(dòng)片的圖； 圖7是沿圖5中示出的線B-B截取的圖； 圖8是制造圖1中示出的壓電振動(dòng)器的流程圖； 圖9是圖8中示出的流程圖的延續(xù)；
圖IO是示出制造圖1中示出的壓電振動(dòng)器中一個(gè)步驟的圖并且 是示出在晶圓的兩個(gè)面上形成蝕刻保護(hù)薄膜的狀態(tài)的圖ll是示出從圖IO示出的狀態(tài)在蝕刻保護(hù)薄膜上形成壓電振動(dòng) 片的壓電板的外部形狀的圖案的狀態(tài)的圖12是沿圖11中示出的線C-C截取的圖13是示出從圖12示出的狀態(tài)通過(guò)蝕刻保護(hù)薄膜構(gòu)成的掩模進(jìn)行蝕刻來(lái)加工晶圓的狀態(tài)的圖14是示出從圖13示出的狀態(tài)進(jìn)一步在蝕刻保護(hù)薄膜上形成圖 案的狀態(tài)的圖15是示出通過(guò)再次形成圖案的蝕刻保護(hù)薄膜構(gòu)成的掩模進(jìn)行 蝕刻來(lái)加工晶圓的狀態(tài)的圖16是示出制造圖1中示出的壓電振動(dòng)器中一個(gè)步驟的圖并且 是示出為蓋板構(gòu)成蓋板的基底在晶圓形成多個(gè)凹陷部分的狀態(tài)的圖17是示出制造圖1中示出的壓電振動(dòng)器中一個(gè)步驟的圖并且 是示出為基板構(gòu)成基板的基底在晶圓形成通孔對(duì)的狀態(tài)的圖18是示出在圖17示出的狀態(tài)后形成進(jìn)入通孔對(duì)的通過(guò)電極并 且在基板的晶圓的上表面形成接合薄膜和繞引電極的圖案的圖19是示出當(dāng)圖1中示出的壓電振動(dòng)器運(yùn)作時(shí)振動(dòng)臂部分對(duì)的 動(dòng)作的圖20是示出根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)片的改進(jìn)的例子的圖并且是 從上面查看在振動(dòng)臂部分對(duì)形成有通孔的壓電振動(dòng)片的圖21是從下面查看圖20示出的壓電振動(dòng)片的圖22是沿圖20示出的線D-D截取的截面圖23是示出圖20中示出的壓電振動(dòng)片的改進(jìn)的例子的圖并且是 示出在振動(dòng)臂部分的兩側(cè)上形成有增強(qiáng)部分的壓電振動(dòng)片的圖24是沿圖23示出的線E-E截取的截面圖25是示出圖20中示出的壓電振動(dòng)片的改進(jìn)的例子的圖并且是 示出在振動(dòng)臂部分的一側(cè)(外側(cè))上形成有增強(qiáng)部分的壓電振動(dòng)片的 圖26是沿圖25示出的線F-F截取的截面圖27是示出圖20中示出的壓電振動(dòng)片的改進(jìn)的例子的圖并且是 示出在振動(dòng)臂部分的一側(cè)(內(nèi)側(cè))上形成有增強(qiáng)部分的壓電振動(dòng)片的 圖28是沿圖27示出的線H-H截取的截面圖；圖29是示出根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)器的改進(jìn)的例子的圖并且是
圓柱封裝類(lèi)型的壓電振動(dòng)器的頂視圖30是沿圖29示出的線J-J截取的截面圖31是制造圖29示出的壓電振動(dòng)器的流程圖32是示出根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)器的改進(jìn)的例子的圖并且是 由模塑樹(shù)脂部分^^莫塑成型圖29示出的壓電振動(dòng)器的周?chē)糠值谋砻?裝配類(lèi)型的壓電振動(dòng)器的截面圖33是示出連接圖32中示出的壓電振動(dòng)器和外部連接端子的關(guān) 系的透^見(jiàn)圖34是示出根據(jù)本發(fā)明的振蕩器的實(shí)施例的構(gòu)成圖； 圖35是示出根據(jù)本發(fā)明的電子裝置的實(shí)施例的構(gòu)成子的頂一見(jiàn)圖； 子的頂一見(jiàn)圖； 子的頂碎見(jiàn)圖40是示出背景技術(shù)壓電振動(dòng)器的例子的透視圖。
具體實(shí)施例方式
根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例將參考圖1到圖19說(shuō)明如下。此外，根據(jù) 這個(gè)實(shí)施例，通過(guò)舉表面裝配類(lèi)型的玻璃封裝類(lèi)型的壓電振動(dòng)器的例 子纟合出說(shuō)明。
如圖l到圖4所示，實(shí)施例的壓電振動(dòng)器l是以由基板3和蓋板 4兩層層疊的盒狀形成的壓電振動(dòng)器，并且其中壓電振動(dòng)片2包含在 其內(nèi)部部分的腔體C的里面。
此外，在圖4中，省略了后面提到的激發(fā)電極20、 21,引出電極24、 25,裝配電極22、 23以便于查看圖樣。
如圖5到圖7所示，壓電振動(dòng)片2包括由石英、鉭酸鋰、鈮酸鋰 或類(lèi)似的壓電材料形成的音叉類(lèi)型的壓電板10。
壓電板10包括成對(duì)的相互平行設(shè)置在從基端到前端的方向上延 伸的振動(dòng)臂部分ll、 12，和具有在從基端到前端的中間位置處分別與 該對(duì)"t展動(dòng)臂部分ll、 12連接的連接部分13a的、并且一體式用于通過(guò) 連接部分13a支撐該對(duì)振動(dòng)臂部分11、 12的基部13,。
該對(duì)振動(dòng)臂部分11、 12兩者都形成具有從基端到前端均勻的厚度 和寬度并且使得長(zhǎng)度方向的中心構(gòu)成重心位置G。此外，連接部分13a 與4展動(dòng)臂部分11、 12在重心位置G處連接。連接部分13a在被折疊 以在中部彎曲大致90度后與基部13的前端側(cè)連接。
基部13的至少一些部分被設(shè)置成位于該對(duì)振動(dòng)臂部分11、 12之 間。此外，根據(jù)這個(gè)實(shí)施例，采用的案例通過(guò)設(shè)計(jì)使得基部13全部 被設(shè)置成位于該對(duì)振動(dòng)臂部分11、 12之間并且基部13的基端側(cè)不躍 出振動(dòng)臂部分ll、 12的基端側(cè)。從而，壓電振動(dòng)片2的總長(zhǎng)度由振動(dòng) 臂部分11、 12的長(zhǎng)度構(gòu)成而不受基部13的長(zhǎng)度影響。
此外，在這個(gè)實(shí)施例中該對(duì)振動(dòng)臂部分11、 12的兩個(gè)面分別形成 有沿長(zhǎng)度方向的凹槽部分14。形成的凹槽部分14以重心位置G為中 心向振動(dòng)臂部分11、 12的基端和前端延伸相同的長(zhǎng)度。
如圖7所示，該對(duì)振動(dòng)臂部分ll、 12由以凹槽部分14的H形截 面構(gòu)成。
如圖5到圖7所示，該對(duì)激發(fā)電極20、 21和該對(duì)裝配電極22、 23在壓電板10的外表面上通過(guò)圖案化電極薄膜形成。該對(duì)激發(fā)電極 20、 21是當(dāng)向其施加驅(qū)動(dòng)電壓時(shí)使該對(duì)振動(dòng)臂部分11、 12振動(dòng)的、 并且在該對(duì)4展動(dòng)臂部分11、 12的外表面上形成的、處于#:電氣切斷以 相互分割的電極。
具體地，在4^動(dòng)臂部分11、 12的前端側(cè)， 一側(cè)的激發(fā)電極20主 要形成在一側(cè)振動(dòng)臂部分11的凹槽部分14并且在另一側(cè)振動(dòng)臂部分12的兩個(gè)側(cè)面上，而在另一側(cè)的激發(fā)電極21主要形成在一側(cè)振動(dòng)臂
部分11的兩個(gè)側(cè)面上并且在另一側(cè)振動(dòng)臂部分12的凹槽部分14。
此外，形成這個(gè)實(shí)施例的該對(duì)激發(fā)電極20、 21的圖案使得在振 動(dòng)臂部分11、 12的以連接部分13a構(gòu)成分界線的基端側(cè)和前端側(cè)處的 極性相反。因此，在振動(dòng)臂部分11、 12的基端側(cè)， 一側(cè)的激發(fā)電極 20主要形成在一側(cè)振動(dòng)臂部分11的兩個(gè)側(cè)面上并且在另一側(cè)振動(dòng)臂 部分12的凹槽部分14，而在另一側(cè)的激發(fā)電極21主要形成在一側(cè)振 動(dòng)臂部分11的凹槽部分14并且在另一側(cè)振動(dòng)臂部分12的兩個(gè)側(cè)面 上。
該對(duì)裝配電極22、 23在基部13的外表面上形成，分別與該對(duì)激 發(fā)電極20、 21通過(guò)主要在連接部分13a的外表面上形成的引出電極 24、 25電連接。此外，該對(duì)激發(fā)電極20、 21通過(guò)裝配電極22、 23被 施以-驅(qū)動(dòng)電壓。
此外，上文提到的激發(fā)電極20、 21,以及引出電極24、 25和裝 配電極22、 23是例如鉻(Cr)、金(Au)的層疊薄膜，并且通過(guò)由具 有與石英優(yōu)異的結(jié)合力的鉻薄膜構(gòu)成基體而形成，之后，在表面上施
加金的薄膜。然而，本發(fā)明不限制于這個(gè)實(shí)例，例如，鉻和鎳(NiCr) 的層疊薄膜的表面可與金的薄膜層疊，或鉻、鎳、鋁(Al)、鈦(Ti) 或類(lèi)似的單層薄膜也可以如此。
此外，該對(duì)振動(dòng)臂部分ll、 12的前端形成有圖未示出的重金屬薄 膜(包括粗調(diào)薄膜和微調(diào)薄膜)形成，用于進(jìn)行它們自身的振動(dòng)狀態(tài) 的調(diào)整(頻率調(diào)整)以在預(yù)定的頻率范圍內(nèi)振動(dòng)。通過(guò)利用重金屬薄 膜進(jìn)行頻率調(diào)整，該對(duì)振動(dòng)臂部分ll、 12的頻率可以限定在設(shè)備額定 頻率的范圍內(nèi)。
如圖2到圖4所示，這樣構(gòu)成的壓電振動(dòng)片2通過(guò)利用金的或類(lèi) 似的凸點(diǎn)B的凸點(diǎn)焊裝配在基板3的上表面。更加具體地，進(jìn)行凸點(diǎn) 焊使該對(duì)裝配電極22、 23分別與在后面提到在基板3的上表面形成 圖案的繞引電極36、 37上形成的兩個(gè)凸點(diǎn)B接觸。從而，壓電振動(dòng)片2被支撐處于從基板3的上表面懸浮著的狀態(tài)并且使得裝配電極
22、 23和繞引電極36、 37處于相互電連接的狀態(tài)。
蓋板4是由例如堿石灰玻璃等玻璃材料制成的透明絕緣板，并且 形成如圖1、圖3和圖4所示的板的形狀。此外，其與基板3接合的 接合面的一側(cè)形成有包含壓電振動(dòng)片2的長(zhǎng)方形的凹陷部分4a。凹陷 部分4a是構(gòu)成當(dāng)兩塊板3、 4重疊時(shí)包含壓電^展動(dòng)片2的腔體C的腔 體的凹陷部分。此外，蓋板4與基板3陽(yáng)極接合使凹陷部分4a對(duì)著基 4反3的一側(cè)。
基板3是由例如與蓋板4相同的堿石灰玻璃等玻璃材料制成的透 明絕緣板，并且形成如圖1到圖4所示的能夠與蓋板4重疊的大小的 板的形狀。
基板3形成有穿過(guò)基板3的該通孔30、 31。在這個(gè)時(shí)候，形成的 該對(duì)通孔30、 31包含在腔體C的內(nèi)部。更加詳細(xì)地說(shuō)明，形成該對(duì) 通孔30、 31使一側(cè)的通孔30置于裝配的壓電振動(dòng)片2的基部13的 一側(cè)而另一側(cè)的通孔31置于振動(dòng)臂部分11、 12的前端側(cè)。
此外，雖然根據(jù)這個(gè)實(shí)施例，通過(guò)舉徑直穿過(guò)基板3的通孔30、 31的例子給出說(shuō)明，這個(gè)實(shí)施例不限于這個(gè)實(shí)例而通孔可形成為例如 朝基板3的下表面逐漸收縮直徑的錐形。至少，通孔可穿過(guò)基板3。
此外，該對(duì)通孔30、 31形成有嵌入通孔30、 31而形成的成對(duì)的 通過(guò)電極32、 33。通過(guò)電極32、 33用于保持腔體C內(nèi)部的氣密性完 全封閉通孔30、 31并且導(dǎo)通后面提到的外部電極38、 39和繞引電極 36、 37。
基板3的上側(cè)(與蓋板4配合的接合面一側(cè))形成有用導(dǎo)電材料 (例如，鋁)形成的繞引電極對(duì)36、 37和用于接合的接合薄膜35的 圖案。其中的接合薄膜35沿基板3周?chē)倪吘壭纬梢原h(huán)繞在蓋板4 形成的凹陷部分4a的周?chē)糠帧?br>
此外，形成該對(duì)繞引電極36、 37的圖案以在通過(guò)電極對(duì)32、 33 中電連接一側(cè)的通過(guò)電極32與在壓電振動(dòng)片2—側(cè)的裝配電極22,并且電連接另一側(cè)的通過(guò)電極33與在壓電振動(dòng)片2 —側(cè)的裝配電極23。
更加詳細(xì)地說(shuō)明，如圖2到圖4所示， 一側(cè)的繞引電極36在一 側(cè)的通過(guò)電極32正上面形成、置于壓電振動(dòng)片2的基部13的正下面。 此外，另一側(cè)的繞引電極37在沿振動(dòng)臂部分11、 12繞引到振動(dòng)臂部 分11、 12的前端側(cè)之后在另一側(cè)的通過(guò)電極33正上面形成。
此外，凸點(diǎn)B在該對(duì)繞引電極36、 37上形成并且壓電振動(dòng)片2 通過(guò)利用凸點(diǎn)B裝配。從而，壓電振動(dòng)片2—側(cè)的裝配電極22通過(guò) 一側(cè)的繞引電極36與一側(cè)的通過(guò)電極32導(dǎo)通而另 一側(cè)的裝配電極23 通過(guò)另一側(cè)的繞引電極37與另一側(cè)的通過(guò)電極33導(dǎo)通。
此外，如圖1、圖3和圖4所示，基板3的下表面形成有分別與 該對(duì)通過(guò)電極32、 33電連接的外部電極38、 39。即， 一側(cè)的外部電 極38通過(guò)一側(cè)的通過(guò)電極32和一側(cè)的繞引電極36與壓電振動(dòng)片2 一側(cè)的裝配電極22電連接。此外，另一側(cè)的外部電極39通過(guò)另一側(cè) 的通過(guò)電極33和另一側(cè)的繞引電極37與壓電振動(dòng)片2另一側(cè)的裝配 電極23電連接。
接著，制造上文提到的壓電振動(dòng)片2和壓電振動(dòng)器1的方法將參 考圖8和圖9示出的流程圖說(shuō)明如下。
首先，實(shí)施利用由壓電材料制成的晶圓S—次制造多個(gè)在圖5到 圖7中示出的壓電振動(dòng)片2的壓電振動(dòng)片制造步驟(SIO)。
在實(shí)施這個(gè)步驟中，首先，準(zhǔn)備(S11 )完成拋光和高度精確達(dá) 到預(yù)定厚度的晶圓S。接著，實(shí)施在晶圓S通過(guò)光刻技術(shù)蝕刻晶圓S 在晶圓S形成多個(gè)壓電板10的形狀的外部形狀形成步驟(S12)。這 個(gè)步驟將具體說(shuō)明。
首先，如圖10所示，蝕刻保護(hù)薄膜40分別在晶圓S的兩個(gè)面上 形成(S12a)。例如，形成若干微米的鉻(Cr)作為蝕刻保護(hù)薄膜40。 接著，通過(guò)光刻技術(shù)在蝕刻保護(hù)薄膜40上形成沒(méi)有圖示出的光阻膜 的圖案。在這個(gè)時(shí)候，實(shí)施形成圖案以包圍由振動(dòng)臂部分11、 12和具的基部13構(gòu)成的壓電板10的周?chē)糠?。此外，通過(guò) 由光阻膜構(gòu)成掩模以及蝕刻保護(hù)薄膜40沒(méi)有被遮蓋的部分被選棒性 地去除來(lái)實(shí)施蝕刻。此外，光阻膜在蝕刻之后去除。從而，如圖11 和圖12所示，蝕刻保護(hù)薄膜40可以沿壓電板10的外部形狀形成圖 案，即該對(duì)振動(dòng)臂部分ll、 12,連接部分13a和基部13 (S12b)的外 部形狀。在這個(gè)時(shí)候，實(shí)施形成許多的多個(gè)壓電板10的圖案。
此外，圖12到圖15是示出沿圖11中示出的切線C-C的截面的圖。
接著，晶圓S的兩個(gè)面分別由形成圖案的蝕刻保護(hù)薄膜40構(gòu)成 的掩模蝕刻(S12c)。從而，如圖13所示，壓電板10的外部形狀可 以通過(guò)選擇性去除蝕刻保護(hù)薄膜40沒(méi)有被遮蓋的區(qū)域形成。
接著，根據(jù)這個(gè)實(shí)施例，在實(shí)施電極形成步驟之前，實(shí)施在該對(duì) 振動(dòng)臂部分11、 12形成凹槽部分14的凹槽部分形成步驟(S12d)。 具體地，與上文it明的形成外部形狀類(lèi)似，沒(méi)有圖示出的光阻膜在蝕 刻保護(hù)薄膜40上形成。此外，光阻膜被形成圖案以通過(guò)光刻技術(shù)開(kāi) 出凹槽部分14的區(qū)域。此外，蝕刻保護(hù)薄膜40通過(guò)由形成圖案的光 阻膜構(gòu)成的掩^^莫實(shí)施蝕刻而被選擇性地去除。之后，如圖14所示， 已經(jīng)形成圖案的蝕刻保護(hù)薄膜40可以進(jìn)一步形成圖案構(gòu)成凹槽部分 14的區(qū)域。
接著，晶圓S被由再次形成圖案的蝕刻保護(hù)薄膜40構(gòu)成的掩模 蝕刻，之后，構(gòu)成掩模的蝕刻保護(hù)薄膜40被去除。從而，如圖15所 示，凹槽部分14可以分別形成在該對(duì)纟展動(dòng)臂部分11、 12的兩個(gè)面上。
外部形狀形成步驟在這個(gè)時(shí)間點(diǎn)完成。此外，多個(gè)壓電板10處 于通過(guò)沒(méi)有圖示出的連接部分與晶圓S連接的狀態(tài)，直到實(shí)施后面實(shí) 施的切割步驟。
接著，實(shí)施通過(guò)在多個(gè)壓電板10的外表面上形成電極薄膜和實(shí) 施圖案化分別形成激發(fā)電極20、 21，引出電才及24、 25,裝配電極22、 23的電極形成步驟(S13)。此外，與其同時(shí)通過(guò)相似的方法形成重金屬薄膜(S14)。特別地在實(shí)施電極形成步驟中，形成該對(duì)激發(fā)電極20、21使得在振動(dòng)臂部分11、 12的以連接部分13a構(gòu)成分界線的基端側(cè) 和前端側(cè)之間的極性相反。接著，實(shí)施諧振頻率的粗調(diào)(S15)。這通過(guò)向重金屬薄膜的粗 調(diào)薄膜照射激光使其部分蒸發(fā)而改變重量來(lái)實(shí)施。此外，之后實(shí)施更 高度準(zhǔn)確地調(diào)整諧振頻率的微調(diào)。之后將給出其的說(shuō)明。此外，最后實(shí)施通過(guò)切割連接晶圓S和壓電板10的連接部分切 割以將多個(gè)壓電板IO從晶圓S分離成片的切割步驟(S16)。因此， 多個(gè)音叉型的壓電振動(dòng)片2能夠從單片晶圓S中一次制造出。同時(shí)也 完成制造壓電振動(dòng)片2的步驟。接著，實(shí)施制造用于之后構(gòu)成為在實(shí)施陽(yáng)極接合前的狀態(tài)的蓋板 4的板的晶圓45的第一晶圓制造步驟(S20)。首先，在拋光清潔^減石灰玻璃到預(yù)定厚度后，如圖16所示，通 過(guò)蝕刻或者類(lèi)似的操作去除最外層表面的加工改性層形成圓板形狀 的蓋板晶圓45 ( S21 )。接著，通過(guò)在蓋板晶圓45的接合面蝕刻或者 類(lèi)似操作來(lái)實(shí)施在對(duì)黃向和縱向形成多個(gè)腔體C的凹陷部分4a的凹陷 部分形成步驟(S22)。這時(shí)，第一晶圓制造步驟完成。接著，實(shí)施形成基板晶圓46的第二晶圓形成步驟以到與這個(gè)步 驟同時(shí)或之前或之后之時(shí)構(gòu)成基板3為實(shí)施的陽(yáng)極接合前的狀態(tài)(530) 。首先，在拋光清潔堿石灰玻璃到預(yù)定厚度后，通過(guò)蝕刻或者類(lèi)似 的操作消除最外層表面的加工改性層形成圓板形狀的基板晶圓46(531) 。接著如圖17所示，實(shí)施形成多對(duì)穿過(guò)基板晶圓46通孔30、 31的通孔形成步驟(S32)。此外，圖17中顯示的虛線M說(shuō)明了之 后實(shí)施的切割步驟中切割的切割線。在這個(gè)時(shí)候，當(dāng)這兩片晶圓45、 46之后重疊時(shí)，形成的多對(duì)通 孔30、 31被包含到在蓋板晶圓45形成的凹陷部分4a內(nèi)。此外，形成 通孔使一側(cè)上的通孔30被置于要裝配的壓電振動(dòng)片2的基部13的一側(cè)上，并且另一側(cè)上的通孔31被置于振動(dòng)臂部分11、 12的前端側(cè)。接著，用導(dǎo)電部分(沒(méi)有示出)埋封多個(gè)通孔30、 31來(lái)實(shí)施形 成通過(guò)電極對(duì)32、 33的通過(guò)電極形成步驟(S33)。接著，通過(guò)在基板晶圓46的上表面形成導(dǎo)電材料的圖案實(shí)施形 成如圖18所示接合薄膜35的接合薄膜形成步驟(S34)，并且實(shí)施 形成多對(duì)與該對(duì)通過(guò)電極32、 33電連接的繞引電極36、 37的繞引電 極形成步驟(S35)。此外，圖18示出的虛線M說(shuō)明之后實(shí)施的切割 步驟中切割的切割線。通過(guò)實(shí)施這一步驟，使一側(cè)的通過(guò)電極32和一側(cè)的繞引電極36 導(dǎo)通，以及使另一側(cè)的通過(guò)電極33和另一側(cè)的繞引電極37導(dǎo)通。這 時(shí)，第二晶圓制造步驟完成。同時(shí)，盡管在圖9中構(gòu)成了在接合薄膜形成步驟(S34)后實(shí)施 繞引電極形成步驟(S35)的步驟順序，與其相反，接合薄膜形成步 驟(S34)可在繞引形成步驟(S35)之后實(shí)施，或者兩個(gè)步驟可同時(shí) 實(shí)施。在任何步驟順序中，可以實(shí)現(xiàn)相同的操作和效果。因此，步驟 的順序可因需要而適當(dāng)?shù)馗淖?。接著，?shí)施通過(guò)分別經(jīng)由繞引36和37的凸點(diǎn)將制造的多個(gè)壓電 振動(dòng)片24接合在基板晶圓46上表面的裝配步驟(S40)。首先，金 或者類(lèi)似材料做成的凸點(diǎn)B分別在該對(duì)繞引電極36、 37上形成。此 外，在將壓電振動(dòng)片2的基部13裝配到凸點(diǎn)B上后，當(dāng)以預(yù)定溫度 加熱凸點(diǎn)B時(shí)壓電振動(dòng)片被壓到凸點(diǎn)B上。從而，形成其中壓電振動(dòng) 片2由凸點(diǎn)B機(jī)械支撐，并且裝配電極22、 23與繞引電極36、 37電 連接的狀態(tài)。因此，這時(shí)，使得壓電振動(dòng)片2的該對(duì)激發(fā)電極20、 21 處于被分別與通過(guò)電極對(duì)32、 33導(dǎo)通的狀態(tài)。特別地，壓電振動(dòng)片2 由凸點(diǎn)B接合，因此被支撐著處于從基板晶圓46的上表面懸浮著的 狀態(tài)。在完成裝配壓電振動(dòng)片2后，實(shí)施將蓋板晶圓45重疊到基板晶 圓46的重疊步驟(S50)。具體地，當(dāng)通過(guò)參考記號(hào)或者類(lèi)似的東西來(lái)構(gòu)成標(biāo)記(沒(méi)有示出)時(shí)，晶圓45和46被對(duì)準(zhǔn)來(lái)校正位置。從而， 使得處于裝配的壓電振動(dòng)片2包含在被蓋板晶圓45形成的凹陷部分 4a和晶圓45、 46包圍的腔體C的內(nèi)部的狀態(tài)。在重疊步驟后，實(shí)施將兩個(gè)重疊的晶圓45、 46放入陽(yáng)極接合裝 置(沒(méi)有示出)內(nèi)的接合步驟，通過(guò)在預(yù)定溫度氣氛下施加預(yù)定電壓 來(lái)陽(yáng)極接合晶圓45、 46 (S60)。特別地，預(yù)定電壓被施加在接合薄 膜35和蓋板晶圓45之間。接著，在接合薄膜35以及蓋板晶圓45的 界面上發(fā)生電化學(xué)反應(yīng)，二者構(gòu)件被分別牢固地相互緊密接觸以陽(yáng)極 接合。因此，壓電振動(dòng)片2能被密封在腔體C的內(nèi)部，并且可以提供 接合基板晶圓46和蓋板晶圓45的晶圓構(gòu)件。此外，在完成陽(yáng)極接合后，通過(guò)在基板晶圓46的下表面形成導(dǎo) 電材料的圖案，實(shí)施形成分別與該對(duì)通過(guò)電極32、 33電連接的多對(duì) 外部電極38、 39的外部電極形成步驟(S70)。通過(guò)這個(gè)步驟，密封 在腔體C的壓電振動(dòng)片2能通過(guò)利用外部電極38、 39來(lái)操作。接著，在晶圓構(gòu)件狀態(tài)下實(shí)施微調(diào)密封在腔體C內(nèi)部的單個(gè)壓電 振動(dòng)器1的頻率使得限定預(yù)定范圍內(nèi)的微調(diào)步驟(S80)。具體地說(shuō) 明，通過(guò)施加電壓到外部電極38、 39上使壓電振動(dòng)片2振動(dòng)。此外， 在測(cè)量頻率同時(shí)重金屬薄膜的微調(diào)薄膜通過(guò)從外部穿過(guò)蓋板晶圓45 照射激光而蒸發(fā)。從而，該對(duì)振動(dòng)臂部分10、 11前端側(cè)的重量被改 變，因此，壓電振動(dòng)片2的頻率可以微調(diào)以限定在額定頻率的預(yù)定范 圍內(nèi)。在完成頻率的微調(diào)后，實(shí)施沿圖18所示的切割線M將接合晶圓 構(gòu)件切割成片的切割步驟(S90)。因此，可以一次制造圖1所示的 表面裝配類(lèi)型的多個(gè)壓電振動(dòng)器1，其中壓電振動(dòng)片2被密封在基板 3和蓋板4相互陽(yáng)極接合形成的腔體C的內(nèi)部。此外，可實(shí)施在通過(guò)實(shí)施切割步驟(S90)分出單個(gè)壓電振動(dòng)器1 后實(shí)施微調(diào)步驟(S80 )的步驟順序。然而，通過(guò)預(yù)先實(shí)施孩B周步驟 (S80)，微調(diào)能夠在晶圓構(gòu)件的狀態(tài)下實(shí)施，因此，多個(gè)壓電振動(dòng)器1可以被微調(diào)得更有效率。因此，更優(yōu)選這個(gè)順序因?yàn)榭梢蕴嵘?產(chǎn)能力。之后，實(shí)施內(nèi)部部分的電性檢查(S100)。即，測(cè)量和檢查諧振頻率、諧振阻值、壓電振動(dòng)片2的驅(qū)動(dòng)水平性質(zhì)(諧振頻率和諧振阻值的激發(fā)功率依賴(lài)性)。此外，絕緣電阻性質(zhì)或者類(lèi)似的也與其一起 檢查。此外，最后通過(guò)實(shí)施壓電振動(dòng)器1的外觀檢查，尺寸、質(zhì)量或 類(lèi)似的被最終檢查。從而，壓電振動(dòng)器l的制造完成。當(dāng)操作這樣構(gòu)成的壓電振動(dòng)器1時(shí)，預(yù)先設(shè)定的驅(qū)動(dòng)電壓被施加到外部電極對(duì)38、 39之間。從而，產(chǎn)生的電流經(jīng)由裝配電極22、 23 以及引出電極24、 25流向激發(fā)電極20、 21，并且該對(duì)振動(dòng)臂部分ll、 12可以以預(yù)定頻率振動(dòng)。在這個(gè)時(shí)候，形成該對(duì)激發(fā)電極20、 21使得在振動(dòng)臂部分11、 12的基端側(cè)和前端側(cè)處的極性相反，因此，如圖19所示，使振動(dòng)臂 部分11、 12振動(dòng)同時(shí)使得前端側(cè)和基端側(cè)向相反方向彎曲。即，通 過(guò)以連接部分13a為中心的相反彎曲方向的振動(dòng)模式使振動(dòng)臂部分 11、 12振動(dòng)。因此，可以使該對(duì)振動(dòng)臂部分11、 12振動(dòng)來(lái)以由連接 部分13a構(gòu)成基點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)，并且能夠相互接近和遠(yuǎn)離。此外，通過(guò)利用該對(duì)振動(dòng)臂部分11、 12的振動(dòng)，振動(dòng)可以被用 作時(shí)間源、基準(zhǔn)信號(hào)源或者時(shí)間源、控制信號(hào)的類(lèi)似東西。此外，根據(jù)這個(gè)實(shí)施例，基部13通過(guò)連接部分13a支撐著振動(dòng)臂 部分ll、 12在長(zhǎng)度方向的重心位置G,因此，在以連接部分13a為中 心的基端側(cè)和前端側(cè)處的擺動(dòng)變得一致，并且振動(dòng)可以穩(wěn)定地進(jìn)行而 沒(méi)有偏轉(zhuǎn)。因此，穩(wěn)定的振動(dòng)狀態(tài)可以持續(xù)保持很長(zhǎng)時(shí)間并且可以實(shí) 現(xiàn)高性能的結(jié)構(gòu)。此外，該對(duì)振動(dòng)臂部分ll、 12形成有凹槽部分14，因此，構(gòu)成 了一種位置關(guān)系其中該對(duì)激發(fā)電極20、 21部分彼此相對(duì)使壓電振動(dòng) 片2位于其間。因此，可以增加該對(duì)激發(fā)電極間的場(chǎng)效率。因此，能 夠抑制振動(dòng)損耗并且可以提升振動(dòng)性能。因此，CI值以及諧振頻率可以變低，并且可以實(shí)現(xiàn)壓電振動(dòng)片2的高性能結(jié)構(gòu)。特別地，根據(jù)這個(gè)實(shí)施例的壓電振動(dòng)片2，與支撐振動(dòng)臂部分11、12的基端側(cè)的背景技術(shù)不同，支撐該對(duì)振動(dòng)臂部分ll、 12的基部13 通過(guò)連接部分13a支撐起振動(dòng)臂部分11、 12的中間部分。此外，基部 13被設(shè)置成位于該對(duì)振動(dòng)臂部分11、 12之間。因此，總長(zhǎng)度可以縮 短位于該對(duì)振動(dòng)臂部分11、 12之間的基部13的長(zhǎng)度的量。即，根據(jù)背景技術(shù)，基部13支撐該對(duì)振動(dòng)臂部分11、 12的基端 側(cè)，因此，總長(zhǎng)度由振動(dòng)臂部分ll、 12的長(zhǎng)度和基部13的長(zhǎng)度相加 構(gòu)成。然而，根據(jù)這個(gè)實(shí)施例中的壓電振動(dòng)片2,即使當(dāng)這個(gè)基部13 的長(zhǎng)度與背景技術(shù)的相同，總長(zhǎng)度也可以縮短。即，壓電振動(dòng)片2的 長(zhǎng)度可以由振動(dòng)臂部分11、 12部分的長(zhǎng)度構(gòu)成。因此，小型化結(jié)構(gòu)可以通過(guò)縮短壓電振動(dòng)片2的總長(zhǎng)度而實(shí)現(xiàn)。 此外，縮短基部13的長(zhǎng)度不是必需的，因此，可以保持振動(dòng)耗散充 分減小的狀態(tài)。除此之外，可以保證足夠的裝配面積，因此，完全不 會(huì)對(duì)裝配壓電片2的性能產(chǎn)生影響。這樣，根據(jù)這個(gè)實(shí)施例中的壓電振動(dòng)片2，在保證基部13的長(zhǎng)度 能夠充分減小振動(dòng)耗散后，縮短總長(zhǎng)度而沒(méi)有對(duì)裝配性能產(chǎn)生任何影 響/人而實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)的小型化。此外，根據(jù)這個(gè)實(shí)施例中的壓電振動(dòng)器1，提供了上文描述的壓 電振動(dòng)片2,因此，小型化結(jié)構(gòu)可以通過(guò)使總長(zhǎng)度比背景技術(shù)的短而 實(shí)現(xiàn)，并且可以解決小型化結(jié)構(gòu)的需求。此外，提供了充分減小振動(dòng) 耗散以及優(yōu)越的裝配性能的壓電振動(dòng)片2，因此，可以構(gòu)成可靠性提升的高質(zhì)量壓電振動(dòng)器1。此外，壓電振動(dòng)器1由把壓電振動(dòng)片2密封在腔體C內(nèi)部的表面 裝配類(lèi)型的玻璃封裝類(lèi)型構(gòu)成，因此，可以使壓電振動(dòng)片2振動(dòng)而不 被灰塵和塵土或類(lèi)似的東西影響，并且可以實(shí)現(xiàn)形成的高質(zhì)量。除此 之外，由于這種表面裝配類(lèi)型，壓電振動(dòng)器1能夠很容易裝配并且在 被裝配后具有優(yōu)越的穩(wěn)定性。此外，盡管根據(jù)上文說(shuō)明的實(shí)施例，舉了在振動(dòng)臂對(duì)部分ll、 12 的分別形成凹槽部分14的例子，但是凹槽部分14不是必需的，也可不形成凹槽部分14。然而，通過(guò)形成凹槽部分14, CI值可以變4氐， 因此凹槽部分14是優(yōu)選的。此外，不僅凹槽部分14而且穿過(guò)振動(dòng)臂部分11、 12的兩個(gè)面的 沿著長(zhǎng)度方向的兩個(gè)孔51都可形成如圖20到圖22所示。根據(jù)這樣 構(gòu)成的壓電振動(dòng)片50,如圖22所示，該對(duì)激發(fā)電極20、 21通過(guò)使振 動(dòng)臂部分11、 12位于其間而形成完全相對(duì)的位置關(guān)系，因此，可以 最大程度地提升該對(duì)激發(fā)電極20、 21間的場(chǎng)效率。因此，可以使CI 值以及諧振頻率比形成凹槽部分14情況下的j氐，并且可以實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu) 進(jìn)一步小型化的壓電振動(dòng)片50。同時(shí)，當(dāng)如上文說(shuō)明通孔51形成在振動(dòng)臂部分11、 12上時(shí)，如 圖23和圖24所示，優(yōu)選分別在^f展動(dòng)臂部分11、 12的側(cè)面形成在振 動(dòng)臂部分ll、 12的寬度方向凸出的增強(qiáng)部分52。此外，在圖23、圖 24中省略了該對(duì)激發(fā)電極20、 21，引出電極24、 25以及裝配電極22、 23的圖示。此外，盡管舉了在振動(dòng)臂部分11、 12的兩側(cè)側(cè)面從基端 到前端連續(xù)地形成增強(qiáng)部分52這種情況的例子，但是增強(qiáng)部分52可 至少在形成通孔51的區(qū)域里形成。當(dāng)增強(qiáng)部分52形成時(shí)，在外部形狀形成步驟中，晶圓S可被蝕 刻以形成與振動(dòng)臂部分一體式的增強(qiáng)部分52。通過(guò)這樣形成增強(qiáng)部分52，即^f吏當(dāng)通孔51在振動(dòng)臂部分11、 12 上形成時(shí)，可以補(bǔ)償由通孔降低的剛度。特別地，增強(qiáng)部分52是從 振動(dòng)臂部分ll、 12的基端到前端形成(在超出通孔52形成的區(qū)域的 區(qū)域上)，因此，其因通孔而變窄的寬度部分(圖24的箭頭P所示 部分)能夠被增強(qiáng)。因此，振動(dòng)臂部分11、 12可以進(jìn)一步穩(wěn)定地振 動(dòng)而不會(huì)引起彎曲、變形或者類(lèi)似的問(wèn)題。此外，盡管優(yōu)選如上文說(shuō)明的分別在振動(dòng)臂部分11、 12的兩側(cè) 形成增強(qiáng)部分52，但是如圖25和圖26所示，增強(qiáng)部分52可只在振動(dòng)臂部分11、 12的一側(cè)形成(外側(cè))，而如圖27和圖28所示，增 強(qiáng)部分52可只在振動(dòng)臂部分11、 12的另一側(cè)形成(內(nèi)側(cè))。即使在這種情況下，由通孔51導(dǎo)致的剛性降低可以被增強(qiáng)，因 此，可以實(shí)現(xiàn)相似的運(yùn)行和效果。此外，同樣在圖25至圖28中，省 略了該對(duì)激發(fā)電極20、 21,引出電極24、 25以及裝配電極22、 23的 圖示。此外，盡管根據(jù)這個(gè)實(shí)施例，作為壓電振動(dòng)器的例子，通過(guò)舉表 面裝配類(lèi)型的玻璃封裝的壓電振動(dòng)器的例子給出說(shuō)明，本發(fā)明不限制 于這種類(lèi)型的壓電振動(dòng)器。例如，在陶瓷或者類(lèi)似東西的絕緣板上形 成裝配電極的所謂陶瓷封裝類(lèi)型的壓電振動(dòng)器，將壓電振動(dòng)片的裝配 電極與該裝配電極連接，之后，由玻璃、金屬或者類(lèi)似東西的蓋板構(gòu) 成氣密性也可行。此外，非表面裝配類(lèi)型例如如圖29所示的圓柱封裝類(lèi)型的壓電 振動(dòng)器也可行。接著，將簡(jiǎn)單說(shuō)明圓柱封裝類(lèi)型的壓電振動(dòng)器。如圖29和圖30所示，壓電振動(dòng)器60包括壓電振動(dòng)片2、將壓電 振動(dòng)片2包含在其內(nèi)的殼體61，以及將壓電振動(dòng)片2密封在殼體61 內(nèi)部的氣密端子62。壓電振動(dòng)片2被裝配到構(gòu)成氣密端子62的引出端子71的內(nèi)部引 線71a上，其處于被包含在殼體61的內(nèi)部的狀態(tài)。殼體61以底面環(huán)形的圓柱形狀形成并且凈皮壓合以適合固定到氣 密端子62的后面提到的芯柱70的外壁。此外，殼體61在真空下壓 合，并且殼體61內(nèi)部的壓電振動(dòng)片2周?chē)目臻g也維持真空的狀態(tài)。氣密端子62密封殼體61的內(nèi)部并且包括壓合固定在殼體61的 內(nèi)部的芯柱70、 2件引出端子71和用于固定引出端子71和芯柱70 的填充部分72。 2件引出端子71中一端側(cè)用于構(gòu)成^皮i殳置成穿過(guò)芯 柱70并使芯柱70位于其間并且與壓電振動(dòng)片2的該對(duì)裝配電極22 和23電連接的內(nèi)部引線71a，而另一端側(cè)用于構(gòu)成與外部電連接的外 部引線71b。芯柱70由金屬材料(例如，低碳鋼(Fe)，鐵鎳合金(Fe-Ni)， 鐵鎳鈷合金(Fe-Ni-Co))以環(huán)狀形成。此外，填充部分72的材料是， 例如，硼硅酸鹽玻璃。此外，芯柱70的外壁涂上和引出端子71的材 料相同的材料的鍍層(金屬膜)。
由例如和芯柱70的一樣的導(dǎo)電材料形成引出端子71,其伸到殼 體61的內(nèi)部的部分用來(lái)構(gòu)成內(nèi)部引線71a,其伸到殼體61的外部的 部分用來(lái)構(gòu)成外部引線71b。此外，壓電振動(dòng)片2通過(guò)金或類(lèi)似的材 料的導(dǎo)電凸點(diǎn)B機(jī)械裝配處于裝配到內(nèi)部引線71 a的前端的狀態(tài)。即， 內(nèi)部引線71a和裝配電極22， 23機(jī)械接合，同時(shí)通過(guò)導(dǎo)電凸點(diǎn)B電 連接。因此，使壓電振動(dòng)片2處于與2件引出端子71裝配的狀態(tài)。
此外，使用耐熱性焊料鍍、錫銅合金、金錫合金或類(lèi)似的材料作 為構(gòu)成這個(gè)實(shí)施例壓電振動(dòng)器60的芯柱70的鍍層以及引出端子71 的材料。此外，通過(guò)在芯柱70的外壁處插入鍍層使殼體61在真空中 經(jīng)過(guò)冷壓焊使得殼體61內(nèi)部可以被密封處于真空狀態(tài)。
接著，制造圓柱封裝類(lèi)型的壓電振動(dòng)器60的方法將參考圖31顯 示的流程圖說(shuō)明如下。
首先，通過(guò)實(shí)施壓電振動(dòng)片制造步驟(S10)制造壓電振動(dòng)片2。 此外，由于這個(gè)步驟已經(jīng)詳細(xì)說(shuō)明過(guò)，因此，省略其的說(shuō)明。
接著，實(shí)施制造氣密端子62的氣密端子制造步驟(S110)。具 體地，芯柱70通過(guò)芯柱制造步驟制造(S111)。即，具有鐵鎳鈷合 金、鐵鎳合金或類(lèi)似材料的電導(dǎo)率的板狀構(gòu)件被加工成長(zhǎng)桿狀，之后， 經(jīng)受多次的深4iJ人而形成底面圓柱狀的構(gòu)件。此外，通過(guò)在圓柱狀構(gòu) 件的底面形成開(kāi)口和通過(guò)實(shí)施外部形狀沖壓切割將圓柱狀構(gòu)件從板 狀構(gòu)件分開(kāi)來(lái)制造芯柱70。
接著，實(shí)施分別將引出端子71和填充部分72安裝到芯柱70的 內(nèi)部安裝步驟(S112)。首先，將制造的芯柱70安裝到一個(gè)專(zhuān)用夾 具(沒(méi)有示出)上，之后，將事先燒結(jié)為環(huán)形狀的填充部分72安裝 到芯柱70的內(nèi)部，并且將引出端子71安裝穿過(guò)填充部分72。在通過(guò)安裝步驟將芯柱70和引出端子71以及填充部分72組合 后，把夾具放入加熱爐中，并且填充部分在氣溫大約100(TC下燒結(jié) (S113)。從而，在填充部分72和引出端子71之間以及填充部分72 和芯柱70之間的間隙都被完全密封住，以連接構(gòu)成可以經(jīng)受氣密的 結(jié)構(gòu)。此外，通過(guò)從夾具中取出可以^是供氣密端子62。這時(shí)，氣密端 子制造步驟完成。
接著，實(shí)施通過(guò)濕鍍法在引出端子71的外表面以及芯柱70的外 壁鍍上金屬薄膜或者相同的材料的鍍層步驟(S120)。作為為此的預(yù) 處理，引出端子71的外表面和芯柱70的外壁用堿性溶液清洗和去除 油污，之后用鹽酸和碌u酸的酸溶液清洗。在預(yù)處理完成后，在引出端 子71的外表面和芯柱70的外壁面上形成基體金屬薄膜。例如，銅鍍 層或鎳鍍層的薄膜厚度大致在2(im到5pm之間的薄膜。接著，在基 體金屬薄膜上形成末道金屬薄膜。例如，除了錫、銀或類(lèi)似的單個(gè)材 料，耐熱鍍層、錫銅合金、錫鉍膜合金、錫銻合金或者類(lèi)似的物質(zhì)的 薄膜厚度大致在8jim到15pm之間。
通過(guò)這樣涂覆包括基體金屬薄膜和末道金屬薄膜的金屬薄膜，可 以將內(nèi)部引線71a和壓電振動(dòng)片2連接。此外，不僅壓電振動(dòng)片2的 連接，在芯柱70外壁涂覆的金屬薄膜提供有軟的和可彈性變形的性 質(zhì)，因此，可以實(shí)施芯柱70和殼體61的冷壓焊和氣密接合。
接著，在真空氣氛的爐中進(jìn)行退火處理使金屬薄膜穩(wěn)定(S130)。 例如在170。C進(jìn)行1小時(shí)加熱。從而，通過(guò)調(diào)整在基體金屬薄膜材料 和末道金屬薄膜材料的界面形成的金屬間化合物的成分可以抑制金 屬須產(chǎn)生。在退火完成后，實(shí)施裝配壓電振動(dòng)片2的裝配步驟。此外， 盡管舉了在涂覆金屬薄膜中實(shí)施濕鍍法的情況的例子，但是本發(fā)明不 限于這種情況，例如，涂覆可通過(guò)氣相沉積方法、化學(xué)氣相方法等類(lèi) 似的方法實(shí)施。
此外，根據(jù)這個(gè)實(shí)施例，在退火完成后，在內(nèi)部引線71a的前端 處形成用于接著實(shí)施的裝配步驟的金或者類(lèi)似的材料的導(dǎo)電凸點(diǎn)B(S140)。此外，形成凸點(diǎn)B的部分與在基部13的外表面上形成的 裝配電極22、 23重疊。此外，在加熱凸點(diǎn)B的同時(shí)通過(guò)凸點(diǎn)B的預(yù) 定壓力，使內(nèi)部引線71a和壓電振動(dòng)片2重疊。從而，壓電振動(dòng)片2 可以裝配到內(nèi)部引線71a上(S150)。即，壓電振動(dòng)片2被引出端子 71機(jī)械支撐處于該對(duì)裝配電才及22、 23和內(nèi)部引線71a電連接的狀態(tài)。 此外，盡管在連接凸點(diǎn)B中，裝配通過(guò)實(shí)施加熱和加壓而實(shí)施， 連接可通過(guò)利用超聲波通過(guò)凸點(diǎn)B實(shí)施。
接著，為了消除裝配產(chǎn)生的應(yīng)力，在預(yù)定的溫度下實(shí)施烘烤
(S160)。接著，在固定殼體61之前，實(shí)施壓電振動(dòng)片2的頻率調(diào) 整(微調(diào))(S170)。具體地說(shuō)明頻率調(diào)整，通過(guò)在外部引線71b之 間施加電壓使壓電振動(dòng)片2處于全部放入真空腔體內(nèi)的狀態(tài)下振動(dòng)。 此外，當(dāng)測(cè)量頻率時(shí)通過(guò)激光蒸發(fā)重金屬薄膜的微調(diào)薄膜調(diào)整頻率。 通過(guò)實(shí)施頻率調(diào)整，壓電振動(dòng)片2的頻率可以被調(diào)整到預(yù)先確定的頻 率范圍。
此外，盡管在預(yù)先實(shí)施的微調(diào)和粗調(diào)中，通過(guò)激光照射來(lái)蒸發(fā)重 金屬薄膜實(shí)施頻率調(diào)整，除了激光也可以利用氬離子。在這種情況下， 頻率調(diào)整是通過(guò)照射氬離子實(shí)施賊射去除重金屬薄膜實(shí)施的。
接著，實(shí)施通過(guò)將殼體61壓合到芯柱70來(lái)包含在其內(nèi)部的裝配 壓電振動(dòng)片2而將壓電振動(dòng)片密封的密封步驟(S180)。具體地說(shuō)明， 當(dāng)在真空下施加預(yù)定負(fù)荷時(shí)殼體61被壓合到氣密端子62的芯柱70 的外壁。然后，在芯柱70的外壁形成的金屬薄膜發(fā)生彈性變形，因 此，密封可以在氣密狀態(tài)下通過(guò)冷壓焊實(shí)施。從而，壓電振動(dòng)片2可 以在殼體61的內(nèi)部真空密封。
此外，優(yōu)選在實(shí)施這個(gè)步驟前，通過(guò)充分加熱壓電振動(dòng)片2、殼 體61和氣密端子62使其表面吸附的水份或者類(lèi)似物分離。
此外，在完成固定殼體61后，實(shí)施篩選(S190)。實(shí)施篩選是 為了穩(wěn)定頻率或諧振阻值以及抑制在壓合到殼體61的壓合部分帶來(lái) 的壓應(yīng)力引起的金屬須。在完成篩選后，實(shí)施內(nèi)部部分的電性能檢查(S220)。即，測(cè)量和檢查壓電振動(dòng)片2的諧振頻率、諧振阻值、驅(qū) 動(dòng)水平性質(zhì)(諧振頻率和諧振阻值的激發(fā)功率依賴(lài)性)或者類(lèi)似的性
質(zhì)。此外，絕緣電阻性質(zhì)或類(lèi)似性質(zhì)與其一起^r查。此外，最后通過(guò) 實(shí)施對(duì)壓電振動(dòng)器60的外觀;險(xiǎn)查最后檢查尺寸、質(zhì)量或者類(lèi)似的性 質(zhì)。因此，可以一次制造出圖29和圖30示出的多個(gè)壓電振動(dòng)器60。 即使這樣構(gòu)成的壓電振動(dòng)器60提供有具有短的總長(zhǎng)度以及減小 尺寸處于充分減小振動(dòng)耗散的狀態(tài)的壓電振動(dòng)片2,因此，通過(guò)類(lèi)似 地縮短總長(zhǎng)度可以實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)小型化。此外，壓電振動(dòng)器60是密封壓 電振動(dòng)片2到殼體61內(nèi)部的圓柱狀封裝類(lèi)型，因此，可以使壓電振 動(dòng)片2振動(dòng)而不被灰塵和塵土或類(lèi)似的東西影響，并且可以實(shí)現(xiàn)高質(zhì) 量的結(jié)構(gòu)。
此外，表面裝配型振動(dòng)器80可通過(guò)模塑樹(shù)脂部分81固定圓柱狀 封裝類(lèi)型的壓電振動(dòng)器60構(gòu)成。
如圖32和圖33所示，表面裝配類(lèi)型振動(dòng)器80包括壓電振動(dòng)器 60、以預(yù)定形狀固定壓電振動(dòng)器60的模塑樹(shù)脂部分81、外部部分連 接端82。外部部分連接端82 —端側(cè)與外部引線71b電連接并且另一 端通過(guò)暴露到模塑樹(shù)脂部分81的底面與外部電連接。
外部部分連接端82在其截面形成為溝道形狀，由銅或者類(lèi)似的 材料形成。通過(guò)這樣用模塑樹(shù)脂部分81固定壓電振動(dòng)器60,壓電振 動(dòng)器60可以穩(wěn)定地與電路板或者類(lèi)似的東西連接，因此，壓電振動(dòng) 器60易于使用并且提升了使用的便利性。具體地，壓電振動(dòng)器60被 小型化，因此，關(guān)于表面裝配型振動(dòng)器80結(jié)構(gòu)小型化也可以實(shí)現(xiàn)。
接著，依據(jù)本發(fā)明的振蕩器的實(shí)施例參照?qǐng)D34說(shuō)明。
如圖34所示，這個(gè)實(shí)施例中的振蕩器100構(gòu)成壓電振動(dòng)器1作 為與集成電路IOI電連接的振蕩片。振蕩器100包括裝配有電容的電 子部分102或者類(lèi)似物的板103。板103裝配有振蕩器的集成電路101， 并且集成電路101鄰近區(qū)域裝配有壓電振動(dòng)器1的壓電振動(dòng)片2。電 子零件102、集成電路101以及壓電振動(dòng)器1通過(guò)布線圖案(沒(méi)有示出)分別電連接。此外，各個(gè)不同的構(gòu)成部分由樹(shù)脂(沒(méi)有示出)模 塑成型。
在這樣構(gòu)成的振蕩器100中，當(dāng)電壓被施加到壓電振動(dòng)器1上時(shí)， 壓電振動(dòng)器l內(nèi)部的壓電振動(dòng)片2振動(dòng)。振動(dòng)通過(guò)壓電振動(dòng)片具有的 壓電性質(zhì)被切換成電信號(hào)，并且作為電信號(hào)輸入到集成電路101 。輸 入的電信號(hào)被集成電路101不同地處理并且被作為頻率信號(hào)輸出。因 此，壓電振動(dòng)器1用于起振蕩片的功能。
此外，通過(guò)選擇例如根據(jù)要求的RTC模塊(實(shí)時(shí)時(shí)鐘)或者類(lèi)似 物，集成電路101的構(gòu)成可以加上控制操作裝置或者外部裝置的曰期 或時(shí)間，提供時(shí)間、日歷或者類(lèi)似的的功能，而非計(jì)時(shí)器或者類(lèi)似的 的單功能振蕩器。
根據(jù)這個(gè)實(shí)施例的振蕩器100，提供上文說(shuō)明的振動(dòng)器l,因此， 可以實(shí)現(xiàn)振蕩器100的小型化結(jié)構(gòu)并且可以實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的可靠性。此外， 可以提供長(zhǎng)時(shí)期穩(wěn)定的高精確度的頻率信號(hào)。
接著，參照?qǐng)D35給出根據(jù)本發(fā)明的電子裝置的實(shí)施例的說(shuō)明。
此外，作為電子裝置，通過(guò)舉具有壓電振動(dòng)器1的便攜式信息裝 置110的例子給出說(shuō)明。首先，這個(gè)實(shí)施例的便攜式信息裝置110由 例如便攜式電話代表以及根據(jù)背景技術(shù)發(fā)展改進(jìn)手表。其外觀與手表 相似，液晶顯示器設(shè)置成在其與針盤(pán)一致的部分并且當(dāng)前時(shí)間或類(lèi)似 的在屏幕上顯示。此外，當(dāng)被用作通訊機(jī)器時(shí)，電子裝置與手腕分離， 并且可以實(shí)施與背景技術(shù)的便攜式電話通過(guò)包括在表帶的內(nèi)側(cè)的揚(yáng) 聲器和麥克風(fēng)相似的通訊。然而，這個(gè)電子裝置與背景技術(shù)的便攜式 電話相比明顯小型化和輕型化。
接著，將說(shuō)明這個(gè)實(shí)施例的便攜式信息裝置IIO的構(gòu)成。
如圖35所示，便攜式信息裝置110包括壓電振動(dòng)器1和用于提 供電力的電源部分lll。電源部分111由4里二次電池構(gòu)成。電源部分 111與實(shí)施各種控制的控制部分112、計(jì)時(shí)或者類(lèi)似功能的計(jì)時(shí)部分 113、用于進(jìn)行與外部通訊的通訊部分114、用于顯示各種信息的顯示部分115以及探測(cè)各個(gè)功能部分電壓的電壓探測(cè)部分116并聯(lián)。此外， 通過(guò)電源部分111將電力提供到各個(gè)功能部分。
控制部分112通過(guò)控制各個(gè)功能部分控制實(shí)施對(duì)發(fā)射和接收聲音
數(shù)據(jù)、測(cè)量和顯示當(dāng)前時(shí)間或類(lèi)似的整個(gè)系統(tǒng)的操作的控制。此外，
控制部分112包括預(yù)先寫(xiě)好程序的ROM、讀取和執(zhí)行寫(xiě)入到ROM的 程序的CPU、以及RAM或類(lèi)似的用作CPU工作區(qū)。
計(jì)時(shí)部分113包括含有振蕩電路、寄存器電路、計(jì)數(shù)電路以及接 口電路或者類(lèi)似物的集成電路和壓電振動(dòng)器1。當(dāng)電壓被施加到壓電 振動(dòng)器1上，壓電振動(dòng)片2振動(dòng)，通過(guò)提供給石英的壓電電性質(zhì)將振 動(dòng)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，并且作為電信號(hào)被輸入到振蕩電路。振蕩電路的輸 出通過(guò)寄存器電路和計(jì)數(shù)電路二進(jìn)制化和計(jì)數(shù)。此外，通過(guò)接口電路， 信號(hào)從控制電路112接收和向控制電路112發(fā)射，以及當(dāng)前時(shí)間或者 當(dāng)前日期或日歷信息或類(lèi)似的在顯示部分115顯示。
通訊部分114 ^皮提供帶有與背景技術(shù)的便攜式電話相似的功能， 并且包括無(wú)線部分117、聲音處理部分118、切換部分119、放大部分 120、聲音輸入和輸出部分121、電話號(hào)碼輸入部分122,以及到達(dá)聲 音生成部分123，以及呼叫控制主體部分124。
通過(guò)天線125，無(wú)線部分117在發(fā)射和接收來(lái)自基站的各種聲音 數(shù)據(jù)或者類(lèi)似的數(shù)據(jù)間切換。聲音處理部分118將從無(wú)線部分117或 者放大部分120輸入的聲音信號(hào)編碼和解碼。放大部分120將從聲音 處理部分118或者聲音輸入和輸出部分121輸入的信號(hào)放大到預(yù)定等 級(jí)。聲音輸入和輸出部分121由用于使到達(dá)的聲音或者話音變大或者 收集聲音的揚(yáng)聲器、麥克風(fēng)或類(lèi)似的構(gòu)成。
此外，到達(dá)聲音生成部分123根據(jù)來(lái)自基地站的呼叫生成到達(dá)聲 音。切換部分119僅在信號(hào)達(dá)到時(shí)將與聲音處理部分118連接的放大 部分120切換到到達(dá)聲音生成部分123,從而，通過(guò)放大部分120, 將通過(guò)到達(dá)聲音生成部分123生成的到達(dá)聲音輸出到聲音輸入和輸出 部分121。此外，呼叫控制存儲(chǔ)部分124包含與通訊的發(fā)射和到達(dá)呼叫控制
有關(guān)的程序。此外，電話號(hào)碼輸入部分122包括從0到9的數(shù)字鍵以 及其他的鍵，并且通過(guò)按壓數(shù)字鍵以及其他鍵來(lái)輸入通話目的地的電 話號(hào)碼或類(lèi)似。
當(dāng)通過(guò)電源部分111施加到控制部分112的各個(gè)功能部分或類(lèi)似 部分的電壓低于預(yù)定電壓值時(shí)，電壓探測(cè)部分116探測(cè)到電壓降通知 控制部分112。這里的預(yù)定電壓值是預(yù)先設(shè)定用于穩(wěn)定運(yùn)行通訊部分 114所必需的最小電壓，并且變?yōu)?，例如，大約3V?？刂撇糠?12從 電壓探測(cè)部分116得知電壓降后，禁止無(wú)線部分117、聲音處理部分 118、切換部分119以及到達(dá)聲音生成部分123的運(yùn)行。特別地，停 止具有大功率消耗的無(wú)線電部分117的運(yùn)行是必需的。此外，顯示部 分115顯示通訊部分114由于電池剩余電量不足不能使用的說(shuō)明。
即，通訊部分114的運(yùn)行可以被終止并且通過(guò)電壓探測(cè)部分116 以及控制部分112的"^兌明可以在顯示部分115上顯示。雖然顯示可由 符號(hào)信息構(gòu)成，作為更直觀的顯示，x (阻止)符號(hào)可附加到在顯示 部分115的顯示面的上部顯示的電話圖標(biāo)上。
此外，通過(guò)提供能夠選擇性地切斷與通訊部分114的功能相關(guān)的 部分的電源的電源切斷部分126，通訊部分114的功能可以被更確定 地停止。
根據(jù)這個(gè)實(shí)施例的便攜式信息裝置110,提供上文說(shuō)明的壓電振 動(dòng)器l,因此，小型化結(jié)構(gòu)也可以在便攜式信息裝置110中類(lèi)似地實(shí) 現(xiàn)并且可以提升產(chǎn)品的可靠性。此外，另外，可以顯示長(zhǎng)期穩(wěn)定的高 精確性的時(shí)鐘信息。
接著，根據(jù)本發(fā)明的無(wú)線電波計(jì)時(shí)器130的實(shí)施例將參照?qǐng)D36 說(shuō)明。
如圖36所示，這個(gè)實(shí)施例的無(wú)線電波計(jì)時(shí)器130包括與濾波器 部分131電連接的壓電振動(dòng)器1,并且是提供帶有通過(guò)接收包含時(shí)間 信息的標(biāo)準(zhǔn)無(wú)線電波來(lái)自動(dòng)校正時(shí)間到精確時(shí)間而顯示的功能的計(jì)時(shí)器。
在日本，在福島縣(40kHz)和佐賀縣(60kHz)有用于發(fā)射標(biāo)準(zhǔn) 無(wú)線電波的發(fā)射地(發(fā)射站)，各自發(fā)射標(biāo)準(zhǔn)無(wú)線電波。提供的40kHz 或60kHz的長(zhǎng)波帶有在地表傳播以及當(dāng)被電離層和地表反射時(shí)傳播的 性質(zhì)，因此，傳播的范圍是寬廣的并且整個(gè)日本都被上文說(shuō)明的那兩 個(gè)發(fā)射地所覆蓋。
無(wú)線電波計(jì)時(shí)器130的功能性構(gòu)造將詳細(xì)說(shuō)明如下。
天線132接收40kHz或60kHz長(zhǎng)波的標(biāo)準(zhǔn)無(wú)線電波。長(zhǎng)波的標(biāo)準(zhǔn) 無(wú)線電波使稱(chēng)為AM調(diào)制時(shí)間代碼的時(shí)間信息服從40kHz或60kHz 的載波。接收的長(zhǎng)波標(biāo)準(zhǔn)無(wú)線電波被放大器133放大，并且被具有多 個(gè)壓電振動(dòng)器1的濾波器部分131濾波和調(diào)諧。
根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)器1分別被提供帶有具有和載頻一樣的 40kHz和60kHz的諧振頻率的石英振動(dòng)器部分138、 139。
此外，預(yù)定頻率的濾波信號(hào)被探測(cè)和校正電路134探測(cè)和解碼。 接著，時(shí)間代碼通過(guò)波形定形電路135提取出，并^皮CPU136計(jì)數(shù)。 CPU136讀取當(dāng)前年份、積累日期、星期、時(shí)間或者類(lèi)似的信息。讀 取的信息被反映到RTC137并且顯示出準(zhǔn)確的時(shí)間信息。
載波擁有40kHz或60kHz，因此，對(duì)于石英振動(dòng)器部分138、 139 優(yōu)選具有音叉結(jié)構(gòu)類(lèi)型的振動(dòng)器。
此外，盡管上文的說(shuō)明舉了日本的例子，但是長(zhǎng)波的標(biāo)準(zhǔn)無(wú)線 電波的頻率在國(guó)外是不同的。例如，在德國(guó)使用的是77.5 kHz標(biāo)準(zhǔn)無(wú) 線電波。因此，當(dāng)能夠處理國(guó)外的無(wú)線電波計(jì)時(shí)器130集成到便攜式 裝置中時(shí)，需要與日本的情況不同的頻率的壓電振動(dòng)器1。
才艮據(jù)這個(gè)實(shí)施例的無(wú)線電波計(jì)時(shí)器130， l是供上文說(shuō)明的壓電才展 動(dòng)器l,因此，無(wú)線電波計(jì)時(shí)器130自身可以類(lèi)似地實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)小型化， 并且可以提升產(chǎn)品的可靠性。此外，另外，時(shí)間可以長(zhǎng)期被穩(wěn)定并且 高度精確地計(jì)數(shù)。
此外，本發(fā)明的^R術(shù)范圍不限于這個(gè)實(shí)施例，而可以在范圍內(nèi)進(jìn)行各種改動(dòng)而不會(huì)偏離本發(fā)明的主旨。
例如，盡管形成該對(duì)激發(fā)電極20、 21的圖案使得在振動(dòng)臂部分
11、12的以連接部分13a構(gòu)成分界線的基端側(cè)和前端側(cè)處的極性相反， 但是本發(fā)明不限于這種情況。該對(duì)激發(fā)電極20、 21可會(huì)以任何方式 形成圖案，只要該對(duì)振動(dòng)臂部分11、 12可以在相互接近和遠(yuǎn)離的方 向振動(dòng)。
此外，盡管在這個(gè)實(shí)施例中，舉的例子是基部13通過(guò)連接部分 13a支持振動(dòng)臂部分11、 12的重心位置G的情況，振動(dòng)臂部分ll、 12可在從基端到前端的中間位置被支撐。然而，由于通過(guò)采取振動(dòng)平 衡可以保持穩(wěn)定的振動(dòng)狀態(tài)，優(yōu)選支撐重心位置G。
此外，壓電板10的形狀不限于上文說(shuō)明的形狀。例如，如圖37 所示，可形成兩個(gè)基部13以構(gòu)成以連接部分13a為中心的上下對(duì)稱(chēng)。
此外，如圖38所示，振動(dòng)臂部分ll、 12可以分別形成使得從底 端到前端不構(gòu)成一致的橫向?qū)挾榷藗?cè)的橫向?qū)挾茸兇?。并且在這 種情況中，可以實(shí)現(xiàn)相似的運(yùn)行和效果。此外，連接部分13a與振動(dòng) 臂部分ll、 12在長(zhǎng)度方向的重心位置G連接。
此外，如圖39所示，連接部分13a可被連接以從外側(cè)支撐該對(duì)振 動(dòng)臂部分ll、 12。并且在這種情況中，可以實(shí)現(xiàn)相似的運(yùn)行和效果。
權(quán)利要求
1. 一種壓電振動(dòng)片，包括壓電板，其包括成對(duì)的相互平行設(shè)置、處于從基端到前端的一方向上延伸的狀態(tài)的振動(dòng)臂部分，和具有在所述基端到所述前端的中間位置處分別與所述成對(duì)的振動(dòng)臂部分連接的連接部分并且通過(guò)所述連接部分一體式支撐所述成對(duì)的振動(dòng)臂部分的基部；激發(fā)電極，分別在所述成對(duì)的振動(dòng)臂部分的外表面上形成以用于當(dāng)向其施加驅(qū)動(dòng)電壓時(shí)使所述成對(duì)的振動(dòng)臂部分振動(dòng)；以及成對(duì)的裝配電極，在所述基部的外表面上形成并且分別與成對(duì)的激發(fā)電極電連接；其中所述基部設(shè)置成在其至少一部分處位于所述成對(duì)的振動(dòng)臂部分之間。
2. 如權(quán)利要求1所述的壓電振動(dòng)片，其中所述連接部分連接到 所述振動(dòng)臂部分在長(zhǎng)度方向上的重心位置。
3. 如權(quán)利要求2所述的壓電振動(dòng)片，其中形成成對(duì)的激發(fā)電極 的圖案使得其在所述振動(dòng)臂部分以所述連接部分構(gòu)成分界線的基端 側(cè)和前端側(cè)處的纟及性相反。
4. 如權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)片，其中所述成 對(duì)的振動(dòng)臂部分在其兩個(gè)面分別形成有沿長(zhǎng)度方向的凹槽部分。
5. 如權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)片，其中所迷成 對(duì)的振動(dòng)臂部分形成有沿長(zhǎng)度方向的穿過(guò)其兩個(gè)面的通孔。
6. 如權(quán)利要求5所述的壓電振動(dòng)片，其中所述振動(dòng)臂部分的側(cè) 面在至少形成所述通孔的區(qū)域上形成有在所述振動(dòng)臂部分的寬度方 向凸出的增強(qiáng)部分。
7. —種使用由壓電材料制成的晶圓 一次制造多個(gè)壓電振動(dòng)片的 方法，所述方法包括在所述晶圓處通過(guò)使用光刻技術(shù)蝕刻所述晶圓來(lái)形成多個(gè)壓電板的外部形狀的外部形狀形成步驟，其中每個(gè)壓電板具有成對(duì)的、相 互平行設(shè)置、處于在從其基端到前端的 一方向上延伸的狀態(tài)的振動(dòng)臂 部分和通過(guò)分別在>^人所述基端到前端的中間位置處與所述成對(duì)的振 動(dòng)臂部分連接的連接部分來(lái)一體式支撐所述成對(duì)的振動(dòng)臂部分的基部；通過(guò)圖案化所述多個(gè)壓電板的外表面上的電極薄膜來(lái)在所述多 個(gè)壓電板的外表面上形成激發(fā)電極和在所述基部的外表面上形成分 別與成對(duì)的激發(fā)電極電連接的成對(duì)的裝配電極的電極形成步驟，所述 激發(fā)電極用于當(dāng)向其施加驅(qū)動(dòng)電壓時(shí)使所述成對(duì)的振動(dòng)臂部分振動(dòng)； 以及切割以將所述多個(gè)壓電板從所述晶圓上分離成片的切割步驟， 其中在所述外部形狀的形成步驟中，形成所述壓電板的外部形狀 使所述基部的至少 一部分位于所述成對(duì)的振動(dòng)臂部分之間。
8. 如權(quán)利要求7所述的制造壓電振動(dòng)片的方法，其中在所述外 部形狀的形成步驟中，形成所述壓電振動(dòng)片的所述外部形狀使所述連 接部分連接到所述振動(dòng)臂部分長(zhǎng)度方向上的重心位置。
9. 如權(quán)利要求8所述的制造壓電振動(dòng)片的方法，其中在所述電 極形成步驟中，形成成對(duì)的激發(fā)電極使在所述振動(dòng)臂部分以所述連接 部分構(gòu)成分界線的基端側(cè)和前端側(cè)處的極性相反。
10. 如權(quán)利要求7到9中任一項(xiàng)所述的制造壓電振動(dòng)片的方法， 其中在所述外部形狀形成步驟中，所述成對(duì)的振動(dòng)臂部分的兩個(gè)面分 別形成有沿長(zhǎng)度方向的凹槽部分。
11. 如權(quán)利要求7到9中任一項(xiàng)所述的制造壓電振動(dòng)片的方法， 其中在所述外部形狀形成步驟中，所述成對(duì)的振動(dòng)臂部分形成有沿所 述長(zhǎng)度方向的穿過(guò)其兩個(gè)面的通孔。
12. 如權(quán)利要求11所述的制造壓電振動(dòng)片的方法，其中在所述 外部形狀形成步驟中，所述振動(dòng)臂部分的側(cè)面在至少形成所述通孔的 區(qū)域上形成有在所述振動(dòng)臂部分的寬度方向凸出的增強(qiáng)部分。
13. —種包括如權(quán)利要求1到6中任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)片的壓 電振動(dòng)器。
14. 如權(quán)利要求13所述的壓電振動(dòng)器，還包括 基板，其上表面裝配所述壓電振動(dòng)片與所述基板接合的、處于將所述裝配的壓電振動(dòng)片包含在腔體內(nèi) 的蓋板；以及在所述基板下表面上形成的并且分別與所述裝配的壓電振動(dòng)片 的成對(duì)的裝配電極電連接的成對(duì)的外部電極。
15. 如權(quán)利要求13所述的壓電振動(dòng)器，還包括 殼體，在其內(nèi)部包含所述壓電振動(dòng)片；以及氣密端子，其包括以環(huán)狀形成的并且被壓合固定在所述殼體內(nèi)的 芯柱、設(shè)置成處于穿過(guò)所述芯柱的狀態(tài)的兩件引線端子，以及固定所 述引出端子和芯柱以用于密封殼體內(nèi)的填充部分，通過(guò)使所述芯柱介 于其間，所述兩件引出端子的一端側(cè)構(gòu)成分別與所述成對(duì)的裝配電極 電連接的內(nèi)部引線，而其另 一端側(cè)構(gòu)成分別與外部電連接的外部引 線，特別地，可以構(gòu)成將所述壓電振動(dòng)片密封在所述殼體內(nèi)的圓柱狀 封裝類(lèi)型的壓電振動(dòng)器，因此，可以使壓所述電振動(dòng)片振動(dòng)而不被灰 塵和塵土或類(lèi)似的東西影響，并且所述壓電振動(dòng)片可以振動(dòng)得更準(zhǔn) 確。
16. —種包括如權(quán)利要求13到15中任一項(xiàng)所述的與集成電路電 連接作為振蕩片的壓電振動(dòng)器的振蕩器。
17. —種包括如權(quán)利要求13到15中任一項(xiàng)所述的與計(jì)時(shí)部分電 連接的壓電振動(dòng)器的電子設(shè)備。
18. —種包括如權(quán)利要求13到15中任一項(xiàng)所述的與濾波部分電 連接的壓電振動(dòng)器的無(wú)線電波計(jì)時(shí)器。
全文摘要
本發(fā)明涉及壓電振動(dòng)片以及制造壓電振動(dòng)片的方法。為了在確?；康拈L(zhǎng)度能夠充分減小振動(dòng)耗散后通過(guò)縮短總長(zhǎng)度實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)小型化，提供了包括壓電板10的壓電振動(dòng)片2，壓電板10包括成對(duì)的相互平行設(shè)置在從基端到前端的方向上延伸的成對(duì)的振動(dòng)臂部分11、12，以及具有在從基端到前端的中間位置分別與振動(dòng)臂部分對(duì)連接的連接部分13a并通過(guò)該連接部分一體式支撐振動(dòng)臂部分對(duì)的基部13、用于當(dāng)向其施加驅(qū)動(dòng)電壓時(shí)使振動(dòng)臂部分對(duì)振動(dòng)的在振動(dòng)臂部分對(duì)的外表面上分別形成的激發(fā)電極20、21、成對(duì)的在基部的外表面上形成并且分別與激發(fā)電極對(duì)電連接的裝配電極22、23，其中基部的至少一部分設(shè)置在位于振動(dòng)臂部分對(duì)之間。
文檔編號(hào)H03H9/13GK101521494SQ200910126430
公開(kāi)日2009年9月2日 申請(qǐng)日期2009年2月26日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月26日
發(fā)明者杉山剛 申請(qǐng)人:精工電子有限公司