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具有保護(hù)層的聲表面波濾波器叉指換能器的制作方法

文檔序號(hào):7536977閱讀:510來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:具有保護(hù)層的聲表面波濾波器叉指換能器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型屬于電子元器件領(lǐng)域,涉及聲表面波濾波器,具體涉及一種具有保護(hù)
層的聲表面波濾波器叉指換能器。
背景技術(shù)
聲表面波濾波器是現(xiàn)代電子系統(tǒng)的關(guān)鍵基礎(chǔ)器件,它的可靠性對(duì)系統(tǒng)性能有重要影響,聲表面波濾波器失效主要表現(xiàn)為功能失效和性能參數(shù)超差兩方面,而功能失效最常見的失效機(jī)制是其叉指換能器叉指條的鋁膜受腐蝕,其終點(diǎn)是開路失效;由于這種失效隱患早期很難篩選剔除,故其危害極大。 叉指換能器的鋁膜腐蝕以直流偏壓下的電化學(xué)腐蝕為主,導(dǎo)致鋁膜電化學(xué)腐蝕的主要因素是直流電場(chǎng)、水汽和離子雜質(zhì)。由于聲表面波濾波器的工藝制作流程較復(fù)雜,很易在其芯片表面留下腐蝕性物質(zhì)和水汽,而其芯片又是裸體封裝,從而導(dǎo)致芯片表面鋁膜出現(xiàn)腐蝕。對(duì)于非氣密性塑封聲表面波濾波器,鋁腐蝕現(xiàn)象尤甚。 要消除聲表面波濾波器芯片的鋁膜腐蝕,必須消除水汽和腐蝕性物質(zhì)對(duì)器件芯片的影響,可通過(guò)在芯片的叉指換能器表面覆蓋一層致密的保護(hù)膜,來(lái)達(dá)到使叉指換能器鋁膜和外界完全隔離的目的。 但是當(dāng)在聲表面波濾波器的叉指換能器上覆蓋保護(hù)膜后,由于覆蓋物質(zhì)的吸聲作用,會(huì)使器件的損耗增大;因質(zhì)量加載作用,會(huì)造成SAW的波速變化和色散,由此引起器件
的頻率偏移和相位特性惡化;還可能由于覆蓋材料造成器件的絕緣電阻和直流耐壓降低等。

實(shí)用新型內(nèi)容申請(qǐng)人:在多年從事電子元器件的生產(chǎn)制造經(jīng)營(yíng)活動(dòng)中,發(fā)現(xiàn)聲表面波濾波器的叉指換能器存在著上述缺陷,組織設(shè)計(jì)人員經(jīng)過(guò)分析研究,目的在于尋求一種具有保護(hù)層的聲表面波濾波器叉指換能器,這種保護(hù)層在叉指換能器上覆蓋后,所產(chǎn)生的上述效應(yīng)很小,不會(huì)造成器件的電性能明顯變化,還能經(jīng)受著水、酸堿離子的腐蝕及高低溫老化,且生產(chǎn)工藝又易于實(shí)施。 本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是設(shè)計(jì)一種具有保護(hù)層的聲表面波濾波器叉指換能器,其結(jié)構(gòu)包括聲表面波濾波器的叉指換能器,在叉指換能器的叉指條、匯流條及叉指條間隔的表面上敷設(shè)二氧化硅薄膜保護(hù)層。 本實(shí)用新型采用上述技術(shù)方案,雖然敷設(shè)的二氧化硅薄膜層屬無(wú)定型二氧化硅,但仍具有較高的電阻率和介電強(qiáng)度,及良好的耐酸堿腐蝕性能,可有效地保護(hù)聲表面波濾波器叉指換能器的叉指條、匯流條及叉指條間隔不受腐蝕,且不會(huì)使器件的直流特性受到影響;由于二氧化硅的硬度、密度較大,對(duì)聲表面波無(wú)吸聲作用;關(guān)于二氧化硅膜層產(chǎn)生的質(zhì)量加載對(duì)SAW波速和色散的影響,可在設(shè)計(jì)時(shí)對(duì)叉指換能器的有關(guān)幾何尺寸加以修正;二氧化硅與鋁有很強(qiáng)的粘附性,二氧化硅膜層敷設(shè)可采用現(xiàn)有電子束蒸鍍工藝,工藝成熟,簡(jiǎn)單易行,其工藝條件符合聲表面波器件的工藝制作要求,在蒸鍍過(guò)程中二氧化硅膜層厚度可隨機(jī)控制,便于工藝實(shí)施,能保證叉指換能器的二氧化硅膜層質(zhì)量,確保器件有二氧化硅層保護(hù)的聲表面波濾波器叉指換能器的叉指條、匯流條及叉指條間隔的表面無(wú)腐蝕現(xiàn)象,保持電參數(shù)性能不發(fā)生變化,從而保證器件電性能達(dá)到設(shè)計(jì)要求,提高了聲表面波濾波器的可靠性,延長(zhǎng)使用壽命。

圖1表示本實(shí)用新型具有保護(hù)層的聲表面波濾波器叉指換能器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
結(jié)合附圖及實(shí)施工藝步驟,對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說(shuō)明。 本實(shí)用新型具有保護(hù)層的聲表面波濾波器叉指換能器的實(shí)施例,參見圖l,其結(jié)構(gòu)包括聲表面波濾波器叉指換能器的基片1,叉指換能器的叉指條2,叉指條間隔3,鋁壓焊點(diǎn)4,二氧化硅薄膜層5。在實(shí)施電子束蒸鍍二氧化硅保護(hù)層過(guò)程中,繼對(duì)基片1清洗,蒸鍍高純鋁膜,光刻出叉指換能器叉指條2后的工件,采用電子束真空蒸鍍方法,在其表面上蒸鍍一層二氧化硅薄膜層5,膜層厚度由設(shè)計(jì)確定,在電子束真空蒸鍍二氧化硅薄膜層后的工件上光刻出鋁壓焊點(diǎn)4,最后再完善其余工序修波形、劃片、粘片、壓焊、封裝、老化、測(cè)試、
成品o 本實(shí)用新型的這種具有保護(hù)層的聲表面波濾波器叉指換能器,經(jīng)小批量試制,并進(jìn)行對(duì)照實(shí)驗(yàn)測(cè)試。 1)電性能以叉指換能器采用二氧化硅30nm保護(hù)層的聲表面波濾波器為試驗(yàn)品,
與未保護(hù)的聲表面波濾波器作對(duì)照品進(jìn)行測(cè)試比對(duì),結(jié)果電參數(shù)性能無(wú)變化; 2)抗腐蝕性試驗(yàn)品、對(duì)照品各100只,放入溫度為6(TC ±3",濕度為90% -95%
的恒溫恒濕箱中,持續(xù)時(shí)間96小時(shí),恢復(fù)2小時(shí)后觀察、測(cè)試結(jié)果,對(duì)照品叉指換能器的叉
指條等部件有腐蝕現(xiàn)象,測(cè)試電參數(shù)性能均有變化;試驗(yàn)品叉指換能器的叉指條、匯流條及
叉指條間隔表面無(wú)腐蝕現(xiàn)象,測(cè)試電參數(shù)性能均無(wú)變化。 實(shí)驗(yàn)表明,本實(shí)用新型具有保護(hù)層的聲表面波濾波器叉指換能器設(shè)計(jì)合理,質(zhì)量可靠,完成了發(fā)明任務(wù)。
權(quán)利要求一種具有保護(hù)層的聲表面波濾波器叉指換能器,包括聲表面波濾波器的叉指換能器,其特征是在叉指換能器的叉指條、匯流條及叉指條間隔的表面上敷設(shè)二氧化硅薄膜保護(hù)層。
專利摘要本實(shí)用新型屬于電子元器件,涉及聲表面波濾波器,具體是一種具有保護(hù)層的聲表面波濾波器叉指換能器,主要特點(diǎn)是在聲表面波濾波器叉指換能器的叉指條、匯流條和叉指條間隔的表面鍍敷二氧化硅薄膜層,不僅工藝成熟易行,能保證二氧化硅保護(hù)層的質(zhì)量,而且保證器件電性能達(dá)到設(shè)計(jì)要求,提高了聲表面波濾波器的可靠性,延長(zhǎng)了使用壽命。
文檔編號(hào)H03H9/64GK201499143SQ20092022348
公開日2010年6月2日 申請(qǐng)日期2009年9月7日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月7日
發(fā)明者張濤, 徐繼霖, 李燕, 楊紅衛(wèi), 潘明全, 王宜青, 馬宗海, 魏永革, 龔生強(qiáng) 申請(qǐng)人:南陽(yáng)瑞普電子有限公司
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